专利名称：基板检查装置及基板检查方法
技术领域：
本发明涉及一种基板检查装置及基板检查方法。
背景技术：
专利文献I记载的设置在印刷基板检查夹具上的第2可动板，通过经由吊持部件安装在第I可动板上，成为相对于第I可动板自由活动的状态(在水平方向上可动的状态)。并且，在使在第I可动板及吊下的第2可动板向第I可动板下降时，固定在第2可动板上的定位引导销的圆锥柱状部，插入到设置在相对配置的底座部件的定位直线衬套中。由此，可以相对于底座部件确定第2可动板位置。专利文献I :日本特开2001-74815号公报

发明内容
本发明的课题在于，即使在将基板倾斜放置的情况下，也可以抑制电气检查工序中的检查精度的降低。本发明的技术方案I涉及的基板检查装置的特征在于，具有相对台，其可以相对于检查对象基板位于铅直方向的上方，上述基板相对于水平方向倾斜地配置；支撑台，其隔着上述基板与上述相对台相对配置，被支撑为可以沿上述基板的板厚方向，在与上述相对台相对地接近或远离的接近/远离方向上移动；移动部件，其使上述支撑台及上述相对台中的至少一个在上述接近/远离方向上移动；支撑部件，其具有下表面支撑部和端缘支撑部，上述下表面支撑部安装为可以相对于上述支撑台在上述接近/远离方向上移动，并且，从上述基板的下表面支撑上述基板，上述端缘支撑部支撑上述基板的铅直方向下侧的端缘；第一预紧部件，其将上述支撑部件朝向上述相对台预紧；多个接触部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述相对台上，并且，如果使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则这些接触部件分别与在上述基板上形成的多个定位用的圆孔的周围接触；第二预紧部件，其将上述接触部件朝向上述支撑台预紧；保持部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述支撑台上，具有下端部直径大于上述圆孔的圆锥状或方锥状的锥部，并且，如果在使上述接触部件与上述圆孔周围接触的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，则通过使上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述锥部插入上述圆孔中，从而在上述接触部件与上述锥部之间保持上述基板；第三预紧部件，其将上述保持部件朝向上述相对台预紧；通电部件，其基端侧安装在上述支撑台及上述相对台中的至少一个上，前端侧进行伸缩，并且，如果在上述接触部件和上述锥部之间保持上述基板的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述接触部件抵抗上述第二预紧部件的预紧力而向上述相对台侧移动，上述保持部件抵抗上述第三预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，从而，上述通电部件与设置在上述基板的一个表面或另一个表面中的至少一个上的用于进行电气检查的接触点接触而通电；以及检查部，其在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，进行上述基板的电气检查。本发明的技术方案2涉及的基板检查装置，在技术方案I的记载中，其特征在于，在上述支撑部件的下表面支撑部上，设置支撑上述基板的下表面的多个突起，设置多个抑制杆，如果在上述通电部件与上述接触点接触的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则在这些抑制杆与上述突起之间夹入上述基板，从而抑制上述基板的扭曲。本发明的技术方案3涉及的基板检查方法为，使用技术方案I所述的基板检查装置对基板进行检查，具有下述工序将上述基板的端缘支撑在支撑部件的端缘支撑部上，进而从下表面将基板支撑在下表面支撑部上；使用移动部件，使支撑台及相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，使各个接触部件与在上述基板上形成的定位用的多个 