专利名称：玻璃基板的检查装置及检查方法
技术领域：
本发明涉及一种玻璃基板的检查装置及检查方法，具体而言，涉及在成形工序中迅速且正确地实施玻璃基板检查的玻璃基板的检查装置及检查方法。
背景技术：
通常，TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)、PDP(等离子体显示面板)、EL(Electro luminescence)等平板显示器的制造领域中使用的玻璃基板，是在成形工序中将在玻璃熔化炉熔化的玻璃液提供给熔化成形机来制造，用切割机(cutting apparatus)按初级标准切断，由传送系统搬运到加工线上。
成形工序中的玻璃基板的检查，通过事先截断不合格品进入后工序，可有效降低成本、提高合格率。
在成形工序中，在检查由传送系统移送的玻璃基板时，将玻璃基板从传送系统取出后加载到其它检查装置上的情况下，不仅检查需要很长时间，而且搬运花费工夫，并且由于物理接触，可能在玻璃基板中产生缺陷。
因此，在成形工序中，为了检查玻璃基板，必需充分考虑如下几点。
第一、必需通过将玻璃基板容易加载到检查区并使其固定，来减少将玻璃基板固定在检查区时的工夫，并在一定时间内使一连串检查工序结束，缩短检查所需的时间，必需在检查时使与玻璃基板的物理接触最小化，并最大限度抑制玻璃基板的缺陷产生。
第二、必需将移送的玻璃基板的振动抑制到焦深内，以进行正确的检查。
必需开发出考虑到上述各点等的成形工序中的玻璃基板检查装置，由此，必需使进入成形工序后实施的工序中的玻璃基板的不合格率最小化，降低成本，并提高生产率。

发明内容
本发明鉴于上述问题做出，其目的在于提供一种玻璃基板的检查装置及检查方法，不仅在成形工序中容易实施玻璃基板的检查，并且缩短检查所需的时间，使检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，并且，使被移送的玻璃基板的振动在限定的焦深内最小化，从而进行正确的检查。
为了实现上述目的，本发明是一种检查玻璃基板的装置，其特征在于，包括基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。
另外，本发明是一种检查玻璃基板的检查方法，其特征在于，包括如下步骤在使所述玻璃基板位于检查区中后，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；使照明和多个摄影机从固定在所述检查区中的所述玻璃基板的一侧向另一侧移动，并对所述玻璃基板进行扫描；根据扫描所述玻璃基板取得的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；将关于所述玻璃基板缺陷的数据显示到外部。
根据本发明的玻璃基板的检查装置及检查方法不仅容易在成形工序中实施玻璃基板的检查，而且使检查所需的时间缩短，时检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，并且在限定的焦深内使被移送的玻璃基板的振动最小化，进行正确的检查。


图1是根据本发明的玻璃基板的检查装置的正面图。
图2是根据本发明的玻璃基板的检查装置的侧面图。
图3是根据本发明的玻璃基板的检查装置的平面图。
图4是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置的框图。
图5是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的正面图。
图6是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1上部夹具的正面图。
图7是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1上部夹具的侧面图。
图8是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2上部夹具的正面图。
