专利名称：电路图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种采用非接触方式能够检查形成于基板上的导电图案的缺陷的电 路图案检查装置。
背景技术：
最近，显示装置以在玻璃基板上使用液晶的液晶显示装置、或者利用等离子的等 离子显示装置为主。在这些显示装置的制造工序中，对形成于玻璃基板上的作为电路配线 的导电图案进行有无断线和短路不良的检查。作为过去常用的导电图案的检查方法，例如如专利文献1中记载的那样，已知有 如下的接触式检查方法(插针式触点方式)其中，使检查探针的针头接触导电图案的两 端，从一侧的检查探针施加直流检测信号，检测从另一侧的检查探针传输出的直流检查信 号，通过有无检测信号来检查有无断线和短路。作为其他检查方法，在专利文献2中，使至少两个检查探针接近导体图案，在采用 与导体图案非接触的方式进行电容耦合的状态下使其移动的同时，从一侧的检查探针施加 交流检查信号，通过另一侧的检查探针检测传输于导体图案的交流检查信号。通过检测信 号的波形变化，进行导电图案中有无断线和短路的检查。专利文献1 日本特开昭62-269075号公报专利文献2 日本特开2004-191381号公报

发明内容
(发明要解决的问题)随着追求显示画面的大画面化，上述的显示装置的画面尺寸更大型化，同时要求 显示画面的致密度，力求显示像素的微细化。因此，显示像素的驱动用配线或信号线等导电 图案变长的同时，被微细化。在对多个导电图案进行检查时，在由专利文献1所提案的使针头尖接触的检查探 针中，作为第一方法，以横穿排列的导电图案上的方式使检查探针滑行移动，顺次进行检 查。或者作为第二方法，配备与导电图案数相同数的检查探针，使检查探针统一接触，或者 作为第三方法，使检查探针上下移动的同时，以选择性地与导电图案接触的方式使其移动。在使检查探针滑行移动时，因为在针头尖接触导电图案的状态下移动，所以造成 由剥落或伤痕所形成的损坏的问题。此外，即使检查探针不滑动而接触导电图案，也造成因 为针头尖的接触而向导电图案加压所形成的伤痕等损坏问题。此外，在使用程序等力求检 查探针的接触动作和移动自动化的情况下，随着导电图案的细线化和配线间隔的微小化的 进展，位置控制变得愈发不容易。此外，在采用通过非接触方式与导电图案进行电容耦合的电极的检查装置中，随 着与电极相对向的导电图案的表面积的缩小的进展，检测出的检查信号值也变小。当增大 导电图案的检查信号值时，检测出的检查信号也变大，但是，随着导电图案的微细化，可以容许的检查信号值也变小。此外，在检测信号中，除检查信号外检测出包含来自外部的被重 叠的噪声。因此，对判断检查信号是否为噪声需要熟练程度，或者在进行计算机判断时，基 准值的设定变得困难。此外，当对检查对象基板，使用一个传感器部并使其移动进行检查时，得到一个检 测信号。在仅由一个检测信号进行判断时，虽然通过严格设定阈值，能够从微小的信号变化 中判断有无缺陷，但是，因为同时也对检测信号中可能包含的噪声成分也作为判断对象，所 以得到的判断结果不能确定是否仅为真的缺陷。因此，再次以相同条件实施第二次的检查， 将得到的第二次检查结果与第一次的检查结果进行比较，进行缺陷的确定。因此，为了得到 正确的检查结果，以相同的检查条件对同一检查对象必须进行至少两次检查。在该检查方 法中，为了得到正确的检查结果，因为花费进行两次检查的时间，所以，不易缩短检查时间。 再有，当第一次的检查和第二次的检查之间空有时间时，以相同的条件进行检查不易做到。因此，本发明的目的在于提供一种电路图案检查装置，该电路图案检查装置对排 列于基板上的各导电图案以时间序列的方式采用多组传感器进行多次检测，生成将这些检 测信号进行乘积运算的判断信号，来实现导电图案好坏的适当判断。