圆孔的周围接触；在上述接触部件与上述圆孔周围接触的状态下，使用上述移动部件，使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，使上述支撑部件抵抗第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，从而将设置在保持部件上的锥部插入上述圆孔中，在上述保持部件的上述锥部与上述接触部件之间保持上述基板；在上述保持部件的上述锥部与上述接触部件间保持上述基板的状态下，使用上述移动部件而使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，使上述支撑部件抵抗第一预紧部件的预紧力向支撑台侧移动，使上述接触部件抵抗第二预紧部件的预紧力向上述相对台侧移动，使上述保持部件抵抗第三预紧部件的预紧力向上述支撑台侧移动，从而使通电部件与设置在上述基板的一个表面及另一个表面中的至少一个上的接触点接触；以及在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，利用检查部进行上述基板的电气检查。本发明技术方案4涉及的基板检查方法，在技术方案3记载中，其特征在于，使用技术方案2所述的基板检查装置进行基板检查，具有下述工序在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，在抑制杆和突起之间夹入上述基板，从而抑制上述基板的扭曲。发明的效果根据本发明的技术方案I的基板检查装置，与将圆柱状的定位销插入设置在基板上的定位用圆孔中进行电气检查的情况相比，在倾斜设置基板的情况下，也可以抑制电气检查工序的检查精度的降低。根据本发明的技术方案2的基板检查装置，与不从一个表面和另一个表面夹入基板以抑制基板扭曲的情况相比较，可以有效地抑制电气检查工序中的检查精度的降低。根据本发明的技术方案3的基板检查方法，与将圆柱状的定位销插入设置在基板上的定位用的圆孔而进行电气检查的情况相比较，在倾斜设置基板的情况下，也可以抑制电气检查工序的检查精度的降低。根据本发明的技术方案4的基板检查方法,与不从一个表面和另一个表面夹入基板以抑制基板扭曲的情况相比较，可以有效地抑制电气检查工序中的检查精度的降低。


图1-1 (A ) (B)是表示本实施方式涉及的基板检查装置的剖视图。图1-2(C) (D)是表示本实施方式涉及的基板检查装置的剖视图。图1-3 (E) (f)是表示本实施方式涉及的基板检查装置的剖视图。图1-4(G)是表示本实施方式涉及的基板检查装置的剖视图。图2(A) (B)是表示本实施方式涉及的基板检查装置的侧视图。图3是表示本实施方式涉及的基板检查装置的分解斜视图。图4是表示利用本实施方式涉及的基板检查装置检查的基板的斜视图。图5是表示利用本实施方式涉及的基板检查装置检查的基板的斜视图。
具体实施例方式对于本发明的实施方式涉及的基板检查装置及基板检查方法的一个例子，根据图I至图5进行说明。此外，图中表示的箭头UP表示铅直方向上方。(整体结构)如图2㈧所示，基板检查装置10具有支撑台12，其支撑检查对象印刷配线基板100 (以下简称为基板100);以及相对台14，其隔着基板100而与支撑台12相对地配置。在该支撑台12上，铅直方向上方的上表面12A相对于水平方向倾斜。由此，从该上表面12A朝向的方向(从图中所示的左侧)，作业者通过从支撑台12和相对台14之间使基板100出入，从而与将基板水平放置的情况相比较，作业性得到提高。另外，因为可以使基板检查装置10倾斜，所以可以实现空间节省化。另外，支撑台12被支撑为，可以沿基板100的板厚方向在相对于相对台14接近或远离的接近/远离方向(与板厚方向相同的方向图示的箭头A方向)上移动。具体地说，在支撑台12的端部与相对台14的端部之间，设置沿接近/远离方向延伸的导轨16，由该导轨16引导，支撑台12沿相对于相对台14接近/远离的方向移动。此外，在基板检查装置10上设置操纵杆18，其作为使支撑台12在接近/远离方向上移动的移动部件的一个例子。操纵杆18在侧面观察(图2的箭头)形成L字状，且在弯曲部处设置向纸面里侧方向延伸的旋转轴18A。此外，在操纵杆18上设置支撑部18B，从旋转轴18A向支撑台12的下表面延伸，端部与支撑台12的下表面抵接；以及操作部18C，其从旋转轴18A向铅直方向倾斜上方延伸，且在前端部具有把持部20。根据该结构，作业者把持把持部20，通过使操作部18C以旋转轴18A为中心逆时针地旋转移动，从而支撑部18B以旋转轴18A为中心逆时针旋转移动。由此，支撑部18B的端部将支撑台12上推，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧(与相对台14接近的一侧，以下简称为接近侧)移动(参照图2 (B))。