图9是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2上部夹具的底面图。
图10是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1下部夹具的正面图。
图11是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1下部夹具的侧面图。
图12是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2下部夹具的正面图。
图13是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2下部夹具的平面图。
图14是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的侧部夹具的正面图。
图15是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的侧部夹具的侧面图。
图16是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置中视频组件的斜视图。
图17是表示根据本发明的玻璃基板的检查方法的流程图。
具体实施例方式
下面，参照附图来说明本发明的较佳实施形态。
图1是根据本发明的玻璃基板的检查装置的正面图，图2是根据本发明的玻璃基板的检查装置的侧面图，图3是根据本发明的玻璃基板的检查装置的平面图，图4是表示根据本发明的玻璃基板的检查装置的框图。
如图所示，根据本发明的玻璃基板的检查装置，在玻璃基板1的成形工序中，将上端被沿移送轨道(未图示)移动的移送夹子(未图示)夹紧并被移送的玻璃基板1，固定在检查区中进行检查，该玻璃基板的检查装置包括夹紧玻璃基板1的端部并使之固定的基板固定机构100、扫描玻璃基板1的视频组件200、使视频组件200从玻璃基板1的一侧移动到另一侧的视频组件移动机构300、根据用视频组件200扫描的影像将玻璃基板1的缺陷处理成数据的缺陷数据处理部400、和示由缺陷数据处理部400处理后的数据的显示部500。
基板固定机构100与玻璃基板1的移送路径靠近设置，该玻璃基板1的上端被多个移送夹子(未图示)夹紧并沿移送轨道(未图示)移动，当沿移送轨道(未图示)移动的玻璃基板1停止时，基板固定机构100夹紧从移送夹子(未图示)取下的玻璃基板1的端部后，将其固定在检查区。
如图5所示，基板固定机构100包括固定框140；上部夹紧装置1 10，设置在固定框140的上侧，夹紧玻璃基板1的上端部；下部夹紧装置120，设置在固定框140的下侧，夹紧玻璃基板1的下端部，并向下拉玻璃基板1，以使玻璃基板1向上下拉伸；以及，侧部夹紧装置130，分别设置在固定框140的两侧，夹紧玻璃基板1的两端部，并向两侧拉玻璃基板1，以使玻璃基板1向左右拉伸。
固定框140设置在成形工序中用于检查玻璃基板1的位置上，分别位于其上侧与下侧的上部及下部框141、142被一对侧部框143支撑。
上部夹紧装置110分别设置在固定框140的上侧、即上部框141中，由夹紧玻璃基板1的上端部的第1及第2上部夹具111、112构成，第1上部夹具111固定在固定框140的上部框141中，第2上部夹具112沿固定框140的上部框141左右自由移动地设置。
图6及图7所示的第1上部夹具111，具有由固定框140的上部框141设置的托架141a，并设置有第1空压气缸111a，为了抓住或放开玻璃基板1的上端部，利用空压使自由旋转地结合在第1空压气缸111a的端部、即下端上的一对夹子111c彼此关闭或打开。
第1空压气缸111a经一对端口111b选择性地供给空压，通过使一对夹子111c旋转并彼此关闭或打开，当夹子111c被关闭时，使其端部把持玻璃基板1的上端部。
图8及图9所示的第2上部夹具112设置有第2空压气缸112b，该第2空压气缸112b沿设置在固定框140上侧、即上部框141中的引导轨道112a滑动，为了夹住或放开玻璃基板1的上端部，第2空压气缸112b利用空压使自由旋转地结合在端部的一对夹子112d彼此关闭或打开。
