专利名称：储料器系统和管理储料器的方法
技术领域：
本发明的各个方面涉及一种储料器系统和一种管理储料器的方法，更具体而言， 涉及一种易于管理储料器搁架的储料器系统及一种管理该储料器的方法。
背景技术：
储料器用于装载产品，且其通常包括多个搁架，每个搁架装载一个产品。储料器可 以装载各种各样的产品，例如用在光刻或沉积过程中的掩膜、容纳用于制造半导体的晶片 的盒子、以及在其周围卷绕有用于制造等离子显示板的基板的盒子。其上连接有臂的机架主导装置被用于将产品装载到储料器中并运送或传送所装 载的产品。当机架主导装置使用诸如导轨的元件被移动时，机架主导装置可自动装载或传 送广品。但是，当使用储料器时，其上装载有产品的搁架可能变形或倾斜，使其具有不同于 其初始状态的形状和/或位置。当搁架倾斜、损坏和/或丧失其平面度时，装载在搁架上的 产品可能被损坏。此外，当产品不是以水平状态而是以倾斜状态装载时，产品的质量可能受 到影响。因此，需要定期检查储料器的搁架。但是，由工人或者使用设备来检查储料器的搁架是困难的，这是因为储料器的内 部必须保持在干净状态下且不能被外来物质所污染。同样，由于储料器的内部空间窄，所以 工人们不能有效地检查储料器的搁架。

发明内容
本发明的各方面提供一种有效检查储料器的搁架的储料器系统，以及一种管理该 储料器的方法。根据本发明的一个方面，提供一种储料器系统，其包括储料器，该储料器包括搁 架，产品被装载在所述搁架上；机架主导装置，该机架主导装置包括主体部分和连接到所述 主体部分以将所述产品朝向或远离所述储料器移动的臂部分；和传感器单元，该传感器单 元布置在所述臂部分上，其中，当所述传感器单元布置在所述臂部分上且包括不与所述臂 部分接触的端面时，当所述臂部分被移动到位于所述搁架的上方或下方时，所述传感器单 元面向所述搁架，位移传感器被布置在所述传感器单元的端面的多个位置上，以便在所述 多个位置测量所述传感器单元与所述搁架之间的相对位置。根据本发明的一个方面，当臂部分被移动到搁架上方或下方且传感器单元布置在 臂部分上时，所述多个位置可与搁架重叠。 根据本发明的一个方面，位移传感器可包括至少两个位移传感器，所述至少两个位移传感器布置在当臂部分被移动到搁架上方或下方且传感器单元布置在臂部分上时关 于搁架中间区域对称的位置。根据本发明的一个方面，搁架可包括彼此水平隔开的第一支架和第二支架，且位 移传感器可布置在当臂部分被移动到搁架上方或下方时对应于第一支架和第二支架的位置。根据本发明的一个方面，位移传感器可包括布置在对应于所述第一支架的位置处 的多个第一位移传感器和布置在对应于所述第二支架的位置处的多个第二位移传感器。根据本发明的一个方面，所述传感器单元的所述端面被布置为围绕所述臂部分的 侧部表面。根据本发明的一个方面，储料器系统还可包括控制单元，以利用由位移传感器测 得的传感器单元与至少一个搁架之间的相对位置来测量至少一个搁架的平面度，其中传感 器单元可包括与控制单元通信的无线通信单元。根据本发明的另一个方面，提供了一种管理储料器系统的方法，该储料器系统包 括储料器、机架主导装置和传感器单元，所述储料器具有装载产品有的搁架，所述机架主导 装置包括主体部分和连接到所述主体部分以将产品朝向或离开储料器移动的臂部分，所述 传感器单元布置在臂部分上，该方法包括将传感器单元布置在臂部分上；将其上布置有 传感器单元的臂部分移动到搁架上方或下方；利用位移传感器在多个位置测量传感器单元 与搁架之间的相对位置，该位移传感器在传感器单元面向搁架的区域不与臂部分接触；以 及使用测量的相对位置确定搁架的平面度。根据本发明的一个方面，当臂部分位于搁架上方或下方时，位移传感器可布置在 传感器单元的与搁架重叠的区域。根据本发明的一个方面，位移传感器的至少两个位移传感器可布置在当臂部分位 于搁架上方或下方时关于搁架的中间区域彼此对称的位置。根据本发明的一个方面，搁架可包括彼此水平分隔开的第一支架和第二支架，且 位移传感器可布置在对应于第一支架和第二支架的位置。根据本发明的一个方面，位移传感器可包括布置在对应于所述第一支架的位置处 的多个第一位移传感器和布置在对应于所述第二支架的位置处的多个第二位移传感器。根据本发明的一个方面，位移传感器可布置为围绕所述臂部分的侧部表面。