一种数字式气体流量传感器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种数字式气体流量传感器，包括电路系统、激光光源、玻璃转子流量计、光纤传像束和光敏二极管阵列，其中，所述电路系统的结构为：包括微处理器、驱动电路、信号处理电路和光敏二极管扫描电路；所述光纤传像束沿玻璃管的轴向方向排列成若干竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，每竖列的首尾对齐，每竖列由若干根竖向排列的光纤组成；每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成，光纤与光敏二极管连接。本发明的数字式气体流量传感器，有以下特点：输出的是数字信号，抗干扰能力强，分辨率高，性能稳定可靠，结构简单，成本低。
【专利说明】一种数字式气体流量传感器
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种数字式气体流量传感器。
【背景技术】
[0002]传感器技术一直是热门技术，其中气体流量传感器在工业生产、化工、环境监测、生化技术及科学试验等领域有着广泛的应用。传统的气体流量计中，玻璃转子流量计是常见的一大类，该流量计虽然结构简单，便于使用，但它仅能满足现场即时计量使用，无法实现对流量的记录和自动控制。而在现有的一些转子式流量传感器中，多是以模拟量转换的方式进行物理量的转换(如差动变压器)，其输出是模拟量，取样信号只有量的变化(连续的)没有质的变化(突变的)，很难抵御外部的干扰，内部的漂移，稳定性和可靠性很难以满足使用要求。而数字化取样的传感器在可靠性、稳定性方面会得到根本性的改善，所以数字化物理量转换机理的研究已成为传感器研究领域的一个主攻方向。

【发明内容】

[0003]针对上述现有技术，本发明提供了一种数字式气体流量传感器，该传感器有以下特点:输出的是数字信号(每个感应元都是以开关脉冲的形式输出信号)，抗干扰能力强，分辨率高，性能稳定可靠，结构简单，成本低。
[0004]本发明是通过以下技术方案实现的:
[0005]一种数字式气体流量传感器，包括电路系统、激光光源、玻璃转子流量计、光纤传像束和光敏二极管阵列，其中，
[0006]所述电路系统的结构为:包括微处理器、驱动电路、信号处理电路和光敏二极管扫描电路，其中，微处理器通过驱动电路与半导体激光器电路连接；微处理器与光敏二极管扫描电路连接，光敏二极管扫描电路与光敏二极管连接；微处理器与信号处理电路连接，信号处理电路与光敏二极管扫描电路连接；
[0007]所述激光光源的结构为:包括半导体激光器和准直透镜，准直透镜位于半导体激光器的前端(激光光源的结构和工作原理为公知常识，在此不再赘述)。
[0008]所述玻璃转子流量计的结构为:包括透明的锥形玻璃管(锥度一般为1:100)，玻璃管外壁上除与圆柱状透镜接触的部分外其它部分涂覆有黑色涂层(以防止受到其它光源的影响)，玻璃管上端设有上基座，下端设有下基座，上基座和下基座通过支承板连接，玻璃管内设有与玻璃管轴向平行的导杆，导杆上套有浮子，浮子可在导杆上自由滑动(是现有技术中的常规装置)；激光光源设在上基座上，浮子上设有反光板，反光板的作用是:将由激光光源发出的光线(激光束)反射照射到光纤上(由于激光光源是从玻璃管上方射出激光束，需要偏转90度后才能转为平行的激光束，从而照射在光纤上，故反光板与水平方向的夹角为45度)。
[0009]所述光纤传像束沿玻璃管的轴向方向排列成若干竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，每竖列的首尾对齐，每竖列由若干根竖向排列的光纤组成；每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成，光纤与光敏二极管连接。
