专利名称：一种探针修正装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种透视检测机，尤其涉及一种探针修正装置。
背景技术：
半导体测试系统，包括晶圆测试和成品测试；其中，晶圆测试是通过探针台上的探针和晶圆PAD点去接触，以进行测试。现有探针台上的探针比较细，易发生偏移，从而使得探针不能够与晶圆的PAD—一对应起来，此时，需要对探针进行修复；目前，用于修复探针偏移的装置结构复杂，操作繁琐，且效率低下。

发明内容
本发明的目的在于针对上述问题，提供一种探针修正装置，以解决现有用于修复探针偏移的装置结构复杂，操作繁琐，且效率低下的问题。本发明的目的是通过以下技术方案来实现一种探针修正装置，包括探针修复工具，所述探针修复工具的头部设置有与探针相配合的卡钩，且其下端可前后移动的设置在旋转平台上，所述旋转平台可左右移动的设置在水平板上，所述水平板可上下移动的设置在垂直板上。进一步的，所述探针修复工具的下端连接有丝母，所述丝母与设置在旋转平台上的丝杆相配合。进一步的，所述旋转平台的下端连接有水平丝母，所述水平丝母与横向设置在水平板上的水平丝杆相配合。进一步的，所述旋转平台包括底板和转台，所述底板上设置有减速电机，所述减速电机的输出轴与转台固定连接。进一步的，所述水平板的一端纵向开有贯通的螺纹孔，所述螺纹孔与纵向设置在垂直板上的螺杆相配合。本发明的有益效果为，所述探针修正装置结构简单，易于实现，其可通过探针所需修正方向而进行上下、左右、前后的移动，并可根据需要修正的方向进行旋转，操作方便，简单，修正效率高。


图1为本发明一种探针修正装置的结构示意图。图中1、探针修复工具；2、旋转平台；3、水平丝杆；4、水平丝母；5、水平板；6、垂直板；7、螺杆。
具体实施例方式下面结合附图并通过具体实施方式
来进一步说明本发明的技术方案。
请参照图1所示，图1为本发明一种探针修正装置的结构示意图；于本实施例中，一种探针修正装置，包括探针修复工具1，所述探针修复工具I的头部设置有与探针相配合的卡钩，且其下端连接有丝母，所述丝母与设置在旋转平台2上的丝杆相配合，所述丝杆由伺服电机驱动，所述旋转平台2的下端连接有水平丝母4，所述水平丝母4与横向设置在水平板5上的水平丝杆3相配合，所述水平丝杆3由伺服电机驱动，所述水平板5的一端纵向开有贯通的螺纹孔，所述螺纹孔与纵向设置在垂直板6上的螺杆7相配合，所述螺杆7由伺服电机驱动。所述的旋转平台2包括底板和转台，所述底板上设置有减速电机，所述减速电机的输出轴与转台固定连接。使用时，通过伺服电机驱动丝杆，可使得探针修复工具I进行前后移动，通过伺服电机驱动水平丝杆3，可使得探针修复工具I进行左右移动，通过伺服电机驱动螺杆7，可使得探针修复工具I上下移动，通过减速电机，可带动探针修复工具I旋转至所需方向，并通过探针修复工具I头部的卡钩，带动探针移动，实现探针的偏移修复，操作方便，简单，修正效率高。以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求
1.一种探针修正装置，其特征在于包括探针修复工具，所述探针修复工具的头部设置有与探针相配合的卡钩，且其下端可前后移动的设置在旋转平台上，所述旋转平台可左右移动的设置在水平板上，所述水平板可上下移动的设置在垂直板上。
2.根据权利要求1所述的一种探针修正装置，其特征在于所述探针修复工具的下端连接有丝母，所述丝母与设置在旋转平台上的丝杆相配合。
3.根据权利要求1所述的一种探针修正装置，其特征在于所述旋转平台的下端连接有水平丝母，所述水平丝母与横向设置在水平板上的水平丝杆相配合。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种探针修正装置，其特征在于所述旋转平台包括底板和转台，所述底板上设置有减速电机，所述减速电机的输出轴与转台固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种探针修正装置，其特征在于所述水平板的一端纵向开有贯通的螺纹孔，所述螺纹孔与纵向设置在垂直板上的螺杆相配合。
全文摘要
本发明公开一种探针修正装置，包括探针修复工具，所述探针修复工具的头部设置有与探针相配合的卡钩，且其下端可前后移动的设置在旋转平台上，所述旋转平台可左右移动的设置在水平板上，所述水平板可上下移动的设置在垂直板上。所述探针修正装置结构简单，易于实现，其可通过探针所需修正方向而进行上下、左右、前后的移动，并可根据需要修正的方向进行旋转，操作方便，简单，修正效率高。
文档编号G01R3/00GK103018505SQ20121051020
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日
发明者虞君新, 刘波 申请人:无锡圆方半导体测试有限公司