专利名称：压力传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压力传感器。
欧洲专利申请97 105 396公开了一种压力或压差传感器，其中装有一个膜片，该膜片带有一个处于其上的测量元件。该膜片形成在一个支座中，该支座密封地夹紧或者粘贴到一个两部分的固定件中。在膜片上的测量元件通过电线与其它的电子部件连接，所述电子部件设置在一个电路板上。所述电路板与支座间隔，固定在所述固定件的一个部分上。在固定件的两个部分中各自形成有通孔，以借助压力对膜片加载。为此固定件的两个部分都必须与外部的连接槽路相对壳体密封地连接。为此需要附加密封件。总之，该压力传感器的结构费用高，并且由于必需设置其它的密封件，所以将压力传感器装入壳体中很复杂。由于必须把附加的密封件设于固定件和壳体之间，因此不可能将壳体构造成一体。
本发明的目的是，提供一种改善了的压力传感器，其具有简化了的结构，可以更简单地结合到壳体中，并且可以用于腐蚀性的流体和气体。
该目的是通过一种具有权利要求1所述特征的压力传感器来完成的。优选的实施方式由从属权利要求给出。
根据本发明的压力传感器具有一膜片和至少一个测量元件，该测量元件设置在该膜片上，用以检测膜片的偏移。以此方式，当把膜片牢固地夹紧并且加载压力时，由于膜片的偏移使得作用的压力可以被检测。为了容纳密封元件，设有至少一个设置在膜片表面上的夹持件。该夹持件具有一个面向膜片表面的通孔，该通孔的截面与待装入的密封件的外轮廓相对应。以此方式，该密封件通过该夹持件定位和固定。以此方式固定在该膜片上的密封件可以使该膜片与夹持件一起沿平行于该膜片表面的方向推入到壳体的一凹陷内。从而可以把该膜片与夹持件一起简单地插入到该壳体中的一个相应的凹陷中。因为在装配时不要求在该壳体与膜片或者其夹持件之间装入单独的密封件，所以可以将该壳体构成为一体。该密封件在插进该壳体之前，已经通过该夹持件在要求的位置固定到该膜片上了。
优选地，在膜片的两个彼此相对的表面的每个表面上各设置一个夹持件，所述夹持件各具有一个面向膜片表面的通孔，所述通孔的截面与待装入的密封件的外轮廓相对应。通过设置两个夹持件可以分别在一个所要求的位置上把密封件固定在两个彼此相对的膜片表面上。所述密封件的作用是，使膜片相对壳体密封，其中膜片和夹持件一起装入到壳体中。通过这种设置还可以使膜片与夹持件一起沿平行于膜片表面的方向插入到所述壳体中的一个凹陷内。因为在装配时膜片或者其夹持件与壳体之间不装入密封件，所以可以不用将壳体构造成两个部分。由于在装配之前密封件已经被设置到夹持件相应的通孔中了，由此可以把密封件放置于膜片与壳体之间的预定位置上。
适宜地，夹持件在通孔范围内的厚度小于待装入的密封件的厚度。从而密封件可以相对夹持件的两侧从其表面上伸出。以此方式可以确保密封件以一侧贴靠在膜片表面上，且以另一侧贴靠在其中安装有膜片的壳体的一个壳壁上。从而把密封件弹性地压紧在膜片表面与壳体之间，以便可以平整地并且完全密封地贴靠在膜片表面和壳体上。
优选地，所述密封件是密封圈，并且尤其是O形密封圈。在此情况下所述通孔的直径与O形密封圈的外径相对应，从而可以把所述O形密封圈严丝合缝地固定在通孔中。O形密封圈的厚度优选大于所述通孔的长度，从而O形密封圈可以在夹持件的两侧或表面上伸出，以能够密封地贴靠在膜片表面和壳壁上。
在一个优选的实施方式中，所述密封件与夹持件牢固地连接，尤其被构成为一体。例如，所述密封件可以用弹性材料制成，其可严丝合缝地包围在通孔区域中的夹持件。所述夹持件可以用弹性材料挤压包封在通孔的区域中。特别地，当夹持件与密封件都由塑料制成时，可以把这两个元件彼此喷注在一起，从而形成一个一体化的部件。在此所述密封件优选用与夹持件不同的材料制造。为了保证足够的密封特性，密封件优选用弹性材料制造，而夹持件优选用硬的和形状稳定的材料制造。
