专利名称：晶圆固定框检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型晶圆固定框检测装置，尤指一用于精确检测晶圆固定框(wafer frame)的外观尺寸、厚度与平面度等的检测装置。
背景技术：
自晶柱上切割成薄片状晶圆(wafer)后，为使晶圆可在后续加工制造得以高精密 度进行各项制造步骤，通常须通过一晶圆固定框将晶圆固定于载具的预定位置，使晶圆可 通过载具在各项制程设备中精确定位。由于晶圆固定框是否将晶圆精确而平坦的固定于载 具上，关系着晶圆的制造精度，因此，晶圆固定框的外观尺寸、厚度与平面度等对晶圆的制 造精度具有相当的影响，而晶圆固定框在使用前，必须通过外观尺寸、厚度与平面度等各项 的检测。现有晶圆固定框的外观尺寸、厚度与平面度等检测作业，通常是由作业人员用尺 规或其他量测器具，配合目测方式来进行，因此检测方式作业费时，且可达到的检测精度有 限，因此，实有进一步加以改善的必要。

实用新型内容本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆固定框检测装置，由此设计解决现有晶 圆固定框检测操作费时且不精准的缺点。为达成前述目的，本实用新型所设计的晶圆固定框检测装置包含一检测基座，其包含一平台、一第一定位架以及一第二定位架，该第一定位架具有 一激光定位部位于平台上方，该第二定位架具有一取像定位部位于平台上方且位于激光定 位部一侧；—转盘，是可旋转的设置于平台上，用以提供晶圆固定框置放其上；一驱动组件，设于平台下方，驱动组件以其可旋转的心轴连接转盘中心；一激光发射器，设于第一定位架的激光定位部处，用以朝向转盘投射激光光束；一影像撷取器，设于第二定位架的取像定位部处，与激光发射器相对于转盘呈一 夹角，用以朝向激光光束投射处取像；以及一电脑，具有影像分析判断的功能，用以接收驱动组件的定位信号以及影像撷取 器取像的影像资料而加以分析判断，构成一可分析判断转盘上晶圆固定框形状的检测装置。本实用新型通过上述设计，其特点是利用晶圆固定框置于可旋转的转盘上，并在 旋转一周间，以定点的激光发射器对晶圆固定框投射激光光束，影像撷取器每一间隔角度 撷取晶圆固定框的激光投射处的影像，再由电脑依据驱动组件的定位信号以及影像撷取器 取像的影像资料快速且精确判断晶圆固定框外观尺寸、厚度与平面等形状规格是否合乎要 求，解决现有晶圆固定框操作不便、检测不精准的缺点。
图1是本实用新型晶圆固定框检测装置的一较佳实施例立体示意图。图2是第一图所示晶圆固定框检测装置较佳实施例中激光发射器、影像撷取器与 放置晶圆固定框的转盘相对位置的平面示意图。图3是本实用新型晶圆固定框检测装置的激光发射器、影像撷取器与放置晶圆固 定框的转盘的另一配置位置实施例的平面示意图。图4是晶圆固定框于转盘上被规划多个取像角度的平面示意图。主要元件符号说明1检测基座11第一定位架12第二定位架122角度调整组件2 转盘3驱动组件4激光发射器5影像撷取器6 电脑7晶圆固定框
具体实施方式
如图1所示，其揭示本实用新型晶圆固定框检测装置的一较佳实施例，如图所示， 该晶圆固定框检测装置是包含一检测基座1、一转盘2、一驱动组件3、一激光发射器4、一影 像撷取器5以及一电脑6，其中该检测基座1是包含一平台10、一第一定位架11以及一第二定位架12，该第一定 位架11具有一激光定位部111位于平台10上方，该第二定位架12具有一取像定位部121 位于平台10上方且位于激光定位部111 一侧。该转盘2可为一圆形平板，该转盘2的面积足以提供晶圆固定框7置放其上，该转 盘2并可旋转的设置于平台10上。该驱动组件3是设于平台10下方，该驱动组件3包含一可旋转的心轴，并以该心 轴向上通过平台10连接转盘2中心，用以驱动转盘2旋转，所述驱动组件3可为伺服马达、 步进马达或是直流马达与定位控制组件的组合等，所述伺服马达、步进马达等可连接一可 编程控制器(PLC)进行控制，并输出定位信号，所述直流马达则透过定位控制组件输出定 位信号。该激光发射器4可为线性激光，该激光发射器4是设于第一定位架11的激光定位 部111处，用以通电启动后朝向置放转盘2及其上的晶圆固定框7局部投射激光光束。该影像撷取器5是设于第二定位架12的取像定位部121处，与激光发射器4相对 于转盘2呈一夹角θ，并用以受控朝向激光光束投射处取像，如图2所示的较佳实施例，所 述激光发射器4的激光发射端垂直朝向于转盘2顶面，影像撷取器5的取像路径相对于激 光光束呈一夹角θ，该影像撷取器5可直接装设于第二定位架12的取像定位部121处，或
