专利名称：自动光学检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及基板缺陷检测领域，特别是涉及ー种用于检测基板缺陷的自动光学检测装置。
背景技术：
自动光学检测是液晶行业对玻璃基板等基板类原料及半成品的常用的检测手段。其中自动光学检测装置可用于检测基板表面的图像是否符合规定、是否存在由破坏性物质造成的坏点以及判定破坏性物质等造成的坏点的准确位置。一般采用自动光学检测装置的CCD (Charge-coupled Device,电荷稱合元件)图像传感器对被检测基板拍照得到被检测基板的灰度图像，然后通过对该灰度图像进行分析，判定被检测基板是否存在坏点。图I是ー种现有的自动光学检测装置的结构示意图，该自动光学检测装置包括图·像传感器11、传感器固定平台12、基板承载平台13以及基板传送模块(图中未示出)。该自动光学检测装置使用时，被检测基板14 (如玻璃基板)在基板传送模块的驱动下，在基板承载平台13上移动；同时设置在被检测基板14上方的图像传感器11对被检测基板14的表面进行拍照，并将拍照的图像转换为灰度图像后，与事先输入的基板灰度图像进行对比，依此判定被检测基板14是否存在坏点以及坏点的位置。但是该自动光学检测装置只能对被检测基板14的表面的坏点等缺陷进行很好的检测，如被检测基板14的内部出现坏点等缺陷，则可能无法检测出来，从而使得不合格的基板流入到下ーエ序中。故，有必要提供一种自动光学检测装置，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容
本发明的目的在于提供一种可以检测到基板内部缺陷的自动光学检测装置，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下本发明涉及一种自动光学检测装置，其包括基板承载平台，用于承载被检测基板；传感器固定平台，设置在所述被检测基板的上方；图像传感器，设置在所述传感器固定平台上，用于对所述被检测基板进行拍照；以及背光源，设置在所述被检测基板的下方，与所述图像传感器的位置相对应，用于照射所述被检测基板的被检测部分。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述基板承载平台上设置有ー缺ロ部，所述背光源设置在所述缺ロ部内。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述缺ロ部内还设置有用于提供托カ给所述被检测基板的吹风模块，所述背光源设置在所述吹风模块的上方。
在本发明所述的自动光学检测装置中，所述吹风模块根据所述被检测基板的重量设定风压。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源活动设置在所述缺ロ部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述缺ロ部内还设置有用于承载所述被检测基板的透明玻璃托板，所述背光源设置在所述透明玻璃托板的下方。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述透明玻璃托板的上表面与所述基板承载平台的上表面平齐。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源活动设置在所述缺ロ部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源固定设置在整个所述缺ロ部 内。在本发明所述的自动光学检测装置中，所述透明玻璃托板的上表面贴附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光贴片。相较于现有的自动光学检测装置，本发明的自动光学检测装置可检测到基板内部缺陷，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下


图I是ー种现有的自动光学检测装置的结构示意图；图2为本发明的自动光学检测装置的第一优选实施例的侧视结构图；图3为按图2的截面线A-A’方向所示的截面图；图4为本发明的自动光学检测装置的第二优选实施例的侧视结构图；图5为按图4的截面线B-B’方向所示的截面图；其中，附图标记说明如下21、图像传感器；22、传感器固定平台；23、基板承载平台；231、缺ロ部；232、吹风模块；333、透明玻璃托板；334、吸光贴片；24、被检测基板；25、背光源。
具体实施例方式以下各实施例的说明是參考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是參考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。请參照图2和图3，图2为本发明的自动光学检测装置的第一优选实施例的侧视结构图，图3为按图2的截面线A-A’方向所示的截面图。该自动光学检测装置包括基板承载平台23、传感器固定平台22、图像传感器21以及背光源25。该基板承载平台23用于承载被检测基板24 ;传感器固定平台22设置在被检测基板24的上方；图像传感器21设置在传感器固定平台22上，用于对被检测基板24进行拍照，得到被检测基板24的灰度图像；背光源25设置在被检测基板24的下方，与图像传感器21的位置相对应，通过照射被检测基板24的被检测部分，使得图像传感器21可以更准确地判断被检测基板24是否具有内部缺陷(如坏点等)。
该基板承载平台23上设置有一缺ロ部231，背光源25活动设置在缺ロ部231内，背光源25与传感器固定平台22同步运动，以保证背光源25与图像传感器21的位置相对应；缺ロ部231内还设置有用于提供托カ给被检测基板24的吹风模块232(如空气喷射器，Air Jet),该背光源25设置在吹风模块232的上方并可在吹风模块232的上方运动，吹风模块232可根据被检测基板24的重量设定吹风的风压，使得被检测基板24可稳定的从缺ロ部231的上方通过；而不会因为风压太小造成被检测基板24与基板承载平台23的边缘相撞，也不会因为风压太大造成被检测基板24移动的不稳定。如被检测基板24较重，则将吹风模块232的风压设置的较大；如被检测基板24较轻，则将吹风模块232的风压设置的较小。本实施例中的自动光学检测装置使用时，根据被检测基板24的重量设定好吹风模块232的吹风风压，然后将被检测基板24放置在基板承载平台23上，由基板传送模块(图中未示出)驱动被检测基板24按图2中的X方向运动。当被检测基板24经过基板承载平台23的缺ロ部231的时候，被检测基板24在吹风模块232的作用下位于缺ロ部231的上方，背光源25和传感器固定平台22同步运动(如图3所示的方向)，传感器固定平台22上的图像传感器21对位于缺ロ部231上方的被检测基板24进行缺陷检測。