优选地，两个夹持件通过至少一个卡槽连接件相互连接。因为不需要附加的连接件或者胶粘剂，这使之能够非常简单的装配。特别地，这样的卡槽连接件可以在用塑料制造的夹持件中非常容易地形成为卡槽销键(Rastnasen)或者卡槽钩(Rasthaken)，所述卡槽销键或者卡槽钩可以啮合到另一个夹持件上的相应开口中。
另外优选地，这两个夹持件构成为一体，并且通过一个铰链互相连接。这种铰链特别是一种片状铰链，就是说一个在材料中限定的薄弱处，以能够铰接地相互运动两个夹持件。从而所述夹持件可以共同地例如用浇铸的方式制造成平坦的条带。在此，一个这样连接的铰链与这两个夹持件浇注为一体。然后在装配时，两个夹持件就可以绕所述铰链彼此重叠折合在一起。从而可以通过相应的槽卡件(Rastelemente)把两个夹持件彼此固定。之后再把所述膜片可靠地设置在两个夹持件之间。
另外优选地，在至少一个夹持件中、在一个表面上形成有一围绕所述通孔的缩进部，用以容纳所述膜片。在装配中，膜片被完全地放置于该缩进部之内。因为膜片被放置于由缩进部形成的凹陷中，所以可以使两个夹持件的周边区域相互贴靠。
在一个特别优选的实施方式中，形成有至少一个为电路板的夹持件。在此电路板上可以设置其它的电子部件，例如用于传输、分析和/或处理由测量元件产生的测量信号。该电路板有双重功能，一方面它承载电子部件，另一方面它同时用作密封件的夹持件。以此方式可以减少所需要的部件数量。
所述膜片优选通过在通孔的周边区域中设置的接触部与在电路板上形成的印制导线电连接。在此设置中，膜片可以借助相应的接触部直接安放在电路板上，从而不再需要导线把膜片电连接到所述电路板上。为了实现电连接，膜片上的接触部直接位于电路板上的接触部上。接触部的彼此连接采用公知的方式进行，例如通过捆扎或者焊接。根据一个优选实施方式，膜片也可以粘接在电路板上。在此优选地采用一种硬缩的胶粘剂。如果在接触部的区域采用这种胶粘剂，胶粘剂的收缩发生作用，使得在胶粘剂硬化的时候将膜片与电路板上的接触部相互靠拢，从而出现相互的接触。同时，周围的胶粘剂形成一保护层，该保护层保护形成的接触不受周围环境的影响。可变化地或者附加地是，该膜片和其上设有电子或电气部件的整个电路板可以配备有一个表面锁定装置。
另外优选地，在所述膜片与电路板间的接触部之间优选形成一个平行于膜片表面的间隙，该间隙从通孔伸到膜片的外周边。该间隙在各个接触部之间连接通孔的内部与膜片的外周边上的大气环境。这种间隙可以通过使接触部有一定的结构高度来产生，从而把所述膜片设置成相对夹持件或电路板的表面有一定的距离。这样，在各个接触部之间产生构成贯穿间隙的自由空间。所述间隙起到在密封件与通孔之间排气的作用。这样的优点是，在密封件不需是完全扩散密封(diffusionsdicht)的情况下，抵达密封件背侧的液体，特别是湿气可以通过所述间隙被排放到大气中。从而能够避免在压力传感器内部中的湿气聚集在背离流体槽路的密封件的背侧上。通过所述间隙给密封件的背后通风(hinterluft)，从而向外排出可能透过密封件的湿气。
另外提出一种优选的传感器壳体，将膜片连同夹持件在所述传感器壳体中沿着平行于膜片表面的方向这样地插入，即使得装入到夹持件的通孔中的密封件布置在膜片表面与传感器壳体之间。制造一个具有这样的传感器壳体的传感器是非常有利于成本的，并且易于安装。在所述的传感器壳体中只需要设置一个凹陷或者说一个孔，把夹持件连同膜片一起插入其中。因为不需要把壳体与膜片表面正交地组装到一起来固定设于其间的密封件，所以这样的传感器壳体可以被构成为一体。由于可以事先把密封件设置和固定在夹持件中，故可以把由夹持件、膜片和密封件组成的一个单元简单地沿平行于膜片表面的方向插入到传感器壳体中。
在传感器壳体中优选设置两个连接孔，所述连接孔各自面对地通入到夹持件中的通孔中的一个，其中装入到通孔中的密封件布置在传感器壳体的连接孔的汇合处的周边。传感器壳体中的连接孔的作用是，通过待测量的液体流或者流体压力对所述膜片加载。例如可以把压力传感器构成为压差传感器，其中用所述膜片检测两个连接孔之间的压力差。变化地，可以使一个连接孔借助待测定其压力的流体加载，而第二个相对于所述膜片设置的连接孔借助大气来加载。以此方式可以确定流体压相对大气压的压力。此外，还可以把这样的具有两个都向外开放的连接孔的传感器壳体放置到水流中，以检测那里的压力差。
