专利名称：动态标准气体发生器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种动态标准气体发生器。
背景技术：
现有的标准气体发生器只能用于标准物质渗透管方式获得不同含量该标准物质的标准气体；标准气体稀释器只能用于 瓶装高浓度的标准气体进行稀释获得该标准气体的微量含量标准物质；且需配备超高纯气体。

实用新型内容本实用新型提出一种动态标准气体发生器，它能够有效地克服现有技术中动态标准气体发生器的缺点，它利用各种标准物质渗透管可获得不同含量该标准物质的标准气体；而且可对瓶装高浓度的标准气体进行稀释，即可获得该标准气体的微量含量标准物质。本实用新型的技术方案是这样实现的一种动态标准气体发生器，它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。作为优选，所述小流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接的第一电磁阀、小流量质量流量控制器、渗透腔、第二电磁阀。作为优选，所述大流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接第三电磁阀、纯化器、大流量质量流量控制器、第四电磁阀。作为优选，所述背压阀的另一端连接有第五电磁阀和转子流量计。作为优选，在小流量质量流量控制器管路和大流量质量流量控制器管路之间连接有第六电磁阀。作为优选，所述第六电磁阀的一端连接于小流量质量流量控制器管路上的第一电磁阀后，其另一端连接于大流量质量流量控制器管路上的纯化器后。本实用新型的有益效果在于当采用上述结构以后，本实用新型的动态标准气发生器利用各种标准物质渗透管可获得不同含量该标准物质的标准气体；还可对瓶装高浓度的标准气体进行稀释，即可获得该标准气体的微量含量标准物质。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的其中一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的其中一个实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。如图I所不,一种动态标准气体发生器,它包括一个小流量质量流量控制器2和一个大流量质量流量控制器3，所述小流量质量流量控制器2和大流量质量流量控制器3通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀4。所述小流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接的第一电磁阀I、小流量质量流量控制器2、渗透腔5、第二电磁阀6。所述大流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接第三电磁阀7、纯化器8、大流量质量流量控制器3、第四电磁阀9。所述背压阀4的另一端连接有第五电磁阀10和转子流量计11。在小流量质量流量控制器管路和大流量质量流量控制器管路之间连 接有第六电磁阀12。在本实施例中，所述第六电磁阀12的一端连接于小流量质量流量控制器管路上的第一电磁阀I后，其另一端连接于大流量质量流量控制器管路上的纯化器8后。本实用新型中的动态标准气发生器采用内置小型高效纯化器脱除氮气或氩气中的水、氧、二氧化碳等杂质，获得零点气体；采用内外抛光316L不锈钢管道和内外抛光316L不锈钢制造渗透腔5，防止对气体的污染；渗透腔5置于水浴炉13内，水浴炉13温度由固态继电器控制在设定温度±0. rc ;气体流量的调节采用双路质量流量控制器，减少温度、压力对流量的影响；采用无外泄漏的电磁阀作为气体流程切换；采用背压阀4稳定发生器内部气体压力；利用转换开关自动转换5种气路模式。本动态标准气发生器的气路模式为(I)零点气模式瓶装氮气经第三电磁阀7进入小型高效纯化器获得零点气，通过大流量质量流量控制器3、再经第四电磁阀9、背压阀4输出。(2)渗透管高含量模式瓶装氮气经第三电磁阀7进入小型高效纯化器，通过电磁阀V3、小流量质量流量控制器2、渗透腔5，获得高含量渗透管物质的标准气体，再经第二电磁阀6、背压阀4输出。(3)瓶装标准气小流量模式瓶装标准气经第一电磁阀I进入，通过小流量质量流量控制器2、渗透腔5 (不放置渗透管)、第二电磁阀6、背压阀4输出。(4)瓶装标准气稀释模式瓶装标准气经第一电磁阀I进入，通过小流量质量流量控制器2、渗透腔5 (不放置渗透管)、第二电磁阀6与瓶装氮气经第三电磁阀7进入小型高效纯化器，经大流量质量流量控制器3、第四电磁阀9获得的零点气混合，获得稀释后的标准气体，再经背压阀4输出，如气量较大，可将部分气体经第五电磁阀10、转子流量计11放空。(5)渗透管低含量模式瓶装氮气经第三电磁阀7进入小型高效纯化器，通过第三电磁阀7、小流量质量流量控制器2、渗透腔5获得高含量渗透管物质的标准气体，再经第二电磁阀6与瓶装氮气经第三电磁阀7进入小型高效纯化器，通过大流量质量流量控制器3、第四电磁阀9获得的零点气混合，获得稀释后的标准气体，最后经背压阀4输出，如气量较大，可将部分气体经第五电磁阀10、转子流量计11放空。[0023]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则 之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种动态标准气体发生器，其特征在于它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。
2.根据权利要求I所述的动态标准气体发生器，其特征在于所述小流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接的第一电磁阀、小流量质量流量控制器、渗透腔、第二电磁阀。
3.根据权利要求2所述的动态标准气体发生器，其特征在于所述大流量质量流量控制器管路包括通过管路依次连接第三电磁阀、纯化器、大流量质量流量控制器、第四电磁阀。
4.根据权利要求I所述的动态标准气体发生器，其特征在于所述背压阀的另一端连接有第五电磁阀和转子流量计。
5.根据权利要求3所述的动态标准气体发生器，其特征在于在小流量质量流量控制器管路和大流量质量流量控制器管路之间连接有第六电磁阀。
6.根据权利要求5所述的动态标准气体发生器，其特征在于所述第六电磁阀的一端连接于小流量质量流量控制器管路上的第一电磁阀后，其另一端连接于大流量质量流量控制器管路上的纯化器后。
专利摘要本实用新型提出了一种动态标准气体发生器。它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。本实用新型的优点是当采用上述结构以后，本实用新型的动态标准气发生器利用各种标准物质渗透管可获得不同含量该标准物质的标准气体；还可对瓶装高浓度的标准气体进行稀释，即可获得该标准气体的微量含量标准物质。
文档编号G01N1/38GK202649015SQ20122027332
公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月11日 优先权日2012年6月11日
发明者张根华, 金星屹 申请人:重庆瑞信气体有限公司