专利名称：滤光器元件、滤光器模块及分析设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于获取特定波长的光的滤光器元件、滤光器模块及分析设备。
背景技术：
现有技术中已知有从多个波长的光中提取特定波长的光的可变波长干涉滤光器 (滤光器元件)(例如参见专利文献1)。该专利文献1所述的可变波长干涉滤光器包括第一结构体以及与第一结构体相对的第二结构体。第二结构体上形成有呈板状且能向其厚度方向位移的可动部。而且，第一结构体与可动部相对的区域上具有第一反射膜以及形成在第一反射膜的外周侧的第一驱动电极。第二结构体的可动部上具有与第一反射膜相对的第二反射膜以及与第一驱动电极相对的第二驱动电极。而且，第一结构体上形成有从第一驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极，第二结构体上形成有从第二驱动电极的外周边缘向径向外侧延伸的一个引出电极。该可变波长干涉滤光器通过向连接于第一驱动电极和第二驱动电极的各引出电极施加电压，使可动部在静电引力的作用下向第一结构体侧位移，从而改变第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸。由此，从入射到可变波长干涉滤光器上的光中提取出与间隙尺寸相对应的波长的光。专利文献1 日本特开2008-116669号公报然而，上述专利文献1所述的可变波长干涉滤光器中，仅仅分别设置了一个用于向第一驱动电极施加电压的引出电极和一个用于向第二驱动电极施加电压的引出电极。这里，可变波长干涉滤光器中的第一反射膜与第二反射膜的间隙尺寸非常小，例如被形成为能在200nm 500nm左右的范围内进行位移。在该狭窄的区域内形成驱动电极时，驱动电极的厚度尺寸也必须很小，而形成厚度尺寸与驱动电极相同的引出电极时，引出电极的电阻增大，从而功耗增大，或存在可能发生断线等布线可靠性问题。

发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能够降低功耗且布线可靠性高的滤光器元件、滤光器模块及分析设备。本发明的滤光器元件具备第一基板；与上述第一基板相对的第二基板；设置在上述第一基板上的第一反射膜；设置在上述第二基板上并与上述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在上述第一基板上的第一电极；设置在上述第二基板上并与上述第一电极相对的第二电极；设置在上述第一基板上并与上述第一电极连接的一对第一引出电极；以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。在该发明中，滤光器元件的第一电极与一对第一引出电极，第二电极与一对第二弓丨出电极连接。因此，可以通过一对第一引出电极向第一电极施加驱动电压，并且可以通过一对第二引出电极向第二电极施加电压。该结构与仅一个引出电极与第一电极或第二电极连接的情况相比能够在整体上降低电阻。因此，在使静电引力作用于第一电极与第二电极之间以改变第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸时，可以以更小的驱动电压来改变间隙尺寸，从而更省电。而且，即使一对第一引出电极中的一个或一对第二引出电极中的一个引出电极发生断线，只要另一个第一引出电极或另一个第二引出电极不断线，就能向第一电极和第二电极施加电压，提高了布线可靠性。在本发明的滤光器元件中，优选在从厚度方向观察上述第一基板和上述第二基板的俯视图中，上述第一引出电极和上述第二引出电极设置在互不重叠的位置上。 在该发明中，第一引出电极和第二引出电极设置在不相重叠的位置上。也就是说， 如果在俯视时第一引出电极和第二引出电极设置在重叠的位置上，则在该第一引出电极与第二引出电极之间可能会作用有静电引力，导致第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸不均勻，无法维持平行。