优选地，至少传感器壳体的接触流体的部分被构成为一体，从而传感器壳体的接触流体的部分是这样的一个其中设置有带有夹持件的膜片的部分，即这样一个部分，在该部分中形成用于对膜片加载压力的连接孔。因为不需要密封多件体的传感器壳体的其它密封件，这是很有利的，尤其是将该部分构造成为一体，通过该部分向膜片引入流体。另外优选的是，整个传感器壳体被构造成为一体，这可以有利成本地制造传感器壳体。
下面参照


本发明的实施例。在附图中图1是装有膜片的两个夹持件的截面图；图2是传感器壳体的截面图；图3是根据本发明的传感器的装配示意图；图4是装有膜片的一个夹持件的截面图；图5是根据图4设置的俯视图；图6是根据本发明的传感器的一个优选实施方式的截面图；图7是另一个实施方式的截面图；图8是第三个实施方式的截面图；以及图9是第四个实施方式的截面图。
图1示出了根据本发明的压力传感器的一个部分的截面图。所述压力传感器具有一个膜片2，在膜片2上构成至少一个用于检测压力的测量元件。为了测量压力，按照申请号为97 105 396.2的欧洲专利申请说明的方法构成膜片2。压力测量通过膜片2的偏移进行，膜片的偏移通过设置在膜片2上的测量元件检测。膜片2设置在两个夹持件4和6之间。在两个夹持件4和6之间形成两个相互对齐的通孔8和10。所述通孔8和10起固定形式为O形密封圈12和14的两个密封圈的作用。所述夹持件4构成为电路板，在其上设置有其它的电气或电子部件或连接件，以传输和/或处理由设置在膜片2上的测量元件产生的信号。为了传输信号，膜片2与夹持件4上的相应接触部连接，如后文所述。从夹持件4或者电路板4伸出向外传输测量信号的连接线路16。在夹持件6中、在背离夹持件的一侧，围绕通孔10形成有一个缩进部(Absatz)或者一个凹陷18，在其中容纳膜片2。也就是说，凹陷在与夹持件6的表面正交的方向上具有基本上至少与膜片2的厚度相对应的深度。这样就可以使夹持件4和6平整、简单地彼此设置，从而把膜片2完整地容纳到凹陷18中。夹持件4和6通过卡槽连接件20牢固地相互连接。
具有通孔8和10的夹持件4和6尤其起到了引导或定位密封件12和14的作用。这样把密封件12和14设置到通孔8和10中，使它们与膜片2相对的表面接触。另外，密封件12和14的厚度分别大于夹持件4和6的厚度，从而密封件12、14从夹持件4和6的外表面突出。这使得密封件12和14能够与放置图1所示组件的一个壳体的壁直接接触。从而可以直接进行膜片在所述壳体上的密封，而不必在夹持件4和6与邻接的壳体之间嵌入附加的密封件。
图2示出了一个传感器壳体22的截面图，其中可装入图1所示的组件。传感器壳体22具有一个孔24，在所述的孔24中，沿平行于膜片2的表面的方向插入由夹持件4和6、夹在其间的的膜片2和密封件12、14组成的如图1所示的组件。在孔24中的侧面上形成有连接孔26，所述连接孔基本上正交于孔24的纵轴或者说正交于图1所示的组件的插入方向X。通过使用如图1所示的预制的组件，装入到夹持件4和6中的密封圈12和14被安放在连接孔26的周围区域、孔24的表面上。以此方式可以使膜片2直接相对壳体22密封，而不必在壳体22与夹持件4和6之间再出现密封的交接区。连接孔26用相应的连接管线连接，或者与周围连接，以借助所希望测量的压力加载膜片2。如果把壳体22装入到用于在其中测定压力的设备或者装置之中，那么在壳体22外可设置另一个密封圈28，以密封壳体22。