(解决技术问题的技术方案)为了达到上述目的，基于本发明的实施方式，提供一种电路图案检查装置，该电路 图案检查装置将多个导电图案形成直列状的基板作为检查对象，包括第1传感器对，该第 1传感器对都具备与所述导电图案中的第一导电图案相对向的第一供电电极和第一传感电 极；第2传感器对，该第2传感器对都具备与从所述第一导电图案间隔预先设定的图案数目 的距离的第二导电图案相对向的第二供电电极和第二传感电极；移动部，该移动部保持所 述第1传感器对和所述第2传感器对，在所述导电图案的上方以一定的距离分开，并且以与 该导电图案的直列相交叉的方式进行移动；检查信号供给部，该检查信号供给部在利用所 述移动部的所述第1传感器对和所述第2传感器对的移动中，供给所述第一供电电极和所 述第二供电电极由交流信号构成的同一检查信号，将该检查信号顺次施加于与所述第一供 电电极和所述第二供电电极相对向、并且进行电容耦合的各个导电图案；检查信号处理部， 该检查信号处理部将预先设定的判断基准值，与通过分别与施加所述检查信号的所述导电 图案进行电容耦合的所述第一传感电极和所述第二传感电极获得的第一检测信号和第二 检测信号进行比较，从而选出缺陷候补，进而，以在所述第一检测信号上和所述第二检测信 号上的导电图案的位置一致的方式进行使任一检测信号的位置移动的距离轴匹配；以及缺 陷判断部，该缺陷判断部将所述导电图案的位置一致的所述第一检测信号和所述第二检测 信号中的所述缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在的缺陷候补判断为所 述导电图案的真缺陷。再者，提供一种电路图案检查装置的检查方法，为具备检查部的电路图案检查装 置的检查方法，该检查部将多个导电图案形成直列状的基板作为检查对象，由在与用于检 测存在缺陷的导电图案的所述导电图案的直列相交叉的方向上空开规定的图案数目的距 离而并排设置的至少两组供电电极和一对传感电极所构成，其中，使所述检查部沿与所述 直列交叉的方向移动，并通过电容耦合从各个所述供电电极对彼此分开的不同的导电图案 顺次施加由交流信号构成的同一检查信号，通过对传输于施加了所述检查信号的各个所述 导电图案的所述检查信号进行电容耦合，分别从所述传感电极获得第一检测信号和第二检测信号，将预先设定的判断基准值与所述第一检测信号和第二检测信号进行比较，从而选 出缺陷候补，以在所述第一检测信号上和所述第二检测信号上的导电图案的位置一致的方 式，使任一检测信号的位置移动而得到距离轴匹配，将所述导电图案的位置一致的所述第 一检测信号和所述第二检测信号中的所述缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共 通存在的缺陷候补判断为所述导电图案的真缺陷。(发明的效果)根据本发明，能够提供一种电路图案检查装置，该电路图案检查装置对排列于基 板上的各导电图案以时间序列的方式采用多组传感器进行多次检测，生成将这些检测信号 进行乘积运算的判断信号，来实现导电图案好坏的适当判断。


图1为表示本发明涉及的电路图案检查装置的双组检查部的示意构成的图。图2(a)、(b)为用于说明有关在电路图案检查装置中判断有无缺陷的说明图。图3为表示本实施方式涉及的电路图案检查装置的整体构成的框图。图4为表示电路图案检查装置的双组检查部的示意构成的图。图5(a)为表示在检查信号处理部中利用双通道电极的检测信号的图，图5(b)为 表示对检测信号实施平滑化处理的信号的图，图5(c)为表示实施距离轴匹配处理的检测 信号的图。图6(a)为表示得到距离轴匹配处理的检测信号差分的差分信号的图，图6(b)为 表示对差分信号利用乘积运算的进行微小变化增强处理的乘积信号的图，图6(c)为表示 在乘积信号中对脉冲噪声进行平滑化处理的信号的图。图7为用于说明有关在电路图案检查装置中的测定的图。(符号说明)1电路图案检查装置2双组检查部3移动机构4驱动控制部5检查信号处理部6控制部7输入部8显示部9存储器11检查信号供给单元12传感器单元13检查信号供给部14平滑化部15距离轴匹配部16差值算出部17微小变化增强部
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18192021a、21b22、2322a、23a22b、23b10010110310具体实施例方式下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。利用本发明的电路图案检查装置为与基板分体的检查装置，在制造工序中，例如 用于检测形成于玻璃制的基板上的多列导电图案(配线图案)的断线或短路的不良图案。 