专利名称：具有音圈马达的量测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于半导体制程的量测装置，特别是涉及一种能够精确控制探针接触压力的具有音圈马达的量测装置。
背景技术：
一般而言，当晶圆上的每颗晶粒制造完成后，会经由点测机对晶粒进行量测，取得其特性以求成品的一致性。以发光二极管为例，借由探针的接触，可侦测到光强度、中心波长、光功率、顺向电压…等，作为判断发光二极管是否合乎所需标准的根据。一般点测机如图1所示，包括一个晶圆座10，一个待测的晶圆设置于该晶圆座10 上，在量测该晶圆特性时，每个晶圆都是经由该晶圆座10的抬升，使待测晶粒去触碰探针进行分析。但是该晶圆座10的移动速度相对缓慢，所以整体的量测时间便会因此而拉长。除此之外，一般点测机的探针座主要有两种，一种是弹簧施压缓冲，另一种是磁力施压缓冲。图1所示为一般采用弹簧施压缓冲的探针座，包含一个本体11、一个夹设有一探针12的针臂13，及一个弹性缓冲器14，该弹性缓冲器14的一端固定于该本体11，另一端连接于该针臂13，并包括一个弹簧141。在量测该晶圆时，该探针12受到顶抵而连动该针臂 13上抬，此时该弹性缓冲器14能提供缓冲接触压力的效果，让该探针12不易刮伤该晶圆， 并能使该探针12持续性地接触该晶圆。然而一旦使用过久，该弹簧141容易因为弹性疲乏造成缓冲接触压力的效果衰减，导致该探针12与待测晶圆的接触紧密度下降，使量测结果产生误差。如图2所示，一般采用磁力施压缓冲的探针座，在构造上与弹簧施压缓冲的探针座构造相似，不同处在于以一个磁力缓冲器15取代该弹性缓冲器14。该磁力缓冲器15包括一对互斥的磁极151、152，其中一个磁极151固定于该本体11、另一个磁极152固定于该针臂13，并利用所述磁极151、152斥的特性来提供该针臂13缓冲接触压力的效果，然而互斥的磁力会受到所述磁极151、152的摆放位置不同而不一致，所以容易造成每次控制该探针12的接触压力的不一致，且很难以标准化的接触压力进行量测。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能够精确控制探针接触压力的具有音圈马达的
量测装置。本实用新型具有音圈马达的量测装置适用于安装一个探针后能进行量测工作，该量测装置包含一个调整座、一个探针座，及一个直线式的音圈马达；该探针座能沿一上下方向活动地连接于该调整座，并包括一个沿一前后方向延伸的针臂，该针臂适用于安装该探针，该前后方向与该上下方向相互垂直；该直线式的音圈马达位于该探针座上方，并包括一个固定于该调整座的壳体，及一个沿该上下方向延伸出该壳体的驱动轴，该驱动轴是沿该上下方向进行直线运动并顶抵该探针座移动。[0009]该探针座还包括一个沿该上下方向活动地连接于该调整座的探针座体，及一个沿该前后方向连接于该探针座体与该针臂之间的弹性体，该探针座体具有一个向上凸出的第一接触端，该针臂位于该第一接触端上方并具有一个向下凸出且抵接于该第一接触端的第二接触端，该第一接触端与该第二接触端能沿该上下方向自由地接触或分开，该量测装置还包含一个控制单元，该控制单元用于驱动该音圈马达，并能在该第一接触端与该第二接触端分开时停止该音圈马达运作。该量测装置还包含一个光学尺，该光学尺包括一个设置于该音圈马达的壳体的光闸轨道、一个能沿该上下方向移动地设置在该光间轨道的读取模组，及一个连接该读取模组与该驱动轴的连接臂，该光间轨道是沿该上下方向延伸一预定长度，该读取模组是借由该驱动轴连动并同时侦测出一移动长度的变化，该量测装置还包含一个控制单元，该控制单元用于驱动该音圈马达，并能在该读取模组侦测不到移动长度的变化时停止该音圈马达运作。本实用新型的有益效果在于通过该音圈马达的运作，能够产生精密控制的使用效果，该驱动轴顶抵该探针座的力量能呈现高精密度的增减，且施力的位置能保持稳定，所以该量测装置能达到能够精确控制该探针的接触压力的功能。

图1是一示意图，说明第一种一般的点测机结构；图2是一示意图，说明第二种一般的点测机结构；图3是一示意图，说明本实用新型具有音圈马达的量测装置的第一较佳实施例；图4是一示意图，说明该第一较佳实施例的使用情形；及图5是一示意图，说明本实用新型具有音圈马达的量测装置的第二较佳实施例。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明在本实用新型被详细描述前，要注意的是，以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。如图3与图4，本实用新型具有音圈马达的量测装置200的第一较佳实施例适用于安装一个探针92后，针对一个晶圆90上的多个晶粒91能进行量测工作，该量测装置200 包含一个调整座20、一个探针座30、一个直线式的音圈马达40，及一个控制单元50。该调整座20包括多个调整器21，所述调整器21能调整该探针座30的位置，借以配合不同规格的晶圆90进行量测。 