专利名称：扩散片pn面认向仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扩散片PN面认向仪。
背景技术：
扩散片是半导体制造过程中的半成品，其生产过程中需要进行PN面的判定。传统的检测方法一是观察法，通过区分P面和N面条纹或扩散片的凹凸方向来判别，此方法认向效率低且会造成一定程度的误判。二是化学方法，取出部分扩散片，放置于混酸测试溶液中，根据扩散片PN面的不同腐蚀速率来判断PN面，判别效率低且具有破坏性。

实用新型内容针对现有技术的不足，本实用新型采用如下技术方案为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案扩散片PN面认向仪，包括底座以及固定在底座上的支撑杆，所述的支撑杆上固定连接有用于放置扩散片的托台，所述的扩散片PN面认向仪还包括第一钢针、第二钢针、第一摆臂、第二摆臂和支架，所述的第一摆臂的一端与支架连接，另一端与第一钢针连接，所述的第二摆臂的一端与支架连接，另一端与第二钢针连接，在所述的第一钢针的端部固定设置有一电加热装置，所述的扩散片PN面认向仪还包括微电流放大器和与微电流放大器导线连接的电流表，所述的微电流放大器的另一端与支架导线连接。所述的电加热装置为电烙铁。上述方案中当电加热装置接通电源后，第一钢针就会受热，将第一钢针和第二钢针的针头部同时抵于待认向扩散片的同一面上，通过钢针温差激发电子流，电子流通过微电流放大器放大后，由接在放大器输出端的电流表上体现出来。本实用新型的有益效果在于该设计结构简单，判断准确快捷，并且不具有破坏性，可广泛应用于实际生产和批量作业。

图I为本实用新型的结构示意图图中1为底座,2为支架，3为托台,4为第一钢针,5为第二钢针,6电烙铁,41为第一摆臂，51为第二摆臂，7为微电流放大器，8为电流表，9为支撑杆，10为扩散片；
具体实施方式
实施例I扩散片PN面认向仪，包括底座I以及固定在底座I上的支撑杆9，所述的支撑杆9 上固定连接有用于放置扩散片10的托台3，所述的扩散片PN面认向仪还包括第一钢针4、 第二钢针5、第一摆臂41、第二摆臂51和支架2，所述的第一摆臂41的一端与支架2连接， 另一端与第一钢针4连接，所述的第二摆臂51的一端与支架2连接，另一端与第二钢针5连接，在所述的第一钢针4的端部固定设置有一电烙铁6，所述的扩散片PN面认向仪还包括微电流放大器7和与微电流放大器7导线连接的电流表8，所述的微电流放大器7的另一端与支架2导线连接。使用时，将电烙铁6接上电源，对其接触的第一钢针4加热，将第二钢针5和受热的第一热钢针4同时抵在扩散片10的同一面，利用同一面的钢针温差激发电子流，该电子流经微电流放大器7放大后，由电流表8读出。
权利要求1.扩散片PN面认向仪，包括底座以及固定在底座上的支撑杆，其特征在于，所述的支撑杆上固定连接有用于放置扩散片的托台，所述的扩散片PN面认向仪还包括第一钢针、第二钢针、第一摆臂、第二摆臂和支架，所述的第一摆臂的一端与支架连接，另一端与第一钢针连接，所述的第二摆臂的一端与支架连接，另一端与第二钢针连接，在所述的第一钢针的端部固定设置有一电加热装置，所述的扩散片PN面认向仪还包括微电流放大器和与微电流放大器导线连接的电流表，所述的微电流放大器的另一端与支架导线连接。
2.根据权利要求I所述的扩散片PN面认向仪，其特征在于所述的电加热装置为电烙铁。
专利摘要扩散片PN面认向仪，包括底座以及固定在底座上的支撑杆，所述的支撑杆上固定连接有用于放置扩散片的托台，所述的扩散片PN面认向仪还包括第一钢针、第二钢针、第一摆臂、第二摆臂和支架，所述的第一摆臂的一端与支架连接，另一端与第一钢针连接，所述的第二摆臂的一端与支架连接，另一端与第二钢针连接，在所述的第一钢针的端部固定设置有一电加热装置，所述的扩散片PN面认向仪还包括微电流放大器和与微电流放大器导线连接的电流表，所述的微电流放大器的另一端与支架导线连接，本实用新型设计结构简单，判断准确快捷，并且不具有破坏性，可广泛应用于实际生产和批量作业。
文档编号G01R31/26GK202351390SQ201120489368
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者宣玉龙 申请人:常州星海电子有限公司