专利名称：X射线检查装置及其控制和调节方法
技术领域：
本发明涉及向被检查物体照射X射线，显示其透视图像的X射线检查装置及其控制和调节方法。
一种方法，使X射线照射装置和X射线检测装置，对于被检查物体相对地移动。从而得到多张部分的透视图像数据，将它们合成形成一张整体图像。另外一种方法，将X射线照射装置和X射线检测装置从被检查物体离开，从而获得一张整体的图像，但这会降低图像的分辨率。
图6表示以往的X射线检查装置的结构。该结构由X射线发生器101，控制X射线光扩展的准直仪102，X射线光束103，屏蔽板104，被检查物体105，装载移动被检查物体的XY工作台106，作为X射线检测装置的X射线传感器107，X射线图像捕捉单元108，个人计算机109，透视图像的显示器110，X射线控制单元111，箱体112等构成。
在这样的以往的X射线检查装置中，当被检查物体比检测装置的检测范围大时，存在以下的问题。
要求使X射线照射装置和X射线检测装置，与被检查物体相对地移动，根据多张部分的透视图像数据以高分辨率显示一张合成图像。进而，还要求缩短从检测到图像显示的时间，装置整体的小型化，低成本化等。
另外，本发明还提供了一种X射线检查装置，具备向被检查物体照射X射线的X射线照射装置；检测来自上述X射线照射装置的X射线的至少1个或1个以上的检测装置；使上述检测装置移动的移动装置；控制上述多个检测装置的多个驱动控制装置，上述多个检测装置与驱动控制装置分别连接；在上述多个驱动控制装置之间进行驱动同步的同步装置；通过所述多个驱动控制装置，输入来自多个检测装置的信号的至少1个处理装置；输入来自上述多个处理装置的处理信号，合成图像的图像合成装置。
进而，本发明提供了一种X射线检查装置的控制方法，具有向被检查物体照射X射线的步骤；用至少1个的检测装置检测照射到被检查物体的X射线的步骤；其中，上述检测步骤具有一边使上述检测装置在至少相当于被检查物体的面积的范围内移动，一边进行检测的步骤。
另外，本发明提供了一种X射线检查装置的调整方法，该X射线检查装置具有向被检查物体照射X射线的X射线照射装置；检测来自上述X射线照射装置的X射线的多个检测装置；使上述检测装置移动的移动装置；所述方法包括使构成第1检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列与移动方向一致；之后，使构成其它检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列与构成上述第1检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列一致。
图2是展示本发明一实施例的X射线检查装置的机构系统单元的透视图。
图3是展示本发明一实施例的X射线检查装置的扫描图案的图示。
图4是本发明一实施例的X射线检查装置的从接通电源开始到准备就绪的流程图。
图5是本发明一实施例的X射线检查装置的从准备就绪开始到瓦接(タイリンゲ)拍摄的流程图。
图6是展示以往的X射线检查装置的结构的示意图。附图符号1AX射线管单元20快门(shutter)30X射线管旋转用马达单元40X射线管载物台50被检查物体载物台6AX射线传感器(CCD1)6BX射线传感器(CCD2)70X轴工作台80X轴驱动马达90Y轴工作台10Y轴驱动马达11传感器单元载物台12箱体101 X射线发生源102 准直器103 X射线光束104 屏蔽板105 被检查物体106 工作台107 X射线传感器108 X射线图像捕捉单元109 个人计算机110 显示器111 X射线控制单元112 箱体因为使小的X射线检测装置移动，所以比使大的被检查物体移动可以更加使装置小型化。还有，因为设置多个X射线检测装置，所以检测面积增大。其结果，缩短了得到1张合成图像的时间，并且可以用高分辨率显示图像。
以下，一边参照附图一边说明本发明的实施例。另外，这些图只是示意图，不是以正确尺寸展示各位置关系的图示。
实施例如

图1所示，机构系统单元A，由向被检查物体照射X射线的功能，接收X射线的检测功能，和使检测传感器移动的传感器驱动部构成。
控制单元B，进行X射线管的X射线照射控制，X射线管旋转轴马达的驱动控制，X轴和Y轴的各马达的驱动控制。进而，使用个人计算机的数据处理单元C，在机构系统单元A和控制单元B之间通过USB1，USB2进行信号接受。然后，对得到的画像数据进行处理、合成，显示X射线透视图像。作为检测X射线的X射线传感器使用CCD传感器。图1中，CCD1和CCD2是X射线传感器。图2中，从作为X射线发生源的X射线管单元1A照射的X射线，通过放置有被检查物体的被检查物体工作台50透射，到达X射线传感器6A和6B。
X射线传感器6A和6B安装在传感器支架上，进而装载在X轴工作台70上。X轴工作台70通过X轴驱动马达80可以在X轴方向移动。Y轴工作台90通过装有Y轴驱动单元的Y轴驱动马达10可以在Y轴方向移动。这些单元被安装在传感器单元载物台11上，可以检查被检查物体的整个区域。这时候，与X轴方向的移动同步，X射线管1A，通过安装在X射线管单元载物台40上的X射线管单元旋转用马达单元30可以进行摇头，改变照射位置。
