专利名称：一种薄膜漏光检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光学检测技术领域，具体涉及ー种光学薄膜漏光检测装置。
背景技术：
在光学玻璃等透光率良好的衬底上镀膜后，我们往往希望这层膜的致密性良好不漏光。然而，在现实的镀膜技术中，由于受到镀膜材料、镀膜方法、镀膜仪器等各种因素的影响，镀膜表面总会存在漏光点，这些漏光点往往会影响膜的光学性能。例如，在激光驱动空间碎片撞击试验中，如果镀到光学玻璃上的膜表面存在漏光点，那么经激光驱动打出的碎片就会非常小，实验现象不明显，难以得到准确的实验数据。因此，如何检测膜表面是否存在漏光点就显得至关重要。而关于不同材料和用途的漏光检测装置，目前见报道的只有两种。ー种是授权公告号CN 201749017U的实用新型名称是《风管漏光检测装置》的实用新型专利，目的是利用光线对小孔的强穿透力，对风管进行严密性检测；另ー种是授权公告号 CN201795912U的实用新型名称是《在线漏光检测仪》的实用新型专利，目的是通过对易拉盖表面漏光的检测判断其表面是否存在微小孔。因此，还没有一种专门的用于检测薄膜是否漏光的方法和装置。
发明内容本实用新型的目的是提供ー种制作简易、操作方便、价格低廉、观察效果良好的薄膜漏光检测装置。可以广泛应用到各行各业类似光学薄膜的质量检测评估中。本实用新型的目的是这样来实现的，该实用新型薄膜漏光检测装置，由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、观察筒和样品夹具构成，所述的LED光源和LED固定圈设置在LED固定筒的内部，并且LED光源通过LED固定圈固定，所述的底座与LED固定筒通过螺钉固定连接，所述的LED固定筒、聚光筒和观察筒三者顺次通过螺钉连接后，固定在支架上，聚光筒上设置样品台，被观察的薄膜样品直接放置在样品台上，或者通过样品夹具固定后放置在样品台上。所述的支架上具有ー对具有开ロ的卡箍结构，连接好的整个漏光检测装置通过卡箍实现固定。在所述的卡箍的下方位置的支架上还设置有角度调节旋钮，角度调节旋钮与支撑卡箍的支撑杆之间为轴连接。所述的LED光源是由三个不同顔色的LED灯组成，三个LED灯分别能发出不同亮度的光线。所述的聚光筒的厚度从下到上依次増大；样品夹具的形状外形为圆形，在圆形内具有方形孔，方形孔内用于放置样品。样品夹具内的方形孔可根据薄膜样品的形状、大小、基底的厚度设计成不同的样式，这样就可以达到检测多种不同薄膜样品是否漏光的目的。

图I是本实用新型薄膜漏光检测装置的立体结构示意图；图2是本实用新型中底座的结构示意图；[0009]图3是本实用新型中LED固定筒的结构示意图；图4是本实用新型中聚光筒和样品台的结构示意图；图5是本实用新型中LED光源和LED固定圈的结构示意图；图6是本实用新型中样品夹具的结构示意图；图7是本实用新型中支架的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型提供的薄膜漏光检验装置进行详细说明。 本实用新型的薄膜漏光检测装置，如图I 7所示，主要由支架I、底座2、LED光源3、LED固定筒4、LED固定圈5、聚光筒6、观察筒7、样品夹具8构成。整个漏光检测装置可以围绕支架I上方的角度调节旋钮9在0-90度间任意旋转。所述的LED光源3通过LED固定圈5进行固定，然后通过LED固定圈5设置在LED固定筒4的内部，所述的LED光源3是由三个不同顔色的LED灯组成，如图5所示，三个LED灯分别能发出不同顔色和亮度的光线，通过控制其中两个LED灯或三个LED灯的开关和调节它们各自发光的亮度可以使整个LED光源3发出不同顔色的光，观察者可以根据薄膜样品对光的反射、吸收、透射等情况的不同选择不同顔色的光对其表面漏光情况进行观察。所述的底座2如图2所示，为ー圆盘结构，圆盘大小与图3中所示的LED固定筒4的外径相同，并且可以通过螺钉将底座2与LED固定筒4固定连接。所述的LED固定筒4、聚光筒6和观察筒7三者顺次通过螺钉连接后，固定在支架I上，如图7所示，所述的支架I上具有ー对具有开ロ的卡箍101结构，将安装好的整个漏光检测装置通过卡箍101开ロ放入卡箍101内，然后通过螺丝将卡箍101的开ロ旋紧，实现固定。在所述的卡箍101的下方位置的支架I上还设置有角度调节旋钮9，角度调节旋钮9与支撑卡箍101的支撑杆102之间为轴连接，这样可以使得卡箍101上固定的整个漏光检测装置绕角度调节旋钮9旋转，旋转角度为0-90度间。聚光筒6的厚度从下到上依次増大，如图4，聚光筒6顶部的样品台10上有两个大小相同、位置対称的凹槽，便于取放被观察的薄膜样品；同时聚光筒6将LED灯发出的光线聚焦到被观察薄膜样品的底部。聚光筒6上方的样品台10可以直接放置被观察的薄膜样品，也可以放置样品夹具8。