专利名称：高产率半导体器件测试的制作方法
技术领域：
本发明整体涉及测试电子器件，更具体地讲涉及增加的测试系统的产率。2.相关领域在半导体器件的制造过程中，已知对器件进行测试以确保它们正常工作。很多情况下，对每个器件进行多种测试，每种测试涉及对器件应用激励信号，然后测量器件的响应信号输出。为支持半导体制造设施中必须进行的大量测试，通过自动测试设备进行测试。可将测试设备编程以生成电信号，该电信号可作为测试激励应用到被测器件。还可将测试设备编程以捕获被测器件的输出。对捕获的信号进行分析以确定被测器件是否正常运行。如果分析反映出器件不能完全根据需要运行，则可以改变对器件进行的制造工艺。例如，在测试后，可以将有缺陷的器件废弃，而无需进一步加工。或者，可将运行但不能满足所有所需性能标准的器件“分级”。分级允许将具有部分功能的器件出售，但通常以低价售出。测试系统捕获的输出信号的特点取决于被测器件的预期功能。一些半导体器件仅产生数字输出。但其他器件仅产生模拟输出或产生模拟输出和数字输出两者。例如，预期用作移动电话或磁盘驱动器的控制器的半导体芯片产生模拟输出。为支持具有模拟输出的器件的测试，自动测试设备具有模拟信号捕获组件和信号处理电路，例如数字信号处理器，其可以是专用的硬件，或者可以是进行数字信号处理操作的通用处理单元。数字信号处理器处理样本以确定输出信号的参数值，然后可将所述值与那些参数的可接受范围比较，以确定被测器件的性能。这些参数的例子包括信号振幅、总谐波失真、带内噪声以及互调信号的幅度。通常使用周期信号(很多情况下为正弦信号)对产生模拟输出信号的器件进行测试。一旦被测器件对输入信号作出响应，输出信号也可能为周期性的。这种响应并非即刻出现。相反，在紧接着应用或改变激励信号后，可能存在输出过渡到稳态周期信号的过渡间隔。该过渡间隔有时称为“稳定间隔”或“稳定时间”，因为输出信号表现为“稳定”到其稳态状况。在此间隔中，信号还可以描述为包括“近直流漂移”分量，因为尽管在稳定间隔期间振荡，周期信号仍表现为关于随时间推移缓慢改变的水平振荡。输出信号振荡所围绕的点朝向输出信号稳定时振荡所围绕的点“漂移”。在任何指定时间，近直流漂移代表稳定间隔期间该时间处的该振荡源与稳态下的该振荡源之间的差值。特别是对应为周期性模拟信号的对象进行测试时，如果在信号稳定过程中收集信号样本，通过处理那些样本而确定的信号参数值可能得出关于器件运行的错误结论。此类错误结论可能例如由于诸如电压峰值(Vpk)的测量值的漂移的影响，或又如由于近直流漂移所形成的频率域内的频谱泄漏。为避免错误测试结果，已知的是，在测试半导体器件时不在稳定间隔期间收集样本，或者将该稳定间隔期间收集的样本废弃而不进行分析。可以根据所需精确度水平设置稳定间隔，但可以是例如直流漂移降低95%所需的时间。或者，可以将稳定时间经验性地设置为足够少的器件测试失败的“足够”时间，如果应用更长的等待时间，这些器件将通过测试。稳定间隔可为毫秒级，或者例如数十或数百毫秒级。完整的器件测试可能需要成百上千次单独测试，因此将这些稳定时间相加。该稳定时间可为测试半导体器件所需总时间的相对较高的百分比。每次应用或改变激励信号时等待输出信号稳定的需要可形成称为“器件有限产率”的情况。器件有限产率是指布置在半导体制造环境中的自动测试系统具有以更高速率测试器件的能力，并且如果其不在稳定间隔期间等待以收集可用样本，则可以更高速率测试器件。由于建立半导体测试设施以支持半导体制造的成本较高，并且因为此类成本必须按比例地分配到每个被测器件的总制造成本中，因此器件产率有限是不可取的。

发明内容