而且，由于绝缘击穿等可能会使基板之间产生漏电流，导致无法调整第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸或间隙调整所需的时间变长等问题。对此，如本发明中所述，通过将第一引出电极和第二引出电极设置在俯视时不相重叠的位置，不会产生上述那样的漏电流以及第一引出电极与第二引出电极之间的静电引力，可以稳定地驱动滤光器元件。这里，在本发明的滤光器元件中，优选上述第一基板和上述第二基板形成为矩形， 上述一对第一引出电极分别设置在上述第一基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上，上述一对第二引出电极分别设置在上述第二基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上。在该技术方案中，一对第一引出电极分别沿着矩形的第一基板的对角线设置在相对于基板的中心点呈点对称的位置上。同样地，一对第二引出电极分别沿着矩形的第二基板的对角线设置在相对于基板的中心点呈点对称的位置上。因此，与上述的技术方案一样， 由于第一引出电极和第二引出电极互不相对，因此可以防止产生漏电流以及引出电极之间的静电引力，可以稳定地驱动滤光器元件。而且，当静电引力作用于第一电极与第二电极之间时，第一基板和第二基板中的至少一个基板向对方侧弯曲，从而调整第一反射膜与第二反射膜之间的间隙尺寸。这时，在本发明中，由于第一引出电极相对于基板中心呈点对称设置，因此当第一基板向第二基板侧弯曲时，可以使弯曲产生的应力平衡保持均勻。第二基板也是如此，当第二基板向第一基板侧弯曲时，也可以使弯曲产生的应力平衡保持均勻。因此，可以使基板的弯曲平衡保持均勻，从而可以良好地维持第一反射膜与第二反射膜的平行状态，可以更稳定地驱动滤光器元件。在本发明的滤光器元件中，优选在从厚度方向观察上述第一基板和上述第二基板的俯视图中，上述第一基板和上述第二基板中的至少一个基板上设置有与上述一对第一引出电极和上述一对第二引出电极的设置位置相对应的凹槽。在该技术方案中，与第一引出电极或第二引出电极对应地在第一基板或第二基板上形成凹槽，并在该凹槽中设置第一引出电极或第二引出电极。因此，在接合第一基板和第二基板时，不会将第一引出电极或第二引出电极夹在第一基板和第二基板的接合部分上。这里，在接合第一基板和第二基板时，如果第一引出电极或第二引出电极被夹在接合部分上，则第一基板和第二基板会发生与该电极的厚度尺寸相对应的歪斜，导致无法维持第一反射膜与第二反射膜的平行的问题。对此，在本发明中，如上所述，由于第一引出电极或第二引出电极不会被夹在第一基板和第二基板的接合部分上，因而在第一基板和第二基板接合时引出电极不会引起歪斜。因此，可以维持第一反射膜与第二反射膜的平行，从而可以稳定地驱动滤光器元件。本发明的滤光器模块包括如上所述的滤光器元件。这里，滤光器模块例如可以是接收滤光器元件所提取的光并将其受光量作为电信号输出的滤光器模块等。如上所述，滤光器元件的第一电极与一对第一引出电极连接，第二电极与一对第二引出电极连接，通过降低引出电极上的电阻，降低了功耗。因此，具备该滤光器元件的滤光器模块同样也能降低功耗。而且，由于可以提高滤光器元件的布线可靠性，因此也能提高滤光器模块的可靠性。本发明的分析设备包括如上所述的滤光器模块。这里，分析设备例如可以是根据上述滤光器模块输出的电信号分析入射到滤光器模块上的光的色度和亮度等的光测定器、检测气体的吸收波长以检测气体种类的气体检测装置、从接收的光中获取该波长的光中所包含的数据的光通信装置等。在本发明中，如上所述，通过滤光器模块可以降低功耗以及提高可靠性，因此具备该滤光器模块的分析装置也能降低功耗和提高可靠性。


图1是本发明涉及的一个实施方式中的测色装置的概要结构图。图2是上述实施方式中的作为滤光器元件的标准具(etalon)的概要结构俯视图。图3是沿III-III线截取图2中的标准具而得到的截面图。图4是标准具的立体分解图。
