专利名称：一种偏极片的检测方法
技术领域：
本发明为一种偏极片的检测方法，由一挑选后的光源经过一滤光片、一起偏器、一凹透镜或是一滤光片、一镜子、一凹透镜至一光学膜样品；移动光学膜样品调整焦距后将光学膜样品沿Z轴旋转，并判别光域明暗是否有变化；若有，则该光学膜样品有瑕疵；若无，该光学膜样品为合格样品。
背景技术：
在制作偏光膜时，导入新型光学膜物料往往需先行检查以避免将来成品有瑕疵。然而有些瑕疵并非肉眼可以分辨，膜厚度的不均匀性便是一例。膜厚度的不均匀性的成因主要乃是因为偏光膜的膜厚不均匀，肉眼无法明显辨识，往往当偏光膜在前制程到半成品时瑕疵才被检查出来，以致增加生产成本。
当偏光膜在前制程到半成品时，需要在偏光直交透过检查才能明显辨别出膜厚度的不均匀性严重的程度，此检查方法时机似乎有些晚，因为在半成品时方能检查出瑕疵，成本效益并不大。
在与光学膜物料的上游厂商反应瑕疵时，亦有困难。因膜厚度的不均匀性无法以肉眼辨识，需至半成品方可检查出来，无法在进料时实时反映给厂商。同时，此膜厚度的不均匀性无法以言语明确形容亦无一标准，有沟通上的难处，造成上游厂商对于膜厚度的不均匀性情况亦无头绪。因为光学膜物料的上游厂商本身对于膜厚度的不均匀性瑕疵了解不深，并且肉眼无法明显辨识，即便欲改善亦不知从何做起。
由于上述种种原因，于是酝酿此发明的动机。然而解决方案不宜耗时过久，以便能在进料时即能检测并反映给厂商，无需等到半成品时方可检查出来。最重要的目的是能突显出不均匀膜厚度的缺点，同时最好能以肉眼辨识，而不需依赖仪器做检测。
虽然本产业目前尚无相关的检测方法，但是在其它产业仍有其它案例可供参考。半导体产业联诚集成电路公司所申请台湾专利证号107261「透光膜表层缺陷检测方法」，该发明为检测半导体晶圆表面的缺陷，事先必须预镀上一抗透射层来进行检测，该透射层成分可为氮化硅(Silicon Nitride)、氧硅氮化物(Silicon Oxynitride)、金属钛Ti、氮化钛(TiN)、钛钨(TiW)化合物或光阻类材料。另外，万国商业机器公司所申请的台湾专利证号82885「薄膜厚度的检查方法」，该发明为使用一扫描测距仪检测一彩色滤波器薄膜厚度的检测方法。

发明内容
本发明为一种偏极片的检测方法，其第一目的在于解决膜厚度的不均匀性难以肉眼辨识的难处；本发明的检测方法可轻易以肉眼明显辨别膜厚度的不均匀性现象。
本发明为一种偏极片的检测方法，其第二目的在于进料时即可检查并反映给厂商，无需到半成品时，在偏光直交透过检查才能明显辨别出膜厚度的不均匀性。
本发明为一种偏极片的检测方法，其第三目的在于检测成本不高，无需添增贵重设备，亦无需经过已为成品或半成品的偏光膜，样品本身即可拿来检测，程序简洁耗时不长。
本发明为一种偏极片的检测方法，由一挑选后的光源经过一滤光片、一起偏器、一凹透镜或是一滤光片、一镜子、一凹透镜至一光学膜样品；移动光学膜样品调整焦距后将光学膜样品沿Z轴旋转，并判别光域明暗是否有变化；若有，则该光学膜样品有瑕疵；若无，该光学膜样品为合格样品。
为使熟悉该项技艺人士了解本发明的目的、特征及功效，兹通过下述具体实施例，并配合所示附图，对本发明详加说明。


图1为本发明第一较佳实施例的检测流程图；图2为本发明第二较佳实施例的检测流程图；图3为本发明第一较佳实施例的检测设备图；图4为本发明第二较佳实施例的检测设备图。
