专利名称：固定角度光学薄膜反射率测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属光学薄膜器件反射率测量装置领域，尤其涉及一种适于平面、曲面测量的固定角度光学薄膜反射率测试装置。
背景技术：
光学薄膜光谱的测量方法较多，但是测量曲面表面按某一入射角度测量反射率较为困难，常规的光谱仪尚不具备此项功能。另外，现有测量装置在结构设计方面还存在着结构复杂，通用性差，在平面及曲面的光学薄膜器件上直接测量光谱反射率困难等问题。

实用新型内容本实用新型旨在克服现有技术而提供一种结构简单，通用性强，可实现曲面及平面薄膜器件反射率直接测量的固定角度光学薄膜反射率测试装置。为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的。一种固定角度光学薄膜反射率测试装置，它包括固定架；在所述固定架内对称设有光纤探头插入孔；在所述光纤探头插入孔的底部沿光路方向设有通光孔；在所述固定架的底部设有与通光孔相通的入射反射通道；所述光纤探头插入孔内置入光纤探头。作为一种优选方案，本实用新型所述光纤探头包括光纤及聚焦透镜；所述聚焦透镜置于光纤的前端，以改变光的传播方向。作为一种优选方案，本实用新型在所述固定架的下部固定设有防干扰光挡片。进一步地，本实用新型在所述防干扰光挡片的底部设有接触支点。更进一步地，本实用新型所述接触支点为三个，其纵向截面为半圆形。另外，本实用新型在所述光纤的端部区域设有光纤位置锁紧螺丝。本实用新型设计的固定角度反射率测试装置，其结构简单，通用性强，可实现曲面及平面薄膜器件反射率的直接测量。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。图I为本实用新型的整体结构示意图。图2为本实用新型固定架整体结构示意图。图3为本实用新型光纤探头整体结构示意图。图中1、入射光纤；2、反射接收光纤；3、固定架；4、通光孔；5、聚焦透镜；6、接触支点；7、防干扰光挡片；8、光纤探头插入孔；9、入射反射通道；10、光纤位置锁紧螺丝。
具体实施方式
如图所示，固定角度光学薄膜反射率测试装置，它包括固定架3 ;在所述固定架3 内对称设有光纤探头插入孔8 ;在所述光纤探头插入孔8的底部沿光路方向设有通光孔4 ；在所述固定架3的底部设有与通光孔4相通的入射反射通道9 ;所述光纤探头插入孔8内置入光纤探头。本实用新型所述光纤探头包括光纤及聚焦透镜5 ;所述聚焦透镜5置于光纤的前端，以改变光的传播方向。本实用新型在所述固定架3的下部固定设有防干扰光挡片7。本实用新型在所述防干扰光挡片7的底部设有接触支点6，所述接触支点6为三个，其纵向截面为半圆形。本实用新型在所述光纤的端部区域设有光纤位置锁紧螺丝10。参见

图1，本实用新型主要包括一个固定的主体部分、两根入射光纤及反射接收光纤探头。光纤探头分别固定于装置的两个光纤探头插入孔中。光纤分别连接于光源及接收器。两个光纤探头插入孔的角度可以按照不用要求设计，可实现不同光线入射角度的测量。(I)入射光纤、反射接收光纤提供入射光及接收单元。入射光经入射光纤透镜聚焦后照射在待测器件表面，经镜面反射后入射到反射接收聚焦透镜内，耦合进入接收光纤。(2)固定架以某一特定角度固定光纤探头，保证探头的相对位置保持不变。(3)通光孔通光孔位于光纤的前端，入射光经通光孔照射在待测镜面，反射光经通光孔后进入反射接收光纤，通光孔保证一定方向的光入射到待测试基片表面，起到光阑的作用。(4)聚焦透镜聚焦透镜位于光纤前端，汇聚入射到聚焦透镜的光线，改变光的传播方向。(5)接触支点接触支点是测试探头与镜面的接触点，共三个支点。支点采用半圆形设计，在测试曲面器件时，能保证与曲面均实现点接触，使反射光线充分进入接收光纤。(6)防干扰光挡片防干扰光挡片为圆形挡圈，固定在探头底部，防止外部杂散光进入光纤内。(7)光纤探头插入孔固定光纤探头，光纤插入孔后限位，不会移动。(8)光纤位置锁紧螺丝当需要调整聚焦光斑时，通过调整光纤头与透镜的距离， 改变光斑的聚焦形状及效果，通过锁紧螺丝固定。本实用新型入射光纤及反射接收光纤固定于固定支架上，将固定支架放置在待测试镜片上，三个支点与镜面点接触。光线经入射光纤照射在待测镜面上，经镜面反射后被反射接收光纤接收，入射到接收器内进行光谱分析。可以理解地是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于，包括固定架(3);在所述固定架(3)内对称设有光纤探头插入孔(8);在所述光纤探头插入孔(8)的底部沿光路方向设有通光孔(4);在所述固定架(3)的底部设有与通光孔(4)相通的入射反射通道(9);所述光纤探头插入孔(8)内置入光纤探头。
2.根据权利要求I所述的固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于所述光纤探头包括光纤及聚焦透镜(5);所述聚焦透镜(5)置于光纤的前端，以改变光的传播方向。
3.根据权利要求2所述的固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于在所述固定架(3)的下部固定设有防干扰光挡片(7)。
4.根据权利要求3所述的固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于在所述防干扰光挡片(7)的底部设有接触支点(6)。
5.根据权利要求4所述的固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于所述接触支点(6)为三个，其纵向截面为半圆形。
6.根据权利要求2 5之任一所述的固定角度光学薄膜反射率测试装置，其特征在于 在所述光纤的端部区域设有光纤位置锁紧螺丝(10)。
专利摘要本实用新型属光学薄膜器件反射率测量装置领域，尤其涉及一种固定角度光学薄膜反射率测试装置，它包括固定架(3)；在固定架(3)内对称设有光纤探头插入孔(8)；在光纤探头插入孔(8)的底部沿光路方向设有通光孔(4)；在固定架(3)的底部设有与通光孔(4)相通的入射反射通道(9)；光纤探头插入孔(8)内置入光纤探头；光纤探头包括光纤及聚焦透镜(5)；聚焦透镜(5)置于光纤的前端，以改变光的传播方向；在固定架(3)的下部固定设有防干扰光挡片(7)。本实用新型设计的固定角度反射率测试装置，其结构简单，通用性强，可实现曲面及平面薄膜器件反射率的直接测量。
文档编号G01M11/02GK202351019SQ201120463809
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者姚春龙, 宋光辉, 战俊生, 朱德金, 王银河, 阴晓俊 申请人:沈阳仪表科学研究院