专利名称：测试装置用电源装置及利用它的测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种向被测试设备供给电源电压或电源电流的电源装置。
背景技术：
测试装置具备向被测试设备(DUT)供给电源电压或电源电流(以下称电源电压Vdd)的电源装置。图I是示意性表示以往电源装置的框图。电源装置1100具备电源输出部1026、控制电源输出部1026的频率控制器(以下称控制器)1024。电源输出部1026例 如为运算放大器(缓冲存储器)、DC/DC转换器、线性调节器或者恒流源，生成应向DUTl供给的电源电压或电源电流(输出信号OUT)。在紧靠近DUTl的电源端子的位置，设置有去耦电容Cl，并且电源装置1100的输出端子和DUTl的电源端子之间通过电缆连接。电源装置1100的控制对象不是电源输出部1026的输出信号0UT，而实际上是对DUTl的电源端子施加的电源电压Vdd。以往，控制器1024输出控制值，使得被反馈的测量值(控制对象)和规定的参考值(基准值)之间的差分值成为零。作为测量值，例如有对应于供给至DUTl的电源电压或电源电流等的反馈信号。例如在图I中用减法器符号示出的电路元件1022是误差放大器(运算放大器)，放大测量值和基准值之间的误差。模拟控制器1024生成控制值，使得误差成为零。电源输出部1026的状态根据控制值被反馈控制，结果是，作为控制对象的电源电压Vdd被稳定在目标值。在控制控制对象1010时需要考虑的参数示意地表示为寄生参数1030。寄生参数1030包括电源电缆或电源装置1100内部的寄生电阻、寄生电容、寄生电感等。

发明内容
以往使用模拟电路构成控制器1024。因此存在其综合性能被构成它的模拟元件的性能被固定地确定的问题。即，对于假设某一控制对象1010及寄生参数1030而设计出的电源装置1100而言，若控制对象1010或寄生参数1030与设计时的假设值不同，则无法按照设计发挥性能。而且以往采用与控制对象1010及寄生参数1030非常拟合的等效电路来接近对象1010及寄生参数1030，但这样的接近无法期待高精确度。因此，以往将控制器1024的反馈频带设计得比较狭窄，无意间导致特性恶化，有必要实现电路动作的稳定化。本发明是鉴于所涉及的问题而提出的，其某一实施方式的例示性目的之一是提供一种能够根据负载和寄生阻抗进行最佳控制的电源装置。本发明的某一实施方式涉及一种测试装置用电源装置，该电源装置通过电源线向被测试设备的电源端子提供电源信号。电源装置具备第一 A/D转换器，通过反馈线接收与向被测试设备的电源端子供给的电源信号对应的模拟测量值，并对模拟测量值进行模拟/数字转换而生成数字测量值；数字信号处理电路，通过数字运算处理生成为使得来自第一A/D转换器的数字测量值与规定的基准值一致而进行调节的控制值；D/A转换器，对控制值进行数字/模拟转换，并将转换结果所获得的模拟电源信号通过电源线供给至被测试设备的电源端子；以及负载估计部，生成包含规定的频率成分的测试信号，通过电源线将该测试信号施加于供被测试设备的电源端子连接的节点，并且通过反馈线接收施加了测试信号的结果、即在节点上生成的观测信号，并根据测试信号及观测信号，生成数字信号处理电路的控制参数。测试信号通过由电源线、设置在被测试设备周边的旁路电容器、安装被测试设备的插座(性能板(performance board))等引起的寄生阻抗,作为观测信号返回。S卩，从观测信号和测试信号的关系能够检测寄生阻抗的特性，并通过将其特性反映到数字信号处理电路的信号处理中的控制参数，能够进行与寄生阻抗对应的最佳控制。一种实施方式的电源装置可进一步具备第一选择器，所述第一选择器的输出端子连接于电源线，其第一输入端子接收来自D/A转换器的电源信号，测试信号被输入其第二输入端子。