根据本发明的一个方面，储料器可包括多个搁架，在多个搁架上分别装载多个产 品，且该方法还可包括通过按顺序地执行下列步骤测量每个搁架的平面度将臂部分移动 到相应搁架的上方，测量传感器单元和相应搁架之间的相对位置，以及针对每个搁架测量 相应搁架的平面度。根据本发明的又一个方面，提供一种机架系统以朝向或远离储料器的搁架移动， 该机架系统包括机架主导装置，该机架主导装置朝向或远离所述储料器移动，且包括主体 部分和连接到所述主体部分以在所述搁架上方或下方延伸的臂部分；和传感器单元，该传 感器单元布置在所述臂部分上，且包括不与所述臂部分接触的端面，其中当所述臂部分位 于所述搁架的上方或下方时，所述端面面向所述搁架，且所述传感器单元进一步包括分别 布置在所述端面的多个位置上的位移传感器，以便当所述臂部分位于所述搁架的上方或下 方时在所述多个位置测量所述传感器单元与所述搁架之间的相对位置。
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根据本发明的又一个方面，提供了一种传感器单元，该传感器单元连接到布置在 储料器的搁架的上方或下方的设备，所述传感器单元包括端面，该端面面向所述搁架；以 及位移传感器，该位移传感器分别布置在所述端面的多个位置，以便在所述多个位置测量 所述传感器单元和所述搁架之间的相对位置。根据本发明的又一个方面，提供了一种用于确定储料器的搁架是否水平的装置， 所述装置包括接收单元，该接收单元接收所述搁架和位于所述搁架的上方或下方的多个 位置处的位移传感器之间的相对位置的测量值；和控制单元，该控制单元利用接收到的所 述位移传感器和所述搁架之间的所述相对位置的所述测量值确定所述搁架是否水平。本发明的其它方面和/或优点，部分地在下面的说明书中提出，部分地根据说明 书是显而易见的或者可通过实施本发明获知。


通过结合相应的附图对实施例的下列描述，本发明的以上和/或其它方面和优点 将变得清楚且更易理解，其中图1是根据本发明的一个实施例的储料器系统的示意性主视图；图2是沿图1的II-II线的剖视图；图3是图1传感器单元的透明透视图；图4是图1传感器单元的示意性仰视图；图5是图3从顶部观察时的透明平面视图；图6和图7分别是图3的左视图和右视图；图8和图9是设置在根据本发明的其它实施例的储料器系统中的传感器单元的仰 视图；图10是显示根据本发明一个实施例的管理储料器的方法的流程图；和图11是显示根据本发明另一实施例的管理储料器的方法的流程图。
具体实施例方式下面将详细介绍本发明的具体实施例，具体实施例的示例显示在相应的附图中， 其中在全文中同样的附图标记指代相同的部件。为了解释本发明，下面将参考附图描述实 施例。图1是根据本发明的一个实施例的储料器系统的示意性主视图，图2是沿图1的 线II-II截取的剖视图。参见图1和图2，储料器系统包括储料器100、机架主导装置200、 传感器单元300和控制单元400。尽管没有要求，但控制单元400可以是一个或多个芯片或 集成电路上的一个或多个处理器或处理单元，或者可以是独立设置的包括一个或多个处理 单元的计算机。储料器100包括多个搁架110，产品(例如掩膜、基板、盒子等)可装载在搁架上。 机架主导装置200包括移动部分205、主体部分210和臂部分230。移动部分205将机架主 导装置200移动到储料器100的期望位置。例如，移动部分205可包括具有轨道形状的结 构。主体部分210连接到移动部分205。臂部分230连接到主体部分210，且可垂直和水平 移动，以将产品装载到储料器100的期望的搁架110上。臂部分230被可拆除地连接到主