另外，在基板检查装置10上设置对支撑在支撑台12上的基板100进行电气检查的检查部28。〈印刷配线基板〉下面，对于基板100进行说明。如图4、图5所示，基板100形成矩形，在基板100的一个安装面100A上安装表面安装型的电子部件102 ;以及通孔安装型的电子部件106，其具有插入通孔中的引线104。电子部件102钎焊在一个安装面100A侧，作为接触点的一个例子的焊脚108形成在一个安装面100A侧。另外，电子部件106通过将其引线104插入基板100的通孔中，钎焊在另一个安装面100B侧，作为接触点的一个例子的钎焊部109形成在另一个安装面100B侧。另一方面，在基板100的另一个安装面100B上安装连接器110，该连接器110将其引线112插入基板100的通孔中，钎焊在一个安装面100A侧。并且，钎焊后的钎焊部114形成在一个安装面100A侧。另外，在形成矩形状的基板100的四个角中的三个角处，形成相对于基板检查装置10的定位用的圆孔118，在其余一个角形成方孔119。另外，方孔119也可以是圆孔。<支撑台 相对台〉 下面，对于由支撑台12及相对台14支撑的部件进行说明。如图I-I(A) (B)、图3所示，在支撑台12的上表面12A设置支撑部件22，其可以相对于支撑台12在接近/远离方向上移动。支撑部件22具有俯视观察为矩形状的下表面支撑部24，其从下侧支撑基板100 ；以及两个端缘支撑部26，其设置在下表面支撑部24的铅直方向下侧的两个角部，下端缘朝向水平方向配置，且与基板100的下端缘接触。此外，在朝向基板100侧的下表面支撑部24的上表面24A上设置多个突起25，其支撑基板100的下表面。另外，在下表面支撑部24的四个角侧分别设置圆柱状的引导杆30，其朝向支撑台12沿接近/远离方向延伸，引导杆30的伸出侧可移动地插入形成在支撑台12上的剖面为圆形的凹部32中。此外，在各个凹部32的内部设置弹簧34，其作为第一预紧部件的一个例子，将支撑部件22向相对台14预紧。由此，未施加外力的支撑部件22利用弹簧34的预紧力与未图示的止动部件抵接，配置在支撑部件22的初始位置(参照图I-I(A) (B))。另外，如图1-1⑶所示，在相对台14的下表面设置作为接触部件的一个例子的止动销36，其可以在与相对台接近/远离的方向上移动。并且，如果操作操纵杆18(参照图2)，使支撑台向接近/远离方向的接近侧移动，则该止动销36分别与在基板100上形成的定位用的圆孔118及方孔119的周围接触。具体地说，止动销36具有圆柱状的引导杆38，其朝向相对台14沿接近/远离方向延伸；以及圆柱状的接触部40,其固定在引导杆38的端部，并且在内部形成台阶状的圆筒凹部40A。并且，引导杆38可移动地插入形成在相对台14上的剖面为圆形的凹部42中。另外，在各个凹部42的内部设置作为第二预紧部件的一个例子的弹簧44，其将止动销36向支撑台12预紧。由此，未施加外力的止动销36通过弹簧44的预紧力与未图示的止动部件抵接，配置在止动销36的初始位置(参照图I(A) (B))。根据该结构，如前所述，如果操作操纵杆18 (参照图2)而使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，则止动销36的接触部40与形成在基板100上的定位用的圆孔118及方孔119的周围接触(参照图1-2(0)。另外，如图1-2 (C)所示，作为保持部件的一个例子的引导销46与止动销36相对地设置，可以相对于支撑台12在接近/远离方向移动。各个引导销46具有作为锥部的一个例子的圆锥部46A，其形成圆锥状，插入圆孔118及方孔119中。此外，引导销46具有圆柱状的圆柱部46B，其支撑该圆锥部46A。并且，圆柱部46B可移动地插入形成在支撑台12上的剖面为圆形的凹部48中。另夕卜，各个凹部48的内部设置作为第三预紧部件的一个例子的弹簧52，其将引导销46向相对台14预紧。由此，未施加外力的引导销46利用弹簧52的预紧力而与未图示的止动部件抵接，且配置在引导销46的初始位置(参照图I(A) (B) (C))。在这里，弹簧44的预紧力(全部弹簧44的预紧力的合 计预紧力)与弹簧34的预紧力(全部弹簧34的预紧力的合计预紧力)相比较大(强)。另外，弹簧52的预紧力(全部弹簧52的预紧力的合计预紧力)与弹簧34的预紧力(全部弹簧34的预紧力的合计预紧力)相比较大(强)。