专利名称：液体秤量工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种秤量工具，尤其涉及一种液体秤量工具。
背景技术：
CMP指化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing)，或称为化学机械抛光 (Chemical Mechanical Planarization)。当今，CMP技术最广泛的应用是在集成电路(IC) 和超大规模集成电路(ULSI)中对晶圆进行抛光。CMP技术利用磨损中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光，在一定压力及研磨液(slurry)存在下，被研磨的工件相对于研磨垫(pad)作相对运动，借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合，在被研磨的工件表面形成光洁表面。在CMP工艺中，某些研磨液在使用前需要以一定的比例混合一些水或其他化学品。因此，对研磨液配制的精准度是有一定的要求的。目前，研磨机台自带的秤重器精准度十分有限，尤其是对较小体积液体的秤量精准度较差。例如，20L原液配300ml双氧水 (H2O2)，其中300ml若是用机台自带的秤重器来秤取的话，其误差会非常大，而双氧水的细微误差，往往会带来CMP制程上的极大差异。另外，根据不同的研磨制程需要，也会需要改变一些配比，因而，会改变所需求的双氧水的量。因此，如何提供一种能够准确、高效地量取小体积液体并可以调节所需量取液体体积大小的液体秤量工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术间题。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种能够准确、高效地量取小体积液体的液体秤量工具，另外，其还可以实现调节需量取液体体积大小的功能。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种液体秤量工具，包括容器、输入管、输出管、溢流管和进气管，所述输入管连接于所述容器的底部侧面，所述输出管连接于所述容器的底部，所述溢流管连接于所述容器的顶部侧面，所述进气管连接于所述容器的顶部，所述输入管、输出管、溢流管和进气管上分别设有气动阀。优选的，在上述的液体秤量工具中，还包括第一液流侦测器和第二液流侦测器，所述第一液流侦测器设置于所述溢流管上，所述第二液流侦测器设置于所述输出管上，所述第一液流侦测器和所述输入管上的气动阀信号连接。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述进气管外接一气体供应端。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述输入管外接一液体供应端。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述输出管外接一混合储液桶。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述溢流管外接一液体排放端。优选的，在上述的液体秤量工具中，还包括连通器溢流软管、液位支架、沿所述液位支架上下移动的滑块以及用于将滑块固定于所述液位支架上的锁紧件，所述连通器溢流软管的一端连接于所述容器的底部侧面，所述连通器溢流软管的另一端穿经所述滑块，所述液位支架由下至上设有刻度。优选的，在上述的液体秤量工具中，还包括第三液流侦测器，所述第三液流侦测器设置于所述连通器溢流软管上，所述第三液流侦测器和所述输入管上的气动阀信号连接。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述连通器溢流软管的另一端穿经所述滑块后外接液体排放端。优选的，在上述的液体秤量工具中，所述滑块上开设有供所述连通器溢流软管通过的通孔或凹槽。本实用新型提供的液体秤量工具，当需要容器的一倍或整数倍的液体时，可以通过注满该容器和释放该容器来获得，从而，可以实现准确、高效地量取小体积液体。此外，当增设连通器溢流软管、液位支架、沿所述液位支架上下移动的滑块以及用于将滑块固定于所述液位支架上的锁紧件后，可以通过移动滑块来调节连通器溢流管的高度，运用溢流和连通器的原理，来限制容器的最大使用容量，最终实现根据所需液体的剂量来调整容器的最大使用容量，从而提高了小体积液体的量取精度，同时，也扩大了该液体秤量工具的应用范围。

