专利名称：反扩散式氦探漏器的节省电力的运转方法
技术领域：
本发明涉及反扩散式氦探漏器(逆扩散式氦泄漏探测器)的节省电力的运转方法。
背景技术：
反扩散式氦探漏器用于进行被试验体的密封检查和密闭检查。图1表示其一例的基本结构图。形成装置的核心的真空排气系统1具有一种前部管线，其中，分析管1a连接到真空泵1b的吸气口上；前部泵1c通过前部管线阀1e连接到排气口上，当进行氦阀探漏时，通过粗抽/测试阀1f来把连接在测试口1g上的被测试体中漏出的氦引导到高真空的前部管线内，利用分析管1a来检测氦。而且，在图1中，1d是监视测试口1g的压力用的直空计，2是对与装置有关的信息进行显示和操作用的显示/操作部，3是对各个部分进行电源通断和对输入的信号进行运算处理用的电源/处理部，4是对氦离子电流进行放大用的DC放大器，5是对高真空泵的马达进行控制用的高真空泵电源。高真空泵1b例如采用涡轮分子泵(TMP)，其泵的作用是依靠氦分子从高速旋转的转子的涡轮叶片获得运动能量而向排气口移动。
反扩散式氦探漏器的运转方法的概况如下。也就是说，进行初始起动，对前部管线抽真空。一旦前部管线被抽成高真空后，构成前部管线的各个部分的有关电源，即分析管1a的灯丝、高真空泵1b、前部管线阀1e、前部泵1c的各个电源全部接通，使前部管线的状态经常保持高真空。当进行氦探漏时，把被测试体连接到测试口1g上，把前部管线阀1e关闭后把粗抽/测试阀1f打开，进行粗抽。然后，用真空计1d来检查确认测试口1g的压力已降到很低后，把前部管线阀1e打开。被引入到前部管线内的氦，在高真空泵1b内从排气口向吸气口进行反扩散，被引入到分析管1a内进行检测。
进行初始起动把前部管线抽成高真空后，构成前部管线的各个部分的有关电源全部持续接通，使前部管线经常保持高真空状态，其目的是为了使分析管1a保持稳定的压力。在使高真空泵1b连续旋转的状态下，若持续关闭前部管线阀1e，或者持续停止前部泵1c的运转，则分析管1a的压力上升。若使装置保持在这种状态下，则不仅不能正确检测氦，而且，高真空泵1b承受负荷，其中使用的轴承等会受到损伤。
但是，构成前部管线的各个部分的有关电源全部持续接通，将造成很大的电力消耗。例如，前部管线阀约消耗0.5A的电力；前部泵约消耗5A的电力。所以，如能减少该消耗功率，则可适应省能源的当代要求。

发明内容
本发明的目的在于提供反扩散式氦探漏器的节省电力用的运转方法。
针对上述问题的本发明的反扩散式氦探漏器的运转方法，如权利要求1所述，其中具有一种把分析管连接到高真空泵的吸气口上，把前部泵通过前部管线阀而连接到排气口上的前部管线，当进行氦探漏时，把从被测试体中漏泄的氦引导到前部管线中，用分析管对氦进行检测，这种运转方法，其特征在于在进行初始起动使前部管线达到高真空之后进行等待测试时，对前部管线阀和前部泵，第1步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；第2步，由于第1步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，使前部泵重新开始运转，打开前部管线阀；第3步，由于第2步而使分析管的压力下降，当其达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运转，这样反复进行第1步～第3步的周期，以间歇运转的方式来节省电力，即减少与前部管线阀和前部泵有关的消耗功率。
并且，权利要求2所述的运转方法，如权利要求1所述的运转方法，其特征在于关于第2步，从前部管线阀关闭开始，或者从前部泵停止运转开始到分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间，另行通过实践而获得，利用间歇定时器进行时间监视，在分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间过去之后，使前部泵再次开始运转，把前部管线阀打开。
再者，权利要求3所述的运转方法，如权利要求1所述的运转方法，其特征在于根据分析管的测量经验值来设定第2步的压力上升极限值来设定第2步的压力上升极限值。
并且，权利要求4所述的运转方法，如权利要求1所述的运转方法，其特征在于根据高真空泵的马达的电流值来设定第2步的压力上升极限值。
再者，本发明的反扩散式氦探漏器，如权利要求5所述，其特征在于能够以节省电力的方式进行运转，即减小权利要求1所述的前部管线阀和前部泵的消耗功率。


图1是氦探漏器一例的基本结构图。
图2是以时间监视为基础的间歇运转动作流程图。
图3是以分析管的测量经验值的监视为基础的间歇运转动作流程图。