作为检查对象的导电图案为，例如用于液晶显示面板或接触式面板等的电路配线、多列平 行排列的导电图案、或者整个导电图案的一端侧通过短路棒(bar)连接的栉状导电图案。 另外，形成于基板上的各导电图案当图案的位置为能够确定时，即使不是等间隔的配置也 能够进行检查。再者，在下述的双组检查部移动时，在同一导电图案上，当为供电电极和传 感电极能够相对向的图案时，即使在导电图案的途中为弯曲或宽度变化也能够进行同等的 检查。另外，在下面说明中，为了易于理解，将以一定间隔形成直列状的导电图案作为检查 对象进行说明。图1为表示本发明涉及的电路图案检查装置的双组检查部的示意构成的说明图。 图2(a)、(b)为说明有关在电路图案检查装置中判断有无缺陷的说明图。如图1所示，电路图案检查装置1具备双组检查部2，该双组检查部2间隔规定 距离设置在形成于玻璃基板等具有绝缘性的基板100上的多列导电图案101的上方；检查 信号供给部13，该检查信号供给部13供给双组检查部2由交流构成的检查信号；检查信号 处理部5，该检查信号处理部5对从双组检查部2检测出的检测信号实施下述的信号处理； 缺陷判断部20，该缺陷判断部20设置在下述控制部(图2所示的控制部6)内；以及显示 部8，该显示部8显示包括检查结果的检查信息。双组检查部2具有两组由供电电极和一对传感电极构成的检查部。具体是，双组 检查部2由具备用于将检查信号供给(施加)于导电图案101的供电电极21(21a，21b)的 检查信号供给单元11、以及具备将供给于导电图案101的检查信号作为检测信号SO检测的 传感电极22、23的传感器单元12所构成。在该例中，通过由位于同一导电体图案上方的供 电电极21a和传感电极22构成的第一检查部、以及由一起位于对于第一检查部间隔数个图 案的距离的导电图案上方的供电电极21b和传感电极23构成的第二检查部所构成。供电 电极21b和传感电极23也位于同一导电体图案上方。检查信号供给部13以相同周期时刻分别对供电电极21a和供电电极21b施加同
脉冲噪声平滑化部 CPU
缺陷判断部 供电电极 传感器对 传感电极
噪声电极(传感电极) 基板 导电图案 臂部
导向部件电压值相同频率的交流检查信号。供电电极21a、21b分别对相对向的导电图案101进行电 容耦合，并施加交流检查信号。这些检查信号传输于导电图案101，被相对向进行电容耦合 的传感电极22、23所获得。另外，检查信号为通过电容耦合传输的信号即可，不仅是交流正 弦波，也可以为矩形(脉冲)波的信号。这些单元11、12通过移动机构3，在从供电电极21a、21b对导电图案101施加检查 信号的状态、并且在传感电极22、23从导电图案101检测检查信号的状态、在图案的上方保 持相同间隔距离(测定间隔)的状态，以与导电图案的直列交叉(横穿)的方式进行移动。 另外，检查信号供给单元11和传感器单元12为与导电图案、以及供电电极和传感电极相对 向的位置时，在检查对象的基板上也可以间隔配置(例如导电图案的两端)，相反，也可以 配置在接近位置上。这是因为双组检查部2通过电容耦合，检测检测信号的变化，因而由于 断线在导电图案中的容量与正常时不同，作为检测信号的变化呈现。这样构成的第一检查部和第二检查部在对作为检查对象的基板100上方进行一 体地一次扫描移动中，分别实施检查动作，对一个导电图案101都进行各一次检查，在分别 检测出的检测信号S0a、S0b中包含对同一导电图案的检查结果。即，当从检查部侧看时，通 过一次的检查能够得到两次的结果，从导电图案侧看时，通过仅有的时间差能够实施两次 检查。图2 (a)表示利用第一检查部(传感电极22)的判断信号Sja、以及利用第二检查 部(传感电极23)的判断信号Sjb，为用于说明关于根据各个的相同水平的判断基准选出缺 陷候补的图。这里，纵轴可以表示信号值，横轴可以表示时间轴或者导电图案位置。在检查信号供给单元11移动到导电图案上方时，通过从供电电极21a和供电电极 21b分别与不同的导电图案进行电容耦合，施加相同的交流的检查信号。传感电极22、23通过图案上方的同时，将传输于导电图案101的检查信号分别作 为检测信号SOa从传感电极22、作为检测信号SOb从传感电极23检测。因此，对于一个导 电图案101，能够得到两个检查结果。这两个检查结果因为仅偏差传感器之间的距离，所以， 通过下述的距离轴匹配，对齐检查位置。另外，这里所说的距离轴匹配是指因为传感电极22 和传感电极23间隔数个图案的距离而配置，所以在两个检测数据(检测信号)中，产生相 应距离的偏差。在用于对其进行比较时，为了消除该距离的差异，接近检测数据的任一方或 者双方，在轴上以同一导电图案一致的方式进行移动。在图2(b)中，使图2(a)所示的各个判断信号沿横轴方向移动，使在纵轴上的图案
