专利名称：具有多级基板投入门的基板质量检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种综合检测适用于液晶显示装置(LCD)的基板的边缘缺陷、脱色(discolor)、颜色变化、基板表面的污点以及划痕状态和是否存在杂质、并且是否发生波浪现象的基板的质量检测装置，尤其涉及一种构成多级基板投入门，另外在以多层结构构成的各个门之间的内部空间朝与基板的前进方向相同的方向沿着水平布置作为检测部件的相机和透镜以及照明灯，由此能够大量进行对基板的质量检测的具有多级(multistage)基板投入门的基板质量检测装置。
背景技术：
液晶显示装置主要由形成薄膜晶体管的下部基板和形成彩色滤光片的上部基板以及注入于下部基板和上部基板之间的液晶构成。对于这种用于形成薄膜晶体管和彩色滤光片的基板而言，当其表面上存在污点和划痕以及杂质或者颜色变化，并且产生厚度不一致的波浪现象时，会损坏进行工艺的工艺室内的电极等，或者因破碎的基板的碎片飞散而会污染工艺室内部，同时无法在基板上均匀地沉积或者蚀刻薄膜等，从而导致液晶显示装置的液晶所显示的颜色发生异常，即只能形成产生脱色的不合格的产品。为此，在以往，在将基板放入工艺室内而进行沉积或蚀刻、溅镀等利用等离子体的工艺之前，对基板整体进行质量检测。然而，现有的针对基板的质量检测装置与液晶显示装置的制造工艺中所使用的装置分开布置，因此当通过反复多个工艺来完成薄膜晶体管液晶显示装置时，只能在每个工艺结束时对基板单独进行各种质量检测，据此在以往会导致对基板的质量检测所需的时间较多的不经济的问题。并且，在以往，在检测基板表面上的污点或划痕、脱色以及波浪现象或者边缘部分的裂纹时，由于依据观察者的主观观察结果不同等而导致无法进行准确的观察。作为一例，当观察基板的边缘等处的破损(例如观察发生裂纹的状态)时，存在检测出在其次的清洗工艺中可被清洗而去除的、基板上的诸如颗粒等杂质的过度检测的问题；当在基板的表面，基板碎片或者颗粒产生在外部或内部而附着在基板上面时，基板碎片等会损坏在之后的后续工艺中所使用的设备等的问题。为此，在以往，需要开发可从多个角度接近基板的技术，以当将基板投入到工艺之前或者投入到下一个工艺之前，能够判断在基板边缘是否存在裂纹以及颗粒，且识别出这种裂纹以及颗粒。因此，本申请的申请人通过于2006年4月3日申请的专利(于2008年6月10日授权的授权专利第838656号，以下称为现有技术I)和于2007年7月27日从所述现有技术I分案的申请(于2007年11月29日授权的授权专利第782424号，以下称为现有技术2)，改进了在现有的基板质量检测装置中所存在的问题，而本发明解决了这种现有技术I和2。S卩，现有技术1、2通过诸如机器人的提取单元，依次提取基板之后，将该基板投入到设置有包含相机和透镜以及照明灯的检测单元的检测框架的门内，据此使所述检测单元能够检测投入到检测框架的门内的基板的质量状态。然而，由于现有技术1、2在一个检测框架中构成有一个基板投入门和检测单元，因此对等待投入到工艺的多个基板进行质量检测时需要消耗相当长的时间，为此本发明解决了这种现有技术1、2中所存在的问题。另外，作为与所述现有技术1、2不同的其他实施例，还存在在一个检测框架中设置多级门的情况，此时在各个门与门之间需要安排富余的空间，用以排列布置作为检测单元的相机和透镜以及照明灯，据此会导致检测框架的大小(高度)变大的缺点，因而门的多级构成会受到限制。即，构成一个门时，在门的内部空间上侧，在基板的上面相对于基板的前进方向垂直地布置相机和透镜；在门的内部空间下侧，在基板的底面相对于基板的前进方向垂直地排列照明灯。因垂直排列的相机和透镜的高度较高的关系，构成多级门时，门和门之间的内部设置空间因垂直排列的相机和透镜而需要确保预定高度以上，因此检测框架的整体高度随着构成多级门的数量而只能被扩大。为此，在以往，为了改进如上所述的构成多级门时出现的问题，在门外部的基板入口侧或者出口侧分别排列包含于检测单元的相机和透镜，以避免扩大检测框架的高度，但是这会导致针对基板的质量检测不够精确的问题。即，应该在基板通过门时进行质量检测，但是当在门外部的入口侧或者出口侧设置检测单元的相机和透镜时，不仅会使包含在检测单元的相机和透镜暴露在外，而且与位于门的内部空间下侧的照明灯相错位，由此导致发生通过相机拍摄的基板表面的图像信息不佳或者歪曲等问题。