负载估计部可包括信号发生器，生成测试信号；第二 A/D转换器，将观测信号转换为数字测量值；以及运算部，根据第二 A/D转换器的输出值和与测试信号对应的数字值生成控制参数。一种实施方式的电源装置可进一步具备第二选择器，所述第二选择器的输入端子连接于反馈线，其第一输出端子连接于第一 A/D转换器的输入端子，其第二输出端子连接于第二 A/D转换器的输入端子。负载估计部可根据测试信号及观测信号，计算包括电源线及反馈线的路径的传递函数，并根据该传递函数生成控制参数。测试信号可以是伪随机数二值信号(Pseudo Random Binary Sequence)、脉冲信号、频率扫描信号中的任一种。一种实施方式的电源装置可进一步具备信号重叠部，将对应于由负载估计部取得的传递函数的信号重叠于基准值。一种实施方式的电源装置可进一步具备信号重叠部，将对应于由负载估计部取得的传递函数的信号重叠于数字测量值和基准值的差分值。一种实施方式的电源装置可进一步具备信号重叠部，将对应于由负载估计部取得的所述传递函数的信号重叠于所述控制值。本发明的另一实施方式也是电源装置。该电源装置具备电源单元，通过反馈线接收与向被测试设备的电源端子供给的电源信号对应的测量值，并生成为使得测量值与规定的基准值一致而进行调节的电源信号；及负载估计部，通过电源线将包含规定的频率成分的测试信号施加于供被测试设备的电源端子连接的节点，并且通过反馈线接收施加了测试信号的结果、即在节点上生成的观测信号，并根据测试信号及观测信号设定由电源单元所进行的信号处理。根据该实施方式，能够进行与寄生阻抗对应的最佳控制。本发明的另一实施方式为测试装置。该测试装置具备对被测试设备供给电源的上述任一种实施方式的电源装置。根据该形式，能够抑制电源的影响，且能够判断被测试设备是否合格或不合格之处。另外，将以上结构要素的任意组合或本发明的结构要素或表现，在方法、装置、系统等之间相互取代而获得的方案作为本发明的实施方式也是有效的。根据本发明的某种实施方式，能够提供可对应于负载或寄生阻抗而进行最佳控制的电源装置。


图I为示意地表示以往电源装置的框图。图2为表示具备实施方式所涉及的电源装置的测试装置的框 图。图3(a)是表不离散时间型PRBS信号的模拟波形图，图3(b)表不将PRBS信号赋予由图2所示的LCR型滤波器构成的寄生参数时的测量值的模拟波形图。图4为表示变形例所涉及的电源装置的框图。图5(a)为图4的电源装置的框图，图5 (b)和图5(c)是表示变形例所涉及的电源装置的框图。符号说明I. · · DUT,2. · ·测试装置、4. · ·电源线、6. · ·反馈线、DR. · ·驱动器、CP. · ·比较
器、100. .·电源装置、10...控制对象、22...第一 A/D转换器、24...数字信号处理电路、25...信号重叠部、60...加法器、62...信号发生器、26...第一 D/A转换器、30...寄生参数、40...负载估计部、42...信号发生器、44...第二 A/D转换器、46...第三A/D转换器、48...运算部、50...第一选择器、52...第二选择器、SI...控制值、S2...电源信号、S2’ ...模拟测量值、S3...数字测量值、S4...控制值、S7...测试信号、S8...控制参数。
具体实施例方式下面，在较佳实施方式的基础上参照

本发明。对于各图所示的相同或等同的结构要素、部件和处理使用相同的附图标记，并适当地省略重复说明。此外，实施方式并不限定发明，是一种示例，在实施方式中描述的全部特征及其组合不一定是发明的本质内容。 在本说明书中，所谓“部件A与部件B连接的状态”，不仅包括部件A和部件B物理性直接连接的情况，还包括部件A和部件B通过对其电连接状态不产生实质性的影响或者不损害通过其结合实现的功能或效果的其他部件间接连接的情况。同样地，所谓“部件C设置在部件A和部件B之间的状态”，不仅包括部件A和部件