8体部分210，但是本发明的各方面并不限于此。臂部分230包括臂基部231和机械臂232。 臂基部231被连接到主体部分230作为臂部分230的基部。机械臂232提升产品以将产品 装载到搁架110上。传感器单元300布置在臂部分230上。特别地，传感器单元300布置在机械臂232 上。传感器单元300包括多个位移传感器350，该多个位移传感器350布置在传感器单元 300的端面301上。传感器单元300的端面301是当传感器单元300布置在机械臂232上 时不与机械臂232接触的外露表面，且为当机械臂232移动朝向搁架110的上侧时面向较 低搁架110的表面。如图2所示，位移传感器350布置在当机械臂232移动朝向搁架110的上侧时传 感器单元300与搁架110重叠的区域中。因此，位移传感器350可在多个位置测量传感器 单元300和搁架110之间的相对位置。也就是说，可以在多个位置测量传感器单元300和 搁架110之间的垂直距离，如后面将要详细描述的那样。在所示的实施例中，臂部分230分为机械臂232和臂基部231。但是，本发明的各方 面并不仅限于此。例如，臂基部231和机械臂232可被整体形成为一体而形成臂部分230。 在臂基部231和机械臂232被整体形成为一体以形成臂部分230的情况下，传感器单元300 布置在臂部分230的表面上。控制单元400包括中央处理单元(CPU)，并与传感器单元300无线通信，以处理数 据或控制机架主导装置200的移动从而装载产品。尽管所描述的为无线连接，也可以理解， 控制单元400可以采用有线连接进行通信，且可以与储料器100和/或机架主导装置200 整体式形成。参见图2，储料器100包括多个搁架110。每个搁架110包括彼此水平地分隔开的 第一支架111和第二支架112。传感器单元300的位移传感器350分别布置在与第一支架 111和第二支架112相对应的位置。图3是图1的传感器单元300的透明透视图。为了便于描述，示出一个搁架110、 臂基部231、机械臂232及传感器单元300。参见图3，搁架包括第一支架111和第二支架 112。传感器单元300包括位移传感器350，该位移传感器350分别包括第一传感器351和 第二传感器352。第一传感器351布置在处于与第一支架111对应的位置上的传感器单元300的端 面301的区域上。第二传感器352布置在处于与第二支架112对应的位置上的端面301的 区域。此外，第一传感器351包括沿臂基部231的长度方向布置的第一传感器351A到351E。 类似地，第二传感器352包括沿臂基部231长度方向布置的第二传感器352A到352E。但 是，可以理解的是，本发明的各方面不限于五个第一传感器351A到351E和五个第二传感器 352A到352E。例如，根据本发明的其它方面，第一传感器351可包括两个第一传感器，以及 第二传感器352可包括两个第二传感器。图4是图1的传感器单元300的示意性仰视图。也就是说，图4是从机械臂232方 向观察图3中所示的传感器单元300时的仰视图。参见图4，传感器单元300具有四边环形 形状，但是可以理解的是本发明的各方面并不仅限于此，传感器单元300可以是任何形状， 在其中可设置多个传感器以在多个位置测量传感器单元和搁架110之间的距离。第一传感 器351和第二传感器352布置在传感器单元300的端面301上(也就是面向搁架110的表面)°图5是图3的从顶部观察时的透明平面视图。参见图5，第一传感器351A和第二 传感器352A在机械臂232移动到搁架110的上方的状态下，相对于第一支架111和第二支 架112轴对称布置。类似地，第一传感器351B和第二传感器352B、第一传感器351C和第 二传感器352C、第一传感器351D和第二传感器352D、以及第一传感器351E和第二传感器 352E各自相对于第一支架111和第二支架112轴对称布置。但是，可以理解的是本发明的 各方面并不仅限于此。例如，根据其它方面，各个传感器351和352可以以交错方式不对称 布置。布置在传感器单元300上的每个位移传感器350测量搁架110相对于其它位移传 感器350的位置，以便测量或检测搁架110的倾斜度。特别地，传感器单元300包括多个位 移传感器350，从而在多个位置测量搁架110的位移，以便测量搁架110的平面度(即，水平 度)。此外，位移传感器350中的至少两个传感器351和352可布置在关于搁架110区域彼 此对应的位置，以进一步精确测量搁架110的平面度。图6和图7分别是图3的左视图和右视图。图6和图7示意性地显示了布置在传 感器单元300上的位移传感器350检测搁架110的过程。图6是图3的右视图和从第二支 架112处观察时的侧视图。参见图6，第二传感器352A到352E的每一个测量传感器单元 300和第二支架112之间的距离。