第2空压气缸112b自由滑动地设置在沿上部框141的纵向并列设置在上部框141上的引导轨道112a上，通过向一对端口112c选择性地供给空压，使一对夹子112d旋转并彼此关闭或打开，当夹子112d被关闭时，其端部把持玻璃基板1的上端部。
由于第2空压气缸112b自由滑动地设置在引导轨道112a上，在玻璃基板1被侧部夹紧装置130向左右拉伸的情况下，第2上部夹具112向玻璃基板1被拉伸的方向移动，使得玻璃基板1拉伸到整个区域中。
在固定框140的上侧、即上部框141与第2空压气缸112b中，设置螺旋弹簧等弹性部件112e，使得在第2上部夹具112内，随由于玻璃基板1向左右拉伸而移动的第2空压气缸112b恢复到最初位置。
下部夹紧装置120由分别设置在固定框140下侧、即下部框142中，夹紧玻璃基板1的下端部，并向下拉伸玻璃基板1，使玻璃基板1被上下拉伸的第1及第2下部夹具121、122构成。第1下部夹具121固定在下部框142中，第2下部夹具122沿下部框142左右自由移动地设置。
图10及图11所示的第1下部夹具121上，在固定框140的下侧、即在下部框142中，设置具有利用空压上下往复移动的动作部件121b的第3空压气缸121a，在第3空压气缸121a的移动部件121b的端部设置第4空压气缸121d；为了抓住或放开玻璃基板1的下端部，第4空压气缸121d利用空压，使自由旋转地结合在端部的一对夹子121f彼此关闭或打开。
第3空压气缸121a通过经一对端口121c选择性地供给空压，使移动部件121b往复移动，来使第2空压气缸121d上下往复移动。
第4空压气缸121d通过经一对端口121e选择性地供给空压，使一对夹子121f旋转并彼此关闭或打开，当打开夹子121f时，使其端部把持玻璃基板1的下端部。
图12及图13所示的第2下部夹具122设置第5空压气缸122b，该第5空压气缸122b沿设置在固定框140下侧、即下部框142中的引导轨道122a滑动；第5空压气缸122b具有利用空压上下往复移动的移动部件122c；在第5空压气缸122b的移动部件122c的端部设置第6空压气缸122e，为了抓住或放开玻璃基板1的下端部，第6空压气缸122e利用空压，使自由旋转地结合在端部的一对夹子122g彼此关闭或打开。
第5空压气缸122b自由滑动地设置在沿下部框142的纵向并列设置在下部框142上的引导轨道122a上，通过经一对端口来选择性地供给空压，使移动部件122c往复移动，从而使结合在移动部件122c上的第6空压气缸122e上下往复移动。
第6空压气缸122e通过经一对端口122f选择性地供给空压，使一对夹子122g旋转并彼此关闭或打开，当夹子122g被关闭时，其端部把持玻璃基板1的下端部。
由于第5空压气缸122b自由滑动地设置在引导轨道122a上，因此在玻璃基板1被侧部夹紧装置130向左右拉伸的情况下，第2下部夹具122向玻璃基板1被拉伸的方向移动，使得玻璃基板1拉伸到整个区域中。
在固定框140下侧、即下部框142与第5空压气缸122b中，设置螺旋弹簧等弹性部件122h，使第2下部夹具122上的随玻璃基板1向左右拉伸而移动的第5空压气缸122b恢复到最初位置。
侧部夹紧装置130由多个侧部夹具131构成，该多个侧部夹具131分别设置在固定框140的两侧即每个侧部框143中，夹紧玻璃基板1的两端部并向左右拉伸玻璃基板1，以使玻璃基板1向左右拉伸。
图14及图15示出的侧部夹具131，在固定框140的一侧、即侧部框143中，设置有具有利用空压左右往复移动的移动部件131b的第7空压气缸131a，在第7空压气缸131a的移动部件131b的端部设置第8空压气缸131d，为了抓住或放开玻璃基板1的侧端部，第8空压气缸131d利用空压，使自由旋转地结合在端部的一对夹子131f彼此关闭或打开。
第7空压气缸131a通过经一对端口131c选择性地供给空压，使移动部件131b往复移动，使得结合在移动部件131b上的第8空压气缸131d向左右往复移动。