根据该结构，在止动销36与圆孔118及方孔119的周围接触的状态下，如果操作操纵杆18 (参照图2)而使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，则使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力而向支撑台12侧移动。由此，引导销46的圆锥部46A插入圆孔118及方孔119中，在止动销36与圆锥部46A之间保持基板100(参照图1_2(D))。另外，如图1_2(D)所示，设置作为通电部件的一个例子的探测销56，其基端部安装在相对台14上，前端部向支撑台12侧延伸，并且，前端侧进行伸缩。而且，如果在止动销36与圆锥部46A之间保持基板100的状态下操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，则该探测销56的前端部与基板100的焊脚108接触(参照图1-3 (E))。具体地说，操作操纵杆18(参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力，进一步向支撑台12侧移动，使止动销36抵抗弹簧44的预紧力，进一步向相对台14侧移动，使弓I导销46抵抗弹簧52的预紧力，进一步向支撑台12侧移动。并且，探测销56的前端与焊脚108接触(参照图1-3 (E))。另外，如图1_3(E))所示，设置作为通电部件的一个例子的探测销60，其基端部安装在支撑台12上，前端部向相对台14侧延伸，并且，前端侧进行伸缩。而且，如果在止动销36与圆锥部46A之间保持基板100的状态下操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，则该探测销60的前端部与基板100的钎焊部109接触(参照图 1-3 (F))。具体地说，操作操纵杆18(参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力，向支撑台12侧移动，使止动销36抵抗弹簧44的预紧力向相对台14侧移动，使引导销46抵抗弹簧52的预紧力向支撑台12侧移动。此外，探测销56的前端侧进行收缩。由此，探测销60的前端穿过设置在下表面支撑部24上的通孔24B，与钎焊部109接触(参照图1_3(F))。另外，如图1_3(F)所示，设置作为抑制杆的一个例子的压杆64，其为杆状，基端部安装在相对台14上，前端部向支撑台12侧延伸，与设置在下表面支撑部24上的突起25相对。并且，在探测销56与焊脚108接触，且探测销60与钎焊部109接触的状态下，操作操纵杆18 (参照图2)而使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，在压杆64与突起25之间夹入基板100，从而抑制基板100的扭曲(参照图I-(G))。(作用)
下面，与使用基板检查装置10检查基板100的基板检查方法一起，说明基板检查装置10的作用。此外，在下述检查工序中，对每个工序说明操纵杆18的操作程度(操作角度)，但是，操纵杆18的操作是一连串的动作。首先，如图1-1 (A) (B)所示，在未操作操纵杆18 (参照图2)的状态下，使基板100的端缘与支撑部件22的端缘支撑部26接触，使下表面支撑部24支撑基板100的下表面。然后，如图1-2(C)所示，操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，使止动销36的接触部40与在基板100上形成的定位用的圆孔118及方孔119的周围接触。然后，如图1-2 (D)所示，在止动销36与圆孔118的周围接触的状态下，操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力而向支撑台12侧移动。并且，将引导销46的圆锥部46A插入圆孔118及方孔119中，在止动销36和圆锥部46A之间保持基板100。 由此，通过使各个圆孔118的圆边缘利用接触部40被各个圆锥部46A挤压，使基板100沿基板100的面内方向移动，校正基板100的位置偏移(将基板100定位在正确的位置)。然后，如图1-3 (E)所示，在止动销36与圆锥部46A之间保持基板100的状态下，操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力而向支撑台12侧移动，使止动销36抵抗弹簧44的预紧力而向相对台14侧移动，使引导销46抵抗弹簧52的预紧力而向支撑台12侧移动。并且，使探测销56的前端与焊脚108接触。