[0010]优选的，所述光纤传像束沿玻璃管的轴线方向排列成有序的三竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，为描述方便，分别命名为N列、M列和K列，三竖列的首尾对齐，三竖列由相同根数的光纤竖向排列组成，为描述方便，设每竖列由nXmXk根光纤组成，n、m、k均为正整数；每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成，为描述方便，设与N列对应的光敏二极管阵列由η个光敏二极管组成，与M列对应的光敏二极管阵列由m个光敏二极管组成，与K列对应的光敏二极管阵列由k个光敏二极管组成；N列的光纤分为mXk组，每组由η根光纤组成，每组的η根光纤与与N列对应的光敏二极管阵列的η个光敏二极管一一对应连接，为描述方便，每组的η根光纤分别编号为13、2&...的，相应地，11个光敏二极管分别编号为附、吧、吧、...、Νη-1、Νη，每组光纤中编号为Ia的光纤都与编号为NI的光敏二极管连接(相同序号的光纤在光敏二极管处排列成圆形，再通过透镜传导，为常规技术手段)，每组光纤中编号为2a的光纤都与编号为N2的光敏二极管连接,每组光纤中编号为na的光纤都与编号为Nn的光敏二极管连接；相应地，M列的光纤也分为mXk组,每组由η根光纤组成(光纤编号与分组方式均与N列相同)，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上，为描述方便，每组依次轮流编号为lb、2b…mb (轮流编号k次，比如:编号为Ib的组为k个)，相应地，m个光敏二极管分别编号为M1、M2…Mm,第Ib组所有光纤传导到编号为Ml的光敏二极管上,第2b组所有光纤传导到编号为M2的光敏二极管上,第mb组所有光纤传导到编号为Mm的光敏二极管上；K列的光纤分为k组，每组光纤由nXm根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上，为描述方便，每组分别编号为lc、2c、kc, k个光敏二极管分别编号为Kl、Kl...Kk,第Ic组所有光纤传导到编号为Kl的光敏二极管上，第2c组所有光纤传导到编号为K2的光敏二极管上，第kc组所有光纤传导到编号为Kk的光敏二极管上(分组的目的是减少光敏二极管的数量；由于三竖列是由相同根数的光纤组成的，所以在三竖列中，处于同一高度的三根光纤代表一个唯一的坐标，该坐标可以用于指示浮子所处的位置，所以，光纤分组并与光敏二极管连接后，应保证处于同一高度的三根光纤所对应的三个光敏二极管的组合也是唯一的)。由于每列光纤采用分组共用光敏二极管的方式(不是一一对应的方式)，再通过每列光敏二极管的排列组合，大大地减少光了敏二极管的用量，如此，若每竖列由nXmXk根光纤组成，则其需要的光敏二极管数量仅为n+m+k个。
[0011]为便于所属领域技术人员理解，下面以举例的形式对上述光纤传像束进行说明:所述光纤传像束沿玻璃管的轴线方向排列成有序的三竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，为描述方便，分别命名为N列、M列和K列，三竖列的首尾对齐，三竖列由相同根数的光纤竖向排列组成，设每竖列由nXmXk根光纤组成，n、m均取值为4，k取值为2;每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成:与N列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成(分别编号为N1、N2、N3、N4),与M列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成(分别编号为Ml、M2、M3、M4)，与K列对应的光敏二极管阵列由2个光敏二极管组成(分别编号为K1、K2) ;N列的光纤分为mXk=8组，每组由n=4根光纤组成(分别编号为la、2a、3a、4a),每组的4根光纤与与N列对应的光敏二极管阵列的4个光敏二极管对应连接，即:每组光纤中编号为Ia的光纤都与编号为NI的光敏二极管连接,每组光纤中编号为2a的光纤都与编号为N2的光敏二极管连接，每组光纤中编号为3a的光纤都与编号为N3的光敏二极管连接,每组光纤中编号为4a的光纤都与编号为N4的光敏二极管连接；相应地，M列的光纤也分为mXk=8组(依次轮流编号为lb、2b、3b、4b),每组由4根光纤组成(光纤编号与分组方式均与N列相同)，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上，即:第Ib组所有光纤传导到编号为Ml的光敏二极管上，第2b组所有光纤传导到编号为M2的光敏二极管上,第3b组所有光纤传导到编号为M3的光敏二极管上，第4b组所有光纤传导到编号为M4的光敏二极管上；K列的光纤分为k=2组(分别编号为lc、2c),每组光纤由nXm=16根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上:即--第Ic组所有光纤传导到编号为Kl的光敏二极管上，第2c组所有光纤传导到编号为K2的光敏二极管上(如表1和图7所示)。