具体实施例方式下面，参考附图对本发明所涉及的一个实施方式中的作为分析设备的测色装置进行说明。1、测色装置的整体结构图1为本发明涉及的第一实施方式中的测色装置的概要结构图。如图1所示，该测色装置1包括向检测对象A发射光的光源装置2、构成本发明的滤光器模块的测色传感器3以及控制测色装置1的整体动作的控制装置4。而且，该测色装置1是使检测对象A反射光源装置2发出的光、由测色传感器3接收所反射的检测对象光、 并且根据测色传感器3输出的检测信号来分析并测定检测对象光的色度即检测对象A的色彩的装置。2、光源装置的结构光源装置2包括光源21和多个透镜22(图1中仅示出了一个透镜)，用于向检测对象A发出白光。而且，多个透镜22中包含准直透镜，光源装置2通过准直透镜将光源21
6发出的白光变为平行光，并从未图示的投影透镜向检测对象A发射该平行光。3、测色传感器的结构测色传感器3构成本发明的滤光器模块。如图1所示，该测色传感器3包括构成本发明的滤光器元件的标准具5、作为接收透过标准具5的光的受光装置的受光元件31以及改变透过标准具5的光的波长的电压控制部6。而且，测色传感器3与标准具5相对的位置处具有将经检测对象A反射的反射光(检测对象光)导向内部的未图示的入射光学透镜。而且，该测色传感器3通过标准具5仅对从入射光学透镜入射的检测对象光中的规定波长的光进行分光，并由受光元件31接收分光后的光。受光元件31由多个光电转换元件构成，用于生成与受光量相对应的电信号。而且，受光元件31连接于控制装置4，并将生成的电信号作为受光信号输出到控制装置4。3-1、标准具的结构图2为本发明的构成可变波长干涉滤光器的标准具5的概要结构俯视图，图3为示出标准具5的概要结构的截面图。图4为标准具的第一基板51与第二基板52分离的立体分解图。另外，图1中，检测对象光从图中的下侧入射至标准具5，而图3中，检测对象光从图中的上侧入射至标准具5。如图2所示，标准具5是俯视呈正方形的板状光学部件，其一条边的边长例如形成为10mm。如图3所示，该标准具5包括第一基板51以及第二基板52。这两张基板51、52 例如分别由苏打玻璃(soda glass)、结晶玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃和无碱玻璃等各种玻璃或水晶等形成。其中，各基板51、52的构成材料优选含有诸如钠(Na)或钾(K)等碱金属的玻璃，通过这种玻璃形成各基板51、52，可以提高下述反射膜56与57的密合性、各电极间的密合性以及基板之间的粘接强度。而且，这两个基板51、52例如通过常温活化接合等将形成在外周部附近的接合面513、523加压接合而一体构成。而且，在第一基板51与第二基板52之间设有构成本发明的一对反射膜的第一反射膜56和第二反射膜57。这里，第一反射膜56固定在第一基板51的与第二基板52相对的面上，第二反射膜57固定在第二基板52的与第一基板51相对的面上。而且，该第一反射膜56和第二反射膜57隔着间隙G相对设置。而且，在第一基板51与第二基板52之间设有用于调整第一反射膜56与第二反射膜57之间的间隙G的尺于的静电致动器54。3-1-1、第一基板的结构第一基板51通过对厚度例如形成为500 μ m的玻璃基材进行蚀刻加工而形成。具体地，如图3和图4所示，第一基板51上通过蚀刻形成有电极形成槽511和反射膜固定部 512。在从厚度方向观察如图2所示的标准具5的俯视(平面)图(下称“标准具的俯视图”)中，电极形成槽511形成为以平面中心点为圆心的圆形。在上述俯视图中，反射固定部512从电极形成槽511的中心部向第二基板52侧突出形成。电极形成槽511在反射膜固定部512的外周边缘到该电极形成槽511的内周壁面之间具有形成为环状的电极固定面511A。该电极固定面511A上形成有环状的第一电极 541。而且，第一基板51上从电极形成槽511向该第一基板51的顶点方向形成有作为