位置一致。首先，检测信号S0a、S0b被输出至检查信号处理部5。在检查信号处理部5中，根 据需要实施检测信号的放大，从放大的检测信号中除去噪声成分，从检查信号SOa、SOb生 成判断信号Sja、Sjb，输出至缺陷判断部20。如图2(a)所示，该缺陷判断部20，首先将作为预先设定的判断基准的相同基准信 号和各个判断信号Sja、Sjb进行比较，对基准以下的峰值作为缺陷候补Pal、Pa2和Pbl、Pb2 选出。另外，在图2(a)中，将基准以下(或者未到基准)的峰值信号作为缺陷候补设定，但 是，在信号检测方法中，也有将基准以上(或者超过基准)的峰值信号作为缺陷候补设定的 情况。如上所述，这些判断信号Sja、Sjb,因为间隔数个图案距离配置传感电极22和传感电极23，所以，如图2(b)所示，为了在判断信号中图案为同一位置(相同检测时刻)，通 过距离轴匹配使图案位置一致。接着，比较如图2(b)所示的在判断信号Sja、Sjb中的缺陷候补Pal、Pa2以及Pbl、 Pb2。在该比较中，缺陷候补Pa2和Pbl在纵轴上一致。另外的缺陷候补Pal和Pb2都在纵 轴上一致的缺陷候补不存在。根据该比较结果，缺陷判断部20判断缺陷候补Pa2和Pbl为 真缺陷，判断另外的缺陷候补Pal和Pb2为疑似缺陷候补，即为噪声等。即，导电图案中的 缺陷为不变的，即使进行多次检查，也得到表示同样缺陷的检测信号。与此对比，重叠于检 测信号的噪声等，在短时间且单独产生的情况较多。因此，在包含在利用最初的第一检查部 的检测信号中的缺陷候补，作为缺陷候补不包含在利用之后的第二检查部的检测信号中的 情况下，第一检查部的缺陷候补判断为起因于噪声等的疑似缺陷。在本实施方式中，为两组由供电电极和一对传感电极构成的检查部，但是，当然， 并不局限于两组，必要时，也可以使用三组以上的供电电极和一对传感电极。由以上可知，根据本实施方式的双组检查部，从检查部侧看，通过在对检查对象的 基板100上方进行一次移动检查，第一检查部和第二检查部分别进行检查动作，对一个导 电图案101都进行各一次检查，分别得到检测信号SOa、SOb0在这些检测信号中，都包含 对同一导电图案的检查结果，通过一次的检查能够得到两次的结果。在从这些检测信号中 选出缺陷候补并进行图案的对位的检测信号中，将存在于同一位置的缺陷候补判断为真缺 陷。因而，通过由一次检测动作得到的检查信号，实现可靠的判断，能够得到适当地除 去噪声等的导电图案好坏的结果。下面，对本发明的第二实施方式涉及的电路图案检查装置进行说明。图3为表示第二实施方式涉及的电路图案检查装置的整体构成的框图。图4为表 示电路图案检查装置中双组检查部的构成的图。另外，对于与图1所示的构成部位相同的 部位赋予相同的参照符号。该电路图案检查装置1构成为包括双组检查部2，该双组检查部2在检查时被设 定成在形成于上述基板100上的多列导电体图案101上方间隔规定距离；移动机构3，该移 动机构3保持双组检查部2的间隔(非接触)状态，以在导电体图案101上方交叉的方式 进行移动；驱动控制部4，该驱动控制部4驱动控制移动机构3 ；检查信号供给部13，该检查 信号供给部13供给双组检查部2由交流构成的检查信号；噪声除去部24、25，该噪声除去 部24、25生成从由双组检查部2的传感电极22a、23a检测出的检测信号减去利用噪声电极 22b,23b的噪声信号的检测信号S0(S0a，SOb)；检查信号处理部5，该检查信号处理部5对 检测信号S0(S0a，D0b)实施下述的信号处理；控制部6，该控制部6控制装置的整体，而且， 进行基于来自检查信号处理部5的缺陷判断信号Sj的导电图案的好坏的缺陷判断；输入部 7，该输入部7由用于对控制部6进行指示的键盘或开关面板等构成；以及显示部8，该显示 部8显示包含输入的指示或检查结果的检查信息。