如图6，样品夹具8内的方形孔801可根据薄膜样品的形状、大小、基底的厚度设计成不同的样式，这样就可以达到检测多种不同薄膜样品是否漏光的目的，本实用新型中优选的，将样品夹具8的形状设计为外形为圆形，这样有利干与其它的部件相配合连接，在圆形内具有方形孔801，方形孔801内用于放置样品。所述的底座2、LED固定筒4、带有样品台的聚光筒6、观察筒7、样品夹具8是由塑料材料经过热成型加工制造。所述的LED固定圈5和支架I是用不锈钢加工制造的。本实用新型的安装方法是这样的先将LED光源3放置于LED固定筒4内，用螺丝将底座2和LED固定筒4连接，用LED固定圈5将LED光源3固定，再用螺丝将LED固定圈5固定在LED固定筒4上，用同样的方法依次将带有样品台的聚光筒6、观察筒7安装上，最后将安装好的检测装置固定到支架I上。所述的LED光源3是由红、緑、蓝三个不同顔色的LED灯组成，它们分别能发出不同颜色和亮度的光线。底座2、LED固定筒4、聚光筒6及观察筒7的塑料颜色全部采用黑色。[0019]该实用新型薄膜漏光检验装置是这样对薄膜样品进行检测的步骤I、取下观察筒7，用镊子夹持薄膜样品通过凹槽放置于样品台上；步骤2、装上观察筒7，打开LED灯，先让其发红色光，眼睛紧贴观察筒7顶部，调节薄膜漏光检测装置的角度直到观察者感到比较舒服方便为止，对样品表面进行观察。步骤3、调节LED灯直到发出紫色光，用步骤2中的方法对样品表面进行观察。本实用新型制作简单、价格低廉、操作方便，用它来观察薄膜样品能够非常准确迅速的判断出薄膜表面是否有漏光点、漏光点的位置、漏光点的密集程度及漏光点的大小。此种薄膜漏光检装置对镀到玻璃等透光率良好的衬底上的金属膜、氮化硅等不透光的薄膜的漏光检测效果非常好。
权利要求1.一种薄膜漏光检测装置，其特征在于由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、观察筒和样品夹具构成，所述的LED光源和LED固定圈设置在LED固定筒的内部，并且LED光源通过LED固定圈固定，所述的底座与LED固定筒通过螺钉固定连接，所述的LED固定筒、聚光筒和观察筒三者顺次通过螺钉连接后，固定在支架上，聚光筒上设置样品台，被观察的薄膜样品直接放置在样品台上，或者通过样品夹具固定后放置在样品台上。
2.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于所述的支架上具有一对具有开口的卡箍结构，连接好的整个漏光检测装置过卡箍实现固定。
3.根据权利要求2所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于在所述的卡箍的下方位置的支架上还设置有角度调节旋钮，角度调节旋钮与支撑卡箍的支撑杆之间为轴连接。
4.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于所述的LED光源是由三个不同颜色的LED灯组成，三个LED灯分别能发出不同颜色不同亮度的光线。
5.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于所述的聚光筒的厚度从下到上依次增大。
6.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于样品夹具的形状外形为圆形，在圆形内具有方形孔，方形孔内用于放置样品。
7.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于所述的底座、LED固定筒、带有样品台的聚光筒、观察筒、样品夹具是由塑料材料经过热成型加工制造；所述的LED固定圈和支架是用不锈钢加工制造的。
8.根据权利要求I所述的一种薄膜漏光检测装置，其特征在于所述的底座为一圆盘结构，圆盘大小与LED固定筒的外径相同。
专利摘要本实用新型公开了一种薄膜漏光检测装置，属于光学检测技术领域。该薄膜漏光检测装置由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、观察筒和样品夹具构成，所述的LED光源和LED固定圈设置在LED固定筒的内部，并且LED光源通过LED固定圈固定，所述的底座与LED固定筒通过螺钉固定连接，所述的LED固定筒、聚光筒和观察筒三者顺次通过螺钉连接后，固定在支架上，聚光筒上设置样品台，被观察的薄膜样品直接放置在样品台上，或者通过样品夹具固定后放置在样品台上。本实用新型的目的是提供一种制作简易、操作方便、价格低廉、观察效果良好的筛查薄膜质量的漏光检测装置。
文档编号G01N21/88GK202471603SQ20122000856
公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月10日 优先权日2012年1月10日
发明者张丽, 王三胜 申请人:北京鼎臣超导科技有限公司