7本发明的凹槽的第一凹槽514和第二凹槽515。具体地，第一凹槽514从电极形成槽511向第一基板51的左上角顶点和右下角顶点形成在第一基板51的对角线上，第二凹槽515从电极形成槽511向第一基板51的左下角顶点和右上角顶点形成在第一基板51的对角线上。该第一凹槽514和第二凹槽515形成相同的宽度尺寸，并且分别形成与电极形成槽511 相同的深度尺寸。而且，如图2所示，在标准具的俯视图中，第一引出电极541A分别从第一电极541 的一部分外周边缘向标准具5的右下方和左上方延伸形成在第一凹槽514内。该第一引出电极541A的前端分别形成有第一电极焊盘541B，该第一电极焊盘541B连接于电压控制部 6。这里，在驱动静电致动器54时，通过电压控制部6向一对第一电极焊盘541B施加电压。在该结构中，即使一对第一引出电极541A中的一个第一引出电极断线，也可以从另一个第一引出电极541A向第一电极541施加电压。而且，通过一对第一引出电极541A将第一电极541连接于电压控制部6的结构与仅设有一个第一引出电极541A的结构相比，由于可以减低电阻，因此可以降低由电阻增大引起的电能损失。因此，可以降低向第一电极541施加规定电荷所需的驱动电压，从而更省 H1^ ο而且，从环状的第一电极541的左上端边缘引出一个第一引出电极541A，从第一电极541的右下端边缘引出另一个引出电极541A。因此，第一电极541在从引出到左上方的第一引出电极541A到引出到右下方的第一引出电极541A之间形成并联电路，从而可以降低第一电极541上的电阻。如上所述，反射膜固定部512与电极形成槽511同轴形成，并且呈直径尺寸小于电极形成槽511的圆柱形。另外，如图3所示，本实施方式中示出了反射膜固定部512的与第二基板52相对的反射膜固定面512A比电极固定面511A更靠近第二基板52地形成的例子， 但不限于此。电极固定面511A和反射膜固定面512A的高度位置可以根据固定在反射膜固定面512A上的第一反射膜56与形成在第二基板52上的第二反射膜57之间的间隙G的尺寸、第一电极541与形成在第二基板52上的下述的第二电极542之间的尺寸以及第一反射膜56和第二反射膜57的厚度尺寸来适当设定，不限于上述结构。例如，在反射膜56、57采用电介质多层反射膜，并且其厚度尺于增大的情况下，可以采取电极固定面511A与反射膜固定面512A形成在同一平面上的结构或在电极固定面511A的中心部形成圆柱凹槽上的反射膜固定槽并在该反射膜固定槽的底面上形成反射膜固定面512A的结构等。但是，作用在第一电极541与第二电极542之间的静电引力与第一电极541和第二电极542之间的距离的平方成反比。因此，该第一电极541与第二电极542的距离越靠近，间隙G对于静电引力的电压值的变化量也越大。特别是如本实施方式所述间隙G的可变尺寸很微小(例如250nm 450nm)的情况下，很难控制间隙G。因此，如上所述，即使形成反射膜固定槽，也优选在一定程度上确保电极形成槽511的深度尺寸，在本实施方式中， 电极形成槽511的深度尺寸例如优选形成为1 μ m。而且，优选同时考虑能透过标准具5的波长范围来设计反射膜固定部512的反射膜固定面512A的槽深度。例如，在本实施方式中，第一反射膜56与第二反射膜57之间的间隙G的初始值(第一电极541与第二电极542之间未施加电压的状态下的间隙G的尺寸)
8设定为450nm，通过在第一电极541与第二电极542之间施加电压，能使第二反射膜57位移到使间隙G例如变为250nm，从而通过改变第一电极541与第二电极542之间的电压，可以选择性地对整个可见光范围内的波长的光进行分光使其透过。这时，第一反射膜56和第二反射膜57的膜厚以及反射膜固定面512A和电极固定面511A的高度尺寸只要设定为能使间隙G在250nm 450nm的范围内进行位移的值即可。而且，反射膜固定面512A上固定有形成直径例如约为3mm的圆形的第一反射膜 56。该第一反射膜56可以由金属单层膜形成，也可以由电介质多层膜形成。金属单层膜例如可以采用AgC单层膜，电介质多层膜例如可以采用以TiO2为高折射层、以SiO2为低折射层的电介质多层膜。这里，通过AgC单层等金属单层形成第一反射膜56时，可以形成能覆盖整个可见光范围作为能被标准具5分光的波长范围的反射膜。而通过电介质多层膜形成第一反射膜56时，虽然能被标准具5分光的波长范围比AgC单层膜小，但分光后的光的透射率较大，透射率的半值宽度也较小，可以提高分辨率。而且，第一基板51的与第二基板52相对的上表面的相对侧即下表面上与第一反射膜56对应的位置处形成有省略图示的防反射膜(AR)。