然后，如图1-3 (F)所示，在使探测销56的前端与焊脚108接触的状态下，操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力而向支撑台12侧移动，使止动销36抵抗弹簧44的预紧力而向相对台14侧移动，使引导销46抵抗弹簧52的预紧力而向支撑台12侧移动。另外，使探测销56的前端侧收缩，使探测销60的前端侧与钎焊部109接触。然后，如图1-4 (G)所示，在使探测销56与焊脚108接触，进而探测销60与钎焊部109接触的状态下，操作操纵杆18 (参照图2)，使支撑台12向接近/远离方向的接近侧移动。由此，使支撑部件22抵抗弹簧34的预紧力而向支撑台12侧移动，使止动销36抵抗弹簧44的预紧力而向相对台14侧移动，使引导销46抵抗弹簧52的预紧力而向支撑台12侧移动。另外，使探测销56的前端侧收缩，此外，使探测销60的前端侧收缩。并且，在压杆64与突起25之间夹入基板100，抑制基板100的扭曲。然后，如图2⑶所示，在这种状态下，检查部28经由探测销56及探测销60进行基板100的电气检查。如上说明，各个圆孔118的圆边缘通过接触部40被各个圆锥部挤压，从而与将圆柱状的定位销插入定位孔中的情况相比，即使在倾斜放置基板100的情况下，也可以校正基板100的位置偏移(在基准位置配置基板100)。另外，由于基板100的位置偏移被校正，所以即使在倾斜放置基板100的情况下，也可以抑制电气检查工序的检查精度的降低。另外，在压杆64与突起25之间夹入基板100，从而可以抑制基板100的扭曲。
此外，以特定的实施方式对本发明做了详细说明，但本发明并不限定于该实施方式，在本发明的范围内，可以实施其他各种实施方式，这一点对于本领域技术人员来说是明确的。例如，在上述实施方式中，作为锥部的一个例子，以圆锥状的圆锥部46A为例进行了说明，但也可以是大于或等于三个角的方锥形状。另外，也可以是没有顶部的圆台形状。另外，在上述实施方式中，通过使支撑台12在接近/远离方向移动，从而使支撑台12与相对台14相对地接近，但也可以通过使相对台14在接近/远离方向移动，从而使支撑台14与相对台14相对地接近。此外,也可以通过使二者移动,使支撑台12与相对台14相对地接近。另外，在上述实施方式中，设置3个定位用的圆孔118，但并不特别限定于3个，可以是2个,或者大于或等于4个。另外，在上述实施方式中，设置与基板100的一个安装面100A接触的探测销56，和与基板100的另一个安装面100B接触的探测销60，但也可以仅是其中的一个探测销。
另外，在上述实施方式中，表示相对台14沿基板100的厚度方向移动，但本发明并不限定于此。例如，如特开平07-146336号公报中的上表面单元所示，也可以是相对台经由减震器而可自由转动地安装在导轨16上的结构。S卩，相对台14只要是相对于与水平方向倾斜地配置的检查对象基板100位于铅直方向上方的结构即可。在该结构中，使相对台14转动而关闭的状态(特开平07-146336号公报的图I的状态)相对于图I-I(A)所示的状态。
权利要求
1.一种基板检查装置，其特征在于，具有 相对台，其可以相对于检查对象基板位于铅直方向的上方，上述基板相对于水平方向倾斜地配置； 支撑台，其隔着上述基板与上述相对台相对配置，被支撑为可以沿上述基板的板厚方向，在与上述相对台相对地接近或远离的接近/远离方向上移动； 移动部件，其使上述支撑台及上述相对台中的至少一个在上述接近/远离方向上移动； 支撑部件，其具有下表面支撑部和端缘支撑部，上述下表面支撑部安装为可以相对于上述支撑台在上述接近/远离方向上移动，并且，从上述基板的下表面支撑上述基板，上述端缘支撑部支撑上述基板的铅直方向下侧的端缘； 第一预紧部件，其将上述支撑部件朝向上述相对台预紧； 多个接触部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述相对台上，并且，如果使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则这些接触部件分别与在上述基板上形成的多个定位用的圆孔的周围接触；第二预紧部件，其将上述接触部件朝向上述支撑台预紧； 