图4是以真空泵马达电流值的监视为基础的间歇运转动作流程图。
具体实施例方式
一种反扩散式氦探漏器的运转方法，其中具有一种把分析管连接到高真空泵的吸气口上，把前部泵通过前部管线阀而连接到排气口上的前部管线，当进行氦探漏时，把从被测试体中漏泄的氦引导到前部管线中，用分析管对氦进行检测，这种运转方法，其特征在于在进行初始起动使前部管线达到高真空之后进行等待测试时，对前部管线阀和前部泵，第1步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；第2步，由于第1步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，使前部泵重新开始运转，打开前部管线阀；第3步，由于第2步而使分析管的压力下降，当其达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运转，这样反复进行第1步～第3步的周期，以间歇运转的方式来节省电力，即减少与前部管线阀和前部泵有关的消耗功率。
如前所述，进行初始起动把前部管线抽成高真空后，在使高真空泵连续旋转的状态下，若持续关闭前部管线阀，或者持续停止前部泵的运转，则分析管的压力上升。不仅不能正确检测氦，而且，高真空泵承受负荷，其中使用的轴承等会受到损伤。
在本发明中，在不造成这种情况的条件下，允许分析管压力上升，在进行初始起动使前部管线达到高真空之后也是如此，第1步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；以便节约与此有关的功耗；并且第2步，分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，为了降低分析管的压力，使前部泵重新开始运转，打开前部管线阀；并且，第3步，分析管的压力下降，当其达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运转，再次节约与此有关的功耗。这样反复进行第1步～第3步的周期，以间歇运转的方式从整体上大幅度节省电力，即减少与前部管线阀和前部泵有关的消耗功率。
在此，第2步的压力上升极限值的设定，根据所使用的反扩散式氦探漏器的装置特性等而适当进行。
第2步，由于第1步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，为了使分析管的压力下降，使前部泵再次开始运转，然后，把前部管线阀打开。使前部泵再次开始适当运转后把前部管线阀打开的这种方法，举例如下，例如，根据所使用的反扩散式氦探漏器的装置特性等，从前部管线阀关闭开始，或者从前部泵停止运转开始，经过多长时间之后分析管的压力达到压力上升极限值，这要通过实践另行取得该时间，利用间歇定时器来进行时间监视，分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间过去之后，进行上述控制。
图2是利用间歇定时器进行时间监视对第2步进行控制的情况下涉及前部管线阀和前部泵的间歇运转动作流程图。以下按照时间顺序对其概要加以说明。
作为第1步把前部管线阀关闭后若使前部泵停止运转(S1、S2)，则作为第2步间歇定时器进行动作(S3A)。并且，从前部管线阀关闭开始，或者从前部泵停止运转开始到分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间过去后为规定时间已到(S4A)。使前部泵再次开始运转，然后把前部管线阀打开(S5、S8)。而且，利用定时器来监视从前部泵再次开始运转起到前部管线阀打开为止的时间，仅在规定时间内对前部管线阀下流进行真空粗抽，然后把前部管线阀打开，这样做是为了防止装置损伤。(S6、S7)。
第2步使前部泵再次开始运转，把前部管线阀打开，然后，第3步，用定时器来监视使分析管的压力下降的时间，在分析管的压力达到规定值之前对前部管线进行真空排气。(S9、S10)。然后，在分析管的压力达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运动。(S1、S2)。
而且，把分析管的灯丝和高真空泵组装到间歇运转动作流程内，对这些也进行间歇运转，这样能更多地节省电力。
并且，在第2步，使前部泵再次开始适当运转后把前部管线阀打开的另一种方法是，根据分析管的测量经验值来设定压力上升极限值。该方法是利用当分析管的压力上升时分析管的测量经验值上升的现象，当测量经验值达到规定值时，判断为分析管的压力已上升到压力上升极限值。