该探针座30能沿一上下方向Z活动地连接于该调整座20，并包括一个沿该上下方向Z活动地连接于该调整座20的探针座体31、一个沿一前后方向X延伸的针臂32，及一个沿该前后方向X连接于该探针座体31与该针臂32之间的弹性体33，该前后方向X与该上下方向Z相互垂直。该探针座体31在本实施例中具有一个向上凸出的第一接触端311。该针臂32适用于安装该探针92，在本实施例中，该针臂32位于该第一接触端311 上方并具有一个向下凸出且抵接于该第一接触端311的第二接触端321，该第一接触端311与该第二接触端321能沿该上下方向Z自由地接触或分开。该弹性体33在本实施例中采用弹性片。该直线式的音圈马达40 (Voice Coil Motor, VCM)位于该探针座30上方，并包括一个固定于该调整座20的壳体41，及一沿该上下方向Z延伸出该壳体41的驱动轴42。该驱动轴42是沿该上下方向Z进行直线运动并顶抵该探针座30移动。该控制单元50用于驱动该音圈马达40，并能在该第一接触端311与该第二接触端 321分开时停止该音圈马达40运作。当该驱动轴42顶抵该探针座30持续地向下移动时，该探针92会逐渐地接近该晶圆90的晶粒91，当该探针92触及其中一个晶粒91时，该驱动轴42仍然能以微小的移动量继续伸长，此时该针臂32受到该驱动轴42的施压以及该晶粒91抵挡的影响，该针臂32 会向上移动，同时借由该弹性体33保持与该探针座体31的连接，当该针臂32向上移动一微小距离时，该第一接触端311与该第二接触端321就能分开，该控制单元50就会立刻停止该音圈马达40运作，所以该探针92能以适中的力量施压到该晶粒91，不至于对该晶粒 91造成破坏，由于该音圈马达40的运作行程相当细密，能够产生精密控制的使用效果，该驱动轴42顶抵该探针座30的力量能呈现高精密度的增减，且施力的位置能保持稳定，所以该量测装置200能达到能够精确控制该探针92的接触压力的功能。图5所示是本实用新型具有音圈马达的量测装置200的第二较佳实施例，该第二较佳实施例与上述第一较佳实施例大致相同，其主要不同处在于还包含一个光学尺60。该光学尺60包括一个设置于该音圈马达40的壳体41的光闸轨道61、一个能沿该上下方向Z移动地设置在该光间轨道61的读取模组62，及一个连接该读取模组62与该驱动轴42的连接臂63。该光闸轨道61是沿该上下方向Z延伸一预定长度。该读取模组62是借由该驱动轴42连动并同时侦测出一移动长度的变化。当该探针92触及其中一晶粒91时，该针臂32受到该晶粒91抵挡的影响会导致该驱动轴42在一极短时间内无法移动，此时该读取模组62就不会继续侦测到移动长度的增加，该控制单元50就能在该读取模组62侦测不到移动长度的变化时停止该音圈马达40 运作，借以达到能够精确控制该探针92的接触压力的功能。
权利要求1.一种具有音圈马达的量测装置，适用于安装一个探针后能进行量测工作，该量测装置的特征在于该量测装置包含一个调整座、一个探针座，及一个直线式的音圈马达；该探针座能沿一上下方向活动地连接于该调整座，并包括一个沿一前后方向延伸的针臂，该针臂适用于安装该探针，该前后方向与该上下方向相互垂直；及该直线式的音圈马达位于该探针座上方，并包括一个固定于该调整座的壳体，及一个沿该上下方向延伸出该壳体的驱动轴，该驱动轴沿该上下方向进行直线运动并顶抵该探针座移动。
2.根据权利要求1所述的具有音圈马达的量测装置，其特征在于该探针座还包括一个沿该上下方向活动地连接于该调整座的探针座体，及一个沿该前后方向连接于该探针座体与该针臂之间的弹性体，该探针座体具有一个向上凸出的第一接触端，该针臂位于该第一接触端上方并具有一个向下凸出且抵接于该第一接触端的第二接触端，该第一接触端与该第二接触端能沿该上下方向自由地接触或分开，该量测装置还包含一个控制单元，该控制单元用于驱动该音圈马达，并能在该第一接触端与该第二接触端分开时停止该音圈马达运作。
3.根据权利要求1所述的具有音圈马达的量测装置，其特征在于还包含一个光学尺， 该光学尺包括一个设置于该音圈马达的壳体的光间轨道、一个能沿该上下方向移动地设置在该光间轨道的读取模组，及一个连接该读取模组与该驱动轴的连接臂，该光间轨道是沿该上下方向延伸一预定长度，该读取模组是借由该驱动轴连动并同时侦测出一移动长度的变化，该量测装置还包含一个控制单元，该控制单元用于驱动该音圈马达，并能在该读取模组侦测不到移动长度的变化时停止该音圈马达运作。
专利摘要一种具有音圈马达的量测装置，适用于安装一个探针后能进行量测工作，该量测装置包含一个调整座、一个探针座，及一个直线式的音圈马达。该探针座能沿一上下方向活动地连接于该调整座，并包括一个沿一前后方向延伸的针臂，该针臂适用于安装该探针，该前后方向与该上下方向相互垂直。该直线式的音圈马达，位于该探针座上方，并包括一个固定于该调整座的壳体，及一个沿该上下方向延伸出该壳体的驱动轴，该驱动轴是沿该上下方向进行直线运动并顶抵该探针座移动。
文档编号G01R31/26GK202102082SQ201120194119
公开日2012年1月4日 申请日期2011年6月10日 优先权日2011年6月10日
发明者陈冠男 申请人:陈冠男