C、或者部件B和部件C直接连接的情况，还包括通过对其电连接状态不产生实质性的影响或者不损害通过其结合实现的功能或效果的其他部件间接连接的情况。图2是表示具备实施方式所涉及的电源装置100的测试装置2的框图。测试装置2对DUTl施加信号，并对来自DUTl的信号和期待值进行比较，从而判断DUTl是否合格或不合格之处。测试装置2具备驱动器DR、比较器(定时比较器)CP和电源装置100等。驱动器DR对DUTl输出测试图像信号。该测试图像信号通过未图示的定时发生器TG、图像生成器PG及波形整形器FC(Format Controller,格式控制器)等而生成，并被输入驱动器DR。DUTl的输出信号被输入比较器CP。比较器CP将来自DUTl的信号与规定的阈值比较，并在适当的定时锁存比较结果。将比较器CP的输出与其期待值比较。以上就是测试装置2的概要。
电源装置100生成针对于DUTl的电源电压Vdd或电源电流(以下也称为电源信号SI)，并通过电源电缆(电源线)4等，向DUTl的电源端子Pl供给。被供给至DUTl的电源端子Pl的电源信号标记为S2，以与SI区别。寄生参数30与图I中的说明同样，示意地表示在控制控制对象10时需要考虑的参数。即寄生参数30并不作为明示的元件存在于实际电路中，而作为由电源线4或连接器(未图示)产生的阻抗成分来把握。测试装置2动态地转换DUTl的状态，并测试DUTl。因此，DUTl的消费电流即电源装置100的负载动态地变动。在本实施方式中，电源信号SI为电源电压Vdd。一般的电源装置如果负载急剧变化，则基于反馈的电源信号的控制无法跟进，输出信号偏离目标值。在测试装置2中，若电源装置的输出信号变动，则会影响DUTl的输出信号。即无法区别通过比较器CP所判断的不合格(Fail，失败)是源于DUTl本身，还是源 于电源装置。特别是，在测试工序中的DUTl的负载变动大于DUTl在出厂后搭载在装置(电子产品)中的状态下的负载变动。由此，被搭载在测试装置2的电源装置100严格要求其对负载变动的跟进性。下面说明可在测试装置2中应用的较佳的电源装置100的结构。电源装置100具备第一 A/D转换器22、数字信号处理电路24、第一 D/A转换器26、负载估计部40、第一选择器50和第二选择器52。第一 A/D转换器22通过反馈线6接收与向DUTl的电源端子Pl供给的电源信号S2对应的模拟测量值S2’，并对其进行模拟/数字转换，生成数字测量值S3。模拟测量值S2’可以是被供给至DUTl的电源电压Vdd本身，也可以是通过分压将电源电压Vdd降压后的电压。数字信号处理电路24通过数字运算处理生成数字控制值S4。调节数字控制值S4,使得来自第一 A/D转换器22的数字测量值S3与规定的基准值Ref —致。例如数字信号处理电路 24 可由 CPU (Central Processing Unit,中央处理器)、DSP (Digital SignalProcessor,数字信号处理器)或者FPGA(Field Programmable Gate Array,现场可编程门阵列)等构成。数字信号处理电路24构成为能够改变其信号处理的内容即控制特性。例如数字信号处理电路24也可以基于数字测量值S3和基准值Ref的差分，进行PID (比例、积分、微分)控制。此时，信号处理内容的变更可以是PID控制中的各种参数(例如增益、滤波器的阶数或截止频率)的变更或者运算式的变更。或者数字信号处理电路24也可以进行P控制、PI控制、H)控制中的任一种，以取代PID控制。此外，数字信号处理电路24也可以在变更信号处理内容时，转换PID、P、PI、H)等的控制方式本身。第一 D/A转换器26对数字控制值S4进行数字/模拟转换，并通过电源线4将所获得的模拟电源信号SI供给至DUTl的电源端子P1。电源装置100构成为能够在正常模式和校准模式之间进行转换。电源装置100在测试DUTl时设定为正常模式，并对DUTl供给电源信号。电源装置100在正常模式之前被设定为校准模式。在校准模式中，电源装置100估计寄生参数30和控制对象10等的负载特性，并根据估计出的负载特性设置数字信号处理电路24的控制参数S8。