由于背光源25设置在被检测基板24的下方，而图像传感器21设置在被检测基板24的上方，背光源25出射的光线可以透过被检测基板24的整个被检测部分，这样不仅被检测基板24的表面的缺陷会影响图像传感器21获得的灰度图像，而且被检测基板24的内部缺陷也会影响图像传感器21获得的灰度图像，因此可通过比对图像传感器21获得的灰度图像和事先输入的基板灰度图像，来判断被检测基板24的表面或内部是否存在缺陷。这里的被检测基板24可以是纯玻璃基板，也可以是沉积有金属层等不透明材料的具有一定功能的基板。请參照图4和图5，图4为本发明的自动光学检测装置的第二优选实施例的侧视结构图，图5为按图4的截面线B-B’方向所示的截面图。本实施例与本发明的第一优选实施例的区别在于，基板承载平台23的缺ロ部231内未设置吹风模块，而是设置有用于承载被检测基板24的透明玻璃托板333，背光源25设置在透明玻璃托板333的下方；透明玻璃托板333的上表面与基板承载平台23的上表面平齐。背光源25活动设置在缺ロ部231内，这时背光源25与传感器固定平台22同步运动，以保证对缺ロ部231上方的被检测基板24的被检测部分进行缺陷检測。
当然背光源25也可固定设置在整个缺ロ部231，这样背光源25不需要运动，只需要传感器固定平台22带着图像传感器21在缺ロ部231上方运动，对被检测基板24的被检测部分进行缺陷检测即可。为了使得图像传感器21具有更好的检测效果，该透明玻璃托板333的上表面贴附有用于防反射的吸光贴片334 (该吸光贴片334与透明玻璃托板333的厚度比例仅为了更好的显示，并非实际厚度比例)。该吸光贴片334可以避免透明玻璃托板333的上表面的光反射影响图像传感器21获取的灰度图像而产生缺陷误判。该吸光贴片334只有单向吸光作用，背光源25发出的光可以不被其吸收而直接透过。本实施例中的自动光学检测装置使用吋，只需将被检测基板24放置在基板承载平台23上，由基板传送模块(图中未示出)驱动被检测基板24按图4中的Y方向运动。当被检测基板24经过透明玻璃托板333 (即基板承载平台23的缺ロ部231)的时候，背光源25和传感器固定平台22同步运动(如图5所示的方向，当然背光源25也可固定设置)，传感 器固定平台22上的图像传感器21对透明玻璃托板333上方的被检测基板24进行缺陷检測。由于背光源25设置在被检测基板24的下方，而图像传感器21设置在被检测基板24的上方，背光源25出射的光线可以透过被检测基板24的整个被检测部分，这样不仅被检测基板24的表面的缺陷会影响图像传感器21获得的灰度图像，而且被检测基板24的内部缺陷也会影响图像传感器21获得的灰度图像，因此可通过比对图像传感器21获得的灰度图像和事先输入的基板灰度图像，来判断被检测基板24的表面或内部是否存在缺陷。这里的被检测基板24可以是纯玻璃基板，也可以是沉积有金属层等不透明材料的具有一定功能的基板。由于使用透明玻璃托板333代替吹风模块支撑位于缺ロ部231的被检测基板24，且透明玻璃托板333的上表面与基板承载平台23的上表面平齐，使得被检测基板24的重量不会对被检测基板24移动的产生影响，保证了被检测基板24不会与基板承载平台23的边缘相撞，大大增加了本发明的自动光学检测装置对不同规格的被检测基板24的兼容性。本发明的自动光学检测装置可检测到基板内部的缺陷，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
权利要求
1.一种自动光学检测装置，其特征在于，包括 基板承载平台，用于承载被检测基板； 传感器固定平台，设置在所述被检测基板的上方； 图像传感器，设置在所述传感器固定平台上，用于对所述被检测基板进行拍照；以及 背光源，设置在所述被检测基板的下方，与所述图像传感器的位置相对应，用于照射所述被检测基板的被检测部分。
2.根据权利要求I所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述基板承载平台上设置有一缺口部，所述背光源设置在所述缺口部内。
3.根据权利要求2所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述缺口部内还设置有用于提供托力给所述被检测基板的吹风模块，所述背光源设置在所述吹风模块的上方。
4.根据权利要求3所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述吹风模块根据所述被检测基板的重量设定风压。
5.根据权利要求3所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述背光源活动设置在所述缺口部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。
6.根据权利要求2所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述缺口部内还设置有用于承载所述被检测基板的透明玻璃托板，所述背光源设置在所述透明玻璃托板的下方。
7.根据权利要求6所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述透明玻璃托板的上表面与所述基板承载平台的上表面平齐。
8.根据权利要求6所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述背光源活动设置在所述缺口部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。
9.根据权利要求6所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述背光源固定设置在整个所述缺口部内。
10.根据权利要求6所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述透明玻璃托板的上表面贴附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光贴片。
全文摘要
本发明涉及一种自动光学检测装置。该自动光学检测装置包括基板承载平台、传感器固定平台、图像传感器以及背光源。本发明的自动光学检测装置可检测到基板的内部缺陷，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。
文档编号G01N21/956GK102759531SQ20121025943
公开日2012年10月31日 申请日期2012年7月25日 优先权日2012年7月25日
发明者林勇佑 申请人:深圳市华星光电技术有限公司