在一个方面，本发明可以实施作为测试电子器件的方法。本方法可以包括接收代表电子器件输出的多个周期信号样本。通过多个样本的至少一部分，可以计算周期信号的第一稳定分布。可以从多个样本减去第一稳定分布，从而获得第一多个调整样本。可以在第一多个调整样本上执行分析功能。在另一方面，本发明涉及制造半导体器件的方法。所述制造可以包括测试器件以及根据器件的测试结果有条件地执行至少一个制造操作。在另一方面，本发明可以实施作为测试系统。测试系统可以包括被配置用于接收被测器件输出的数字转换器。预处理器可以接收来自数字转换器的多个样本并根据多个样本导出被测器件输出的稳定分布。可以从多个样本减去稳定分布，从而得到多个调整样本。被配置用于接收多个调整样本的处理器可以根据多个调整样本执行测试功能。在另一方面，本发明可以实施作为非瞬时性、计算机可读存储介质，其包括计算机可执行指令，执行所述指令时，其处理代表电子器件输出的多个周期信号样本。可以根据如下方法进行该处理，所述方法包括对多个样本的至少一部分拟合多项式。可以从多个样本减去基于多项式的值，从而得到调整过的样本，基于多项式的值代表电子器件输出的稳定。上述为由所附权利要求限定的本发明的非限制性内容。


附图并非意图按比例绘制。在附图中，在多张图中所示的每个相同或近乎相同的部件由相同的标号表示。为了清晰起见，并非对每张附图中的每个部件都进行了标记。在图中:图1为被配置用于测试半导体器件的自动测试系统的功能框图；图2为示出稳定间隔期间捕获的输出信号与稳态下的输出信号之间的差异的曲线.
图3A-3C示出了根据本发明的一些实施例调整输出信号的处理；图4为根据本发明的一些实施例调整输出信号的处理的流程图；以及
图5为示出图4的流程图所示一些处理步骤的详细内容的流程图。
具体实施例方式本发明人已认识并理解到，电子器件制造的效率可用测试系统改善，该测试系统使用在输出信号的稳定间隔期间收集的输出信号样本生成准确的测试结果。通过对这些样本的分析，可对信号的近直流漂移建模。通过近直流漂移模型，可辨别出信号的稳定分布。可使用稳定分布调整捕获的样本，用于代表不受稳定间隔期间出现的近直流漂移影响的输出信号。根据经调整样本执行的分析功能的准确度接近于在等待稳定间隔之后获取的样本上执行该功能时实现的准确度。然而，通过不等到稳定间隔过去后才获得可用于分析输出信号的样本，减少了对被测器件应用激励信号时与捕获足够的输出信号样本时之间的时间。当测试系统的产率为器件所限制时，减少把测试系统资源专用于捕获来自被测器件的输出的时间量可增加测试系统的产率，使得整个半导体制造操作更加有效。可以使用采用本领域已知技术构造的自动测试系统进行根据本发明实施例的快速准确的半导体器件测试。然而，自动测试系统可以不同于常规的测试系统，不同之处在于其适于在输出信号的相应稳定间隔期间捕获和分析来自被测器件的输出。图1提供了根据本发明的一些实施例的测试系统100的例子，该测试系统可以在稳定间隔期间捕获和分析输出。可在用于制造半导体器件或电子组件的设施中使用测试系统100。器件或组件中的每一个可以处于任何合适的制造阶段。在某些情况下，在半导体器件在具有多个其他器件的晶片上仍为裸芯片形式时，诸如测试系统100的测试系统可用于测试该半导体器件。在其他情况下，在将器件从晶片切断并包装为单个组件后，诸如测试系统100的测试系统可用于测试这些器件。在其他情况下，诸如测试系统100的测试系统可用于测试电子组件。此外，可以在制造设施中进行这些测试操作，在其中于半导体器件或电子组件的制造过程中进行制造、包装或其他操作。但在某些情况下，半导体或电子组件制造操作可以分散，使得测试系统100位于仅执行测试操作的设施内。因此，半导体器件的制造操作中使用测试系统100的具体阶段并非对本发明的限制。可以使用构造测试设备的已知技术构造测试系统100。在图1所示具体例子中，测试系统100包括控制器120和一个或多个仪器13(V- 130n。每个仪器可以生成应用到一个或多个被测器件(或组件)DUTllO的一个或多个激励信号。仪器13(V" 130n中的每一个可以另外或作为另外一种选择捕获一个或多个来自DUTllO的输出信号。可以通过控制器120控制仪器13(V" 130n的操作。控制器120可以被编程用于控制仪器，从而生成和测量适用于分析特定被测器件或组件的信号。由仪器13(V- 130n总共生成的激励信号的数量和种类以及通过仪器13(V"130N测量和分析的来自DUTllO的输出信号的数量和种类可以取决于DUTllO的预期操作。因此，通过仪器13(V"130N生成和测量的信号的具体数量和种类对于本发明并不重要。仪器13(V" 130n中的每一个的构造可以取决于仪器将要生成或测量的具体信号。