分组的目的是减少光敏二极管的数量；由于三竖列是由相同根数的光纤组成的，所以在三竖列中，处于同一高度的三根光纤代表一个唯一的坐标，该坐标可以用于指示浮子所处的位置，所以，光纤分组并与光敏二极管连接后，处于同一高度的三根光纤所对应的三个光敏二极管的组合也是唯一的，比如第20根光纤，其所对应的光敏二极管组合为N4-M1-K2，该组合是唯一的。由于每列光纤采用分组共用光敏二极管的方式(不是一一对应的方式)，再通过每列光敏二极管的排列组合，大大地减少光了敏二极管的用量，如此，每竖列由nXmXk=32根光纤组成，则其需要的光敏二极管数量仅为n+m+k=10个。 [0012]本发明的光纤传导式转子流量传感器的工作原理为:设置在上基座上的激光光源发射出的激光束沿锥形玻璃管的轴向射出，射向设在浮子上的反光板，通过反光板反射偏转90度后，照射到与浮子处于同一高度的各个竖列的光纤上，并传导至相应的光敏二极管阵列；随着浮子的上下移动，激光束会照射到不同位置的光纤上，从而使相应的光敏二极管接收到光线；由光敏二极管扫描电路对光敏二极管依次扫描，随着扫描的进行，每个光敏二极管的状态信息(是否接收到光线)依次输出到信号处理电路，该信号(每个光敏二极管的状态信息)经信号处理电路处理后送入微处理器，微处理器根据各点光强计算出浮子的位置，再根据相关的流量公式换算成相应的流量(根据浮子的位置计算相应的流量是现有技术，本发明对此无改进，不再赘述)，具体应用时，微处理器通过数据线与远程计算机或显示装置连接，从而可以远程监测流量，并可以实现记录、积算、自控等多种功能。
[0013]所述微处理器、信号处理电路、光敏二极管扫描电路和驱动电路，其工作方式、工作原理(如怎样发出信号，接收信号，对信号怎样处理等)均为现有技术中成熟的技术，在此不再赘述。
[0014]所述玻璃转子流量计是现有技术中的常规装置，本发明对此结构的改进只是在玻璃管内壁或外壁上涂覆了黑色涂层，并设置了激光光源以及反光板，没有其它改进，在此不再赘述。因为本发明采用的是非接触的方式对浮子的位置进行测量，所以对转子流量计的结构不用做改动(除涂覆黑色涂层、设置激光光源和反光板外，激光源在上基座上，不会对浮子产生作用，反光板设置在浮子的上端，这与金属管转子流量计浮子的上端设置的磁耦合机构一样，不会改变相关的测量原理)，相应地，转子流量计相关的原理和公式不变，在此不再赘述。
[0015]本发明的数字式气体流量传感器，与现有技术中其它形式的转子流量传感器相比(如差动变压器式、光纤光栅式等)，具有以下优点:[0016]I)输出是数字信号，每个感应元都是以开关脉冲的形式输出信号(每个光敏二极管只有是否接收到光线两种状态)，取样数据只有“O”与“1”，克服了传统的模拟量检测方式本身带有模糊的成份，避免了受温度、空气压强、电场、磁场等多种环境分布参数的影响，大大地提高了检测的准确性、可靠性，不需要专门的A/D转换电路，这样可以避免A/D器件对精度的影响(因为A/D器件精度有限，在无形中会降低了数据精度)，有利于减少测量时间，也利于信号的远距离传输。
[0017]2)光敏二极的用量比传统的一一对应的方式要少很多(有效的解决了精度和分辨与敏感元件用量的矛盾)，这将大大地有利于制造(需要用大量的阵列式的敏感元器件正是数字化物理量转换机理要解决的技术难点之一，因为随着敏感元件的大量增加，将会使布线变的非常困难，对这些单元有序控制的数据处理单元也要增加，这将大大地增加制造难度和成本)，对光敏二极管排列的技术要求很低(这也有利于制造)。
[0018]3 )光纤起电气隔离作用，使抗干扰能力进一步得到提高(相当于光电藕合器，光电藕合器的优点就是有很强的抗干扰性)。