发明内容
鉴于此，本发明是为了解决如上所述的现有问题而提出的，目的在于提供一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置，具有如下的优点:本发明以多级结构构成检测框架的基板投入门，另外在以多级结构形成的各个门之间的内部空间，沿着水平排列包含在检测单元的相机和透镜，以使相机和透镜沿着门的宽度方向平卧，从而通过输送机器人向多级基板投入门快速地输送多个基板，以使针对多个基板的质量检测同时进行等，据此缩短基板质量检测工艺的时间，尤其通过有效地布置包含在检测单元的检测部件，从而不会使具有多级基板投入门的检测框架的布局相比现有结构扩大，据此能够提高设置空间的有效性。为了实现上述目的，本发明的具有多级基板投入门的基板质量检测装置，构成检测框架，该检测框架形成用于投入由输送机器人输送的基板的门，所述检测框架的门间隔预定距离构成为多级结构，以形成多层的内部空间；在所述由多层构成的内部空间，在门的下部左右侧分别布置照明灯；在所述由多层构成的内部空间，在门的上部左右侧，分别在与照明灯相同竖直线的位置以预定倾斜角度设置反射镜，以提供间接照明和呈现经过门的基板的两侧侧面部件的间接图像；在所述由多层构成的内部空间，在门的上部沿着所述门的宽度方向并排水平排列透镜和相机，以通过所述反射镜提供的间接照明来拍摄照射在所述反射镜上的基板的两侧侧面部分的间接图像。
并且，所述反射镜设置为，相对于所述照明灯和所述透镜以及相机形成45°的倾斜角度。如上所述，本发明以多级结构构成检测框架的基板投入门，并在以多级结构形成的各个门之间，沿着水平排列构成检测单元的相机和透镜，以使相机和透镜沿着门的宽度方向平卧，从而通过输送机器人向多级基板投入门快速地输送多个基板，以使针对多个基板的质量检测同时进行等，据此缩短基板质量检测工艺的时间，尤其通过有效地布置包含在检测单元的检测部件，从而不会使具有多级基板投入门的检测框架的大小相比现有结构扩大，据此能够期待提高设置空间的有效性的效果。


图1是根据本发明实施例的具有多级基板投入门的基板质量检测装置的整体概略图；图2是作为本发明的实施例的具有多级基板投入门的检测框架的正面概略图；图3是作为本发明的实施例的具有多级基板投入门的检测框架的侧面概略图。符号说明:10为照明灯，20为反射镜，30为透镜，40为相机，100为输送机器人，200为检测框架。
具体实施例方式以下，参照附图来说明本发明的实施例。图1是根据本发明实施例的具有多级基板投入门的基板质量检测装置的整体概略图，图2是作为本发明的实施例的具有多级基板投入门的检测框架的正面概略图，图3是作为本发明的实施例的具有多级基板投入门的检测框架的侧面概略图。参照图1至图3，根据本发明实施例的具有多级基板投入门的基板质量检测装置，为了将由输送机器人100输送的基板S投入到检测框架200的门，使所述检查框架200的门Gl、G2、G3隔着预定距离而构成，以形成多层内部空间Ul、U2、U3、U4，在此状态下，在所述门G1、G2、G3上分别排列布置照明灯10、反射镜20以及透镜30和相机40。S卩，所述照明灯10在以多层构成的所述检测框架200的内部空间Ul、U2、U3、U4中，设置在形成于所述检测框架200的多级门G1、G2、G3的下部左右侧。所述反射镜20在以多层构成的所述检测框架200的内部空间Ul、U2、U3、U4中，设置在形成于所述检测框架200的多级门G1、G2、G3的上部左右侧。此时，所述反射镜20位于与所述照明灯10同一竖直线上，且以预定倾斜角度(即，45°的倾斜角度)被设置，以向所述相机40提供间接照明和呈现通过所述门Gl、G2、G3的基板S的两侧侧面部分的间接图像。换句话说，所述反射镜20设置为相对于所述照明灯10和所述透镜30以及相机40形成45°的倾斜角度。所述透镜30以及相机40在以多层构成的所述检测框架200的内部空间Ul、U2、U3、U4中，在形成于所述检测框架200的多级门G1、G2、G3的上部，沿着所述门G1、G2、G3的宽度方向并排排列，以通过由所述反射镜20提供的间接照明来拍摄照射在所述反射镜20的、基板的两侧侧面部分的间接图像。