特别地，在机械臂232移动到第二支架112上侧的情形 下，第二传感器352A到352E的每一个测量传感器单元300和第二支架112之间的距离。第二传感器352A到352E的每一个可包括激光位移传感器(未示出)。将第二传 感器352A作为示例，当第二传感器352A包括激光位移传感器时，第二传感器352A还可包 括激光照射部分(未示出)和光接收部分(未示出)。在这种情形下，第二传感器352A测 量从激光照射部分照射的激光经第二支架112的表面反射并入射到光接收部分的距离M。 类似地，第二传感器352B、第二传感器352C、第二传感器352D和第二传感器352E分别测量 从激光照射部分照射的激光经搁架110的第二支架112的表面反射并入射到光接收部分的 激光的距离胆、C2> D2和型。图7是图3的左视图和从第一支架111的方向观察时的侧视图。参见图7，第一传 感器351A到351E的每一个测量传感器单元300和第一支架111之间的距离。特别地，在 机械臂232移动到第一支架111的上侧的情形下，第一传感器351A到351E的每一个测量 传感器单元300和第一支架111之间的距离。第一传感器351A到351E的每一个可包括激光位移传感器(未示出)。将第一传 感器351A作为示例，当第一传感器351A包括激光位移传感器时，第一传感器351A还可包 括激光照射部分(未示出)和光接收部分(未示出)。在这种情形下，第一传感器351A测 量从激光照射部分照射的激光经第一支架111的表面反射并入射到光接收部分的距离紅。 类似地，第一传感器351B、第一传感器351C、第一传感器351D和第一传感器351E分别测量 从激光照射部分照射的激光经搁架110的第一支架111的表面反射并入射到光接收部分的 距离肚、￡i、ai和11。搁架110的倾斜度可利用测量的距离41、豇、￡1、￡1、豇、粒、型、堅、胆和型来确
定。特别地，通过在传感器单元300中提供的无线通信单元(未示出)将测量的距离紅、 CI, Dl, El, A2> B2>位、迎和型的数据传送到控制单元400。无线通信单元可适用控制
10单元400与传感器单元300之间的任意无线通信协议。例如，无线通信单元可包括红外通 信单元、蓝牙通信单元、802. lla/b/g/n通信单元等等。此外，可以理解的是，本发明的各方 面不限于无线通信，传感器单元300可通过有线连接或者有线和无线连接的结合方式将数 据传送到控制单元400。控制单元400利用传送的距离数据测量搁架110的平面度(也就是水平度)。也 就是说，用传感器单元300的位移传感器350测量的距离对应于传感器单元300和搁架110 之间的距离。因此，传感器单元300和搁架110之间的相对位置可确定。相应地，当在多个 位置测量的传感器单元300和搁架100之间的距离彼此相等时，控制单元400和/或使用 者确定搁架110不是倾斜或弯曲的，而是平的(也就是说，处于正常状态)。特别地，当距离 Ai、ai、￡i、ni和￡1彼此相等时，搁架110的第一支架111不是倾斜的，而是平的。同样，当 距离巡、型、位、胆和型彼此相等时，搁架110的第二支架112不是倾斜的，而是平的。此外，通过比较距离A1和M，可以确定第一支架111和第二支架112不是倾斜的， 而是彼此平行的。类似地，通过分别比较距离M、Q、m和￡1以及坠、堅、胆和型，可以确 定第一支架111和第二支架112的布置状态。因此，当距离M、M、Q、ni、￡i、巡、坠、堅、 胆和型彼此相等时，搁架110是平的。图8和图9分别是设置在根据本发明的其它实施例的储料器系统中的传感器单元 600和700的仰视图。参见图8，传感器单元600为四边形板形。位移传感器650布置在与 搁架110对应的位置。参见图9，传感器单元700为U形。但是，可以理解的是本发明的各 方面不限于此。也就是说，当传感器单元600布置在臂部分上时，传感器单元300、600、700 可被形成为各种形状，且位移传感器350、650、750布置在与搁架110对应的传感器单元600 的表面上。图10是显示根据本发明一个实施例管理储料器的方法的流程图。参见图10，在步 骤S11中，将传感器单元300、600、700布置在臂部分230上。在步骤S12中，其上布置有传 感器单元300、600、700的臂部分230被移动到搁架110的上侧。