双组检查部2由将检查信号供给(施加)于导电图案101的检查信号供给单元 11、以及检测供给导电图案101的检查信号的传感器单元12所构成。这些单元通过移动机 构3对导电图案101在上方保持间隔距离(测定间隔)的状态下进行移动。在移动机构3 中设有未图示的用于测定与导电图案101距离的距离传感器和高度调整机构，调整成从检查时的检查信号供给单元11以及传感器单元12的导电图案的间隔距离总是恒定。如图3所示，在检查信号供给单元11中，在间隔图案数列的距离的导电图案101 的上方分别设有间隔相同距离的供电电极21a、21b。在供电电极21a、21b中，从检查信号 供给部13以相同的周期时刻分别施加同电压值相同频率的交流检查信号。这些供电电极 21a、21b的电极宽度为被适宜地设定，当检查信号能够适当地供给时，可以为导电图案101 的宽度以下，当向邻接的导电图案不施加检查信号时，也可以具有导电图案101宽度以上。本实施方式在传感器单元12中分别设有两个传感电极成对的传感器对22、23。例如，在传感器对22中，一侧的传感电极22a在与供电电极21a同一导电图案上 方配置成能够相对向。此外，成对的传感电极22b在从传感电极22a间隔数个图案的导电 图案101的上方配置成相对向。该传感电极22b被构成为配置于从供给检查信号的导电图 案间隔数个图案的导电图案上方，并检测噪声。在下面的说明中，将该传感电极22b称作噪 声电极22b。像本实施方式那样，在利用由与检查对象(导电图案)非接触的检查电极的电容 耦合进行测定的情况下，不存在接触型传感器那样的绝对性的基准电位(例如，GND :0V)。 因此，设置具有与传感电极22a相同特性的噪声电极22b，对不供给检查信号的导电图案进 行检测，检测无信号状态下的信号值例如噪声信号。通过从由传感电极22a检测出的检查 信号比较或者减去重叠的噪声，成为合适的检测信号。在通过传感器单元12检测出的实际的检测信号中，不仅有起因导电体图案中配 线误差的周期性的噪声的影响，还包括移动时产生的机械伺服机构噪声、以及间隔距离的 变动和来自配置在周边的器械的共态噪声(传输在接地线上的噪声)的影响等。在本实施方式中，在从传感电极22a间隔规定距离，例如2mm位置配置噪声电极 22b。根据该构成，将利用传感电极22a的检测输出、以及利用噪声电极22b的检测输出输 送至检查信号处理部5，通过减去重叠的噪声，在作出虚拟接地电位(GND)的同时，进行噪 声的除去。此外，在本实施方式中，在图1中表示将检查信号供给单元11和传感器单元12配 置在导电图案101的两端的实例，但是，该配置仅表示为一个实例，在实际中，也可以设置 成使其接近。此外，在检查地方也没有必要在导电图案101的两端侧。在检查信号供给单 元11和传感器单元12作为一个单元接近基板上进行配置的构成的情况下，当为导电图案 上方时，不论为中央侧，还是在任一端侧，当以交叉方式进行移动时，就能够实施检查。在本实施方式中，传感电极22a、23a以及噪声电极22b、23b为了尽量大地检测出 信号值，具有为导电图案101的宽度以上、且不覆盖邻接的导电图案的宽度。S卩，具有导电 图案101的宽度和邻接的图案间隙之和(两侧两个间隙)以下的宽度。此外，对于沿导电 图案的方向不作限定，也可以适当地设定电极的长度。下面，对检查信号处理部5进行说明。检查信号处理部5由利用平滑化部14、距离轴匹配部15、差值算出部16、微小变化 增强部17、脉冲噪声平滑化部18的各电子电路所构成。再者，使用对导电图案101进行缺 陷判断的控制部6内的缺陷判断部20。检查信号处理部5对输入的检查信号S0a、S0b顺次进行实施平滑处理的平滑化处 理、上述的距离轴匹配处理、差值算出处理、微小变化增强处理、脉冲噪声平滑化处理。检查信号被实施这些处理，变换成缺陷判断信号Sj (Sja，Sjb)，输出至对整个导电图案101进行 缺陷判断的缺陷判断部20。在缺陷判断部20中，基于各个判断信号Sja、Sjb来判断有无 缺陷，并将其判断结果显示于显示部8的画面上。控制部6由进行装置整体的各构成部的控制的CPU(中央处理单元)19、缺陷判断 部20、存储有关程序或数据信息的存储器9构成。存储器9为一般的存储器，利用例如ROM、RAM或者闪存器等，存储控制用程序、各 种运算用程序以及数据(图表)等。