专利名称:半导体激光器的出光发散角检测装置的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及一种半导体激光器的出光发散角检测装置。
背景技术:
在光通信器件生产领域,需要将半导体激光器TO的焦点光耦合进适配器,假如半导体激光器TO的出光发散角角度偏移,则会导致耦合适配器错位、耦合效率低下、耦合速度降低的问题。为在前端就可判定半导体激光器TO出光部分是否偏移,提供一种准确的半导体激光器TO出光发散角角度测量装置显得非常必要。
实用新型内容本实用新型要解决技术问题是提供一种半导体激光器的出光发散角检测装置,该半导体激光器的出光发散角检测装置结构简单、易于实施、能快速检测出半导体激光器的出光发散角的偏移状况及偏移程度。本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是一种半导体激光器的出光发散角检测装置,半导体激光器接直流电源,在以半导体激光器为圆心的半圆形轨迹或轨道上运动的半导体激光探测器与用于采集反映X轴光强分布和Y轴光强分布的电流数据的直流电流表相接。直流电流表的数据输出端接微处理器,在微处理器中设有根据直流电流表采集的电流数据绘制出光强分布曲线从而得到半导体激光器的出光发散角的数据处理单元。本实用新型的有益效果本实用新型的半导体激光器的出光发散角检测装置,采用简单的仪器设备测出 0-180°内的X轴和Y轴的光强分布数据(实际上测出的是电流数据,电流数据反映光强分布),再根据X轴和Y轴的光强分布数据制作X-Y光强分布曲线,最后根据X-Y光强分布曲线即可检测出半导体激光器的出光发散角的偏移状况及偏移程度。因此,本实用新型结构简单、易于实施,且测量精度高。本实用新型的半导体激光器的出光发散角检测装置对于芯片研发后的检测、TO封装后的检测都具有重大的意义。
图1为实施例1的半导体激光器的出光发散角检测装置的结构示意图;图2为X-Y光强分布曲线,图a为无光偏移的X-Y光强分布曲线,图b为有光偏移的X-Y光强分布曲线。图2中的X轴坐标为度数,以X轴移动的半导体激光探测器相对于半导体激光器的90°标示为0,便于直观的观察分布情况。Y轴坐标为连接半导体激光探测器的直流电流表采集到的电流值,单位为毫安。标号说明1-半导体激光探测器,2-半导体激光器,3-半圆形轨迹。
具体实施方式
[0012]
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。实施例1如图1所示,一种半导体激光器的出光发散角检测装置,半导体激光器接直流电源,在以半导体激光器为圆心的半圆形轨迹或轨道上运动的半导体激光探测器与用于采集反映X轴光强分布和Y轴光强分布的电流数据的直流电流表相接。直流电流表的数据输出端接微处理器,在微处理器中设有根据直流电流表采集的电流数据绘制出光强分布曲线从而得到半导体激光器的出光发散角的数据处理单元。工作过程如下首先将待检测半导体激光器接入直流电流驱动源(1),开启直流电流驱动源使半导体激光器工作。然后将半导体光探测器进行固定并接入直流电流表,将半导体光探测器置于半导体激光器平行位置,以半导体激光器为中心呈半圆形移动,每移动一度测量一次半导体光探测器产尘的电流,直至移动到180度即可测量出半导体激光器的X轴光强分布。然后将半导体激光器旋转90度,再次反向移动半导体光探测器,以半导体激光器TO为中心呈半圆形移动,每移动一度测量一次半导体光探测器产生的电流,直至移动到0度即可测量出半导体激光器TO的Y轴光强分布(见图1)。将两组数据进行绘图, 曲线的最高点的横坐标为0,则表示出光不偏,否则表示出光偏移(见图2)。曲线的最高点的X坐标,即表示偏移的度数。如图b中两条虚线分别对应X轴的两个度数,两者之差即为偏移的度数,偏移的度数即为出光发散角。
权利要求1.一种半导体激光器的出光发散角检测装置,其特征在于,半导体激光器接直流电源, 在以半导体激光器为圆心的半圆形轨迹或轨道上运动的半导体激光探测器与用于采集反映X轴光强分布和Y轴光强分布的电流数据的直流电流表相接。
2.根据权利要求1所述的直流电流变的半导体激光器的出光发散角检测装置,其特征在于,直流电流表的数据输出端接微处理器,在微处理器中设有根据直流电流表采集的电流数据绘制出光强分布曲线从而得到半导体激光器的出光发散角的数据处理单元。
专利摘要本实用新型公开了一种半导体激光器的出光发散角检测装置,半导体激光器接直流电源,在以半导体激光器为圆心的半圆形轨迹或轨道上运动的半导体激光探测器与用于采集反映X轴光强分布和Y轴光强分布的电流数据的直流电流表相接。直流电流表的数据输出端接微处理器,在微处理器中设有根据直流电流表采集的电流数据绘制出光强分布曲线从而得到半导体激光器的出光发散角的数据处理单元。该半导体激光器的出光发散角检测装置结构简单、易于实施、能快速检测出半导体激光器的出光发散角的偏移状况及偏移程度。
文档编号G01B11/26GK202041185SQ20112007146
公开日2011年11月16日 申请日期2011年3月17日 优先权日2011年3月17日
发明者徐伟 申请人:深圳市亚派光电器件有限公司