第8空压气缸131d通过经一对端口131e选择性地供给空压，使一对夹子131f旋转并彼此关闭或打开，当打开夹子131f时，使其端部把持玻璃基板1的侧端部。
在下部夹紧装置120的第1及第2下部夹具121、122与侧部夹紧装置130的侧部夹具131的左侧上端如图5所示，具备支撑玻璃基板1的端部的对准器121g、121i、131g，当夹紧玻璃基板1时，使玻璃基板1整齐排列在被夹紧位置。
各对准器121g、121i、131g，在结合在第3空压气缸121a、第5空压气缸122b及第7空压气缸131a的各端部的、每一个托架121h、122j、131h的两侧，各设置1个。
图16所示的视频组件200，在一侧开放的视频框230的内侧两方，分别垂直设置摄影机固定部件240与照明固定部件250，多个摄影机220固定在摄影机固定部件240中，通过开放的一侧扫描玻璃基板1，照明固定部件250设置成向多个摄影机220的扫描区域照射光。
返回图1及图3，视频组件移动机构300使视频组件200从玻璃基板1的一侧移动到另一侧，以使视频组件200的摄影机220扫描玻璃基板1的整个区域。
视频组件移动机构300中，在视频组件移动机构300的框315的下部自由旋转地设置第1导螺杆310，视频组件200结合在螺合于第1导螺杆310上的移动架(cart)320的上侧，使第1导螺杆310旋转的第1移动电机(未图示)与第1导螺杆310机械连结，第2导螺杆340与第1导螺杆310平行并旋转自由地设置在框315的上部，将与第2导螺杆340螺合的球状螺母350固定在视频组件200的视频框230上，使第2导螺杆340旋转的第2移动电机360与第2导螺杆340机械连结。
第2导螺杆340，通过其两端被支撑在设置于框315的上部的支撑框330上，而被旋转自由地设置。
缺陷数据处理部400(图4)根据由视频组件200的摄影机220传送的影像，将玻璃基板1的缺陷处理成个数、大小、位置等数据。
显示部500将缺陷数据处理部400处理后的玻璃基板1的缺陷个数、大小、位置等数据显示到外部。
图17是表示根据本发明的玻璃基板的检查方法的流程图。如图所示，根据本发明的玻璃基板的检查方法，对在成形工序中，沿移送轨道(未图示)移动的、上端被夹在移送夹子(未图示)上被移送的玻璃基板1进行检查，包括使玻璃基板1停止的步骤(S10)；使玻璃基板1固定在检查区中的步骤(S20)；扫描玻璃基板1的整个区域的步骤(S30)；将玻璃基板1的缺陷处理成数据的步骤(S40)显示关于玻璃基板1的缺陷的数据的步骤(S50)。在使玻璃基板1停止的步骤(S10)中，使上端固定在移送夹子(未图示)上并沿移送轨道(未图示)移动的玻璃基板1，停止在一定位置上。
玻璃基板1停止(S10)后，在从移送夹子(未图示)中取出玻璃基板1并使之位于检查区中，之后，用基板固定机构100的上部夹紧装置110、下部夹紧装置120及侧部夹紧装置130夹紧玻璃基板1的端部并使之固定(S20)。
另一方面，当用基板固定机构100夹紧玻璃基板1时，上端部被上部夹紧装置110夹紧的玻璃基板1，使下部夹紧装置120的第3及第5空压气缸121a、122b动作，使玻璃基板1被上下拉伸；使侧部夹紧装置130的第7空压气缸131a动作，以使被上下拉伸的玻璃基板1向左右拉伸。从而，使玻璃基板1不被挠曲，并使振动最小化，用视频组件200进行扫描时，得到清晰的影像。
若用基板固定机构100来固定玻璃基板1(S20)，则扫描玻璃基板1的整个区域(S30)。
在扫描玻璃基板1的整个区域的步骤(S30)中，由视频组件移动机构300将视频组件200从固定在检查区中的玻璃基板1的一侧移动到另一侧，使得用照明210与多个摄影机220扫描玻璃基板1的整个区域。
根据扫描玻璃基板1的整个区域得到的影像，对玻璃基板1的缺陷进行数据化处(S40)。即，对玻璃基板1的整个区域的影像进行影像处理，将缺陷的个数、大小、位置等处理成数据。
经监视器等将关于玻璃基板1的缺陷的处理数据显示到外部(S50)。
