专利名称：低充氦浓度氦质谱检漏方法
技术领域：
本发明涉及无损检测中的真空氦质谱泄漏检测领域，尤其适用于特殊密封装件不宜抽真空或充高压的密封性能的检测。
背景技术：
目前，在氦质谱检漏技术的应用中，充氦浓度多取20%以上，但有些密封装置内部不允许充入大量无法释放的示漏气体，针对这类特殊检测要求，本发明提供的低充氦浓度氦质谱检漏方法，简单实用，有广阔的应用前景。

发明内容
本发明的目的在于提供的检漏方法，利用1%。氦浓度可使其检漏灵敏度约为 1. 5X IO-8 Pa · m3/s ；检漏时本底的信号低，噪声波动小，有利于提高系统的可检漏率。本发明是这样实现的低充氦浓度氦质谱检漏方法，装置由容器、通道型漏孔、纯氦气源、检漏仪构成；其中容器3的氦气1由隔离阀4控制调节；纯氦气7由隔离阀6控制调节；真空泵2由隔离阀5控制调节；
步骤①关闭隔离阀5、6处于截止状态，打开隔离阀9由检测仪10测量其系统本底； 步骤②关闭隔离阀4，打开隔离阀6，测量漏孔8入口处，纯氦气7的下漏率； 步骤③关闭隔离阀6、打开隔离阀5，抽除漏孔8入口端的氦气1，再打开隔离阀4测量其系统本底；
步骤④通过容器3进气口分步注入纯氦气7，使容器3内的氦气1理论浓度分别为 0. 5%。、1%。、3%。、5%。，对应每一浓度测量氦气1通过漏孔8的漏率。所述的方法，氦气1是配置的气体，纯氦气7为100%氦浓度的气体。所述的方法，利用1%。氦浓度可使其检漏灵敏度为1. 5X ΙΟ"8 Pa · m3/S。本发明所采用的方案在被检漏部位的内部充入1%。氦浓度的示漏气体，在检漏部位的外侧与氦质谱检漏仪相连接，利用氦质谱检漏法实现其密封性能检测。检测时，先打开常规标准漏孔，效验检漏系统的状态，然后再打开1%。氦浓度的标准漏孔标定系统灵敏度，该方法的检漏灵敏度约为1. 5X IO-8 Pa · m3/S。本发明的专用标准漏孔，将标准漏孔中的氦浓度与检漏工况定为一致，可减少因标准漏孔的氦浓度与检漏工况不一致而引入检漏结果的误差。该方法有效地解决了密封装置内部不宜抽真空或充高压的一类被检件密封性检测的技术难题，彰显技术进步。


下面结合附图对本发明进一步说明。附图1为本发明方法的实施结构示意如图所示1-氦气；2-真空泵；3-容器；4、5、6、9_隔离阀；7-纯氦气；8-漏孔；10-检漏仪；
附图2低浓度氦气示漏的曲线图； 如图所示电信号(V)与浓度(体积比)呈线性关系。附图3高浓度氦气示漏的曲线如图所示电信号(V)与浓度(体积比)呈线性关系。
具体实施例方式下面结合实施例对本发明进一步说明。 实施例清洗，用无水乙醇清洗实验器材及密封件，以避免污垢、杂质等大分子颗粒堵塞标准漏孔；
实验系统组配见图1 ；1)容器接氦气并与漏孔进气端连接，即利用注射器将预先调配好的示踪氦气体注入容器；幻漏孔的出气端由波纹管(标准KF2Q连接，通检测仪；3)真空泵调试准备就绪后与容器出气端连通，即利用真空泵对容器抽真空，并保持其真空状态不变；4)纯氦气与漏孔进气端连接。分步骤其中容器3的氦气1由隔离阀4调控；纯氦气7由隔离阀6调控；真空泵2由隔离阀5调控；检测仪10由隔离阀9调控；
①关闭隔离阀5、6处于截止状态，打开隔离阀9由检测仪10测量其系统本底；
②关闭隔离阀4，打开隔离阀6，测量漏孔8入口处，纯氦气7的下漏率；
③关闭隔离阀6、打开隔离阀5，抽除漏孔8入口端的氦气1，再打开隔离阀4测量其系统本底；
④通过容器3进气口分步注入纯氦气7，使容器( 内的氦气1理论浓度分别为0.5%。、 1%。、3%。、5%。，对应每一浓度测量氦气1通过漏孔8的漏率。所用的氦气是配置的气体，纯氦气是100%氦浓度的气体。检测结果
(1)低充氦浓度氦质谱检漏实验数据统计见表1。表 权利要求
1.低充氦浓度氦质谱检漏方法，其特征在于装置由容器、通道型漏孔、纯氦气源、检漏仪构成；其中容器⑶的氦气⑴由隔离阀⑷控制调节；纯氦气(7)由隔离阀(6)控制调节；真空泵O)由隔离阀(5)控制调节；步骤①关闭隔离阀(5)、(6)处于截止状态，打开隔离阀(9)由检测仪(10)测量其系统本底；步骤②关闭隔离阀G)，打开隔离阀(6)，测量漏孔(8)入口处，纯氦气(7)的下漏率；步骤③关闭隔离阀(6)、打开隔离阀(5)，抽除漏孔⑶入口端的氦气(1)，再打开隔离阀(4)测量其系统本底；步骤④通过容器C3)进气口分步注入纯氦气(7)，使容器(3)内的氦气(1)理论浓度分别为0.5%。、1%。、3%。、5%。，对应每一浓度测量氦气(1)通过漏孔(8)的漏率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于氦气(1)是配置的气体，纯氦气(7)为 100%氦浓度的气体。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于利用1%。氦浓度可使其检漏灵敏度为 1. 5X1(T8 Pa · m3/so
全文摘要
本发明提供的低充氦浓度氦质谱检漏方法，装置由容器、通道型漏孔、纯氦气源、检漏仪构成；其中布设隔离阀分别控制氦气，纯氦气，真空泵的使用；步骤一关闭纯氦气、真空泵的隔离阀，打开检测仪的隔离阀，测量其系统本底；步骤二关闭氦气的隔离阀，打开纯氦气隔离阀，测量漏孔入口处，纯氦气的下漏率；步骤三关闭纯氦气隔离阀，打开真空泵的隔离阀，抽除漏孔入口端的氦气，再打开氦气隔离阀测量其系统本底；步骤四通过容器进气口分步注入纯氦气，使容器内的氦气理论浓度分别为0.5‰、1‰、3‰、5‰，对应每一浓度测量氦气通过漏孔的漏率。本方法的氦气是配置的气体，纯氦气为100%氦浓度的气体；利用1‰氦浓度可使其检漏灵敏度为1.5×10-8Pa·m3/s。
文档编号G01M3/20GK102346088SQ20111002633
公开日2012年2月8日 申请日期2011年1月25日 优先权日2011年1月25日
发明者廖旭东, 白国云, 胡茂中, 陈涛 申请人:中国人民解放军63653部队