在步骤S13中，使用多个 不与臂部分接触但布置在面对搁架110的传感器单元300、600、700的区域中的位移传感器 350、650、750测量传感器单元300、600、700与搁架110之间的相对位置。在步骤S14中，利 用通过位移传感器350、650、750测量的传感器单元300、600、700与搁架110之间的相对位 置(步骤S13)来测量搁架110的平面度。具体地，在步骤S11中，当传感器单元300、600、700被布置在臂部分230上时，布 置在传感器单元300、600、700上的位移传感器350、650、750被布置在臂部分230的侧部表 面上。因此，位移传感器350、650、750不接触臂部分230。同样，在步骤S12中，臂部分230 被移动到搁架110的上侧。臂部分230和搁架110之间的高度能够得到充分调节，使得布 置在臂部分230上的传感器单元300、600、700不接触搁架110。也就是说，调节了臂部分 230的预定距离(即移动范围)，使得传感器单元300、600、700的位移传感器350、650、750 对应于搁架110。在步骤S13中，利用位移传感器350、650、750测量传感器单元300、600、700与搁 架110之间的距离。为了精确测量传感器单元300、600、700与搁架110之间的距离，在传感 器单元300、600、700被移动到搁架110的上侧之后，传感器单元300、600、700不移动。因 此，利用位移传感器350、650、750测量的数据测量搁架110的平面度。当位移传感器350、650、750测量的数据相等或者之差小于预定值时，搁架110的平面度处于正常状态。但是， 当位移传感器350、650、750测量的数据彼此不相等且具有不同的值时，搁架110的平面度 处于异常状态。在这种情况下，可对搁架110进行校正或者更换。图11是显示根据本发明另一实施例的管理储料器的方法的流程图。参见图11，在 步骤S21中，传感器单元300、600、700被布置在臂部分230上。在步骤S23中，其上布置有 传感器单元300、600、700的臂部分被移动到搁架110的上侧。在步骤S24中，使用多个不 接触臂部分230但是布置在传感器单元300、600、700的面向搁架110的区域中的位移传感 器350、650、750测量传感器单元300、600、700与搁架110之间的相对位置。利用通过位移 传感器350、650、750测量的传感器单元300、600、700与搁架110之间的相对位置测量搁架 110的平面度(步骤S25)。此外，在步骤S22中，控制单元400检测是否已经测量了储料器100的所有搁架 110。如果储料器100中还有搁架110没有测量，则按顺序并重复执行步骤S23、S24和S25 以测量搁架的平面度，直到所有搁架测量完毕。序列步骤S23、S24和S25由包括CPU的控 制单元400执行。如果测量了储料器100的所有搁架110的平面度，在步骤S26中传感器单 元300、600、700与臂部分230分离，从而完成上述方法。因此，储料器100的所有搁架110 的平面度可被顺序地测量。虽然本发明的各方面被描述为在搁架上方测量传感器单元300、600、700和搁架 110之间的相对位置，但是可以理解的是本发明并不限于此。例如，根据其它方面，传感器单 元300、600、700可被定位在搁架110的下方以确定搁架110的平面度。并且，在针对测量 搁架110的平面度描述时，各方面可用于确定任何预先确定的形状和/或确保搁架或表面 具有必要的斜面。根据本发明的各方面，储料器100的搁架110能够被容易地检查，而且储料器100 的搁架110的平面度能够被容易地检查。本发明的各方面还能够被实施为在计算机可读记载介质上的计算机可读码，但本 发明不严格局限于此。计算机可读记载介质可以是能够存储随后可由计算机系统读取的数 据的任何数据存储设备。计算机可读记载介质的例子包括只读存储器(ROM)、随机存取存储 器(RAM)，⑶-ROM、磁带、软盘和光学数据存储设备。计算机可读记载介质还可分布在联网 计算机系统中，使计算机可读码能够以分布式被存储和执行。本发明的各方面也可以被实 现为嵌入在载波中且包括计算机可读程序并在整个互联网上可传送的数据信号。虽然已经展示并描述了本发明的数个实施例，但是本领域技术人员可以理解的 是，在不背离由所附权利要求及其等同物所限定的本发明的原理和精神的情况下，可以对 实施例进行改变。