图3分步骤地示出了根据本发明的压力传感器的组装过程。在步骤(A)中示出了一个同时起到第一夹持件作用的电路板4。在电路板4上设置电器部件30，以通过公知的方式传输和/或进一步处理测量信号。另外，在电路板4中形成有通孔8。电路板上的膜片2放置于该通孔8上。然后通孔8起到借助压力对膜片2加载的作用。设置在膜片2上的测量元件(在此没有详细地示出)与在电路板4上形成的印制导线电连接。其是这样进行的，即使设置在膜片2上的印制导线或者接点与电路板4表面上的相应接触部产生接触。另外，在电路板4中设置了另一个通孔32，以能够容纳将电路板4和第二夹持件6连接的卡槽元件。
图(B)示出了组装根据本发明的传感器的第二步骤。在其上设置有膜片2的电路板4上安放夹持件6。在此，夹持件6平整地放置在电路板4或者说第一夹持件4的上面。膜片2被容纳在夹持件6上的一个凹陷18中，从而夹持件4和6能够借助其表面简单地相互贴靠。在第二夹持件6中形成的通孔10基本上与电路板4中的通孔8对齐设置。之后可以通过两个通孔8和10从两侧向膜片2加载压力，以测定两侧之间的压差。夹持件6具有一个朝向电路板4的卡槽凸起34，该卡槽凸起34啮合到电路板4中的通孔32中，从而把夹持件6与电路板4固定在一起。附加的变化是，可以将夹持件4和6例如相互胶合或者铆接在一起。在一个优选的实施方式中，夹持件6和电路板4是一体的，优选用塑料制造。为此可以在电路板4和夹持件6之间的侧缘36上形成一个连接电路板4与夹持件6的片状铰链。在制造时可以把夹持件6和电路板4喷注或者浇铸成一体的条片。安装时，就在侧缘36处绕所述铰链折合夹持件6，从而，如图3(B)所示，其被放置在电路板4上，然后通过卡槽凸起34与电路板4固定在一起。
在步骤(C)中，在图3(D)所示的设置中，从外面把密封圈12和14放到电路板4和夹持件6中的通孔8和10中。通孔8和10的尺寸与待装入的密封圈12和14优选这样相互匹配，即使得密封圈12和14的外周或者说直径与通孔的内截面相对应。从而可以把密封圈12和14在平行于膜片表面的方向上定位并固定在膜片2上。密封圈12和14各自的厚度大于电路板4或者夹持件6在通孔8或者通孔10的范围内的厚度。以这样的方式达到，密封圈14超出夹持件6的外表面突出，并且密封圈12超出电路板4的外表面向外突出。
图3(D)示出了待安装的如图3(C)所示的组件推入或者说装入到传感器壳体中的状态。壳体22可以是一体化构成的，并且具有一个孔24。在所述孔24中沿箭头X的方向，也就是说沿平行于膜片2的表面的方向上，推入由两个夹持件4和6、膜片2以及内装的密封件12和14构成的图3(C)所示的组件。优选地，在孔24上形成一个斜边25，以避免损害密封件12、14。从而从电路板4和夹持件6的表面向外突出的密封件12和14的区域与孔24的内壁密封地贴靠。以此方式可以使膜片2相对孔24中的表面密封。把电路板4与夹持件6一起向孔24中推进，直到通孔8和10与壳体22中的连接孔26对齐地设置。在此，密封件12和14在连接孔26的周围区域中贴靠在孔24的内壁上。从而建立了从连接孔26到膜片2的两个相对的膜片表面的密封的槽路。以此方式可以通过连接孔26从两侧借助压力加载膜片2，以根据出现的膜片的偏移测定两侧之间的压差。以此方式安装的传感器可以装进要测定压力的设备中。为此壳体22在其外周具有另一个密封件28，所述密封件28密封在所述设备的相应的孔或者凹陷中。
图4示出了带有安装好的膜片2的电路板4的末端区域截面示意图。如在专利申请EP 97 105 396.2中所说明的一样，膜片2在其中间具有一个渐细的区域38，所述渐细的区域38构成为压力测量而偏移的真正意义上的膜片。该薄化了的或者说渐细的区域38的周围区域起支座的作用。膜片2设置在电路板4中的通孔8上，以使渐细的区域38尽可能地相对通孔8对中地设置。用于测定膜片2的或者说膜片2的渐细的区域38偏移的电子或者电气部件被设置在膜片2上，其通过接触部40和42与电路板4连接。在膜片2上从测量元件向朝向电路板4的接触部40引出相应的印制导线。在电路板4的表面上形成与膜片2上的接触部40发生接触的接触部42。接触部42通过形成在电路板4上的印制导线与电路板4上的其它电子部件和/或连接线路16连接。