因此，仪器13(V"130N中的每一个可以是应用多个仪器的物理组件内的电路，或者在其他实施例中可以是单独的物理组件，所述组件互连形成仪器13(V" 130n中的一个。在一些实施例中，本发明可以用于周期性模拟信号。但在一些实施例中，测试系统可以另外生成和测量其他类型的模拟或数字信号。在图1的例子中，仪器UO1为模拟仪器，旨在生成应用到DUTllO的模拟信号，作为测试的激励信号。仪器OO1还被配置用于捕获DUTllO输出的模拟信号，以及用于分析捕获的信号。捕获信号的分析可以反映表明DUTllO是否正常运行的参数值。其他仪器13(V..130,可以具有类似构造或可以被配置用于执行本领域已知的其他测试功能。在图1的例子中，显示出仪器UO1由图案生成器140控制。如本领域已知，图案生成器140可以是自动测试系统中的组件。图案生成器140可以被配置用于控制仪器UO1内的其他组件，或者在一些实施例中控制其他仪器，从而生成应用到DUTllO上的测试点的激励信号。相似地，图案生成器140可以控制仪器UO1内的其他组件，从而测量和分析来自DUTllO上测试点的输出信号。在图1所示实施例中，应用激励信号的测试点不同于在其上测量响应信号的测试点。然而，并不要求在不同点测量激励和响应信号，或者由测量响应信号的相同仪器应用激励信号。此外，应当理解，不止一个激励信号可以同时应用到DUT110，并且可以测得不止一个响应信号，作为DUTllO的输出。此外，应当理解，激励信号不一定为模拟信号，并且可以是例如触发器件操作的数字信号。在一些实施例中，当被测器件在没有任何明确输入的情况下生成模拟输出时，可能不存在明确激励信号。因此，应当认识到，出于图示简便性，仅示出一个激励和一个响应信号。对于复杂器件，可以进行多个测试，从而评估该器件是否正常运行。因此，图案生成器140可以被编程用于控制仪器UO1，从而在单个被测器件上进行多个测试。可以通过控制器120控制进行每个测试的定时，使得所有仪器的操作可以同步进行。在常规的测试系统中，涉及捕获DUTllO输出的响应信号的每个测试可以结合稳定间隔，使得在稳定间隔期间不捕获DUTllO的输出，或者如果在稳定间隔期间捕获输出，则将其废弃。可以对DUTllO上进行的每个测试重复该稳定间隔，因为每个测试可以引起输出信号的变化。在针对近直流漂移调整由DUTllO生成的输出信号的分析的实施例中，可以对每个测试进行调整。由图案生成器140控制的组件中的一个可以是定时生成器150。定时生成器150还可以是本领域已知的组件或仪器。虽然可以通过控制器120确定测试过程的总体控制，但仪器OO1可以生成定时信号，以控制仪器OO1或另一个仪器13(ν..130Ν内的一个或多个组件的操作。那些定时信号可以在程序设定的时间出现，从而为测试系统100提供灵活性，所述测试系统将被编程用于对许多不同种类的器件执行测试。由定时生成器150生成的定时信号可以控制其他组件，例如波形生成器160。波形生成器160还可以是本领域已知的组件。在这个例子中，波形生成器160可为可编程用于生成周期信号。在图示实施例中，周期信号可为正弦波，该正弦波具有根据DUTllO上将进行的具体测试而设定的频率和振幅。然而，本发明并不限于处理正弦测试信号，并且在一些实施例中，波形生成器160可为可编程用于生成任意波形形状的周期信号。在其他实施例中，DUTllO可以不需要对一些或所有特定测试进行激励，并且在此类情况下，波形生成器160可以被禁用或可以不包括在仪器UO1内。无论波形生成器160生成的信号的具体格式如何，该信号均可以耦合到DUT110。此处，该耦合示意性地示为通过放大器162发生。波形生成器160与DUTllO之间的具体机械连接和电连接对于本发明并不关键，并且为简便起见，并未在图1中明确示出。然而，该耦合可以使用本领域已知的技术执行，或者如果没有提供明确的激励信号，该耦合可以完全不存在。在DUTllO的测试过程中，可以测得一个或多个输出信号。图1示出了通过仪器130:测得的一个此类输出信号。如图所示，DUTllO上可接入该输出信号的测试点耦合到仪器130i。测试点可以是可形成电连接的任何合适的点，并且可以在特别结合用于支持测试接入的结构上，或者可以是在器件的正常操作过程中可对其形成电连接的器件。