专利名称：SF₆微水测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种SF6微水测试仪。
背景技术：
SF6微水测试仪是应用于低露点且需要控制干点的エ业环境中的。为了保证每次校验间隔之间的准确测量，这就要求精密SF6微水测试仪在高浓度化学物质和清洁剂的环境中能进行精确稳定的測量，目前的SF6微水测试仪测量时间长且用气量大。

发明内容本实用新型的目的是要提供ー种测量时间短、节省用气量的SF6微水测试仪。本实用新型实现上述目的的技术方案是，ー种SF6微水测试仪，其特征在于包括外壳，外壳内部具有第一气室和第二气室，所述第一气室具有三级管径依次递减的管路，所述第二气室位于第一气室侧边。本实用新型使用该种结构后，其測量时间短、节省用气量。

图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进ー步详细描述。如图I所不,一种SF6微水测试仪,包括外壳3,外壳3内部具有第一气室I和第二气室2，所述第一气室I具有三级管径依次递减的管路，所述第二气室2位于第一气室I侧边。本实用新型的SF6微水测试仪在全量程内做到測量精确可靠，并具有卓越的长期稳定性，它不受灰尘粒子和大多数化学物污染的影响，极适合エ业环境的使用。
权利要求1.一种SF6微水测试仪,其特征在于包括外壳(3),外壳(3)内部具有第一气室(I)和第二气室(2)，所述第一气室(I)具有三级管径依次递减的管路，所述第二气室(2)位于第一气室(I)侧边。
专利摘要本实用新型公开了一种SF6微水测试仪，包括外壳，外壳内部具有第一气室和第二气室，所述第一气室具有三级管径依次递减的管路，所述第二气室位于第一气室侧边。本实用新型测量时间短、节省用气量。
文档编号G01N33/00GK202421158SQ20112016728
公开日2012年9月5日 申请日期2011年5月24日 优先权日2011年5月24日
发明者史晓, 王磊, 谭阳, 陈志刚 申请人:常州埃依琦科技有限公司