图5示出了带有图4所示的膜片2的电路板4的俯视图。在图5中的A-A线示出了图4所示的截面沿之剖取的剖面线。在图5的图示中，还示出了在前视图中本来是放在膜片2下部的元件。在电路板4中的通孔8中设置形式为O形密封圈的密封圈12。通孔8的周围、在四个相互等距离的点上设有接触部42，所述接触部42与膜片2上的相应的、对置的接触部40接触。接触部40和42的相互连接以公知的方式，例如通过焊接或者梱扎进行。变化地，膜片2还可以借助一种胶粘剂43与电路板4连接。在此最好选择硬化时收缩的胶粘剂43。如果在接触部40、42的区域中采用这样的胶粘剂43时，胶粘剂43在硬化时的收缩将发生作用，把接触部40和42相互地拉拢，并且使之相互接触地贴靠。同时周围的胶粘剂还形成了一个保护层。接触部40和42相对电路板表面正交地具有这样的结构厚度，以使膜片2相对电路板4隔开设置。由此形成处于接触部之间的间隙44，所述的间隙44起到对通孔8排气的作用。所述间隙从通孔8中的密封件12的后方空间伸向膜片2的外周。这样的优点是，通过密封件12渗入的流体，特别是湿气可以从密封件12与通孔8的内壁之间的后方空间向外逸出。为此目的可以在夹持件4、6上设置一个连接通路。
图6至9示出了壳体22的不同的实施方式，其中，在壳体22内部设置的由电路板4、夹持件6、膜片2和密封件12和14构成的组件全都是一样的，并且与图1到图3所描述的设置是一致的。图6所示的壳体22基本上与图2和图3(D)说明的壳体的结构一致。在所述壳体中形成有两个连接孔26，所述的连接孔26与电路板4或者夹持件6中的通孔8和10连接，用于对膜片2加载压力。根据图6的实施方式，一个连接孔26与一个槽路46连接，所述的槽路46在壳体22的后方空间中延伸，压力传感器的连接线路16也处在所述空间中。该区域是壳体22的背离待测量流体的区域。从而槽路46与传感器外部的环境空气连接。这样可以相对环境压力测定进入槽路48中的流体的压力。槽路48与第二个连接孔26连接，从而可以通过槽路48对膜片2加载具有压力的流体。
图7示出了壳体22的另一个实施方式。在此壳体22中也有一个槽路48，膜片2可以通过所述槽路48借助流体的压力加载。该槽路48通入到壳体22的外侧。图7中所示的壳体22在其外侧具有一个第二密封圈52。槽路48通入到两个密封圈28与52之间的空间中，并且可以以此方式与第一流体槽路连接。处在与槽路48相对的膜片2一侧上的第二连接孔26与一个槽路50连接。该槽路50同样地在一个区域向壳体22的外侧开口，所述区域通过密封圈52与槽路48通入到其中的那个区域分隔开。以此方式就可以测量槽路48与槽路50之间的压差，其中槽路48和50可以分别地与流体管线连接。以此方式可以测定两个管线之间的压差。
图8示出了壳体22的第三实施方式。在此实施方式中，连接孔26从膜片2起，沿电路板4和夹持件6中的通孔8和10的延长线与壳体22的外侧正交地向外伸出。在其中设置有所述膜片的壳体22的区域形成渐细的突起54，在突起54的两个相对的侧面上各通入一个连接孔26。这样构成的壳体22可以装进一个流体槽路中，其中所述壳体通过密封件28与外部密封。在此，将突起54伸入到流体流中，并且可以以此方式检测流体流中的压差。
图9示出了壳体22的第四个优选实施方式。此实施方式基本上与图6所描述的实施方式一致，但是，在其中设置有膜片的壳体的接触流体的部分形成为类似于图8所示的窄小的突起54。这样形成的突起56同样可以用于伸入到水流中，在那里测定压力。在此，一个连接孔26向突起56的外侧开放，就是说向流体流中开放，而第二个连接孔26通过槽路46与周围的环境连接。这与图6的构造一致。从而在这里可以相对环境压力测定流体流中的压力。
附图标记一览表2膜片4电路板6夹持件8通孔10通孔12、14密封件16连接线路18凹陷20卡槽连接件24孔25斜边26连接孔28密封件30电器部件32通孔34卡槽凸起36侧缘38渐细的区域40、42接触部43胶粘剂44间隙46槽路48槽路50槽路52密封件54突起56突起
