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一种用于超高真空系统快速进样的样品支架的制作方法

时间:2025-05-31    作者: 管理员

专利名称:一种用于超高真空系统快速进样的样品支架的制作方法
技术领域
本实用新型属表面分析技术领域,具体为一种用于超高真空系统快速进样的样品支架。
背景技术
物理和化学的表面分析必须在超高真空环境(具体是指压强小于10-9毫米汞柱,或1.3×10-12大气压)下进行,以保持固体表面在分析过程中不受吸附污染。将真空室从大气抽真空到超高真空,通常需要36小时以上。如果每次更换样品都要打开真空室,将大大限制工作效率。因此需要超高真空系统快速进样装置,这种进样装置将样品通过一个预真空室送进真空室,这样就大大减小了样品更换对真空室的真空破坏,每更换一次样品并恢复到原有超高真空,所需时间缩短至约1小时或更短。目前快速进样装置一般采用三点衔接固定方式来固定样品支架,这种设计方式容易导致样品支架在进样过程中脱落而跌落在真空室中,不但影响工作进程,严重时还有可能损伤真空泵。

发明内容
本实用新型的目的在于提出一种结构简单、使用方便的用于超高真空系统快速进样的样品支架,并可避免进样过程中的样品支架脱落问题。
本实用新型提出的用于超高真空系统快速进样的样品支架,采用两点托架固定方式,其结构如图2-图4所示。其中,样品支架A由三角锲型块11和水平托架10两部分组成,两者在端部处垂直连接;样品支架B由两个平行的直角形挂钩6组成;样品支架A固定于进样杆1的前端部,样品支架B固定于调节杆12的下端部。
图1为超高真空系统快速进样示意图。利用点焊、弹簧压片等方法将待分析样品放在样品支架A上,样品支架A固定在进样杆头部。进样时,进样杆和样品经过预真空室进入真空室。之后将样品支架A固定在样品支架B上,再抽出进样杆到预真空室,关闭阀门,进样完成。
在将样品支架A固定在样品支架B的过程中,原来的设计因其三点衔接固定方式,容易导致样品支架A的脱落。本发明在于重新设计了样品支架A和样品支架B,由于采用了两点托架固定方式,避免了样品支架A的脱落问题。具体操作步骤为1)将样品5放上样品支架A后,将支架A之三角锲型块11插入固定在进样杆1头部的金属弹簧片9中,插入方向如图2中箭头所示(这些操作均不在真空中进行)。2)进样杆1携带样品5进入预真空室2后,再将预真空室抽真空至~10-6毫米汞柱,打开阀门3。3)进样杆1进入真空室7。将样品支架A和B的相对位置调节为样品支架A之水平托架10的底部高于样品支架B的顶部,如图2的虚线所示。样品支架B由两个固定在样品调节架杆12上的平行挂钩6组成,如图3和图4所示;样品支架A之三角锲型块11的两边位于样品支架B之平行挂钩6的相对位置内,如图3和图4的虚线所示。推进样品支架A直到它贴近样品调节架杆12,此时其水平托架10完全越过样品支架B。4)通过样品调节架8,抬升样品支架B1直到样品支架A之水平托架10完全架在样品支架B的两个挂钩上为止(两点托架方式)。5)抽出进样杆到预真空室,关闭阀门。
本实用新型中,样品支架A和B以及金属弹簧由不锈钢制成。
本实用新型所采用的两点托架固定方式,结构简单,使用方便,并避免了进样过程中样品支架A的脱落问题。


图1超高真空系统快速进样示意图。
图2样品支架A和B以及进样杆头部的侧视图。
图3样品支架A和B以及进样杆头部的俯视图。
图4为样品支架A和B的立体图。
图中标号1进样杆,2预真空室,3阀门,4样品支架A,5样品,6样品支架B,7真空室,8样品调节架,9金属弹簧片,10样品支架A之水平托架,11样品支架A之三角锲型块,12样品调节杆。
具体实施方式
下面通过实例进一步描述本发明。
实施例金属弹簧片9用0.5毫米厚不锈钢片制成,其结构由图2所示的两部分组成,将它们用螺钉固定在进样杆头部。弹簧片的水平长度约1厘米,它的宽度不能超出进样杆头部的截面。样品支架A和B由1毫米厚不锈钢制成,其结构如图2、图3和图4所示。样品支架A之三角锲型块11用车床车出。样品支架A的高度和宽度不能超出进样杆1头部的截面,如图2中的点划线所示。三角锲型块11的长度和金属弹簧片9的水平长度相似。样品支架B为两个大小和形状相同的直角挂钩6,它们的一边均用螺钉固定在样品调节架杆12的下端部。两挂钩平行,其间距稍大于样品支架A之三角锲型块11的宽度,如图3和图4中的虚线所示。挂钩6的高度和样品支架A的水平托架10的高度相似。挂钩内侧与样品调节架杆的间距稍大于样品支架A之水平托架10的厚度,以便水平托架架在挂钩上。样品宽度不超过样品支架A之三角锲型块11的宽度,且处于水平托架正中,如图3和图4所示。
权利要求1.一种用于超高真空系统快速进样的样品支架,包括样品支架A和样品支架B,其特征在于样品支架A和B采用两点托架方式,样品支架A由三角锲型块11和水平托架10两部分组成,两者在端部处垂直连接;样品支架B由两个平行的直角形挂钩6组成;样品支架A固定于进样杆1的前端部,样品支架B固定于调节杆12的下端部。
专利摘要本实用新型属于表面分析技术领域,具体为一种用于超高真空系统快速进样的样品支架,包括样品支架A和样品支架B。样品支架A和B之间的固定采用了两点托架方式,避免了通常采用的三点衔接方式造成的进样过程中,样品支架A容易脱落的问题。
文档编号G01N1/36GK2639872SQ03210558
公开日2004年9月8日 申请日期2003年9月11日 优先权日2003年9月11日
发明者陆明 申请人:复旦大学

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