对于第一选择器50,其输出端子与电源线4连接,其第一输入端子O接收来自第一D/A转换器26的电源信号SI,并将来自负载估计部40的测试信号S7输入第二输入端子I。对于第二选择器52，其输入端子与反馈线6连接，其第一输出端子O与第一 A/D转换器22的输入端子连接，其第二输出端子I与第二 A/D转换器44的输入端子连接。第一选择器50及第二选择器52分别在正常模式中接通于第一输入端子O侧，在校准模式中接通于第二输入端子I。负载估计部40在校准模式中估计负载特性,并生成与所述负载特性相应的控制参数S8。负载估计部40通过电源线4，将包含规定的频率成分的测试信号S7施加于供DUTl的电源端子Pl连接的节点NI。然后通过反馈线6接收施加了测试信号S7的结果、即在节点NI上产生的观测信号S2，并根据测试信号S7及观测信号S2’，生成数字信号处理电路24 的控制参数并设置于数字信号处理电路24。具体来说，负载估计部40具备信号发生器42、第二 A/D转换器44、第三A/D转换器46和运算部48。信号发生器42产生预先设定的测试信号S7。测试信号S7优选包含宽度较宽的频率成分，例如，伪随机数二值信号由于满足该条件且容易生成，因此可以优选使用。也可以使用脉冲信号、频率扫描信号或者同这些类似的各种信号，以取代伪随机数二值信号。由信号发生器42生成的测试信号S7通过电源线4到达节点NI，并通过反馈线6，被输入负载估计部40以作为模拟测量值S2’。当由电源线4、反馈线6及控制对象10形成的路径无损失且不具有频率依存性时，模拟测量值S2’会与测试信号S7相同。然而在现实的测试装置2中，由于寄生参数30和控制对象10的阻抗的影响，模拟测量值S2’与测试信号S7不同。第二 A/D转换器44将模拟测量值S2’转换为数字测量值。运算部48根据第二 A/D转换器44的输出值和与测试信号S7对应的数字值生成控制参数S8。与测试信号S7对应的数字值可通过利用第三A/D转换器46将测试信号S7转换为数字值而生成，也可以直接从信号发生器42接收数字值。负载估计部40的硬件资源也可以尽可能地与其他硬件资源共享。例如可以使一个A/D转换器在正常模式中作为第一 A/D转换器22来工作，在校准模式中作为第二 A/D转换器44来工作。此外，硬件资源也可以应用设置在以往测试装置的现有硬件资源。例如信号发生器42等也可以使用测试装置的图像生成器等而构成。运算部48根据测试信号S7及观测信号S2’计算包括电源线4及反馈线6的路径的传递函数G(Z)，并根据该传递函数G (z)生成控制参数S8。计算传递函数G (z)时可使用公知方法，例如可使用应用ARX (Auto-Regressive exogenous,外源自回归)模型的最小平方估计。另外，该方法不过是无数方法中的一个，也可以采用其他方法，例如傅立叶变化法、基于振幅/相位曲线图的方法等，对此并不特别限定。此外，对于根据传递函数G(Z)确定最佳控制参数，也有各种方法。例如在PID控制系统中，可以采用作为阶跃响应法的CHR(Chein, Hrones and Reswick)法。或者也可以采用作为极限灵敏度法或阶跃响应法的ZN法(Ziegler Nichols)。以上是电源装置100的结构。接下来说明电源装置的工作方式。
首先电源装置100被设定为校准模式。然后负载估计部40产生测试信号S7，并检测对应于该测试信号的模拟测量值S2’，以估计包括电源线4及反馈线6的路径的频率特性即传递函数G(Z)。图3 (a)、(b)分别为表示离散时间型PRBS信号和将其赋予由图2所示LCR型滤波器构成的寄生参数30时的测量值S2’的模拟波形图。在模拟中，假设为L = 200nH，C =6 μ F，R = O. I Ω 0LCR电路的离散时间传递函数G(z)可采用五个参数 a2、b0 b2，用公式(I)表不。G(z) = O^b1 · z_1+b2 · T2) / (^a1 · z_1+a2 · T2) …(I)若通过基于ARX模型的最小平方估计，由1000个输入输出数据和与此对应的1000个输出数据计算各参数B1 a2、Idci b2，则得出

