专利名称：一种金属薄膜界面应力传感器的制作方法
技术领域：
一种金属薄膜界面应力传感器技术领域:本实用新型所属技术领域为压力传感器领域，具体为一种应用于某些固体界面受挤压时应力的测量用金属薄膜界面应力传感器。
背景技术：
:固体燃料火箭在灌装燃料过程中，因为燃料凝固收缩，将对燃料筒圆柱壁界面产生收缩应力，对该收缩应力的测量有利于分析结构强度、变形能力等参数，能为设计者提供直接数据，提高设计水平。目前一些测量燃料凝固应力的传感器，是将硅片放到燃料中，燃料凝固时硅片受力使电阻产生压变，由此通过检测电阻值的变化来检测应力。由于硅片不能直接与氧化性或腐蚀性燃料接触，因此需要在硅片前端制造一个隔离腔，用哈氏膜片接触燃料，在腔内灌冲硅油起到应力传递作用。因此，这种传感器尺寸较大，不能准确测到界面处的应力，而且不能测量高温和低温燃料。开发一种金属薄膜应力传感器十分必要，它具有体积小、精度高、工作温度范围宽、漂移小等特点，是流体凝固应力测量的理想传感器。本实用新型专利公开一种用于燃料凝固应力测量的金属薄膜界面应力传感器。发明内容:本实用新型的目的是设计一种金属薄膜界面应力传感器，克服传统的测量方式所有的体积大、尺寸厚、不能测高低温燃料，且温漂大的弊端。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为:参见图1和图2，所述金属薄膜界面应力传感器包括钢杯1，设于钢杯I上的转接板2，压焊于钢杯I底部的漆包线3，与钢杯I焊接的外壳4，与转接板2连接且穿过外壳4的输出线5 ;所述钢杯I内部底面从下至上依次设有过渡层8，应变电阻层9，绝缘层10和保护膜层11。另外，所述转接板2通过特种胶6粘接于钢杯I上；所述钢杯I外壁设有焊接台阶7，外壳4通过焊接台阶7与钢杯I焊接；所述钢杯I高为2±0.1mm,所述焊接台阶7高为
0.5±0.05mm ;所述钢杯I外部底面为一凸面。其中,所述的特种胶可为市售的AB胶。与现有技术相比，本实用新型的有益效果为:本实用新型体积小，仅为015mm2X5mm ;其钢杯底部通过离子束溅射镀膜的方式沉积了过渡层、应变电阻层、绝缘层及保护膜层，所述钢杯在受到界面应力作用时，会发生形变，可致使应变电阻层发生形变，从而完成对界面应力的测量。钢杯通过外凸面感受界面应力，有别于传统的内凹面受压方式。本实用新型中无传统O型圈和充罐硅油，所有材料能承受_196°C 200°C温度范围，能耐各种恶劣工作环境。本实用新型精度高、温漂小，是流体凝固应力测量的理想传感器。总之，本实用新型由于采用了外凸面感压的结构设计，结构体积小，取消了传统的O型圈和和充罐硅油设计，解决了传统传感器的结构尺寸大，耐恶劣工作环境性能差的问 题，实现了流体凝固应力的可靠测量。

图1为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型钢杯结构示意图。图中:所标尺寸单位为mm ;1、钢杯；2、转接板；3、漆包线；4、外壳；5、输出线；6、特种胶；7、焊接台阶；8、过渡层；9、应变电阻层；10、绝缘层；11、保护膜层。
具体实施方式
参见图1和图2，所述金属薄膜界面应力传感器包括钢杯1，设于钢杯I上的转接板2，压焊于钢杯I底部的漆包线3，与钢杯I焊接的外壳4，与转接板2连接且穿过外壳4的输出线5 ;所述钢杯I内部底面从下至上依次设有过渡层8，应变电阻层9，绝缘层10和保护膜层11。其中，所述转接板2通过特种胶6粘接于钢杯I上；所述钢杯I外壁设有焊接台阶
7,外壳4通过焊接台阶7与钢杯I焊接；所述钢杯I高2mm,所述焊接台阶高0.5mm ;所述钢杯I外部底面为一凸面；所述特种胶6为AB胶。
权利要求1.一种金属薄膜界面应力传感器，其特征在于，所述传感器包括钢杯(1)，设于钢杯(I)上的转接板(2)，压焊于钢杯(I)底部的漆包线(3)，与钢杯(I)焊接的外壳(4)，与转接板(2)连接且穿过外壳(4)的输出线(5);所述钢杯(I)内部底面从下至上依次设有过渡层(8)，应变电阻层(9)，绝缘层(10)和保护膜层(11)。
2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述转接板(2)通过特种胶(6)粘接于钢杯(I)上。
3.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述钢杯(I)外壁设有焊接台阶(7)，外壳(4)通过焊接台阶(7)与钢杯(I)焊接。
4.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述钢杯(I)高为2±0.1_，所述焊接台阶(7)高为 0.5±0.05mm。
5.如权利要求1至4任一项所述的传感器，其特征在于，所述钢杯(I)外部底面为一凸面。
专利摘要本实用新型公开了一种金属薄膜界面应力传感器，所述传感器包括钢杯，设于钢杯上的转接板，压焊于钢杯底部的漆包线，与钢杯焊接的外壳，与转接板连接且穿过外壳的输出线；所述钢杯底部从下至上依次设有过渡层，应变电阻层，绝缘层和保护膜层。本实用新型采用了外凸面感压的结构设计，结构体积小，取消了传统的O型圈和和充罐硅油设计，解决了传统传感器的结构尺寸大，耐恶劣工作环境性能差的问题，实现了流体凝固应力的可靠测量。
文档编号G01L1/22GK202956233SQ20122055332
公开日2013年5月29日 申请日期2012年10月26日 优先权日2012年10月26日
发明者谢锋, 颜志红, 谢贵久, 何迎辉, 蓝镇立 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所