专利名称：探针台测试系统及探针台测试显示装置的制作方法
技术领域：
探针台测试系统及探针台测试显示装置
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种探针台测试系统及探 针台测试显示装置。背景技术：
探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针 卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、以及探针台与测试机的信号连接等功能。测试机(Automatic Test Equipment, ATE)是用于晶圆和其他成品测试的一种专 用设备，可以实现各种电参数的测量，和探针台配合可以完成晶圆电参数的测试。测试机有 多个与探针台连接的接口。由于新型号的探针台较为昂贵，国内外的许多厂商仍在使用一些比较老旧的探针 台。例如ELECTR0GLAS公司生产的EG2001系列探针台，由于测试速度快、维护方便等优点 仍然被广泛应用。而这些旧型号设备在测试过程中无法实时看到测试的结果，只有等一件 产品测试完全结束后，生成测试结果文件，再通过计算机软件的转换，才能得到直观的图形 格式的测试分布文件，即MAP文件。而在探针台和测试机配合测试的过程中很多因素(如针卡的接触不良、测试机不 稳定、探针台移动不稳等)会导致测试不稳定，如果等整片测试结束后再分析处理，不仅严 重浪费效率，对于修条(Trimming)产品，由于对铝条的熔断是实时且不可逆的，还会造成 报废。

实用新型内容为了解决旧型号的探针台与测试机配合测试时，测试结果无法实时显示的问题， 有必要提供一种可以在不更换探针台情况下，实时显示测试结果的探针台测试系统。—种探针台测试系统，包括探针台和测试机，所述探针台与测试机连接，向测试机 发送测试数据或接收测试机的反馈数据，还包括探针台测试显示装置，所述探针台测试显 示装置与探针台及测试机相连接，获取并对所述测试数据和反馈数据进行处理，实时生成 并显示测试分布文件。优选的，所述探针台测试显示装置与探针台、测试机之间是通过二极管网络进行 连接，二极管网络将所述测试数据和反馈数据整合在一起后导入所述探针台测试显示装置。优选的，所述探针台测试显示装置包括依次连接的数据处理模块、测试分布文件 生成模块以及显示模块；所述数据处理模块将测试数据和反馈数据转换为测试分布文件生 成模块能够识别的数据格式；所述测试分布文件生成模块接收数据处理模块转换后的数 据，生成测试分布文件；所述显示模块接收测试分布文件并进行显示。优选的，所述数据处理模块包括探针台数据处理模块和测试机数据处理模块，所 述探针台数据处理模块转换测试数据，所述测试机数据处理模块转换反馈数据。[0011]优选的，所述测试分布文件包括黑白或彩色的图形显示信息，以及文字或数字的
显不fe息。 还有必要提供一种可以在不更换探针台情况下，实时显示测试结果的探针台测试
显示装置。一种探针台测试显示装置，其特征在于，所述装置获取探针台向测试机发送的测 试数据以及测试机反馈给探针台的反馈数据并进行处理，实时生成并显示测试分布文件； 所述装置包括依次连接的数据处理模块、测试分布文件生成模块以及显示模块；所述数据 处理模块将测试数据和反馈数据转换为测试分布文件生成模块能够识别的数据格式；所述 测试分布文件生成模块接收数据处理模块转换后的数据，生成测试分布文件；所述显示模 块接收测试分布文件并进行显示。优选的，所述数据处理模块包括探针台数据处理模块和测试机数据处理模块，所 述探针台数据处理模块转换测试数据，所述测试机数据处理模块转换反馈数据。上述探针台测试系统以及探针台测试显示装置能够实时显示测试结果，便于测试 员在测试过程中及时发现并处理问题，而不必等待整个产品测试结束后再处理。改善了生 产管理、提高了生产效率。并且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。

图1是探针台测试系统的结构示意图；图2是一个实施例中探针台测试显示装置的结构示意图；图3是另一个实施例中探针台测试显示装置的结构示意图。
具体实施方式图1是探针台测试系统的结构示意图。探针台测试系统包括探针台100、测试机 200以及探针台测试显示装置300。探针台测试显示装置300与探针台100及测试机200 相连接，探针台100发送给测试机200的测试数据以及测试机200反馈给探针台100的反 馈数据都通过该连接导入探针台测试显示装置300。探针台测试显示装置300分析并处理 测试数据及反馈数据，实时生成测试分布文件并进行显示。图2是一个实施例中探针台测试显示装置的结构示意图。探针台测试显示装置 300包括数据处理模块350、测试分布文件生成模块330以及显示模块340。探针台100发送给测试机200的测试数据以及测试机200反馈给探针台100的反 馈数据经过二极管网络400整合后传入数据处理模块350，由数据处理模块350转换为测试 分布文件生成模块330能够识别的格式。在晶圆测试中，探针台100发送给测试机200的测试数据格式为TSXAYB，其中A表 示测试点的X轴相对坐标，B表示测试点的Y轴相对坐标。例如TSXlYl就表示对相对坐标 为(1，1)的点进行测试，TSX-IYl表示对相对坐标为(_1，1)的点进行测试，根据该坐标可 以在晶圆上找到相应测试点。