下面，参照图5 (a)-(c)和图6(a)-(c)，对通过检查信号处理部5的各构成部进行 的处理进行说明。图7表示测定条件。图5 (a)表示传感器对22、23的各个检测信号SO (SOa, SOb)。该检测信号SO为从 利用上述传感电极22a、23b的检测信号获取利用噪声电极22b、23b的检测信号(噪声信 号)之差，制作噪声除去和虚拟接地电位(GND)的信号。在本实施例中，如上所述，因为空开多个导电图案的间隔配置传感器对22、23，所 以，如图4所示，在使其在基板100上的导电图案101上移动并且以时间序列的方式实施检 查的情况下，在通过同一导电图案时，产生时间差。因此，在检测的检测信号S0a、S0b中，如 图5(a)的Al、A2、A3所示具有时间差，在信号波形产生相同的变化。此外，在对导电图案施加检查信号时，存在噪声从外部通过其他途径进入并且该 噪声重叠于检测信号而被检测的情况。这样的噪声的大部分瞬间附加的情况较多，当用两 个传感电极错开时间，对同一导电图案进行检测时，即使用一侧的传感电极检测出噪声，但 另一侧的传感电极中该噪声没被检测出。因此，通过设定时间差，比较两个电极的检测信 号，能够辨别是检测信号变化还是噪声。接着，如果需要，对检测信号进行平滑化处理，对检测信号的振幅和波动进行缓慢 化。如图5(a)所示，这里，波动是指整个信号(或者振幅中心)像波起伏那样值(电压值) 产生变化。图5 (b)表示通过平滑化部14对检测信号进行平滑化处理的检测信号Sl (Sla, Slb)。采用一般的平滑化电路实施平滑化处理，使检测信号的振幅迟缓。平滑化的检测信号Sla、Slb因为还具有时间差(相位差)，所以，如图5 (c)所示， 通过距离轴匹配部15实施使两个检测信号的相位一致的匹配处理。通过该匹配处理，在图 5(a)所示的Al中表示检测信号S2(S2a，S2b)。在该匹配处理中，因为两个传感电极之间的 距离、以及检测时的传感电极的移动速度是已知，所以能够容易地算出移动距离差。只使一 侧的检测信号仅移动其移动距离差即可。通过该匹配处理，同一导电图案中的检测信号一致。这是表示例如，图5(a)所示 的括起来的相同的注意地方的Al倾斜。但是，通过实施匹配处理，Al成垂直方向，其倾斜 消失，显示为一致。再者，分别对一致的检测信号S2a、S2b通过差值算出部16获得差值。具体是，如 图6(a)所示的差分信号S3(S3a、S3b)在检测信号S2a、S2b为以某个间隔抽样的信号值的 情况下，获取与之前的信号值的差分，为用该差值图示的信号。因此，纵轴的输出电压值与 图5(c)相比，小两位以上。此外，通过获取该信号的差分，仅抽取两个差分信号S3a、S3b的 变化特征，而且，能够作出一致的虚拟接地电位(GND)。通过虚拟接地电位，整个信号的波动 (信号振幅的基准值的上下变化)消失，成为处于恒定基准值(OV)的振幅信号。
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在图6(b)中，表示通过微小变化增强部17对差分信号S3a、S3b实施增强处理的 乘积信号S4。该增强处理利用差分信号S3a和差分信号S3b的乘积进行运算处理(下面， 称作乘积运算)。该乘积运算当同一导电图案101存在不良地方时，差分信号S3a、S3b中因 为在信号值上都产生变化，所以，通过这些相乘(乘积运算)，比未处理的算出值更增强其 变化。当简单地说明时，例如，正常时的信号值为3，当不良(有缺陷)时的信号值为5时， 必须通过其差2进行好坏判断。但是，如本实施方式那样，从同一导电图案将进行两次检测的信号彼此相乘，正常 时为3X3 = 9，不良时为5X5 = 25，9与25比较，根据其差16能够进行好坏判断。根据采用本实施方式中利用图7中的测定条件的测定结果，增强图6(b)所示的 Al、A2、A3地方的检测信号。接着，如图6(c)所示，对增强处理的乘积信号S4通过使用一般的滤波器等的脉冲 噪声平滑化部18，进行脉冲噪声的平滑化处理。通过该处理对在极短时间的急剧的变化进 行缓慢化，通过使脉冲噪声不突出，能够得到如图6(c)所示的振幅变化缓慢化的信号(缺 陷判断信号Sj)。接着，判断信号Sj输出至设置在控制部6的缺陷判断部20。在缺陷判断部20中， 设定如图6(c)所示的判断阈值。