专利名称：一种检查平面质量缺陷的方法
技术领域：
本发明涉及一种平面质量的检查方法。
背景技术：
在涉及平面加工的制造领域，对平面加工质量通常有较高的要求。
下面以液晶显示器制造领域为例，说明目前平面质量缺陷检测的重要性和平面质量缺陷的方法液晶显示器的加工过程是在高洁净的环境中进行，使用的材料一般都是高纯度的材料。在制作过程中需要对液晶显示器的基板——玻璃基板进行多次的清洗、光刻、涂镀、摩擦等工艺。
由于液晶显示器是平板显示器，构成显示器的结构材料都是二维的薄膜材料，其中液晶层的厚度是微米级的，PI/TOP层(聚酰亚胺层和钝化层，作为液晶分子的取向层和液晶层的绝缘层)的厚度是几百纳米，ITO层(透明导电层，作为产品的电极)的厚度是一两百纳米，所以微小的缺陷会造成ITO线断、取向异常等缺陷。虽然液晶显示器的加工环境是高洁净的条件的，但是由于环境、人员以及设备存在一些不确定因素，微细的污染物不能完全避免，实际加工过程中液晶显示器的不良品90％以上与污染物有直接或间接的关系，所以控制玻璃基板表面的质量非常关键。
由于缺陷很微小，常规的控制评价手段一般工艺比较复杂，产品也非常贵重，并且效率也不高。比如采用显微镜检查，设备费用很高，效率很低，对产品有一定的伤害。

发明内容
本发明的目的是克服现有检测技术存在的操作复杂、效率较低、检测设备昂贵、并且对产品有一定损伤的缺点，提供一种操作简便、效率较高、成本较低的检查平面质量缺陷的方法。
该方法包括在所述平面表面形成水蒸气雾膜；利用光线照射附着有水蒸气雾膜的平面并观察其外观。
采用本发明提供的方法，检查平面质量缺陷时，蒸汽膜的存在会将缺陷放大，将平面上的缺陷明显地反应出来。因此，很容易检查出平面上的缺陷。本发明提供的方法由于只使用肉眼或简单的摄像设备就可以检测到平面的缺陷，因此有效地简化了检测操作的过程，并且具有便捷高效、成本低廉的优点，而且能够准确地检测出平面的质量缺陷。由于该方法没有使被检测平面任何与其他坚硬物体接触的步骤，所以对产品没有任何损伤具体实施方式
本发明提供的检查平面质量缺陷的方法包括在所述平面表面形成水蒸气雾膜，利用光线照射平面并观察平面的外观。
通过蒸汽膜，玻璃基板表面的光线被散射，如果玻璃基板表面没有缺陷，光线散射是均匀的，表面呈白雾状；如果玻璃基板表面有缺陷，通过光线的散射将缺陷放大，缺陷处会产生其他状态，例如，当表面存在凹陷，通过雾膜的散射作用，凹陷区域会呈现出亮度低于周围区域的暗点，当表面存在凸起，则凸起区域会呈现出亮度高于周围区域的亮点。这种状态明显区别于表面均匀的区域。当然，丝状或条状的缺陷也可以被相应的放大或明显化。
如果在被检测平面上出现一个以上(含一个)通过肉眼或摄像装置能发现点状或丝状亮或暗痕迹，则认为该产品有缺陷，否则该产品没有缺陷。
按照本发明提供的方法，所述平面是一种能使水蒸气在其表面形成一层雾膜的平面，优选为亲水性平面，特别是玻璃平面。
根据本发明提供的方法，在所述平面表面形成水蒸气雾膜的方法包括用蒸汽装置将水形成水蒸气、使水蒸气接触平面的表面。所述蒸汽装置可以是加湿器或热水器。
根据本发明提供的方法，所述水蒸气的温度通常高于平面所处的环境温度，在本发明中，为保证雾膜能够很好地形成，优选范围为40-120℃之间。而为了对平面的质量有较好的观察效果，形成雾膜的水蒸气量优选为0.1-500毫克/平方厘米，优选为5-300毫克/平方厘米。
根据本发明提供的检查平面质量缺陷的方法，所述照射光线可以是白光或黄绿色光线(黄绿色光线的波长范围在520纳米到600纳米之间)。并且照射光线的照度为200-5000勒克斯，优选为600-3000勒克斯。
根据本发明提供的检查平面质量缺陷的方法，除可以通过肉眼观察雾膜外观外，还可以通过摄像装置来观察平面外观。
下面的实施例将对本发明做进一步说明。
实施例1本实施例说明本发明的检查平面质量缺陷的方法。