在将关于玻璃基板1的缺陷的数据显示到外部的步骤(S50)中，还可实施显示玻璃基板1不合格的内容的步骤(S70)。在显示玻璃基板1不合格的内容的步骤(S70)中，判断关于玻璃基板1的缺陷的数据大于设定值、例如缺陷的个数、大小等设定值(S71)，根据关于于玻璃基板1的缺陷的数据，当缺陷大于设定值时，将该玻璃基板1不合格的内容显示在监视器等中(S72)。
另外，在显示玻璃基板1不合格的内容的步骤(S70)中，被显示的不合格玻璃基板1取出到外部，不进入后续工序(S80)。
在将关于玻璃基板1的缺陷的数据显示到外部的步骤(S50)中，在玻璃基板1的缺陷小于设定值的情况下，为了进行后续工序，从基板固定机构100取出玻璃基板1，用移送夹子(未图示)夹紧玻璃基板1的上端，沿移送轨道(未图示)移送，或装入其它装置的盒(未图示)中移送。
这种结构的玻璃基板的检查装置及检查方法的作用如下进行。当将成形工序中成形的玻璃基板1用移送夹子(未图示)沿移送轨道(未图示)移送并进入预定位置时，通过使移送夹子(未图示)的移动停止，使玻璃基板1被停止(S10)。
当玻璃基板1停止时(S10)，在从移送夹子(未图示)中取出玻璃基板1并使之位于检查区中后，用基板固定机构100的上部夹紧装置110、下部夹紧装置120及侧部夹紧装置130夹紧玻璃基板1的端部并使之固定(S20)。
用基板固定机构100固定玻璃基板1的步骤(S20)，如下进行。
在从移送夹子(未图示)取出玻璃基板1并使之位于固定框140的内侧后，用上部夹紧装置110的第1及第2上部夹具111、112夹紧玻璃基板1的上端部。
为了用上部夹紧装置110夹紧玻璃基板1的上端部，使第1及第2上部夹具111、112的第1及第2空压气缸111a、112b动作，用夹子111c、112d夹紧玻璃基板1的上端部。
另外，当使玻璃基板1位于固定框140的内侧时，通过使玻璃基板1位于下部夹紧装置120及侧部夹紧装置130的对准器121g、121i、131g上，可容易地整齐排列在夹紧位置上。用上部夹紧装置110夹紧玻璃基板1的上端部后，用下部夹紧装置120夹紧玻璃基板1的下端部。
即，使下部夹紧装置120的第4及第6空压气缸121d、122e动作，用下部夹紧装置120的夹子121f、122g夹紧玻璃基板1的下端部。
玻璃基板1的上端与下端分别被上部及下部夹紧装置110、120夹紧后，使下部夹紧装置120的第3及第5空压气缸121a、122b动作，用一定力向下拉伸玻璃基板1，使其向上下拉伸。
玻璃基板1被上下拉伸后，侧部夹紧装置130的第8空压气缸131d动作，夹子131f分别夹紧玻璃基板1的侧端部，并使第7空压气缸131a动作，向两侧拉伸玻璃基板1，使玻璃基板1左右拉伸。
当用侧部夹紧装置130的第7空压气缸131a左右拉伸玻璃基板1时，通过上部及下部夹紧装置110、120的第1上部夹具111与第1下部夹具112，玻璃基板1固定在一定位置的状态下，使第2上部夹具112与第1下部夹具122分别沿引导轨道112a、122a移动，使得玻璃基板1在整个区域中左右拉伸。由此，使玻璃基板1不挠曲，并使得振动最小化，当用视频组件200进行扫描时，取得清晰的影像。
用基板固定机构100夹紧并固定玻璃基板1后(S20)，使视频组件移动机构300的第1及第2移动电机360驱动，使第1及第2导螺杆310、340旋转，从而使通过第1及第2导螺杆310、340的旋转作直线运动的移动架320、和与球状螺母350结合的视频组件200，沿着第1及第2导螺杆310、340，从玻璃基板1的一侧移动到另一侧，用视频组件200的照明210与多个摄影机(camera)220，扫描玻璃基板1的整个区域(S30)。
用视频组件200的摄影机220扫描玻璃基板1的整个区域(S30)后，根据用缺陷数据处理部400扫描得到的影像，对玻璃基板1的缺陷个数、大小、位置等进行数据化处理(S40)。
关于玻璃基板1的处理数据通过监视器等显示部500被显示到外部(S50)。