保持部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述支撑台上，具有下端部直径大于上述圆孔的圆锥状或方锥状的锥部，并且，如果在使上述接触部件与上述圆孔周围接触的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，则通过使上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述锥部插入上述圆孔中，从而在上述接触部件与上述锥部之间保持上述基板；第三预紧部件，其将上述保持部件朝向上述相对台预紧； 通电部件，其基端侧安装在上述支撑台及上述相对台中的至少一个上，前端侧进行伸缩，并且，如果在上述接触部件和上述锥部之间保持上述基板的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述接触部件抵抗上述第二预紧部件的预紧力而向上述相对台侧移动，上述保持部件抵抗上述第三预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，从而，上述通电部件与设置在上述基板的一个表面或另一个表面中的至少一个上的用于进行电气检查的接触点接触而通电；以及 检查部，其在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，进行上述基板的电气检查。
2.如权利要求I所述的基板检查装置，其特征在于， 在上述支撑部件的下表面支撑部上，设置支撑上述基板的下表面的多个突起， 设置多个抑制杆，如果在上述通电部件与上述接触点接触的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则在这些抑制杆与上述突起之间夹入上述基板，从而抑制上述基板的扭曲。
3.一种基板检查方法，其特征在于， 使用权利要求I所述的基板检查装置对基板进行检查， 具有下述工序 将上述基板的端缘支撑在支撑部件的端缘支撑部上，进而从下表面将基板支撑在下表面支撑部上；使用移动部件，使支撑台及相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，使各个接触部件与在上述基板上形成的定位用的多个圆孔的周围接触； 在上述接触部件与上述圆孔周围接触的状态下，使用上述移动部件，使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，使上述支撑部件抵抗第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，从而将设置在保持部件上的锥部插入上述圆孔中，在上述保持部件的上述锥部与上述接触部件之间保持上述基板； 在上述保持部件的上述锥部与上述接触部件间保持上述基板的状态下，使用上述移动部件而使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，使上述支撑部件抵抗第一预紧部件的预紧力向支撑台侧移动，使上述接触部件抵抗第二预紧部件的预紧力向上述相对台侧移动，使上述保持部件抵抗第三预紧部件的预紧力向上述支撑台侧移动，从而使通电部件与设置在上述基板的一个表面及另一个表面中的至少一个上的接触点接触；以及 在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，利用检查部进行上述基板的电气检查。
4.如权利要求3所述的基板检查方法，其特征在于， 使用权利要求2所述的基板检查装置进行基板检查， 具有下述工序在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，在抑制杆和突起之间夹入上述基板，从而抑制上述基板的扭曲。
全文摘要
本发明提供一种基板检查装置及基板检查方法，其特征在于，在倾斜放置基板的情况下，也可以抑制电气检查工序的检查精度的降低。在止动销(36)与圆孔(118)周围接触的状态下，操作操纵杆而使支撑台(12)向接近/远离方向的接近侧移动，抵抗弹簧34的预紧力而使支撑部件(22)向支撑台(12)侧移动。并且，将引导销(46)的圆锥部(46A)插入圆孔(118)中，在止动销(36)和圆锥部(46A)之间保持基板(100)。圆孔(118)的圆边缘通过接触部(40)被各个圆锥部(46A)挤压，使基板(100)沿基板(100)的表面方向移动，使基板(100)的位置偏移得到校正，从而可以抑制电气检查工序的检查精度降低。
文档编号G01R31/00GK102928685SQ20121002875
公开日2013年2月13日 申请日期2012年2月9日 优先权日2011年8月11日
发明者川本幸则, 冈田真彰 申请人:富士施乐株式会社