本实用新型的液体秤量工具由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型实施例一的液体秤量工具的结构示意图。图2是本实用新型实施例二的液体秤量工具的结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的液体秤量工具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。实施例一请参阅图1，这种液体秤量工具，包括容器110、输入管120、输出管130、溢流管140 和进气管150，所述输入管120连接于所述容器110的底部侧面，所述输出管130连接于所述容器110的底部，所述溢流管140连接于所述容器110的顶部侧面，所述进气管150连接于所述容器110的顶部，所述输入管120、输出管130、溢流管140和进气管150上分别设有气动阀 121、131、141、151。较佳地，所述液体秤量工具还包括第一液流侦测器142和第二液流侦测器132，所述第一液流侦测器设置于所述溢流管140上，所述第二液流侦测器132设置于所述输出管 130上，所述第一液流侦测器142和设于所述输入管120上的气动阀121信号连接。较佳地，所述输入管120外接一液体供应端102，所述输入管120用于接收来自所述液体供应端102的液体。较佳地，所述输出管130外接一混合储液桶103，所述输出管130用于将量取好的一定量的液体(本实施例中是容器110的最大容积量的液体)输送到混合储液桶103中和其他溶液进行混合。较佳地，所述溢流管140外接一液体排放端104，所述溢流管140用于将容器110 中满出来的液体通过液体排放端104进行排放。较佳地，所述进气管150外接一气体供应端105，所述进气管150用于接收来自所述气体供应端105的气体。该气体可选用具有一定压力的压缩空气或是氮气，用于将该容器110内的液体压出压尽。请继续参阅图1，当混合储液桶103需要容器110的最大容积量的液体时，可以使用本实施例的液体秤量工具量取该液体，具体方法包括如下两个步骤一、注入过程将输入管120的气动阀121和溢流管140的气动阀141打开，同时将输出管130的气动阀131和进气管150的气动阀151关闭，使得液体供应端102向所述容器110供应液体，当容器110内的液体注满时，溢流管140开始溢流，并触发第一液流侦测器142，此时将关闭输入管120的气动阀121，从而完成注入过程。二、释放过程将输入管120的气动阀121和溢流管140的气动阀141关闭，同时， 将输出管130的气动阀131和进气管150的气动阀151打开，使得容器110内的液体向混合储液桶103输送，当容器110内的液体通过输出管130全部输送到混合储液桶103时，输出管130上的第二液位侦测器132将检测不到液流，而第二液位侦测器132 —旦检测不到液流时，会自动复位，该液体秤量工具则停止工作或进入下一轮的注入过程。实施例二请参阅图2，本实施例二与实施例一的区别在于所述液体秤量工具还包括连通器溢流软管沈0、液位支架270、沿所述液位支架270上下移动的滑块观0以及用于将滑块 280固定于所述液位支架270上的锁紧件(例如螺栓组件，未图示)，所述连通器溢流软管 260的一端连接于所述容器110的底部侧面，所述连通器溢流软管260的另一端穿经所述滑块观0，所述液位支架270由下至上设有刻度。本实施例中，还包括第三液流侦测器沈2，所述第三液流侦测器262设置于所述连通器溢流软管260上，所述第三液流侦测器262和所述输入管220上的气动阀221信号连接。较佳地，所述连通器溢流软管260外接液体排放端206，所述连通器溢流软管260 用于将容器210中满出来的液体通过液体排放端206进行排放。较佳地，所述滑块280上开设有供所述连通器溢流软管260通过的通孔或凹槽 (未图示)。