[0019]4)因为是非接触式测量，不会对浮子移动产生干扰，没有机械转换机构从而减少了误差来源。
[0020]5)浮子的位置是通过光纤的几何位置确定的(相当于一个离散型元件)，因此不存在非线性问题。
[0021]6)因为光纤传像束的纤芯直径非常细(一般为IOum左右)，所以无需特殊的光学系统就可以实现高分辨率。
[0022]7)因为是非接触式测量，对浮子没有任何阻碍，所以和玻璃转子流量计一样，可实现对很小流量的测量(现有技术中其它形式的转子式流量传感器，因受其结构所限制，敏感元件与浮子之间存在机械性接触，浮子移动会受到阻碍，当流量小时浮子将无法移动)，而且，在测量范围内均为相同的分辨率。
[0023]此外，本发明还具有结构简单、制造容易、成本低等优点。
【专利附图】

【附图说明】
[0024]图1为本发明的数字式气体流量传感器的结构示意图。
[0025]图2为本发明的数字式气体流量传感器的电路原理示意图。
[0026]图3为本发明的数字式气体流量传感器的N列光纤排列示意图(仅为技术人员为方便理解而绘制的示意图)。
[0027]图4为本发明的数字式气体流量传感器的M列光纤排列示意图(仅为技术人员为方便理解而绘制的示意图)。
[0028]图5为本发明的数字式气体流量传感器的K光纤排列示意图(仅为技术人员为方便理解而绘制的示意图)。
[0029]图6为图5中A-A线剖视图。
[0030]图7为光纤传像束、光敏二极管排列原理示意简图(仅为技术人员为方便理解而绘制的示意图)，其中，n=4, m=6, k=2。
[0031]其中，1、光纤传像束；2、引线；3、半导体激光器；4、准直透镜；5、上基座；6、支承板；7、反光板；8、浮子；9、锥形玻璃管；10、导杆；11、下基座；12、数据线；13、信号处理电路；14、驱动电路；15、光敏二极管扫描电路；16、微处理器；17、光敏二极管；18、N列；19、M列；20、K列；21、黑色涂层；22、透镜；23、圆柱状透镜。
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图对本发明作进一步的说明。
[0033]一种数字式气体流量传感器，包括电路系统、激光光源、玻璃转子流量计、光纤传像束I和光敏二极管阵列，其中，
[0034]所述电路系统的结构为:包括微处理器16、驱动电路14、信号处理电路13和光敏二极管扫描电路15，其中，微处理器16通过驱动电路14与半导体激光器3电路连接；微处理器16与光敏二极管扫描电路15连接,光敏二极管扫描电路15与光敏二极管17连接；微处理器16与信号处理电路13连接，信号处理电路13与光敏二极管扫描电路15连接，如图2所示；
[0035]所述激光光源的结构为:包括半导体激光器3和准直透镜4，准直透镜4位于半导体激光器3的前端(激光光源的结构和工作原理为公知常识，在此不再赘述；实际工作时，通过引线2将半导体激光器3与供电电源连接)。
[0036]所述玻璃转子流量计的结构为(如图1所示):包括透明的锥形玻璃管9(锥度为1:100)，锥形玻璃管9外壁上除与圆柱状透镜23接触的部分外其它部分涂覆有黑色涂层21(以防止受到其它光源的影响)，锥形玻璃管9上端设有上基座5，下端设有下基座11，上基座5和下基座11通过支承板6连接，锥形玻璃管9内设有与锥形玻璃管9轴向平行的导杆10，导杆10上套有浮子8，浮子8可在导杆10上自由滑动(是现有技术中的常规装置);激光光源设在上基座5上，浮子8上设有反光板7，反光板7的作用是:将由激光光源发出的光线(激光束)反射照射到光纤上(由于激光光源是从玻璃管上方射出激光束，需要偏转90度后才能转为平行的激光束，从而照射在光纤上，故反光板与水平方向的夹角为45度)。
[0037]所述光纤传像束I沿锥形玻璃管9的轴线方向排列成有序的三竖列，锥形玻璃管9和光纤传像束I之间设置圆柱状透镜23，分别命名为N列18、Μ列19和K列20 (如图