测试机200向探针台100发送的反馈数据格式为TCW，W是一 个二进制的值，为0 1111 (即十进制的0 15)中的一个值，表示各种测试结果，包括测 试通过(PASS)和未通过(FAIL)。数据处理模块350从测试数据和反馈数据中提取出信息 后，就可以将其转换为测试分布文件生成模块330能够识别的数据格式。[0023]测试分布文件生成模块330接收数据处理模块350转换后的数据，生成测试分布文件(MAP文件)。测试分布文件包括被测晶圆的测试点坐标数据以及该测试点的测试结果 数据。在优选的实施方式中，测试分布文件包括用于生成彩图的彩图信息，彩图信息包 含了测试点位置(坐标)及测试结果，每种测试结果对应一种颜色；每个测试点在彩图上都 有惟一对应的位置，该位置根据相应的测试结果被染色。测试分布文件还包括用于生成表 格的表格信息，表格囊括了测试结果的编号、该种结果对应的颜色、整件产品中该种结果的 测试点数量、该种结果的测试点数量在所有测试点中的比率等信息。还包括了测试产品的 编号、尺寸、晶圆槽口(Notch)方向、芯片总行数和列数、测试的开始和结束时间、测试耗时等信息。显示模块340根据测试分布文件生成模块330生成的测试分布文件进行显示。图3是另一个实施例中探针台测试显示装置的结构示意图。该实施例中探针台测 试显示装置300包括探针台数据处理模块310、测试机数据处理模块320、测试分布文件生 成模块330以及显示模块340。其与前一个实施例的主要区别在于探针台100发送给测试机200的测试数据以 及测试机200向探针台100发送的反馈数据不是通过二极管网络400整合后传入探针台测 试显示装置300，而是分别传入探针台数据处理模块310和测试机数据处理模块320，由探 针台数据处理模块310和测试机数据处理模块320分别将其转换为测试分布文件生成模块 330能够识别的数据格式。也可以认为前一个实施例的数据处理模块350包括了探针台数据处理模块310和 测试机数据处理模块320。上述探针台测试系统及探针台测试显示装置能够实时显示测试结果，便于测试员 在测试过程中及时发现并处理问题，而不必等待整个产品测试结束后再处理。改善了生产 管理、提高了生产效率。并且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求一种探针台测试系统，包括探针台和测试机，所述探针台与测试机连接，向测试机发送测试数据或接收测试机的反馈数据，其特征在于，还包括探针台测试显示装置，所述探针台测试显示装置与探针台及测试机相连接，获取并对所述测试数据和反馈数据进行处理，实时生成并显示测试分布文件。
2.根据权利要求1所述的探针台测试系统，其特征在于，所述探针台测试显示装置与 探针台、测试机之间是通过二极管网络进行连接，二极管网络将所述测试数据和反馈数据 整合在一起后导入探针台测试显示装置。
3.根据权利要求1或2所述的探针台测试系统，其特征在于，所述探针台测试显示装置 包括依次连接的数据处理模块、测试分布文件生成模块以及显示模块；所述数据处理模块将测试数据和反馈数据转换为测试分布文件生成模块能够识别的 数据格式；所述测试分布文件生成模块接收数据处理模块转换后的数据，生成测试分布文件；所述显示模块接收测试分布文件并进行显示。
4.根据权利要求3所述的探针台测试系统，其特征在于，所述数据处理模块包括探针 台数据处理模块和测试机数据处理模块，所述探针台数据处理模块转换测试数据，所述测 试机数据处理模块转换反馈数据。
5.根据权利要求1所述的探针台测试系统，其特征在于，所述测试分布文件包括黑白 或彩色的图形显示信息，以及文字或数字的显示信息。
6.一种探针台测试显示装置，其特征在于，所述装置获取探针台向测试机发送的测试 数据以及测试机反馈给探针台的反馈数据并进行处理，实时生成并显示测试分布文件；所 述装置包括依次连接的数据处理模块、测试分布文件生成模块以及显示模块；所述数据处理模块将测试数据和反馈数据转换为测试分布文件生成模块能够识别的 数据格式；所述测试分布文件生成模块接收数据处理模块转换后的数据，生成测试分布文件；所述显示模块接收测试分布文件并进行显示。
7.根据权利要求6所述的探针台测试显示装置，其特征在于，所述数据处理模块包括 探针台数据处理模块和测试机数据处理模块，所述探针台数据处理模块转换测试数据，所 述测试机数据处理模块转换反馈数据。
专利摘要本实用新型涉及一种探针台测试系统，包括探针台和测试机，所述探针台与测试机连接，向测试机发送测试数据或接收测试机的反馈数据，还包括探针台测试显示装置，所述探针台测试显示装置与探针台及测试机相连接，获取并对所述测试数据和反馈数据进行处理，实时生成并显示测试分布文件。还涉及一种探针台测试显示装置。本实用新型能够实时显示测试结果，便于测试员在测试过程中及时发现并处理问题，而不必等待整个产品测试结束后再处理。改善了生产管理、提高了生产效率。并且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。
文档编号G01R31/00GK201637795SQ20102014276
公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月22日 优先权日2010年3月22日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司