10平台
111激光定位部 121取像定位部者，如图1所示，该取像定位部121处设有一角度调整组件122，通过该角度调整组件122提 供该影像撷取器5组设其上，用以调整影像撷取器5的取像角度；如图3所示的较佳实施 例，所述激光发射器4的激光发射端以夹角θ度倾斜于转盘2顶面，影像撷取器5的取像 路径以垂直转盘且朝向激光投射处，使影像撷取器5的取像路径相对于激光光束呈一夹角
θ ο该电脑6包含有一至少内建有处理程序与影像分析判断程序的主机、一输入装置 以及一屏幕，而具有影像分析判断的功能，所述影像分析判断程序可为三角几何量测方法， 该电脑6并可接收驱动组件3的定位信号与影像撷取器5取像的影像资料。本实用新型应用于晶圆固定框检测作业时，操作者可将待测晶圆固定框7放置于 转盘2上表面，其中以晶圆固定框7的中心对准转盘2中心为佳，接续启动激光发射器4对 晶圆固定框7发射激光，另利用电脑6令驱动组件3驱动转盘2及其上的晶圆固定框7旋 转，以及令影像撷取器5在晶圆固定框7旋转一周间的每一取像角度α的激光投射区域撷 取影像，前述的取像角度α的角度越小，检测的精度相对越高，之后，影像撷取器5所得的 影像资料传送至电脑6，由电脑6内建的影像分析判断程序以三角几何量测方法加以计算 分析，即能在晶圆固定框7旋转一周，即能快速且精确的判断该晶圆固定框7的外观尺寸、 厚度与平面度等形状规格是否符合所设定标准。据上所述，本实用新型所设计的晶圆固定框检测装置可对晶圆固定框形状提供一 项高精度且易操作的检测装置，解决现有晶圆固定框以尺规配合目测方式检测操作费时、 不精确的问题。
权利要求一种晶圆固定框检测装置，其特征在于，包含一检测基座，其包含一平台、一第一定位架以及一第二定位架，该第一定位架具有一激光定位部位于平台上方，该第二定位架具有一取像定位部位于平台上方且位于激光定位部一侧；一转盘，其可旋转的设置于平台上，用以提供晶圆固定框置放其上；一驱动组件，设于平台下方，驱动组件以其可旋转的心轴连接转盘中心；一激光发射器，设于第一定位架的激光定位部处，用以受控朝向转盘投射激光光束；一影像撷取器，设于第二定位架的取像定位部处，与激光发射器相对转盘呈一夹角，并用以受控朝向激光光束投射处取像；以及一电脑，具有影像分析判断的功能，用以接收驱动组件的定位信号以及影像撷取器取像的影像资料而加以分析判断，构成一可分析判断转盘上晶圆固定框形状的检测装置。
2.如权利要求1所述的晶圆固定框检测装置，其特征在于，所述激光发射器的激光发 射端垂直朝向于转盘顶面，影像撷取器的取像路径相对于激光光束具有一夹角。
3.如权利要求1所述的晶圆固定框检测装置，其特征在于，所述激光发射器的激光发 射端以一角度倾斜于转盘顶面，影像撷取器的取像路径垂直于转盘且朝向激光投射处，使 影像撷取器的取像路径相对于激光光束具有一夹角。
4.如权利要求1至3中任一项权利要求所述的晶圆固定框检测装置，其特征在于，该取 像定位部设有一角度调整组件，以该角度调整组件提供该影像撷取器组设其上。
专利摘要本实用新型是一种晶圆固定框检测装置，其主要是在一检测基座上设置一由驱动组件驱动旋转的转盘，基座的第一定位架上设置激光发射器，第二定位架上设置影像撷取器，激光发射器与影像撷取器相对转盘具有一夹角，并设有一具有影像分析判断功能的电脑，由此在晶圆固定框放置于转盘被带动旋转一周间，激光发射器对旋转的晶圆固定框每隔一角度处投射激光，影像撷取器对各激光投射取像，再由电脑依据驱动组件的定位信号以及影像撷取器取像的影像资料快速且精确判断晶圆固定框外观尺寸、厚度与平面等形状规格是否合乎要求，以解决现有晶圆固定框操作不便、检测不精准的缺点。
文档编号G01B11/24GK201653364SQ20102014699
公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月19日 优先权日2010年3月19日
发明者刘哲呈, 李有勉, 林宜弘 申请人:复华机械股份有限公司