该防反射膜通过将低折射率膜和高折射率膜交替层叠而形成，降低了第一基板51的表面对可见光的反射率，提高了透射率。3-1-2、第二基板的结构第二基板52通过对厚度例如形成为200 μ m的玻璃基材进行蚀刻加工而形成。具体地，在如图2所示的俯视图中，第二基板52包括以基板中心点为圆心的圆形可动部521以及与可动部521同轴的用于保持可动部521的连接保持部522。可动部521的厚度尺寸大于连接保持部522，例如在本实施方式中，可动部521形成与第二基板52的厚度尺寸相同的厚度尺寸，即200 μ m。而且，可动部521包括平行于反射膜固定部512的可动面521A，该可动面521A上固定有隔着间隙G与第一反射膜56相对的第二反射膜57。这里，该第二反射膜57采用与上述第一反射膜56相同结构的反射膜。而且，可动部521的与可动面521A相对侧的上表面上对应于第二反射膜57的位置处形成有省略图示的防反射膜(AR)。该防反射膜具有与形成在第一基板51上的防反射膜相同的结构，通过将低折射率膜和高折射率膜交替层叠的方式形成。连接保持部522是包围可动部521的周围的隔板(diaphragm)，其厚度尺寸例如形成为50 μ m。该连接保持部522的与第一基板51相对的面上形成有隔着约1 μ m的电磁间隙G与第一电极541相对的环状第二电极542。这里，通过该第二电极542和上述第一电极 541构成静电致动器54。而且，从第二电极542的一部分外周边缘向外周方向形成有一对第二引出电极 542A。具体地，如图2和图4所示，在标准具的俯视图中，第二引出电极542A分别向标准具 5的右上方和左下方延伸形成。这里，该第二引出电极542A以相对于基板中心点呈点对称的方式形成在第二基板52的对角线上。因此，当将第一基板51和第二基板52接合时，该第二引出电极542A与第一基板51的第二凹槽515相对。而且，该第二引出电极542A的前端分别形成有第二电极焊盘542B，该第二电极焊盘542B连接于电压控制部6。而且，在驱动静电致动器54时，通过电压控制部6向一对第二电极焊盘542B施加
9电压。在该结构中，与第一引出电极541A —样，即使一对第二引出电极542A中的一个第二引出电极断线，也可以从另一个第二引出电极542A向第二电极542施加电压。而且，通过一对第二引出电极542A将第二电极542连接于电压控制部6的结构与仅设有一个第二引出电极542A的结构相比，由于可以减低电阻，因此可以降低由电阻增大引起的电能损失。因此，可以降低向第二电极542施加规定电荷所需的驱动电压，从而更省 H1^ ο而且，从环状的第二电极542的右上端边缘引出一个第二引出电极542A，从第二电极542的左下端边缘弓丨出另一个引出电极542A。因此，第二电极542在从例如弓|出到右上方的第二引出电极542A到引出到左下方的第二引出电极542A之间形成并联电路，从而可以降低第二电极542上的电阻。3-2、电压控制装置的结构电压控制部6与上述标准具5 —起构成本发明的可变波长干涉滤光器。该电压控制部6根据从控制装置4输入的控制信号来控制对静电致动器54的第一电极541和第二电极542施加的电压。这时，如上所述，电压控制部6向一对第一引出电极541A以及一对第二引出电极542A施加电压，从而驱动静电致动器54。4、控制装置的结构控制装置4控制测色装置1的整体动作。该控制装置4例如可以使用通用个人计算机或便携式信息终端，此外还可以使用测色专用计算机等。而且，如图1所示，控制装置4包括光源控制部41、测色传感器控制部42以及测色处理部43等而构成。光源控制部41连接于光源装置2。而且，光源控制部41例如根据用户的设定输入向光源装置2输出规定的控制信号，从而使光源装置2发出规定亮度的白光。测色传感器控制部42连接于测色传感器3。而且，测色传感器控制部42例如根据用户的设定输入来设定测色传感器3所要接收的光的波长，并向测色传感器3输出表示内容为检测该波长的光的受光量的控制信号。由此，测色传感器3的电压控制部6根据控制信号设定对静电致动器54施加的电压，以使仅透过用户所希望的光波长。