3、4、5、6所示)，三竖列的首尾对齐，三竖列由相同根数的光纤竖向排列组成，设每竖列由nXmXk根光纤组成，n、m均取值为4，k取值为2 ;每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管17组成:与N列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成(分别编号为N1、N2、N3、N4),与M列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成(分别编号为Ml、M2、M3、M4)，与K列对应的光敏二极管阵列由2个光敏二极管组成(分别编号为K1、K2) ；N列的光纤分为mXk=8组，每组由n=4根光纤组成(分别编号为la、2a、3a、4a)，每组的4根光纤与与N列对应的光敏二极管阵列的4个光敏二极管一一对应连接，即:每组光纤中编号为Ia的光纤都与编号为NI的光敏二极管连接,每组光纤中编号为2a的光纤都与编号为N2的光敏二极管连接,每组光纤中编号为3a的光纤都与编号为N3的光敏二极管连接，每组光纤中编号为4a的光纤都与编号为N4的光敏二极管连接((相同序号的光纤在光敏二极管17处排列成圆形，再通过透镜22传导，如图6所示，为常规技术手段))；相应地，M列的光纤也分为mXk=8组(依次轮流编号为lb、2b、3b、4b)，每组由4根光纤组成(光纤编号与分组方式均与N列相同)，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上，即:第Ib组所有光纤传导到编号为Ml的光敏二极管上,第2b组所有光纤传导到编号为M2的光敏二极管上，第3b组所有光纤传导到编号为M3的光敏二极管上，第4b组所有光纤传导到编号为M4的光敏二极管上；K列的光纤分为k=2组(分别编号为lc、2c)，每组光纤由nXm=16根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上:即:第Ic组所有光纤传导到编号为Kl的光敏二极管上，第2c组所有光纤传导到编号为K2的光敏二极管上(如表I和图7所示)。分组的目的是减少光敏二极管的数量；由于三竖列是由相同根数的光纤组成的，所以在三竖列中，处于同一高度的三根光纤代表一个唯一的坐标，该坐标可以用于指示浮子所处的位置，所以，光纤分组并与光敏二极管连接后，处于同一高度的三根光纤所对应的三个光敏二极管的组合也是唯一的，比如第20根光纤，其所对应的光敏二极管组合为N4-M1-K2，该组合是唯一的。由于每列光纤采用分组共用光敏二极管的方式(不是一一对应的方式)，再通过每列光敏二极管的排列组合，大大地减少光了敏二极管的用量，如此，每竖列由nXmXk=32根光纤组成,则其需要的光敏二极管数量仅为n+m+k=10个。
[0038]本发明的光纤传导式转子流量传感器的工作原理为:设置在上基座5上的激光光源发射出的激光束沿锥形玻璃管9的轴向射出，射向设在浮子8上的反光板7，通过反光板7反射偏转90度后，照射到与浮子8处于同一高度的各个竖列的光纤上，并传导至相应的光敏二极管阵列；随着浮子8的上下移动，激光束会照射到不同位置的光纤上，从而使相应的光敏二极管17接收到光线；由光敏二极管扫描电路15对光敏二极管17依次扫描,随着扫描的进行，每个光敏二极管17的状态信息(是否接收到光线)依次输出到信号处理电路13，该信号(每个光敏二极管17的状态信息)经信号处理电路13处理后送入微处理器16，微处理器16根据各点光强计算出浮子8的位置，再根据相关的流量公式换算成相应的流量(根据浮子8的位置计算相应的流量是现有技术，本发明对此无改进，不再赘述)，具体应用时，微处理器16通过数据线12与远程计算机或显示装置连接，从而可以远程监测流量，并可以实现记录、积算、自控等多种功能。
[0039]附:表I
[0040]表I
【权利要求】
1.一种数字式气体流量传感器，其特征在于:包括电路系统、激光光源、玻璃转子流量计、光纤传像束和光敏二极管阵列，其中， 所述电路系统的结构为:包括微处理器、驱动电路、信号处理电路和光敏二极管扫描电路，其中，微处理器通过驱动电路与半导体激光器电路连接；微处理器与光敏二极管扫描电路连接，光敏二极管扫描电路与光敏二极管连接；微处理器与信号处理电路连接，信号处理电路与光敏二极管扫描电路连接； 所述玻璃转子流量计的结构为:包括透明的锥形玻璃管，玻璃管外壁上除与圆柱状透镜接触的部分外其它部分涂覆有黑色涂层，玻璃管上端设有上基座，下端设有下基座，上基座和下基座通过支承板连接，玻璃管内设有与玻璃管轴向平行的导杆，导杆上套有浮子；激光光源设在上基座上，浮子上设有反光板； 所述光纤传像束沿玻璃管的轴向方向排列成若干竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，每竖列的首尾对齐，每竖列由若干根竖向排列的光纤组成；每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成，光纤与光敏二极管连接。