图3是根据分析管的测量经验值来设定第2步的压力上升极限值的情况下涉及前部管线阀和前部泵的间歇运转动作流程图。第1步，把前部管线阀关闭使前部泵停止运转后(S1、S2)，第2步，对分析管的测量经验值进行监视(S3B)。当测量经验值达到规定值时，判断为分析管的压力已上升到压力上升极限值(S4B)，使前部泵再次开始运转，把前部管线阀打开(S5、S8)。其他流程与图2所示的流程相同。
而且，把高真空泵组装到间歇运动动作流程中，对高真空泵也进行间歇运转，这样能更多地节省电力。
并且，在第2步，使前部泵再次开始适当运转后把前部管线阀打开的另一种方法是，根据高真空泵的马达电流值来设定压力上升极限值。该方法是利用当分析管的压力上升时高真空泵的马达承受负荷，其电流值上升的现象，当电流值达到规定值时，判断为分析管的压力已上升到压力上升极限值。
图4是根据高真空泵的马达的电流值来设定第2步的压力上升极限值的情况下涉及前部管线阀和前部泵的间歇运转动作流程图。第1步，把前部管线阀关闭使前部泵停止运转后(S1、S2)，第2步，对高真空泵的马达的电流值进行监视(S3C)。当电流值达到规定值时，判断为分析管的压力已上升到压力上升极限值(S4C)，使前部泵再次开始运转，把前部管线阀打开(S5、S8)。其他流程与图2所示的流程相同。
而且，把高真空泵组装到间歇运转动作流程中，对分析管灯丝也进行间歇运转，这样能更多地节省电力。
当正在进行以上的间歇运转时进行氦探漏的情况下，例如，根据间歇运转解除指令的输入。进行间歇运转解除，使前部管线形成高真空。当前部管线阀被关闭时，使前部泵运转，对前部管线阀下流充分进行粗抽真空之后，把前部管线阀打开，使前部管线形成高真空，这是为了防止装置受损伤。
而且，上述间歇运转既可以自动设定，也可手动设定。
若采用本发明，则可提供反扩散式氦探漏器的节省电力用的运转方法。
权利要求
1.一种反扩散式氦探漏器的运转方法，该探漏器具有把分析管连接到高真空泵的吸气口上、把前部泵通过前部管线阀而连接到排气口上的前部管线，当进行氦探漏检测时，把从被测试体中漏泄的氦引导到前部管线中，用分析管对氦进行检测，这种运转方法其特征在于在进行初始起动使前部管线达到高真空之后进行等待测试时，对前部管线阀和前部泵，第1步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；第2步，由于第1步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，使前部泵重新开始运转，打开前部管线阀；第3步，由于第2步而使分析管的压力下降，当其达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运转，这样反复进行第1步～第3步的周期，以间歇运转的方式来节省电力，即减少与前部管线阀和前部泵有关的消耗功率。
2.如权利要求1所述的运转方法，其特征在于第2步，从前部管线阀关闭开始，或者从前部泵停止运转开始到分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间，另行通过实践而获得，利用间歇定时器进行该时间监视，在分析管的压力达到压力上升极限值为止的时间过去之后，使前部泵再次开始运转，把前部管线阀打开。
3.如权利要求1所述的运转方法，其特征在于根据分析管的测量经验值来设定第2步的压力上升极限值。
4.如权利要求1所述的运转方法，其特征在于根据高真空泵的马达的电流值来设定第2步的压力上升极限值。
5.一种反扩散式氦探漏器，其特征在于能够进行权利要求1所述的减小前部管线阀和前部泵的消耗功率以节省电力的方式运转。
全文摘要
一种反扩散式氦探漏器及其运转方法。在进行初始起动使前部管线达到高真空之后进行等待测试时，对前部管线阀和前部泵，第1步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；第2步，由于第1步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，使前部泵重新开始运转，打开前部管线阀；第3步，由于第2步而使分析管的压力下降，当其达到规定值时，把前部管线阀关闭，使前部泵停止运转，这样反复进行第1步～第3步的周期，以间歇运转的方式来节省电力，即减少与前部管线阀和前部泵有关的消耗功率。
文档编号G01M3/20GK1490603SQ03127599
公开日2004年4月21日 申请日期2003年8月8日 优先权日2002年8月9日
发明者落合英二郎, 大嶋弦, 瀨户规正, 松本善和, 和, 正 申请人:爱发科股份有限公司