5、本实施方式的作用效果如上所述，在上述实施方式的测色装置1中，设置在测色传感器3上的标准具5包括用于调整第一反射膜56与第二反射膜57之间的间隙G的尺寸的静电致动器54，该静电致动器54包括形成在第一基板51上的第一电极541以及形成在第二基板52上的第二电极542。而且，第一电极541与一对第一引出电极541A连接，从该一对第一引出电极541A 向第一电极541施加驱动电压。第二电极542同样与一对第二引出电极542A连接，从该一对第二引出电极542A向第二电极542施加驱动电压。在这样的结构中，即使一对第一引出电极541A(第二引出电极542A)中的一个引出电极断线，也可以通过另一个第一引出电极541A(第二引出电极542A)向第一电极 541 (第二电极542)施加驱动电压，从而提高了布线可靠性，可以稳定地驱动标准具5。而且，与仅使用一个第一引出电极541A (第二引出电极542A)的情况相比，使用一
10对第一引出电极541A(第二引出电极542A)向第一电极541 (第二电极542)施加电压可以降低第一引出电极541A(第二引出电极542A)的电阻。而且，第一电极541 (第二电极542) 也由于连接有第一引出电极541A(第二引出电极542A)而形成并联电路，因此还可以降低第一电极541 (第二电极542)上的电阻。因此，可以抑制由电阻引起的电能损失，从而降低了驱动标准具5时的功耗。因此，具有上述标准具5的测色传感器3和测色装置1提高了可靠性，可以更省 H1^ ο而且，在俯视图中，第一引出电极54IA和第二引出电极542A设置在互不重叠的位置。具体地，第一引出电极541A相对于第一基板51的基板中心呈点对称地设置在第一基板51的对角线上。第二引出电极542A也相对于第二基板52的基板中心呈点对称地设置在第二基板52的对角线上。在这样的结构中，由于第一引出电极541A不与第二引出电极542A相对，因此它们之间没有静电引力作用。因此，可动部521仅在作用于第一电极541与第二电极542之间的静电引力的作用下进行位移，从而可以使可动部521具有均勻的位移量。也就是说，可以维持可动部521的可动面521A与反射膜固定面512A的平行，并使该可动部521进行位移， 实现了对标准具5的稳定驱动。而且，如上所述，一对第二引出电极542A相对于第二基板52的基板中心点呈点对称地形成，因此可以使连接保持部522的弯曲平衡均勻，从而可以在维持可动部521与反射膜固定面512A的平行的状态下使可动部521进行位移。此外，第一凹槽514和第二凹槽515沿对角线形成在第一基板51上。而且，第一基板51在第一凹槽514中形成第一引出电极541A，第二基板52在与第二凹槽515相对的位置处形成第二引出电极542A。在这种结构中，第一引出电极541A和第二引出电极542A不会被夹在第一基板51 与第二基板52的接合部分上，从而第一基板51和第二基板52可以以平行状态进行接合。 也就是说，如果是未形成第一凹槽514和第二凹槽515的结构，第一引出电极541A和第二引出电极542A会被夹在第一基板51与第二基板52的接合部分上，因此例如当活化第一基板51和第二基板52的表面以通过光学接触来接合第一基板51和第二基板52时，夹在接合部分上的引出电极541A、542A可能会使接合部分剥离。而且，通过粘接剂等粘接层来接合第一基板51和第二基板52时，基板51、52也可能会在夹有引出电极541A、542A的位置发生歪斜，从而无法维持可动部521与反射膜固定面512A的平行。对此，如上所述，通过与第一引出电极541A和第二引出电极542A的形成位置对应地形成第一凹槽514和第二凹槽 515，该第一引出电极541A和第二引出电极542A不会被夹在接合部分上，因而能避免上述的剥离和歪斜等问题。其他实施方式本发明不限于上述的实施方式，在能实现本发明的目的的范围内进行的变形和改进等都包含在本发明中。例如，上述实施方式中，在图2所示的俯视图中，在从第一基板51的左上方到右下方的对角线上设置第一引出电极541A，在从第二基板52的右上方到左下方的对角线上设置第二引出电极542A，但不限于此。