在这个例子中，将输出信号通过缓冲器166耦合并提供到数字转换器，在数字转换器中以数字形式表示模拟输出。但应当理解，缓冲器电路166对本发明并不关键。在图1的例子中，捕获电路180可以用作数字转换器。捕获电路180还可以已为本领域已知，并且例如可以包括采样电路和对数字转换器的模拟。但应当理解，捕获电路180的具体构造对本发明并不关键。无论捕获电路180的具体构造如何，捕获电路180都可以获得来自DUTllO的一系列输出信号样本。这些样本可为数字形式，用于在数字处理器中进行处理。在图1的例子中，将捕获电路180获得的样本提供到预处理器182，该预处理器可以具体实现为数字信号处理器或其他合适的电路。在图1所示实施例中，将捕获电路180捕获的样本直接提供给预处理器182。然而，在通过预处理器182处理前将捕获的样本存储在数字存储器中或换句话讲缓冲该样本的实施例是可行的。然而，出于简便性考虑，未示出在处理前缓冲输出信号样本的构造。可以例如通过存储在程序存储器184中的计算机可执行指令对预处理器182进行编程，以执行根据本发明实施例的处理技术，从捕获的输出信号去除近直流漂移。然后，可以将在去除近直流漂移后由预处理器182产生的调整过的输出信号提供给处理器190。处理器190可以是本领域已知的处理器，或者可以是任何其他合适的电路。处理器190可以被配置用于测量捕获的输出信号的参数值，例如其振幅、总谐波失真、带内噪声或互调信号。但应当理解，对捕获的DUTllO输出进行的具体处理对本发明并不关键，并且处理器190可以被配置用于进行任何合适的处理。处理器190中进行的处理的结果可用于确定DUTllO的适用配置。然而，处理结果可以与通过测试其他被测器件收集的其他信息聚集，用于推断需要对制造半导体器件或电子组件(如DUT110)中所用制造操作进行的调节。应当认识到，图1以分立元件的形式示出了预处理器182和处理器190。然而，本发明并未要求预处理器182与处理器190分离。在一些实施例中，测试系统可以包括数字信号处理芯片、器件、仪器或程序，并且预处理器182和处理器190的功能可以通过相同数字信号处理芯片、器件、仪器或程序执行。然而，其他具体实施也是可能的。在其他实施例中，预处理器182可以是单独的专用集成电路(ASIC)或其他电路。在专用电路中实现预处理器182从而将近直流漂移从捕获的输出信号去除的实施例中，该电路的构造可限定其操作，使得单独的程序存储器184并非必需。然而，根据本发明实施例的测试系统的合适的具体实施可以将函数加入与测试系统内的数字信号处理器相关的编程库中。因此，该函数可用于测试被测器件的工程师编写的测试程序。调用该函数时，可以输入从被测器件捕获的一组样本的形式接受它，并且可以返回一组反映已去除近直流漂移的捕获信号的调整样本。可将此类库函数的输出提供给以常规方式准备的一个或多个分析函数。可以例如通过程序存储器184中的计算机可执行指令实现此类库函数，这些指令在测试系统100执行包括库函数调用的程序时执行。但应当理解，用于去除近直流漂移的技术可以任何合适的方式加入半导体器件或电子组件的测试中。无论该技术以何种方式加入测试系统，在调用时，去除近直流漂移可以得到准确的测试结果，同时占用测试器资源的时间更短。图2为示出来自被测 器件110的输出210的草图，该草图可用于理解根据一些实施例的测试系统的操作。该曲线包括样本数量轴。在这个例子中，该曲线以第一捕获样本开始，并且示出了 2048个样本上的波形形状，但应当理解，样本的具体数量对本发明并非决定性的并且任何合适的样本数量均适用。虽然输出信号210在该间隔内是周期性的，但可见信号210振荡所围绕的水平随间隔而变化，在该间隔内捕获了输出信号样本。叠加在输出信号210上的是稳态信号212的表不。稳态信号212同样是周期信号，但在这个例子中，稳态信号212振荡所围绕的水平恒定在零左右。当然，在其他例子中，稳态下的信号平均值可以不为零。如果在输出信号210的稳定间隔末尾捕获到足够的输出信号210样本，输出信号210将表现为类似于稳态信号212。在图2的例子中，可见在时间轴的前段，输出信号210偏离稳态信号212的程度更加明显。随着时间推移，输出信号210稳定并且更接近于稳态信号212。