检查对象为50块玻璃基板，利用BEST A/V ULDI型电热式蒸汽加湿器作为蒸汽装置，在常温常压环境下，通过对电热式蒸汽加湿器中的蒸馏水进行加热，可以产生恒定温度范围(40℃-120℃)的水蒸气。将待检查的玻璃基板放置在25℃的常温环境中，玻璃基板平面距离加湿器喷雾口0.01米，与喷雾口出雾方向呈45度，并且通过调节喷雾口的打开程度来控制喷雾量，匀速移动玻璃基板，使温度为110℃的水蒸气在所检查区域形成一层雾膜，形成所述雾膜，形成所述雾膜的水蒸气量为60毫克/平方厘米。利用白色光线照射基板，所述光线照度为800勒克斯。对50块附着有水蒸气的玻璃基板，用肉眼观察，在第8号块基板上发现了一个点状暗痕。
实施例2本实施例说明本发明的检查平面质量缺陷的方法。
检查对象为30块显示器液晶层平面，利用BEST A/V ULDI型电热式蒸汽加湿器作为蒸汽装置，在常温常压环境下，通过对电热式蒸汽加湿器中的蒸馏水进行加热，可以产生恒定温度范围(40℃-120℃)的水蒸气。将待检查的显示器液晶层平面放置在25℃的常温环境中，液晶层平面距离加湿器喷雾口0.01米，与喷雾口出雾方向呈45度，并且通过调节喷雾口的打开程度来控制喷雾量，匀速移动液晶层平面，使温度为80℃的水蒸气在所检查区域形成一层雾膜，形成所述雾膜的水蒸气量为200毫克/平方厘米。利用波长为565纳米的绿色光线照射液晶层平面，所述光线照度为2500勒克斯。对30块附着有水蒸气的液晶层平面，通过摄像机采集附着有雾膜的液晶层平面图像来观察平面的外观，在任何一块液晶层平面都没发现缺陷。
权利要求
1.一种检查平面质量缺陷的方法，其特征在于，在所述平面表面形成水蒸气雾膜，利用光线照射附着有水蒸气雾膜的平面并观察其外观。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述平面为亲水性平面。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述亲水性表面为玻璃平面。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于在所述平面表面形成水蒸气雾膜的方法包括用蒸汽装置将水形成水蒸气，使水蒸气接触平面的表面。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于蒸汽装置为加湿器或热水器。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于水蒸气的温度为40-120℃。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于形成雾膜的水蒸气量为0.1-500毫克/平方厘米。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述照射光线的照度为200-5000勒克斯。
9.根据权利要求1或8所述的方法，其特征在于所述照射光线为白光。
10.根据权利要求1或8所述的方法，其特征在于所述照射光线的波长为520-600纳米。
11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于平面外观通过摄像装置来观察。
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于所述摄像装置为照相机或摄像机。
13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于附着有水蒸气雾膜的平面为白雾状。
14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于当所述平面外观具有点状或丝状亮或暗痕迹时，所述平面具有质量缺陷。
全文摘要
一种检查平面质量缺陷的方法，其中，该方法包括在所述平面表面形成水蒸气雾膜；利用光线照射附着有水蒸气雾膜的平面并观察其外观。该方法能够简便有效地检测出平面的质量缺陷。
文档编号G01N21/88GK1847831SQ200510063548
公开日2006年10月18日 申请日期2005年4月12日 优先权日2005年4月12日
发明者马振军 申请人:比亚迪股份有限公司