例如可以在从第一电极51的右上方到左下方的方向上形成第一引出电极541A，在第二基板52的左上方到右下方的方向上形成第二引出电极 542A。而且，上述实施方式例示了考虑到第一电极焊盘541B和第二电极焊盘542B的形成容易度及布线连接效率等而沿着第一基板51和第二基板52的对角线设置第一引出电极 541A和第二引出电极542A的结构，但不限于此。例如也可以在图2所示的标准具的俯视图中，以纸面的左右方向为χ轴方向，以纸面的上下方向为y轴方向，以基板中心点为原点， 并将原点到第一电极541和第二电极542的外周边缘的半径尺寸设为d时，在第一基板51 上设置从第一电极541的外周边缘上的点(+d，0)向+χ方向延伸的第一引出电极以及从点 (_d，0)向-χ方向延伸的第一引出电极。同样，可以在第二基板52上设置从第二电极542 的外周边缘上的点(0，+d)向+y方向上延伸的第二引出电极以及从点(0，-d)向_y方向延伸的第二引出电极。这种结构中，第二基板上的一对第二引出电极也相对于基板中心点呈点对称，因此也能在维持可动部521与反射膜固定面512A的平行的状态下使可动部521 进行位移，而不会破坏可动部521的弯曲应力平衡。而且，由于第一电极541、第二电极542 到第一电极焊盘541B、第二电极焊盘542B的距离变短，因此第一引出电极541A和第二引出电极542A的电阻变小，可以更加省电。而且，在图2的标准具中，例如可以从第一电极541向左上角顶点和左下角顶点形成第一引出电极，从第二电极542向右下角顶点和右上角顶点形成第二引出电极。只是，这种情况下，第二基板52上的连接保持部522的右侧强度可能会与第二引出电极相应地增大，从而不易弯曲。这时，也可以从第二电极542向左上角顶点和左下角顶点形成具有与第二引出电极相同的拉伸强度的虚拟电极(dummy electrode) 0而且，这种情况下，为使第一引出电极541A与虚拟电极之间无静电引力作用，只要使虚拟电极与第二电极542绝缘或将虚拟电极替换为具有与第二引出电极相同的拉伸强度的非导电膜等即可。而且，在上述实施方式中例示了在第一基板51上形成第一凹槽514和第二凹槽 515的结构，但也可以在第二基板52上形成第一凹槽和第二凹槽。只是，上述实施方式中， 第一基板51为厚度为500 μ m的基板，而第二基板52为厚度为200 μ m的基板，形成凹槽时，需要在第二基板52的靠第一基板51 —侧的面上形成用于形成第二电极542的电极形成槽之后再形成与该电极形成槽相同深度尺寸的凹槽。这时会产生第二基板52的基板强度下降以及蚀刻工序复杂导致蚀刻精度也下降等问题。虽然通过增大第二基板52的厚度尺寸来形成凹槽时也能得到能获得充分的强度且可动部521更不易弯曲的结构，但这种情况下，由于用于形成连接保持部522的蚀刻量增大，因此也会产生蚀刻时间增多等问题。因此，如上述实施方式所述，优选在第一基板51侧形成凹槽。而且，上述实施方式中示出了在标准具5的第二基板52上设置可动部521并且第二基板52的可动部521向第一基板51侧位移的例子，但例如也可以采取在第一基板51上设置可动部并使该可动部能向第二基板52侧位移的结构等。而且，也可以采取在第一基板 51和第二基板52上都设置可动部并使这些可动部能分别对厚度方向位移的结构等。而且，上述实施方式中例示了作为滤光器模块的测色传感器3，并且例示了作为分析装置的测色装置1，但不限于此。例如，本发明的滤光器模块也可以用作通过用受光元件接收作为滤光器元件的标
12准具5所提取的光从而检测气体特有的吸收波长的气体检测滤光器，而分析装置也可以用作根据气体检测模块所检测的吸收波长来判断气体种类的气体检测装置。而且，滤光器模块例如还可以用作从诸如光纤等光传递介质所传输的光中提取所期望波长的光的光通信模块。而且，分析装置还可以用作从这种光通信模块所提取的光对数据进行解码处理并提取光所传输的数据的光通信装置。此外，实施本发明时的具体结构和顺序可以在能实现本发明的目的的范围内适当变更为其他结构等。标号说明
1作为分析装置的测色装置
3作为滤光器模块的测色传感器
5作为滤光器元件的标准具
51第一基板