1权利要求
一种储料器系统，包括储料器，该储料器包括搁架，产品被装载在所述搁架上；机架主导装置，该机架主导装置朝向或远离所述储料器移动，且包括主体部分和连接到所述主体部分以搬运所述产品的臂部分；和传感器单元，该传感器单元布置在所述臂部分上，且包括不与所述臂部分接触的端面，其中，当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时所述端面面向所述搁架，所述传感器单元进一步包括分别布置在所述端面的多个位置上的位移传感器，以便当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时在所述多个位置测量所述传感器单元与所述搁架之间的相对位置。
2.如权利要求1所述的储料器系统，其中当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方 时，所述端面的所述多个位置与所述搁架重叠。
3.如权利要求1所述的储料器系统，其中所述位移传感器包括至少两个位移传感器， 所述至少两个位移传感器布置在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时关于所述搁 架的中间区域对称的位置。
4.如权利要求1所述的储料器系统，其中所述搁架包括彼此水平分隔开的第一支架和第二支架；和当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时，所述端面的所述多个位置与所述第一支 架和所述第二支架对应。
5.如权利要求4所述的储料器系统，其中所述位移传感器包括布置在对应于所述第一 支架的位置处的多个第一位移传感器和布置在对应于所述第二支架的位置处的多个第二 位移传感器。
6.如权利要求5所述的储料器系统，其中所述第一位移传感器包括至少两个第一位移传感器，该至少两个第一位移传感器布置 在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时关于所述第一支架的中间区域对称的位置 处；以及所述第二位移传感器包括至少两个第二位移传感器，该至少两个第二位移传感器布置 在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时关于所述第二支架的中间区域对称的位置 处。
7.如权利要求6所述的储料器系统，进一步包括控制单元，该控制单元利用测量到的所述至少两个第一位移传感器和所述第一支架之 间的相对位置来确定所述第一支架是否水平，以及利用测量到的所述至少两个第二位移传 感器和所述第二支架之间的相对位置来确定所述第二支架是否水平，其中，所述传感器单元包括无线通信单元，以将测量到的所述相对位置传送到所述控 制单元。
8.如权利要求7所述的储料器系统，其中当测量到的所述至少两个第一位移传感器与 所述第一支架之间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述第一支架是水平的，当 测量到的所述至少两个第二位移传感器与所述第二支架之间的所述相对位置相等时，所述 控制单元确定所述第二支架是水平的。
9.如权利要求7所述的储料器系统，其中当测量到的所述至少两个第一位移传感器与所述第一支架之间的所述相对位置与测量到的所述至少两个第二位移传感器与所述第二 支架之间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平的。
10.如权利要求1所述的储料器系统，其中所述传感器单元的所述端面被布置为围绕 所述臂部分的侧部表面。
11.如权利要求1所述的储料器系统，进一步包括控制单元，该控制单元利用测量到的所述传感器单元与所述搁架之间的相对位置确定 所述搁架是否水平，其中所述传感器单元包括无线通信单元，以将测量到的所述相对位置传送到所述控制单元。