B1 = -I. 5976480388938801a2 = O. 778804285207282b0 = O. 000000003744685bi = O. 094373091781548b2 = O.086783120071316。另一方面，LCR电路的连续时间传递函数Grai(S)由公式⑵获得。Glck(S) = (l/LC)/{s2+R/L · s+1/(LC)} …(2)当L = 200nH，C = 6yF、R = O. 1Ω 时，若以 2Msps 使公式(2)的传递函数 Glck (S)离散化，则得出B1 = -I. 598a2 = O. 7788b0 = Ob, = O. 09438b2 = O. 08678,并可知，与从测试信号S7及模拟测量值S2’估计出的参数高精度地一致。根据由此估计的传递函数G(Z)，负载估计部40优化数字信号处理电路24的控制参数S8。该控制参数S8在考虑寄生参数30及控制对象10的实际阻抗的基础上被优化。接下来设定为正常模式。正常模式采用在校准模式中优化的控制参数S8进行反馈控制，使电源信号S2 (Vdd)与基准值Ref—致。由此，能够使在电源端子Pl生成的电源信号S2比以往更加稳定，且能够在电源变动少的环境中测试DUT1。以上为电源装置100的动作。寄生参数30或控制对象10根据测试装置2所使用的环境而有很大不同。以往电源装置100的设计者在设计阶段假设控制对象10及控制对象10的阻抗，并根据假设的阻抗确定电源装置的控制特性。因此，若连接与假设不同的寄生参数30或控制对象10，则产生电源装置100的性能变差的问题。性能变差表现为阻尼振荡增加或稳定时间变长。而根据实施方式所涉及的电源装置100，由于采用针对每个测试装置2的寄生参数30及控制对象10的阻抗进行优化的控制参数S8来生成电源信号S2，因此能够比以往提高电源信号S2的稳定性。
负载估计部40的结构要素可以应用测试装置2的现有硬件，因此负载估计部40还具有对测试装置2的成本的影响不那么大的优点。以上，基于实施方式说明了本发明。该实施方式是一种示例，其各结构要素、各处理步骤或其组合可具有各种变形例。下面说明这种变形例。图4是表示变形例所涉及的电源装置IOOa的框图。一般的电源装置需要使加到DUTl的电源端子Pl的电源信号S2稳定在规定的目标值，但图4的电源装置IOOa具有将随机噪声、正弦波、矩形波等任意波形ny重叠于电源信号S2的功能。在图4中数字信号处理电路24a在图2的数字信号处理电路24的基础上进一步具备信号重叠部25。信号重叠部25将与通过负载估计部40取得的传递函数G(Z)对应的信号η重叠于基准值Ref。信号重叠部25包括生成与传递函数G (z)对应的信号η的信号发生器62和将信号η和基准值Ref相加的加法器60。图5(a)是图4的电源装置IOOa的框图。y相当于在电源端子Pl产生的电源信号S2，G。表示图2的数字信号处理电路24的传递函数，Ge表示包括反馈线6或第一 A/D转换器22等的反馈路径的传递函数，Gp表示包括寄生参数30及控制对象10的传递函数。在图5(a)中，公式(3)成立。y = Ref · GcGp/ (I+G0GcGp) +ny · GnGcGp/ (I+G0GcGp) · · · (3)因此，当满足Gn = Ge+ (GcX^r1 ···⑷时，y = Ref · GcGp/(I+G0GcGp) +ny · · · (5)成立。S卩，若将信号n = ny · Gn与基准值Ref重叠，则能够直接使控制量y产生信号ny，所述信号η是使由公式(4)获得的传递函数Gn作用于应与控制量y重叠的信号ny而获得的。在此，Gc,Gp,G0中的任一个均可由设计值、由负载估计部40产生的估计值或者其组合计算出来，因此公式(4)的传递函数Gn能够计算。例如也可以采用Ge =&这一近似计算。