52第二.基板
56第一反射膜
57第二.反射膜
514 第--凹槽
515 第二二凹槽
541 第--电极
541A 第一引出电极
542 第二二电极
542A 第二引出电极
1权利要求
1.一种滤光器元件，其特征在于，具备第一基板；与所述第一基板相对的第二基板； 设置在所述第一基板上的第一反射膜；设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜； 设置在所述第一基板上的第一电极； 设置在所述第二基板上并与所述第一电极相对的第二电极； 设置在所述第一基板上并与所述第一电极连接的一对第一引出电极；以及设置在所述第二基板上并与所述第二电极连接的一对第二引出电极。
2.根据权利要求1所述的滤光器元件，其特征在于，在从厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，所述第一引出电极和所述第二引出电极设置在互不重叠的位置上。
3.根据权利要求2所述的滤光器元件，其特征在于， 所述第一基板和所述第二基板形成为矩形，所述一对第一引出电极分别设置在所述第一基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上，所述一对第二引出电极分别设置在所述第二基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器元件，其特征在于，在从厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，所述第一基板和所述第二基板中的至少一个基板上设置有与所述一对第一引出电极和所述一对第二引出电极的设置位置相对应的凹槽。
5.一种滤光器模块，其特征在于，包括权利要求1至4中任一项所述的滤光器元件。
6.一种分析设备，其特征在于，包括权利要求5所述的滤光器模块。
7.一种滤光器元件，其特征在于，具备 第一反射膜；与所述第一反射膜相对的第二反射膜；形成在所述第一反射膜的周围的第一电极；形成在所述第二反射膜的周围并与所述第一电极相对的第二电极；与所述第一电极连接的一对第一引出电极；以及与所述第二电极连接的一对第二引出电极，其中，在从所述一对第一引出电极中的一个所述第一引出电极经由所述第一电极到另一个所述第一引出电极之间形成并联电路，在从所述一对第二引出电极中的一个所述第二引出电极经由所述第二电极到另一个所述第二引出电极之间形成并联电路。
8.根据权利要求7所述的滤光器元件，其特征在于，在从厚度方向观察第一基板和第二基板的俯视图中，所述第一引出电极和所述第二引出电极设置在互不重叠的位置上。
9.根据权利要求8所述的滤光器元件，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板形成为矩形，所述一对第一引出电极分别设置在所述第一基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上，所述一对第二引出电极分别设置在所述第二基板的对角线上且相对于基板中心呈点对称的位置上。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的滤光器元件，其特征在于，在从厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，所述第一基板和所述第二基板中的至少一个基板上设置有与所述一对第一引出电极和所述一对第二引出电极的设置位置相对应的凹槽。
11.一种滤光器模块，其特征在于，包括权利要求7至10中任一项所述的滤光器元件。
12.—种分析设备，其特征在于，包括权利要求11所述的滤光器模块。
全文摘要
本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。
文档编号G01N21/31GK102221744SQ20111009833
公开日2011年10月19日 申请日期2011年4月19日 优先权日2010年4月19日
发明者佐野朗, 新东晋 申请人:精工爱普生株式会社