该判断阈值基于判断信号Sj的正常时的值(信号B1，B2 的范围)进行适当地设定。在本实施方式中，作为一例设定判断阈值为正常时的峰值的大 致2倍的0.00012V。对检测出超过该阈值的信号值A1、A2、A3的导电图案101，判断为在3 根导电图案101上存在缺陷(断线)。另外，基于坐标图的横轴所示的移动距离，能够特定 存在缺陷的导电图案101。如上说明那样，在本实施方式的电路图案检查装置中，对作为检查对象的导电图 案，在移动的供电电极21a相对向时，采用非接触方式进行电容耦合，施加交流检查信号， 此时，从与该导电图案相对向的传感电极22a检测出第一检测信号。再者，经时后对同一导 电图案，在移动的供电电极21b相对向时，采用非接触方式进行电容耦合，施加交流检查信 号，此时，从与该导电图案相对向的传感电极23a检测出第二检测信号。因此，在本实施方式中，对同一导电图案通过至少两组的传感器对进行两次检测， 并通过比较同步的两个检测信号，判断有无缺陷。再者，在利用比较的判断中，在检测的两个检测信号中变化少的情况下，获取这些 第一检测信号和第二检测信号的乘积，生成使缺陷地方的信号变化显著增强的缺陷判断信 号。缺陷判断信号使用噪声电极的检测信号来除去稳定地重叠在检测信号中的噪声。另外，在本实施方式中，说明了对于各个导电图案，通过两组的传感器对进行两次 检测的实例，当然，并不限定于此，也可以使用两组以上的传感器对，进行两次以上的检测。此外，在上述的实施方式中，为传感电极和噪声电极的传感器对。但是，传感电极 (第一传感电极)在与某个导电图案相对向时，通过以与邻接的导电图案相对向的方式邻 接设置第二传感电极，不仅能够检测断线缺陷，而且能够检测短路缺陷。在该情况下，第二 传感电极未必需要正对邻接的导电图案，即使仅覆盖该导电图案的一部分也能够检测。此 外，在上述的实例中，获取两个检测信号的乘积进行增强处理，但是，也可以为在两个以上 的检测信号中的乘积运算。此外，在本实施方式中，是为了力求检查时间的效率化(提高检查处理速度)，通过搭载双组检查部2的移动机构3，在移动状态下连续进行检查的实例。与此对比，现有的 电路图案检查装置例如搭载传感器对(传感电极和噪声电极)或者一个传感器(仅传感 电极)的检查装置也能够适用本发明的检查方法。即，对每个排列的导电图案进行使其移 动停止的步骤，通过在停止时进行至少两次检查，能够得到具有时间差的检查结果。对于这 些检查结果，通过进行上述的检查信号的乘积运算，能够得到图6(c)所示的相同的缺陷判 断信号，能够得到同等的检查结果。总之，当能够获得对一个检查对象具有时间差的多个检测信号时，能够对任何检 查装置都适用，能够得到同等的检查结果。另外，虽然实际上是不可能的，但是，作为单纯的 理论，当为噪声没有明显重叠的检测信号时，即使为一个检测信号S的乘积(SXS)，也能够 得到同等的检查结果。在该乘积运算中，也可以进行多次。此外，与本实施方式不同，对检测信号即使乘以某个系数，也能够使正常的导电图 案的检测信号与存在缺陷的导电图案的检测信号之差在一定程度上变大。但是，因为对各 个导电图案的检测信号乘以同一系数，所以，在检测信号之间的差较小的情况下，其差不会 变得太大，未必能够说判断变得容易，而且，没有系数中的依据，因为脱离了发明宗旨，所以 不采用。下面，对搭载图7所示的第二实施方式涉及的双组检查部的电路图案检查装置进 行说明。虽然为在上述的第一实施方式中的检查信号处理部5中采用电子电路进行实施 的实例，但是，本实施方式为通过应用软件(高精度缺陷抽出算法)实现检查信号处理部5 执行的信号处理的实例。在本实施方式中，首先，对由传感器对22、23所得的检测信号，实施为了将各检测 信号的振幅和波动缓慢化的平滑化处理(平滑化处理工序)。接着，将由传感器对22所得的检测信号设为fn，由传感器对23所得的检测信号设 为gn，在将形成包括缺陷的波形的数据点数的1/2设为i的情况下，该i的数据数的差分表 示为(差值算出处理工序)
权利要求