图中符号说明11光源12聚苯乙烯板13滤光片14起偏器15凹透镜16样品17屏幕18成像21光源23滤光片24镜子25凹透镜26样品27屏幕28成像步骤101光源选择步骤102判别可产生最清楚投射影色的光源步骤103固定光学膜样品步骤104光源经过一聚苯乙烯(Polystyrene)板以强化偏极化的光步骤105光源经过一滤光片使所欲的波长范围可通过步骤106光源经过一起偏器使检测的光偏极化步骤107光源经过一凹透镜将检测的光放大步骤108将光学膜样品在光源移动以调整焦距步骤109将光学膜样品沿Z轴逆时针旋转步骤110判别光域明暗是否有变化步骤111合格步骤112不合格步骤113结束步骤201光源选择步骤202判别可产生最清楚投射影色的光源步骤203固定光学膜样品步骤204光源经过一滤光片使所欲的波长范围可通过步骤205光源经过一镜子使检测的光反射步骤206光源经过一凹透镜将检测的光放大步骤207将光学膜样品在光源移动以调整焦距步骤208将光学膜样品沿Z轴逆时针旋转步骤209判别光域明暗是否有变化步骤210合格步骤211不合格步骤212结束具体实施方式
本发明使用偏极光线照射透明光学膜，利用因为膜厚不均匀所导致的相位差，使得射出的光线投射在白色屏幕上时有明暗之分，由此而判别是否有膜厚不均匀(Gooseflesh)的现象。
请参照图1与图3，其为本发明第一较佳实施例的检测流程图，以及与本发明第一较佳实施例的检测设备图。步骤101，首先由一光源11亮度的决定开始；步骤102，判别可产生最清楚投射影色的光源11以便检测用，若该光源11投射影色并非最清楚，则重新选择一光源11，即回到步骤101，当一最清楚投射影色的光源11已选出，则进行至下一步骤；步103，固定光学膜样品16；步骤104，此选定的光源11投射的光线经过一聚苯乙烯(Polystyrene)；PS板12用以加强偏极化的光线；步骤105，光线经过聚苯乙烯板12后至一滤光片13，该滤光片13为过滤光源11所投射出的光线，筛选出吾人所欲检测的光波长，同时在此一提，所欲检测的波长范围可同时涵盖红光、蓝光与绿光的波长范围；步骤106，当将光波长过滤的后，将该光线经过一起偏器14，使光线偏极化；步骤107，当光线已偏极化后，使的经过一凹透镜15将光线放大，使肉眼可轻易辨识判读；步骤108，将光学膜样品16在光源11移动来调整焦距，使成像能更清晰以方便肉眼观察；步骤109，当焦距调妥、成像清晰后，将光学膜样品16沿纵轴逆时针旋转；步骤110，以肉眼判别光域明暗是否有变化，此时吾人可以肉眼直接观察光学膜样品16本身来判别光域的明暗变化，或是可将成像18投影至一屏幕17来观察光域的明暗变化由于主要检视TAC的部分，因此若TAC的厚度不平均时，该光学模样品16或投影成像18会有光纹非单一方向的排列产生，若光域明暗无明显变化，则进入下一步骤，若光域明暗有变化则进入步骤112；步骤111，该光学膜样品16是合格的，并进入步骤113；步骤112，该光学膜样品16是不合格的；步骤113，本检测方法至此结束。
请参照图2与图4，其为第二较佳实施例的检测流程图与本发明第二较佳实施例的检测设备图式。步骤201，首先由一光源21亮度的决定开始；步骤202，判别可产生最清楚投射影色的光源21以便检测用，若该光源21投射影色并非最清楚，则重新选择一光源21，即回到步骤201，当一最清楚投射影色的光源21已选出，则进行至下一步骤；步骤203，固定光学膜样品26；步骤204，光线经过一滤光片23，该滤光片23为过滤光源21所投射出的光线，筛选出吾人所欲检测的光波长，同时在此一提，所欲检测的波长范围可同时涵盖红光、蓝光与绿光的波长范围；步骤205，当光波长经过滤的后，将该光线经过一镜子24反射，使光线折射往一凹透镜25方向行进；步骤206，当光线折射后，使的经过该凹透镜25将光线放大，使肉眼可轻易辨识判读；步骤207，将光学膜样品26在光源21移动来调整焦距，使成像28能更清晰以方便肉