在此，所述照明灯10和相机40的操作由控制单元来控制，而且对所述基板S的质量检测也通过所述控制单元的通常的质量检测程序来完成。S卩，如图1至图3所示，根据本发明的实施例的具有多级基板投入门的基板质量检测装置首先通过输送机器人100，向形成于检测框架200的多级门G1、G2、G3依次投入基板S0如果完成上述动作，则分别构成在所述多级门Gl、G2、G3的检测单元所包含的照明灯10受到控制单元的控制，提供用于检测基板S的质量的照明，此时所述提供的照明照射到以45°的倾斜角度设置的反射镜20。此时，当基板S被投入并经过所述多级门G1、G2、G3时，所述反射镜20中照射出所述基板S的两侧侧面部分的图像。并且，在所述多级门G1、G2、G3的上侧，与透镜30并排排列的相机40受到所述控制单元的控制而进行操作，此时通过由所述反射镜20提供的间接照明拍摄照射在所述反射镜20的、基板S的两侧侧面部分的间接图像，然后将此传送到所述控制单元。如果完成上述动作，则所述控制单元可通过从所述相机40传送的拍摄的图像信息，综合检测经过所述多级门G1、G2、G3的基板S的质量，即检测所述基板S的边缘缺陷、污点、划痕、杂质、脱色、颜色，并且是否产生波浪现象。本发明不限于上述的特定的优选实施例，在不脱离权利要求书中要求保护的本发明的主旨的范围内，只要是本发明所属技术领域的具有普通知识的技术人员，均可以进行各种变形实施，并且这种变更应当包含于权利要求书记载的范围内。
权利要求
1.一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置，其特征在于， 构成形成有用于投入由输送机器人输送的基板的基板投入门的检测框架，所述检测框架的所述基板投入门间隔预定距离构成为多级结构，以形成多层的内部空间， 在由多层构成的内部空间，在所述基板投入门的下部左右侧分别布置照明灯， 在由多层构成的所述内部空间，在所述基板投入门的上部左右侧，分别在与所述照明灯相同竖直线的位置以预定倾斜角度设置反射镜，以提供间接照明和呈现经过所述基板投A门的基板的两侧侧面部件的间接图像， 在由多层构成的所述内部空间，在所述基板投入门的上部沿着所述基板投入门的宽度方向并排地水平排列透镜和相机，以通过所述反射镜提供的间接照明来拍摄照射在所述反射镜上的基板的两侧侧面部分的间接图像。
2.根据权利要求1所述的具有多级基板投入门的基板质量检测装置，其特征在于，所述反射镜设置为，相对于所述照明灯和所述透镜以及相机形成45°的倾斜角度。
全文摘要
本发明公开了一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置。本发明以多级结构构成检测框架的基板投入门，并且在以多级结构形成的各个门之间，沿着水平排列作为检测单元的相机和透镜，以使相机和透镜沿着门的宽度方向平卧，从而通过输送机器人向多级基板投入门快速地输送多个基板，以使针对多个基板的质量检测同时进行等，据此缩短基板质量检测工艺的时间，尤其通过有效地布置检测部件，从而不会使具有多级基板投入门的检测框架的布局相比现有结构扩大，据此能够提高设置空间的有效性。
文档编号G01N21/94GK103185722SQ20111046249
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者李淳钟, 禹奉周, 朴炳澯, 裴晙基 申请人:塞米西斯科株式会社