在现有测试技术中，对稳定间隔后的输出信号210部分进行分析，使得捕获的输出信号210非常类似于稳态信号212。根据本发明的一些实施例，并不是避免在稳定间隔期间获得样本或将稳定间隔期间获得的样本废弃，而是对输出信号210样本进行数学调整，以生成更接近于稳态信号210的经调整信号。图3A-3C示出了根据本发明一些实施例可以对捕获的输出信号进行的处理。图3A示出了输出信号310。在这个例子中，输出信号310通常为正弦信号。此处，示出了输出信号310的四个周期P1-P4，但应当理解，输出信号310的具体周期数量对本发明并不关键。如图3A中可见，输出信号310逐渐稳定，使得其跨周期P1J2和P3逐渐接近其稳态值，该图可作为本文对稳定间隔的图示说明。输出信号310示为在周期P4基本上达到其稳态值。然而，应当理解，出于图示简起见，图3A中示出了在四个周期上的逐渐稳定。实际输出信号可能需要少于或多于四个周期以达到稳态。在诸如测试系统100的测试系统中，其中以数字形式捕获输出信号用于处理，输出信号310可以通过一系列样本表示。此处，示出了一系列周期性样本，但出于图示简便起见，仅对样本3121、312f312N进行了编号。根据本发明的一些实施例，对样本312:、3122…312,进行处理，以计算输出信号310的稳定分布。稳定分布代表近直流漂移量关于时间的变化，并且可以任何合适的方式计算，所述方式将近直流漂移分量从稳定间隔上的输出信号310中减去。在图3B所示实施例中，计算一组代表直流漂移的值，并且通过用曲线拟合这些值来获得稳定分布。在图3B的例子中，使用跨越一段时间的样本生成代表该时段内输出信号310中的直流漂移的值。使用多个周期的每一个的计算值作为数据组中的数据点，然后用曲线拟合所述数据点以建立稳定分布模型。图3B示出了具有四个此类值的数据组，每个值对应于图3A所示四个周期匕…匕中的一个。具体地说，值320:代表周期P1期间的输出信号310。值3202代表周期P2期间的输出信号310。值3203代表周期P3期间的输出信号310，以及值3204代表周期P4期间的输出信号310。可以任何合适的方式生成代表每个周期内输出信号310的近直流漂移的值32(V"3204，所述方式允许输出信号310的近直流漂移分量与信号的稳态分量分离。在所示例子中，值320^"3204中的每一个由输出信号310的周期内的对应样本3121、312^312N计算得出。在这种情况下，值32(V..3204中的每一个代表输出信号310的对应周期内的样本312p312^..312Ν的平均值。用于形成数据组的一种合适的方法包括获取一个周期内的平均y值(代表信号水平)，在捕获的样本中，该平均值对于正弦信号可以是波长。选择对应的X值(代表时间或样本数量)作为该波的中心点。对于每个波，可在相同阵列中重复该计算。如果样本长度为(例如)2K(N=2048)个样本，并且预期的DUT输出信号是捕获的输出信号的快速傅里叶变换(FFT)的bin(M=IO)中的音调，则波长为:
权利要求
1.一种通过电子器件处理信号输出的方法，所述方法包括: 接收代表所述电子器件的输出的多个周期信号样本； 通过所述多个样本的至少一部分计算所述周期信号的第一稳定分布； 从所述多个样本减去所述第一稳定分布，从而获得第一多个调整样本；以及 对所述第一多个调整样本执行分析功能。
2.根据权利要求1所述的方法，其中计算包括对所述多个样本拟合多项式。
3.根据权利要求1所述的方法,其中计算包括对所述多个样本拟合曲线。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述方法还迭代地包括: 对所述多个样本拟合曲线，并且在所述第一次迭代后的每次迭代中，通过以下方式调整所述多个样本: 计算在前一次迭代中提供的所述调整样本反映的所述电子器件的输出的稳定模型；以及 通过从所述前一次迭代中提供的所述调整样本减去所述迭代中计算的所述稳定模型的值，提供调整样本。
5.根据权利要求1所述的方法，还包括: 通过所述第一多个调整样本计算所述第一多个调整样本的第二稳定分布；以及 从所述第一多个调整样本减去所述第二稳定分布，从而获得第二多个调整样本。