5[0040]请继续参阅图2，本实施例的液体秤量工具的使用方法如下所示一、调整容器的最大使用容量通过上下移动滑块观0，将连通器溢流软管沈0的高度调整到所需的高度，然后，用锁紧件将滑块观0固定在所需的位置。二、注入过程将输入管220的气动阀221、溢流管MO的气动阀Ml以及连通器溢流软管沈0的气动阀261打开，同时将输出管230的气动阀231和进气管250的气动阀 251关闭，使得液体供应端202向所述容器210供应液体，当连通器溢流软管260开始溢流时，将触发连通器溢流软管260上的第三液流侦测器沈2，此时，第三液流侦测器262将关闭输入管120的气动阀221，从而完成注入过程。三、释放过程将输入管220的气动阀221、溢流管140的气动阀Ml以及连通器溢流软管沈0的气动阀261关闭，同时，将输出管230的气动阀231和进气管250的气动阀 251打开，使得容器210内的液体向混合储液桶203输送，当容器210内的液体通过输出管 230全部输送到混合储液桶203时，输出管230上的第二液位侦测器232将检测不到液流， 而第二液位侦测器232 —旦检测不到液流时，会自动复位，该液体秤量工具则停止工作或进入下一轮的注入过程。综上所述，本实用新型提供的液体秤量工具，当需要容器的一倍或整数倍的液体时，可以通过注满该容器和释放该容器来获得，从而，可以实现准确、高效地量取小体积液体。此外，当增设连通器溢流软管、液位支架、沿所述液位支架上下移动的滑块以及用于将滑块固定于所述液位支架上的锁紧件后，可以通过移动滑块来调节连通器溢流管的高度， 运用溢流和连通器的原理，来限制容器的最大使用容量，最终实现根据所需液体的剂量来调整容器的最大使用容量，从而提高了小体积液体的量取精度，同时，也扩大了该液体秤量工具的应用范围。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种液体秤量工具，其特征在于，包括容器、输入管、输出管、溢流管和进气管，所述输入管连接于所述容器的底部侧面，所述输出管连接于所述容器的底部，所述溢流管连接于所述容器的顶部侧面，所述进气管连接于所述容器的顶部，所述输入管、输出管、溢流管和进气管上分别设有气动阀。
2.根据权利要求1所述的液体秤量工具，其特征在于，还包括第一液流侦测器和第二液流侦测器，所述第一液流侦测器设置于所述溢流管上，所述第二液流侦测器设置于所述输出管上，所述第一液流侦测器与所述输入管上的气动阀信号连接。
3.根据权利要求1所述的液体秤量工具，其特征在于，所述输入管外接一液体供应端。
4.根据权利要求1所述的液体秤量工具，其特征在于，所述输出管外接一混合储液桶。
5.根据权利要求1所述的液体秤量工具，其特征在于，所述溢流管外接一液体排放端。
6.根据权利要求1所述的液体秤量工具，其特征在于，所述进气管外接一气体供应端。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的液体秤量工具，其特征在于，还包括连通器溢流软管、液位支架、沿所述液位支架上下移动的滑块、以及用于将滑块固定于所述液位支架上的锁紧件，所述连通器溢流软管的一端连接于所述容器的底部侧面，所述连通器溢流软管的另一端穿经所述滑块，所述液位支架由下至上设有刻度。
8.根据权利要求7所述的液体秤量工具，其特征在于，还包括第三液流侦测器，所述第三液流侦测器设置于所述连通器溢流软管上，所述第三液流侦测器与所述输入管上的气动阀信号连接。
9.根据权利要求7所述的液体秤量工具，其特征在于，所述连通器溢流软管的另一端穿经所述滑块后外接液体排放端。
10.根据权利要求7所述的液体秤量工具，其特征在于，所述滑块上开设有供所述连通器溢流软管通过的通孔或凹槽。
专利摘要本实用新型公开了一种液体秤量工具，包括容器、输入管、输出管、溢流管和进气管，所述输入管连接于容器的底部侧面，所述输出管连接于容器的底部，所述溢流管连接于所述容器的顶部侧面，所述进气管连接于所述容器的顶部，所述输入管、输出管、溢流管和进气管上分别设有气动阀。当需要容器的一倍或整数倍的液体时，可以通过注满该容器和释放该容器来获得，以实现准确、高效地量取小体积液体。而当增设连通器溢流软管和滑块后，可以通过移动滑块来调节连通器溢流管的高度，运用溢流和连通器的原理，来限制容器的最大使用容量，最终实现根据所需液体的剂量来调整容器的最大使用容量，从而提高小体积液体的量取精度，同时也扩大了该工具的应用范围。
文档编号G01G17/04GK202204581SQ20112032236
公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日
发明者沙酉鹤 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司