以上说明，是X射线传感器的数量为2，n＝2(检测传感器的间距设为有效检测长度的2倍)的情况。即，X射线的照射范围构成为在Y轴方向照射全部区域，只有在X轴方向扫描照射位置。另外，使用超过2个的多个X射线传感器的情况，X射线管的X轴方向和Y轴方向的扫描、移动或旋转的驱动方法等也可以同样地实施。X射线传感器的数量是2时，调节支架使得检测传感器的间距成为大约是有效检测长度的2倍。支架可以分别在X方向和Y方向以及水平旋转方向移动。调节是使用带有3点标记的检查夹具进行的。
该检查夹具被定位固定在支架上。各个传感器通过照射X射线检测出标记的位置。之后，就可以确认检查夹具和安装在支架上的各传感器的位置。2个传感器的位置可以通过使各自的X轴方向，Y轴方向，以及旋转方向一致来确定。由此，使用定位调整后的传感器，得到透视图像的数据。
下面说明被检查物体比检测装置的检测范围大的情况下的获得数据的方法，即，瓦接的一个例子。
由MV命令(移动命令)在X轴移动量a＝5(瓦)，Y轴移动量b＝5(瓦)的情况下，执行以下的动作。(1)从开始点向X轴的正方向以1瓦间距移动a次。(2)向Y轴的正方向以1瓦间距移动1次。(3)将Y轴的移动次数设为b＝b-1，改变X的移动方向的符号。(b＝4)(4)向X轴的负方向以1瓦间距移动a次。(5)向Y轴的正方向以1瓦间距移动3次。(6)将Y的移动次数设为b＝b-3，改变X的移动方向的符号。(b＝1)(7)向X轴的正方向以1瓦间距移动a次。(8)向Y轴的正方向以1瓦间距移动1次。(10)向Y的移动次数设为b＝b-1，改变X的移动方向的符号。(b＝0)(11)向X轴的负方向以1瓦间距移动a次。(12)轴移动结束(状态输出)扫描图案如图3所示。
进而，轴的正方向是指图3所示的轴的箭头方向，负方向是指其相反方向。
本装置的动作是按照图4的流程图1以及图5的流程图2。另外，根据被检查物体的大小也可以只使用2个传感器中的一个。
如果如以上介绍那样使用本发明的X射线检查装置，因为代替使大的被检查物体移动，而使小的X射线检测传感器移动，所以可以实现装置的小型化。因为使用了多个X射线检测装置，增大了检查面积。其结果，可以缩短作为一张合成画像显示的时间。在不降低分辨率的情况下，可以提供低成本的X射线检查装置。
权利要求
1.一种X射线检查装置，具备向被检查物体照射X射线的X射线照射装置；检测来自上述X射线照射装置的X射线的至少1个检测装置；使上述检测装置移动的移动装置；其中，上述移动装置使上述检测装置在相当于被检查物体的面积的范围内移动。
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其中上述多个检测装置以规定间隔配置，同时被移动。
3.根据权利要求2所述的X射线检查装置，其中上述规定间隔，多个检测装置间的距离，是各检测装置的有效检测部分的长度的大致n倍，n是自然数。
4.根据权利要求2或3所述的X射线检查装置，其中对应于上述多个检测装置的配置，将上述移动装置的移动距离设为足够覆盖被检查面并且重叠为最小限度。
5.根据权利要求1-4的任意一项所述的X射线检查装置，其中，上述移动装置，根据上述多个检测装置的位置，使上述X射线照射装置进行至少移动和旋转中的任意一个动作。
6.一种X射线检查装置，具备向被检查物体照射X射线的X射线照射装置；检测来自上述X射线照射装置的X射线的至少1个检测装置；使上述检测装置移动的移动装置；控制上述多个检测装置的多个驱动控制装置，上述多个检测装置与驱动控制装置分别连接；在上述多个驱动控制装置之间进行驱动同步的同步装置；通过上述多个驱动控制装置，输入来自上述多个检测装置的信号的至少1个处理装置；输入来自多个处理装置的处理信号，合成图像的图像合成装置。
7.一种X射线检查装置的控制方法，是具有向被检查物体照射X射线的步骤，和用至少1个检测装置检测照射到被检查物体的X射线的步骤的X射线检查装置的控制方法，其中上述检测步骤具有一边使上述检测装置在至少相当于被检查物体的面积的范围内移动一边进行检测的步骤。
8.根据权利要求7所述的具有上述多个检测装置的X射线检查装置的控制方法，其中具有使上述多个检测装置移动、使得足够覆盖被检查面并且重叠为最小限度的移动装置。
9.一种X射线检查装置的调整方法，该X射线检查装置具有向被检查物体照射X射线的X射线照射装置，检测来自上述X射线照射装置的X射线的多个检测装置，和使上述检测装置移动的移动装置；所述方法包括使构成第1检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列与移动方向一致；之后，使构成其它检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列与构成上述第1检测装置的X射线的有效检测部分的像素排列一致。
10.根据权利要求9所述的X射线检查装置的调整方法；其中上述多个检测装置间的距离被设置为各个检测装置的X射线的有效检测部分的长度的大致n倍，n是自然数。
全文摘要
相对定位固定的被检查物体，使多个X射线检测装置移动，对应检测装置的位置使X射线照射装置进行移动或者旋转。将所得到的多个透视图像数据构成为一张合成画像来进行显示。本发明提供了一种缩短了从检测到图像显示的时间的、小型的高性能的X射线检测装置。
文档编号G01N23/04GK1479867SQ02803294
公开日2004年3月3日 申请日期2002年11月20日 优先权日2001年11月26日
发明者大森康以知, 米田俊一, 川崎守亮, 井野芳浩, 中嶋博, 石野久秀, 马场末喜, 一, 亮, 喜, 浩, 秀 申请人:松下电器产业株式会社