或者从经验上看，反馈线的寄生参数不会对控制特性产生大的影响，因此对于Ge,也可以采用基于设计参数的计算值。图5 (a)及图4的信号发生器62只要能够生成使满足公式⑷的传递函数Gn作用于应与电源信号S2重叠的信号ny而获得的信号η即可。如此，通过使用由负载估计部40估计的传递函数G(Z)生成信号η，能够在电源信号S2上产生所希望的信号成分ny。图5(b)是表示变形例所涉及的电源装置IOOb的框图。图5(b)的电源装置IOOb在信号重叠部25b配置在反馈环路内这一点上与图4和图5(a)的电源装置不同。即在该变形例中信号重叠部25b设置在控制器24的后端，且将对应于由负载估计部40取得的传递函数Gn(Z)的信号n = Gn(Z) ^ny与数字信号处理电路24的输出值(控制值S4)重叠。 在图5(b)的电源装置IOOb中，公式(6)成立。y = Ref · GcGp/ (I+G0GcGp) +ny · Gn Gp/ (I+G0GcGp) · · · (6)因此，当满足Gn = +G0Gc · · · (7)时，公式(5)成立，能够在控制量y上直接产生信号ny。图5(c)是表示其他变形例所涉及的电源装置IOOc的框图。图5(c)的电源装置IOOc在图5(b)的电源装置IOOb的基础上还具备信号重叠部25c。信号重叠部25c将对应于由负载估计部40取得的传递函数Gnl (z)的信号Ii1 = Gnl (z) · ny与数字测量值Ge · y和基准值Ref的差分值(Ge · y-Ref)重叠。信号重叠部25b将对应于由负载估计部40取得的传递函数Gn2(Z)的信号n2 = Gn2 · ny与数字信号处理电路24的输出值(控制值S4)重叠。在图5(c)的电源装置IOOc中，公式⑶成立。y = Ref · GcGp/ (I+G0GcGp) +ny · (Gn2Gp+GnlGcGp) / (I+G0GcGp) · · · (8)在图5 (c)中，当满足Gnl = Ge、Gn2 = G；1时，公式(5)成立，能够在控制量y上直接产生信号ny。在图5(c)中，省略信号重叠部25b的变形例也有效。此时，在公式⑶中代入Gn2=O的公式(9)成立。
y = Ref · GcGp/ (I+G0GcGp) +ny · (GnlGcGp) / (I+G0GcGp) · · · (9)因此，当满足Gnl= (I+Ge GeGp)/(GeGp) ... (10)时，公式(5)成立，能够使控制量y直接产生信号ny。在实施方式中，说明了切换正常模式和校准模式的情况，但本发明并不限于此。例如在以正常模式使DUTl运行的状态(联机)下，也可以操作负载估计部40估计负载，并根据所估计出的负载设定数字信号处理电路24的控制参数。此时，可以设置将控制值SI和测试信号S7合成的电路来取代选择器50，并设置对两个路径分配信号的分配器来取代第二选择器52。在实施方式中，说明了电源装置100主要由数字电路构成的情况，但也可以将其全部由模拟电路构成。此时，取代图2的由数字信号处理电路24、第一 D/A转换器26、第一A/D转换器22构成的电源单元，设置模拟电源单元。电源单元通过反馈线接收与向DUTl的电源端子Pl供给的电源信号S2对应的测量值S2’，并生成以测量值S2’与规定的基准值Ref 一致的方式被调节的电源信号SI。而且负载估计部40生成包括规定的频率成分的测试信号S7,并通过电源线4将测试信号S7施加于供DUTl的电源端子Pl连接的节点NI，同时，通过反馈线6接收施加了测试信号S7的结果即在节点NI上生成的观测信号S2’，并根据测试信号S7及观测信号S2’设定电源单元所进行的信号处理。虽然在实施方式的基础上说明了本发明，但实施方式只不过表示本发明的原理及应用，在不脱离权利要求书所记载的本发明思想的范围内，实施方式应有很多变形例和配置的变更。
权利要求