12.如权利要求11所述的储料器系统，其中当测量到的所述传感器单元与所述搁架之 间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平的。
13.如权利要求1所述的储料器系统，其中所述传感器单元为四边形形状或者U形形状。
14.如权利要求1所述的储料器系统，其中为了测量所述传感器单元和所述搁架之间 的所述相对位置，所述位移传感器中的每一个包括激光照射部分和光接收部分，所述激光 照射部分向所述搁架照射激光，所述光接收部分接收由所述搁架表面反射的激光。
15.一种用于管理储料器系统的方法，所述储料器系统包括具有搁架的储料器、机架主 导装置和传感器单元，所述储料器具有装载产品有的搁架，所述机架主导装置朝向或远离 所述储料器移动且包括主体部分和连接到所述主体部分以运输所述产品的臂部分，所述传 感器单元布置在所述臂部分上且包括不与所述臂部分接触的端面，所述方法包括将其上布置有所述传感器单元的所述臂部分移动到所述搁架的上方或下方，使得所述 端面面向所述搁架；利用位移传感器在所述端面的多个位置测量所述传感器单元和所述搁架之间的相对 位置，以及使用测量到的所述传感器单元和所述搁架之间的所述相对位置确定所述搁架的平面度，其中所述位移传感器分别布置在所述端面的所述多个位置上。
16.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，进一步包括将所述传感器单元 布置在所述臂部分上。
17.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，其中当所述臂部分位于所述搁 架的上方或下方时，所述端面的所述多个位置与所述搁架重叠。
18.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，其中所述位移传感器包括至少 两个位移传感器，所述至少两个位移传感器布置在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下 方时关于所述搁架的中间区域对称的位置处。
19.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，其中 所述搁架包括彼此水平分隔开的第一支架和第二支架；和当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时，所述端面的所述多个位置与所述第一支 架和所述第二支架对应。
20.如权利要求19所述的用于管理储料器系统的方法，其中所述位移传感器包括布置在对应于所述第一支架的位置处的多个第一位移传感器和布置在对应于所述第二支架的 位置处的多个第二位移传感器。
21.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，其中所述传感器单元的所述端 面被布置为围绕所述臂部分的侧部表面。
22.如权利要求15所述的用于管理储料器系统的方法，进一步包括通过顺序地执行以下步骤确定所述储料器的多个搁架中的每一个的平面度将所述臂 部分移动到对应的所述搁架的上方或下方；测量所述传感器单元与对应的所述搁架之间的 相对位置；以及测量所述多个搁架中的每一个的搁架的平面度。
23.一种机架系统，该机架系统朝向或远离储料器的搁架移动，所述机架系统包括机架主导装置，该机架主导装置朝向或远离所述储料器移动，且包括主体部分和连接 到所述主体部分以在所述搁架上方或下方延伸的臂部分；和传感器单元，该传感器单元布置在所述臂部分上，且包括不与所述臂部分接触的端面， 其中当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时，所述端面面向所述搁架，且所述传 感器单元进一步包括分别布置在所述端面的多个位置上的位移传感器，以便当所述臂部分 位于所述搁架的上方或下方时在所述多个位置测量所述传感器单元与所述搁架之间的相 对位置。
24.如权利要求23所述的机架系统，其中当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方 时，所述端面的所述多个位置对应于彼此水平地分隔开的所述搁架的第一支架和第二支架。
