专利名称：三氯氢硅取样柜的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅生产中的氯硅烷取样装置，涉及管道和设备内氯硅烷取样柜装置。
背景技术：
目前现有的三氯氢硅取样柜，多设计为闭路循环结构，这种结构的取样柜能够达到安全和环保的要求，但是取样过程十分繁琐、特别耗时(一个小时/样)，取样工作效率较低，而且使用过程中金属取样钢瓶容易被样品腐蚀，污染样品造成样品失真。现有取样装置结构，有如申请日2009年10月观日，公告号CN201555740U的实用新型专利，公开了一种液态氯硅烷在线取样装置，所述的取样装置包括取样瓶，管线，三通阀，截止阀，取样瓶至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接有输出装置。这种结构的取样装置，就比较耗时，而且容易出现样品污染的情况。那么，为了满足现在很多生产过程中对三氯氢硅大量取样的需求，很多多晶硅厂家也采用取样瓶暴力取样的方式取样，这样取样时间大大缩短(只用二十分钟)，但是却带来了安全和环境污染的隐患，极易造成着火等事故的发生。
发明内容本实用新型的目的在于提供给一种新结构的三氯氢硅取样柜，在闭路环境下，简化取样步骤、不仅大大缩短了取样时间，而且取样过程中取样瓶不会腐蚀，保证了样品的真实性，还能保证安全和环保要求。本实用新型的技术方案如下三氯氢硅取样柜，包括取样瓶，其特征在于所述取样瓶的瓶口设置有橡胶塞，橡胶塞上设置有针头，针头连接有与取样阀门连通的软管。所述针头插通橡胶塞，取样瓶与软管连通。当需要取样时，直接打开取样阀门，通过软管、针头直接向取样瓶中导入三氯氢硅样品。本实用新型的有益效果如下本实用新型采用针头和软管的结构作为取样出口，代替了原设计中的取样钢瓶与金属管道的螺纹连接方式，使取样器与管道之间的装卸更加方便，一、两分钟即可完成，极大地缩短每个样品的取样时间；如果在同一个取样点连续多次取样只需更换取样瓶插拔针头即可，可以免去取样钢瓶取样后分样的过程；本实用新型采用针头和橡胶塞连接取样瓶的方式，形成密闭环境，使样品与现场环境隔绝，杜绝了三氯氢硅样品对环境和人员的伤害，将安全和环保事故发生的可能性降至最低；本实用新型与原取样结构比较具有同样的密闭取样环境，样品不会曝露在空气中，安全和环保性能很好；但本实用新型装卸更加简便、取样时间更短、效率更高；本实用新型取样时间只需20分钟；与现行取样方式比较，本实用新型形成的密闭环境更能保证样品不会曝露在空气中，更加安全和环保，减少了现行取样方式的安全和环保的事故隐患。

图1为背景技术的一种传统结构示意图图2为背景技术的另一种传统结构示意图图3为本实用新型的结构示意图图4为本实用新型取样时的结构示意图其中附图标记为1取样瓶，2橡胶塞，3针头，4软管。
具体实施方式
三氯氢硅取样柜，包括取样瓶1，所述取样瓶1的瓶口设置有橡胶塞2，橡胶塞2上设置有针头3，针头3连接有与取样阀门连通的软管4。所述针头3插通橡胶塞2，取样瓶1与软管4连通。进行氯硅烷取样时，准备装好橡胶塞2的取样瓶1、经酸洗处理的针头3，打开取样柜，手动开启冷却系统阀门，三通阀接通走淋洗管道、氮气和物料吹扫分别5分钟。安装针头3，把针头3插入取样瓶1内，待液位至二分之一处关阀门，拔出针头3， 取样完毕，将各阀门至于合适状态，将取样瓶1和针头3带回实验室。
权利要求1.三氯氢硅取样柜，包括取样瓶(1)，其特征在于所述取样瓶(1)的瓶口设置有橡胶塞0)，橡胶塞( 上设置有针头(3)，针头C3)连接有与取样阀门连通的软管G)。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅取样柜，其特征在于所述针头C3)插通橡胶塞 0)，取样瓶⑴与软管⑷连通。
专利摘要本实用新型公开了一种新结构的三氯氢硅取样柜，包括取样瓶，所述取样瓶的瓶口设置有橡胶塞，橡胶塞上设置有针头，针头连接有与取样阀门连通的软管；这种结构的三氯氢硅取样柜，在闭路环境下，简化取样步骤、不仅大大缩短了取样时间，而且取样过程中取样瓶不会腐蚀，保证了样品的真实性，还能保证安全和环保要求。
文档编号G01N1/10GK202049064SQ20112004161
公开日2011年11月23日 申请日期2011年2月18日 优先权日2011年2月18日
发明者侯德健 申请人:天威四川硅业有限责任公司