眼观察；步骤208，当焦距调妥、成像28清晰后，将光学膜样品26沿纵轴逆时针旋转；步骤209，以肉眼判别光域明暗是否有变化，此时吾人可以肉眼直接观察光学膜样品26本身来判别光域的明暗变化，或是可将成像28投影至一屏幕27来观察光域的明暗变化由于主要检视TAC的部分，因此若TAC的厚度不平均时，该光学模样品26或投影成像28会有光纹非单一方向的排列产生，若光域明暗无明显变化，则进入下一步骤，若光域明暗有变化则进入步骤211；步骤210，该光学膜样品26是合格的，并进入步骤212；步骤211，该光学膜样品26是不合格的；步骤212，本检测方法至此结束。
本检测方法除可检测光学膜厚度的不均匀性的缺陷外，尚可检测出光学膜的刮伤、刮痕以及涂布不均的缺陷。本检测方法的另一优势在于检测成本不高，无需添增贵重设备，亦无需经过镀膜等额外处理程序，样品本身即可拿来检测，程序简洁耗时不长。
虽然本发明已以一较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当所述的权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种偏极片的检测方法，包括(1)选择一光源；(2)判别该光源是否可产生最清楚投射影色，若是则进行下一步骤；若否，则回至步骤1；(3)固定偏光膜样品，并进行下一步骤；(4)将比较后的光源经过一检测装置照射至偏光膜样品，并进行下一步骤；(5)将偏光膜样品移动以调整焦距，并进行下一步骤；(6)将偏光膜样品沿Z轴旋转，并进行下一步骤；(7)判别光域明暗是否有变化，若否，则进行下一步骤；若是，则进至步骤9；(8)该偏光膜样品经检测为合格，并进行至步骤10；(9)该偏光膜样品经检测为不合格，并进行下一步骤；(10)结束。
2.如权利要求1所述的一种偏极片检测方式，其中，步骤4所述的检测装置可进行下列任一种检测方式反射式检测与穿透式检测。
3.如权利要求2所述的一种偏极片检测方式，其中，该穿透式检测更包含下列步骤4B光束经过一滤光片；4C光束经过一起偏器；4D光束经过一凹透镜。
4.如权利要求3所述的一种偏极片检测方式，其中，步骤4B前更可增加一步骤4A光束经过一聚苯乙烯板；
5.如权利要求3所述的一种偏极片检测方式，其中，该穿透式检测更可于步骤4D后增加一步骤4E使光照射至一屏幕上。
6.如权利要求2所述的一种偏极片检测方式，其中，该反射式检测更包含下列步骤4A’光束经过一滤光片；4B’光束经过一镜子反射；4C’光束经过一凹透镜。
7.如权利要求6所述的一种偏极片检测方式，其中，该反射式检测更可在步骤4C’后添增一步骤4D’使光照射至一屏幕上；
8.如权利要求1所述的一种偏极片的检测方法，其中该检测方法所使用光源的波长范围同时涵盖红光、蓝光与绿光的波长范围。
全文摘要
本发明涉及一种偏极片的检测方法，由一挑选后的光源经过一滤光片、一起偏器、一凹透镜或是一滤光片、一镜子、一凹透镜至一光学膜样品；移动光学膜样品调整焦距后将光学膜样品沿Z轴旋转，并判别光域明暗是否有变化；若有，则该光学膜样品有瑕疵；若无，该光学膜样品为合格样品。本发明的检测方法可轻易以肉眼明显辨别膜厚度的不均匀性(Gooseflesh)，于进料时即可检查并反映给厂商，且检测成本不高，无需添增贵重设备，亦无需经过与偏光素子贴合加工等额外处理程序，样品本身即可拿来检测，程序简洁耗时不长。
文档编号G01M11/02GK1677073SQ200410032198
公开日2005年10月5日 申请日期2004年4月2日 优先权日2004年4月2日
发明者叶世芳, 郑尧中 申请人:力特光电科技股份有限公司