权利要求
1.一种压力传感器，设有一膜片(2)和至少一个测量元件，所述测量元件设置在该膜片(2)上，用于检测膜片的偏移，其特征在于，设有至少一个夹持件(4)，所述夹持件(4)设置在该膜片(2)的一个表面上，用于容纳一密封件(12)，所述夹持件(4)具有一个面向该膜片表面的通孔(8)，该通孔(8)的截面与待装入的密封件(12)的外轮廓相对应。
2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，在该膜片(2)的两个彼此相对的表面上各设置一个夹持件(4、6)，所述夹持件(4、6)各具有一个面向所述膜片表面的通孔(8、10)，所述通孔(8、10)的截面与待装入的密封件(12、14)的外轮廓对应。
3.如权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，所述夹持件(4、5)在所述通孔(8、10)的区域内的厚度比待装入的密封件(12、14)的厚度小。
4.如上述权利要求之一所述的压力传感器，其特征在于，所述密封件(12、14)是密封圈，并且尤其是O形密封圈。
5.如上述权利要求之一所述的压力传感器，其特征在于，所述密封件(12、14)与所述夹持件(4、6)牢固地连接，尤其是与之构成为一体。
6.如权利要求2至5中任一项所述的压力传感器，其特征在于，两个夹持件(4、6)通过至少一个卡槽连接件(20)相互连接。
7.如权利要求2至6中任一项所述的压力传感器，其特征在于，两个夹持件(4、6)构成为一体，并且通过一铰链相互连接。
8.如上述权利要求之一所述的压力传感器，其特征在于，在至少一个夹持件(6)中、在一个表面上形成一围绕所述通孔(10)的缩进部(18)，用以容纳该膜片(2)。
9.如以上权利要求之一所述的压力传感器，其特征在于，至少一个夹持件(4)由电路板构成。
10.如权利要求9所述的压力传感器，其特征在于，该膜片(2)通过设置在所述通孔(8)的周边区域中的接触部(40、42)与在该电路板(4)上形成的印制导线电连接。
11.如权利要求10所述的压力传感器，其特征在于，在该膜片(2)与该电路板(4)之间的所述接触部(40、42)之间优选地形成间隙(44)，所述间隙(44)与该膜片表面平行，从所述通孔(8)伸到该膜片(2)的外周边。
12.如以上权利要求之一所述的压力传感器，其特征在于，设置有一传感器壳体(22)，该膜片(2)连同所述夹持件(4、6)沿着平行于该膜片表面的方向这样地被插入到该传感器壳体(22)中，即使得装入到所述夹持件的通孔(8、10)中的密封件(12、14)布置在膜片表面与该传感器壳体(22)之间。
13.如权利要求12所述的压力传感器，其特征在于，在该传感器壳体(22)中设置两个连接孔(26)，所述连接孔(26)各自相对地通入到所述夹持件(4、6)中的通孔(8、10)中的一个，从而装入到所述通孔(8、10)中的密封件(12、14)布置在该传感器壳体(22)的所述连接孔(26)的汇合处的周边。
14.如权利要求12或13所述的压力传感器，其特征在于，至少该传感器壳体(22)的接触流体的部分被构成为一体。
全文摘要
本发明涉及一种压力传感器，设有一膜片(2)和至少一个测量元件，所述测量元件设置在该膜片(2)上，用于检测膜片的偏移。设有至少一个夹持件(4)，所述夹持件(4)设置在该膜片(2)的一个表面上，用于容纳一密封件(12)，所述夹持件(4)具有一面向该膜片表面的通孔(8、10)，所述通孔(8、10)的截面与一待装入的密封件(12)的外轮廓相对应。
文档编号G01L9/00GK1646889SQ03808291
公开日2005年7月27日 申请日期2003年4月8日 优先权日2002年4月12日
发明者斯滕·米克尔森, 佩尔·安诺生, 延斯·彼得·克罗 申请人:格伦德福斯联合股份公司