在将关于玻璃基板1的缺陷的数据显示到外部的步骤(S50)中，根据关于玻璃基板1的缺陷的数据，判断缺陷大于设定值、例如缺陷的个数、大小等设定值(S71)，当玻璃基板1的缺陷大于设定值时，经显示部500显示该玻璃基板1不合格的内容(S72)。
将显示部500中显示的不合格的玻璃基板1取到外部，不进入后续工序(S80)。
在将关于玻璃基板1的缺陷的数据显示到外部的步骤(S50)中，若玻璃基板1的缺陷小于设定值，则为了进行后续工序，从基板固定机构100中取出玻璃基板1，用移送夹子(未图示)夹紧玻璃基板1的上端，沿移送轨道(未图示)移送，或装入在其它装置的盒(未图示)中移送。
如上所述，根据本发明的最佳实施形态，不仅在成形工序中容易实施玻璃基板的检查，并且缩短检查所需的时间，最小化检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生，并且，将限定的焦深内使被移送的玻璃基板的振动最小化，并进行正确的检查。
上述说明了本发明的最佳实施形态，但在不脱离本发明的权利要求的范围内，本领域的技术人员可进行各种变形。
权利要求
1.一种玻璃基板的检查装置，用于检查玻璃基板，其特征在于，包括基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的检查装置，其特征在于所述视频组件在至少开放了一侧的视频框内侧的两方分别垂直设置摄影机固定部件与照明固定部件，在所述摄影机固定部件上固定所述多个摄影机，使得所述多个摄影机通过开放的一侧对所述玻璃基板进行扫描；在所述照明固定部件上设置所述照明，使得所述照明向所述多个摄影机的扫描区域照射光。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板的检查装置，其特征在于所述视频组件移动机构包括与所述基板固定机构靠近设置的、自由旋转地设置在框下部的第1导螺杆；与所述第1导螺杆螺合、所述视频组件结合在上侧的移动架；与所述第1导螺杆连结、向所述第1导螺杆供给旋转力的第1驱动装置；与所述第1导螺杆平行、自由旋转地设置在所述框的上部的第2导螺杆；与所述第2导螺杆螺合、固定在所述视频组件上的球状螺母；与所述第2导螺杆连结、向所述第2导螺杆供给旋转力的第2驱动装置。
4.一种玻璃基板的检查方法，用于检查玻璃基板，包括如下步骤在使所述玻璃基板位于检查区中后，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；使照明和多个摄影机，从固定在所述检查区中的、所述玻璃基板的一侧向另一侧移动，并对所述玻璃基板进行扫描；根据扫描所述玻璃基板取得的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；将关于所述玻璃基板缺陷的数据显示到外部。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板的检查方法，其特征在于在将关于所述玻璃基板缺陷的数据显示到外部的步骤中，还包括根据关于所述玻璃基板缺陷的数据，在所述缺陷大于设定值时，显示所述玻璃基板不合格的内容的步骤。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的检查方法，其特征在于在显示所述玻璃基板不合格的内容的步骤中，还包括将被显示的所述不合格的玻璃基板取到外部的步骤。
全文摘要
本发明的检查装置包含基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。缩短检查所需的时间，使检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，可实施正确的检查。
文档编号G01N21/958GK1627059SQ20041000198
公开日2005年6月15日 申请日期2004年1月16日 优先权日2003年12月9日
发明者李昌夏, 金泽天, 金昔俊, 李钟烈, 裴琼采, 金奇南, 丁址和 申请人:三星康宁精密琉璃株式会社