旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法
【专利摘要】本发明涉及磁控溅射阴极磁场均匀性测量设备及其测试方法，特别是测量阴极磁棒在轴向方向上同一区域的磁场强度变化。测量设备包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备结构简单，利用该发明设备进行测试后可满足磁棒的磁场在同一水平同一高度的位置准确测量磁棒磁场强度变化，操作方便简单，设备科重复使用。
【专利说明】旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及磁控溅射阴极磁场均匀性测量设备，特别是测量阴极磁棒在轴向方向上同一区域的磁场强度变化。
【背景技术】
[0002]随着节能玻璃的大规模使用，用于生产低辐射镀膜玻璃的磁控溅射镀膜生产线被广泛安装并投入生产，许多生产线的溅射阴极磁棒被冷却水不断腐蚀以及循环水温度的变化造成磁场在轴向方向上很不均匀，因而生产的产品性能下降甚至是不合格产品，因此需要定期对用于溅射的阴极磁场做均匀性检测以备及时将不合格磁棒更换，目前行业主要靠手持高斯仪对阴极磁场做磁场测量，但是所有的磁场在空间不同的位置强度是不一样的，因而靠人工用手在磁场空间同一水平同一高度测量磁棒均匀性误差很大，无法做出准确判断磁棒的均匀性是否合格。

【发明内容】

[0003]本发明的目的克服了以上的不足，提供一种简单易操作的设备准确测量出磁棒的磁场在轴向分布以及磁场强度的强弱变化。
[0004]旋转阴极磁场均匀性测试设备，旋转阴极磁场均匀性测试设备，包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。
[0005]所述机台构架部分包括机台底座、水平调节器及两根导轨，所述机台底座上部设置有四个用于调节所述机台水平的水平调节器，所述水平调节器的上部固定设置有所述两根导轨。
[0006]所述移动小车车体上固定连接所述仪器夹，所述仪器夹上固定连接所述测量磁场强度仪器。
[0007]所述的测量磁场强度仪器为高斯仪。
[0008]采用所述旋转阴极磁场均匀性测试设备进行测试的测试方法:包括以下几个步骤:
第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧；
第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定；
第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上；
第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态；
第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置；
第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死；
第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置； 第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至两个磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打开高斯仪；
第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁钢强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性；
进一步的，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面1_高度，依次从左向右推动小车每50_测试磁场强度并记录。
[0009]有益效果:本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备结构简单，利用该发明设备进行测试后可满足磁棒的磁场在同一水平同一高度的位置准确测量磁棒磁场强度变化，操作方便简单，设备科重复使用。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1为本发明设备的主视图；
图2为图1的左视图；
其中，1、机台底座；2、导轨；3、水平调节器；4、移动小车；5、第一手轮移动机构；6、第二手轮移动机构；7、仪器夹；8、高斯仪；9、磁缸一 ；10、磁缸二。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备作进一步详细描述。
[0012]本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备包括如下部件:
包括两根导轨的长3900-4500mm、宽820-900mm、高200_300mm的机台构架；
一可搭载磁场强度检测仪器并在导轨上滑行的小车；
一用于小车前后运动的螺杆机构以及手轮；
一用于调节测量磁场强度仪器上下高度的螺杆机构以及手轮；
一用于固定测量磁场强度仪器的仪器夹；
四个用于调节机台构架水平的调节器；
用于方便起吊设备的龙骨耳朵；
利用上述测量阴极磁场均匀性的设备测试均匀性的方法，包括以下步骤:
第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧；
第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定；
第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上；
第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态；
第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置；
第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死；
第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置；第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至两个磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打开高斯仪； 第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁钢强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性。
[0013]所述第十步中，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面1_高度，依次从左向右推动小车每50_测试磁场强度并记录。
【权利要求】
1.旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。
2.根据权利要求1所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述机台构架部分包括机台底座、水平调节器及两根导轨，所述机台底座上部设置有四个用于调节所述机台水平的水平调节器，所述水平调节器的上部固定设置有所述两根导轨。
3.根据权利要求2所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述移动小车车体上固定连接所述仪器夹，所述仪器夹上固定连接所述测量磁场强度仪器。
4.根据权利要求3所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述的测量磁场强度仪器为高斯仪。
5.采用权利要求1所述旋转阴极磁场均匀性测试设备进行测试的测试方法:包括以下几个步骤: 第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧； 第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定； 第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上； 第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态； 第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置； 第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死； 第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置； 第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至磁缸表面一定高度位置； 第九步、打开高斯仪； 第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁缸强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性； 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第十步中，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面Imm高度，依次从左向右推动小车每50mm测试磁场强度并记录。
【文档编号】G01R33/10GK103777158SQ201410031748
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2014年1月23日 优先权日:2014年1月23日
【发明者】黄林冲, 顾海波, 曹承 申请人:江苏奥蓝工程玻璃有限公司