6.根据权利要求5所述的方法，其中计算包括对所述多个样本拟合第一曲线以及对所述第一多个调整样本拟合第二曲线。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一曲线和所述第二曲线不同。
8.根据权利要求4所述的方法，其中对所述多个样本拟合曲线包括对所述第一次迭代中的所述多个样本拟合多项式，以及对于所述第一次迭代后的每次迭代，对所述前一次迭代中提供的所述调整样本拟合多项式。
9.根据权利要求4所述的方法，其中迭代地拟合所述曲线包括进行6和12次之间并包括6和12次的迭代。
10.根据权利要求9所述的方法，其中在所述迭代的至少一部分中，所述曲线为阶数在4和8之间并包括4和8的多项式。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述拟合所述多项式包括拟合牛顿式多项式。
12.根据权利要求1所述的方法，其中计算包括对所述多个样本拟合指数曲线或样条曲线。
13.—种制造半导体器件的方法，所述方法包括: 根据权利要求1所述的方法测试所述器件；以及 根据测试所述器件的结果有条件地进行至少一个制造操作。
14.一种测试系统,包括: 数字转换器，所述数字转换器被配置用于接收被测器件的输出； 预处理器，所述预处理器被配置用于: 从所述数字转换器接收多个样本； 根据所述多个样本导出所述被测器件的输出的稳定分布； 从所述多个样本减去所述稳定分布，从而生成多个调整样本；以及处理器，所述处理器被配置用于接收所述多个调整样本并根据所述多个调整样本执行测试功能。
15.根据权利要求14所述的测试系统，其中所述预处理器包括数字信号处理器。
16.根据权利要求15所述的测试系统，其中所述预处理器通过计算机可执行指令配置，用于导出所述稳定分布并调整所述多个样本。
17.根据权利要求16所述的测试系统，其中所述计算机可执行指令包括数字信号处理库的一部分。
18.根据权利要求14所述的测试系统，其中所述预处理器包括ASIC。
19.一种非瞬时性计算机可读取存储介质，其包括计算机可执行指令，执行所述指令时，其根据以下方法处理代表所述电子器件的输出的多个周期信号样本，所述方法包括: 对所述多个样本的至少一部分拟合多项式； 从所述多个样本减去基于所述多项式的值，从而得到调整样本，所述基于多项式的值代表所述电子器件的输出的稳定。
20.根据权利要求19所述的非瞬时性计算机可读取存储介质，其中所述方法迭代地包括:在第一次迭代后的每次迭代中，通过以下方法生成调整样本: 对前一次迭代中提供的所述调整样本的至少一部分拟合多项式；以及 通过如下方式提供调整样本:从所述前一次迭代中提供的所述调整样本减去基于在所述迭代中对所述调整样本拟合的所述多项式的所述值。
21.根据权利要求20所述的非瞬时性计算机可读取存储介质，其中所述计算机可执行指令包括定制的数字信号处理库的函数，以输入所述多个样本的形式接受所述指令并作为最后迭代中所述调整样本提供的输出被提供。
22.根据权利要求21所述的非瞬时性计算机可读取存储介质，其中迭代地生成调整样本，包括进行预定次数的迭代，所述预定次数在6和12之间并包括6和12。
23.根据权利要求20所述的非瞬时性计算机可读取存储介质，其中不同迭代中的所述多项式具有不同的阶数。
24.根据权利要求23所述的非瞬时性计算机可读取存储介质，其中所述多项式为牛顿式多项式。
全文摘要
本发明提供了一种测试系统，所述测试系统提供用于分析的输出信号，而不需要所述测试硬件在稳定间隔期间闲置。所述测试系统包括预处理器，所述预处理器识别所述输出信号中出现的近直流漂移，然后调整所述输出信号以消除所述近直流漂移。可以计算用于分析的代表信号采集期间的多个时间中的每一个处的所述近直流漂移的值集，并可通过对所述值集拟合曲线将它们用于建立所述信号的稳定分布的模型。然后，可以从代表所述输出信号的样本减去所述稳定分布的模型，从而提供用于进一步分析的调整信号。
文档编号G01R31/28GK103140767SQ201180044624
公开日2013年6月5日 申请日期2011年9月9日 优先权日2010年9月15日
发明者劳伦斯·B·鲁斯 申请人:泰拉丁公司