25.如权利要求24所述的机架系统，其中所述位移传感器包括布置在对应于所述第一 支架的位置处的多个第一位移传感器和布置在对应于所述第二支架的位置处的多个第二 位移传感器。
26.如权利要求25所述的机架系统，其中所述第一位移传感器包括至少两个第一位移传感器，所述至少两个第一位移传感器布 置在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时关于所述第一支架的中间区域对称的位 置处；以及所述第二位移传感器包括至少两个第二位移传感器，所述至少两个第二位移传感器布 置在当所述臂部分位于所述搁架的上方或下方时关于所述第二支架的中间区域对称的位置处。
27.如权利要求26所述的机架系统，进一步包括控制单元，该控制单元利用测量到的所述至少两个第一位移传感器和所述第一支架之 间的相对位置来确定所述第一支架是否水平，以及利用测量到的所述至少两个第二位移传 感器和所述第二支架之间的相对位置来确定所述第二支架是否水平。
28.如权利要求27所述的机架系统，其中当测量到的所述至少两个第一位移传感器与 所述第一支架之间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述第一支架是水平的，当 测量到的所述至少两个第二位移传感器与所述第二支架之间的所述相对位置相等时，所述 控制单元确定所述第二支架是水平的。
29.如权利要求27所述的机架系统，其中当测量到的所述至少两个第一位移传感器与 所述第一支架之间的所述相对位置和测量到的所述至少两个第二位移传感器与所述第二支架之间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平的。
30.如权利要求23所述的机架系统，进一步包括控制单元，该控制单元利用测量到的 所述传感器单元与所述搁架之间的所述相对位置来确定所述搁架是否水平。
31.如权利要求30所述的机架系统，其中当测量到的所述传感器单元与所述搁架之间 的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平的。
32.—种传感器单元，该传感器单元连接到布置在储料器的搁架的上方或下方的设备， 所述传感器单元包括端面，该端面面向所述搁架；以及位移传感器，该位移传感器分别布置在所述端面的多个位置，以便在所述多个位置测 量所述传感器单元和所述搁架之间的相对位置。
33.如权利要求32所述的传感器单元，其中所述传感器单元被可拆卸地连接到所述设备。
34.如权利要求32所述的传感器单元，进一步包括控制单元，该控制单元利用测量所 述传感器单元和所述搁架之间的所述相对位置来确定所述搁架是否水平。
35.如权利要求34所述的传感器单元，其中当测量到的所述传感器单元和所述搁架之 间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平的。
36.一种用于确定储料器的搁架是否水平的装置，所述装置包括接收单元，该接收单元接收所述搁架和位于所述搁架的上方或下方的多个位置处的位 移传感器之间的相对位置的测量值；和控制单元，该控制单元利用接收到的所述位移传感器和所述搁架之间的所述相对位置 的所述测量值确定所述搁架是否水平。
37.如权利要求36所述的用于确定储料器的搁架是否水平的装置，其中当测量到的所 述位移传感器与所述搁架之间的所述相对位置相等时，所述控制单元确定所述搁架是水平 的。
全文摘要
本发明涉及一种储料器系统及管理储料器的方法，该储料器系统包括储料器、机架主导装置和易于检查储料器搁架的传感器。储料器包括搁架，产品装载在该搁架上。机架主导装置包括主体部分和连接到所述主体部分的臂部分，其用以将产品移向储料器或从储料器移走。当臂部分移动到搁架上方或下方且该传感器单元布置在臂部分上时，传感器单元朝向搁架。传感器单元包括不与臂部分接触的端面。在传感器单元的端面上布置多个位移传感器以在多个位置测量传感器单元与搁架之间的相对位置。
文档编号G01C9/00GK101870399SQ20101011635
公开日2010年10月27日 申请日期2010年2月11日 优先权日2009年4月21日
发明者郑基菜 申请人:三星移动显示器株式会社