2.根据权利要求1所述的一种数字式气体流量传感器，其特征在于:所述光纤传像束沿玻璃管的轴线方向排列成有序的三竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，分别命名为N列、M列和K列，三竖列的首尾对齐，三竖列由相同根数的光纤竖向排列组成，每竖列由nXmXk根光纤组成，n、m、k均为正整数；每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成:与N列对应的光敏二极管阵列由η个光敏二极管组成，与M列对应的光敏二极管阵列由m个光敏二极管组成，与K列对应的光敏二极管阵列由k个光敏二极管组成；N列的光纤分为mXk组，每组由η根光纤组成，每组的η根光纤与与N列对应的光敏二极管阵列的η个光敏二极管一一对应连接；相应地，M列的光纤也分为mXk组，每组由η根光 纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上；Κ列的光纤分为k组，每组光纤由nXm根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上。
3.根据权利要求2所述的一种数字式气体流量传感器，其特征在于:所述光纤传像束沿玻璃管的轴线方向排列成有序的三竖列，玻璃管和光纤传像束之间设置圆柱状透镜，分别命名为N列、M列和K列，三竖列的首尾对齐，三竖列由相同根数的光纤竖向排列组成，每竖列由nXmXk根光纤组成，n、m均取值为4，k取值为2 ;每竖列光纤对应一组光敏二极管阵列，每组光敏二极管阵列由若干个光敏二极管组成:与N列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成，分别编号为N1、N2、N3、N4，与M列对应的光敏二极管阵列由4个光敏二极管组成，分别编号为Ml、M2、M3、M4，与K列对应的光敏二极管阵列由2个光敏二极管组成，分别编号为K1、K2 ;Ν列的光纤分为mXk=8组，每组由n=4根光纤组成，分别编号为la、2a、3a、4a，每组的4根光纤与与N列对应的光敏二极管阵列的4个光敏二极管一一对应连接，即:每组光纤中编号为Ia的光纤都与编号为NI的光敏二极管连接,每组光纤中编号为2a的光纤都与编号为N2的光敏二极管连接,每组光纤中编号为3a的光纤都与编号为N3的光敏二极管连接，每组光纤中编号为4a的光纤都与编号为N4的光敏二极管连接；相应地，M列的光纤也分为mXk=8组，依次轮流编号为lb、2b、3b、4b，每组由4根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上，即:第Ib组所有光纤传导到编号为Ml的光敏二极管上,第2b组所有光纤传导到编号为M2的光敏二极管上,第3b组所有光纤传导到编号为M3的光敏二极管上，第4b组所有光纤传导到编号为M4的光敏二极管上；K列的光纤分为k=2组，分别编号为lc、2c，每组光纤由nXm=16根光纤组成，同组的所有光纤都传导到同一个光敏二极管上:g卩:第Ic组所有光纤传导到编号为Kl的光敏二极管上，第2c组所有光纤传导到编号为K2的光敏二极管上。
4.根据权利要求1所述的一种数字式气体流量传感器，其特征在于:所述激光光源的结构为:包括半导体激光器和`准直透镜，准直透镜位于半导体激光器的前端。
【文档编号】G01F1/22GK103604472SQ201310603965
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年11月25日 优先权日:2013年11月25日
【发明者】孙晓明, 姜先州, 张建伟, 吴明海, 盖志刚 申请人:山东大学