1.一种电路图案检查装置，将多个导电图案形成直列状的基板作为检查对象，所述电 路图案检查装置的特征在于包括第1传感器对，该第1传感器对具备与所述导电图案中的第一导电图案同时相对向的 第一供电电极和第一传感电极；第2传感器对，该第2传感器对具备与从所述第一导电图案间隔预先设定的图案数目 的距离的第二导电图案同时相对向的第二供电电极和第二传感电极；移动部，该移动部保持所述第1传感器对和所述第2传感器对，在所述导电图案的上方 以一定的距离分开，并且以与该导电图案的直列相交叉的方式进行移动；检查信号供给部，该检查信号供给部在利用所述移动部的所述第1传感器对和所述第 2传感器对的移动中，供给所述第一供电电极和所述第二供电电极由交流信号构成的同一 检查信号，将该检查信号顺次施加于与所述第一供电电极和所述第二供电电极相对向、并 且进行电容耦合的各个导电图案；检查信号处理部，该检查信号处理部将预先设定的判断基准值，与通过分别与施加所 述检查信号的所述导电图案进行电容耦合的所述第一传感电极和所述第二传感电极获得 的第一检测信号和第二检测信号进行比较，从而选出缺陷候补，进而，以在所述第一检测信 号上和所述第二检测信号上的导电图案的位置一致的方式进行使任一检测信号的位置移 动的距离轴匹配；以及缺陷判断部，该缺陷判断部将所述导电图案的位置一致的所述第一检测信号和所述第 二检测信号中的所述缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在的缺陷候补判 断为所述导电图案的真缺陷。
2.根据权利要求1所述的电路图案检查装置，其特征在于 所述检查信号处理部除了所述距离轴匹配部，还包括差值算出部，该差值算出部以任意间隔从所述检测信号中抽取信号值，通过以时间序 列的方式与之前的信号值的差分，生成各个差分信号；以及微小变化增强部，该微小变化增强部将所述差分信号相乘，生成更加增强包含在该差 分信号中的信号的局部变化的乘积信号。
3.根据权利要求1所述的电路图案检查装置，其特征在于 在所述电路图案检查装置中，所述第1传感器对具有第一噪声电极，该第一噪声电极在从所述第一传感电极间隔任 意图案数目的第三导电图案的上方分开配置；并且所述第2传感器对具有第二噪声电极，该第二噪声电极在从所述第二传感电极间隔任 意图案数目的第四导电图案的上方分开配置。
4.根据权利要求2所述的电路图案检查装置，其特征在于 在所述电路图案检查装置中，所述缺陷判断部在通过所述距离轴匹配部使所述第一检测信号和所述第二检测信号 的检测时刻同步时，将所述检测信号的局部变化与基于所述移动部的移动速度决定的所述 导电图案的形成位置进行对照，决定存在缺陷的导电图案。
5.一种电路图案检查装置的检查方法，为具备检查部的电路图案检查装置的检查方 法，该检查部将多个导电图案形成直列状的基板作为检查对象，由在与用于检测存在缺陷的导电图案的所述导电图案的直列相交叉的方向上空开规定的图案数目的距离而并排设 置的至少两组供电电极和一对传感电极所构成，所述电路图案检查装置的检查方法的特征 在于使所述检查部沿与所述直列交叉的方向移动，并通过电容耦合从各个所述供电电极对 彼此分开的不同的导电图案顺次施加由交流信号构成的同一检查信号，通过对传输于施加了所述检查信号的各个所述导电图案的所述检查信号进行电容耦 合，分别从所述传感电极获得第一检测信号和第二检测信号，将预先设定的判断基准值与所述第一检测信号和第二检测信号进行比较，从而选出缺 陷候补，以在所述第一检测信号上和所述第二检测信号上的导电图案的位置一致的方式，使任 一检测信号的位置移动而得到距离轴匹配，将所述导电图案的位置一致的所述第一检测信号和所述第二检测信号中的所述缺陷 候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在的缺陷候补判断为所述导电图案的真缺 陷。
6.根据权利要求5所述的电路图案检查装置的检查方法，其特征在于 以任意间隔从同步的所述多个检测信号中抽取信号值，通过以时间序列的方式与之前 的信号值的差分，生成各个差分信号，将所述差分信号相乘，生成更加增强包含在该差分信号中的信号的局部变化的乘积信号。
全文摘要
本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。
文档编号G01R31/28GK101995545SQ201010243928
公开日2011年3月30日 申请日期2010年8月2日 优先权日2009年8月4日
发明者加藤浩介, 坂和正敏, 羽森宽 申请人:Oht株式会社