1.一种电源装置，是通过电源线向被测试设备的电源端子供给电源信号的测试装置用电源装置，其特征在于，具备 第一 A/D转换器，通过反馈线接收与向所述被测试设备的所述电源端子供给的所述电源信号对应的模拟测量值，并对所述模拟測量值进行模拟/数字转换而生成数字测量值； 数字信号处理电路，通过数字运算处理生成为使得来自所述第一 A/D转换器的所述数字测量值与规定的基准值一致而进行调节的控制值； D/A转换器，对所述控制值进行数字/模拟转换，并将转换结果所获得的模拟电源信号通过所述电源线供给至所述被测试设备的电源端子；以及 负载估计部，通过所述电源线，将包含预定的频率成分的测试信号施加于供所述被测试设备的电源端子连接的节点，并且通过所述反馈线接收施加了所述测试信号的结果、即在所述节点上生成的观测信号，并根据所述测试信号及所述观测信号，生成所述数字信号处理电路的控制參数。
2.根据权利要求I所述的电源装置，其特征在于，进ー步具备第一选择器，所述第一选择器的输出端子连接于所述电源线，其第一输入端子接收来自所述D/A转换器的所述电源信号，所述测试信号被输入其第二输入端子。
3.根据权利要求I或2所述的电源装置，其特征在于，所述负载估计部包括 信号发生器，生成所述测试信号； 第二 A/D转换器，将所述观测信号转换为数字测量值；以及 运算部，根据所述第二 A/D转换器的输出值和与所述测试信号对应的数字值生成所述控制參数。
4.根据权利要3所述的电源装置，其特征在干，进ー步具备第二选择器，所述第二选择器的输入端子连接于所述反馈线，其第一输出端子连接于所述第一 A/D转换器的输入端子，其第二输出端子连接于所述第二 A/D转换器的输入端子。
5.根据权利要求I或2所述的电源装置，其特征在于，所述负载估计部根据所述测试信号及所述观测信号，计算包括所述电源线及所述反馈线的路径的传递函数，并根据该传递函数生成所述控制參数。
6.根据权利要求I或2所述的电源装置，其特征在于，所述测试信号为伪随机数ニ值信号、脉冲信号和频率扫描信号中的任ー种。
7.根据权利要求5所述的电源装置，其特征在于，进ー步具备信号重叠部，将对应于由所述负载估计部取得的所述传递函数的信号重叠于所述基准值。
8.根据权利要求5所述的电源装置，其特征在于，进ー步具备信号重叠部，将对应于由所述负载估计部取得的所述传递函数的信号重叠于所述数字测量值和所述基准值的差分值。
9.根据权利要求5所述的电源装置，其特征在于，进ー步具备信号重叠部，将对应于由所述负载估计部取得的所述传递函数的信号重叠于所述控制值。
10.一种电源装置，是通过电源线向被测试设备的电源端子供给电源信号的测试装置用电源装置，其特征在于，具备 电源单元，通过反馈线接收与向所述被测试设备的所述电源端子供给的所述电源信号对应的测量值，并生成为使得所述测量值与规定的基准值一致而进行调节的所述电源信号；及 负载估计部，生成包含预定的频率成分的测试信号，通过电源线将该测试信号施加于供被测试设备的电源端子连接的节点，并且通过反馈线接收施加了所述测试信号的結果、即在节点上生成的观测信号，并根据所述测试信号及所述观测信号设定基于所述电源单元的信号处理。
11.一种测试装置，其特征在于，具备权利要求1、2及10中的任一项所述的电源装置，所述电源装置对被测试设备供给电源。
全文摘要
本发明提供一种测试装置用电源装置及利用它的测试装置，所述电源装置能够对应于负载和寄生阻抗而进行最佳控制。第一A/D转换器将与向DUT1的电源端子供给的电源信号对应的模拟测量值转换为数字测量值。数字信号处理电路通过数字运算处理生成为使得数字测量值与规定的基准值一致而进行调节的控制值。第一D/A转换器通过电源线向DUT1的电源端子供给对控制值进行数字/模拟转换而获得的模拟电源信号。负载估计部通过电源线对供电源端子连接的节点施加包含预定的频率成分的测试信号，并根据测试信号及观测信号生成数字信号处理电路的控制参数。
文档编号G01R1/28GK102650651SQ20121004467
公开日2012年8月29日 申请日期2012年2月24日 优先权日2011年2月24日
发明者出川胜彦, 清水贵彦 申请人:株式会社爱德万测试