专利名称：摄像检查方法
技术领域：
本发明涉及一种对设于等离子体显示装置、液晶显示装置、太阳能电池等基板上、 且一部分或全部具有重复图案的图案形状进行摄像检查的方法。
背景技术：
为了对设于等离子体显示装置、液晶显示装置、有机EL显示装置、太阳能电池等 基板上的图案的形状进行检查，如图14所示有利用安装于测定头3的摄像机2对被检查物 1进行扫描摄像、并利用图像处理对该形状的缺陷进行检查的装置。摄像机2主要使用线路 传感器摄像机或TDI (TimeDelayed Integration 时间延迟积分)传感器摄像机(以下简 称为摄像机)。该装置中，在被检查物1的图案的一部分或全部为重复图像那样的情况下， 通过对重复图案之间进行比较从而消去非缺陷的部分，仅提取作为缺陷的图案。将其示于 图15中。在被检查物的拍摄图像50中，有第1 第5重复部(分别为51、52、53、54、55) 这五组重复部。例如在第3重复部53中有缺陷57的情况下，通过对每一重复周期进行比 较，从而提取该缺陷57。比较后的结果为图15的60。用白色示出与比较目标无差异的部分，用灰色示出 有差异的部分。对第1重复部51和第2重复部52进行比较的结果为61，对第2重复部52 和第3重复部53进行比较的结果为62，对第3重复部53和第4重复部54进行比较的结果 为63，对第4重复部54和第5重复部55进行比较的结果为64。从这些结果中提取有差异 的部分的缺陷66及缺陷67。这里虽提取多个缺陷，但仅选择某一个。这样，通过与相隔重 复周期的像素进行比较，从而能够仅提取缺陷。这里拍摄到的图像中的图案的重复周期P[像素]根据被检查物的重复周期 Ζ[ μ m]和图像的分辨率R[ μ m/像素]，成为P = Z + R (数学式 1)。从对每一像素进行比较的角度考虑，最好是P为整数。例如图16中，示出对被 检查物11的拍摄图像进行比较处理使得拍摄到的图像中的重复周期P正好为“4”。拍摄图 像为50a，比较结果为60a。这样，在图像的重复周期P为整数的情况下，在原理上能够完全 消去非缺陷的部分的图案。与此不同的是，示出对图17的拍摄到的图像中的重复周期P为“2. 6”那样的被检 查物的拍摄图像50b进行比较处理的例子。由于实际的比较以像素为单位进行，因此使用 最接近的整数“3”进行比较。比较结果为60b。这样，不能完全消去重复图案，会产生残像。 这种残像成为将非缺陷误识别为缺陷的所谓误报的原因。虽然通过设定缺陷的阈值从而能 抑制误报的产生，但会降低缺陷检测的灵敏度。此外，至此为了说明，是以对每一像素进行 比较为前提，但即使是对像素间的信息进行插值、由此进行比较的情况也相同。这是由于摄 像机(线路传感器)的开口率并非100%的缘故。为了将P设为整数，只要使得被检查物的重复周期与图像的分辨率成为整数比即 可。通常由于不能自由地选择被检查物的重复周期，因此考虑通过控制图像的分辨率以使P
3成为整数。例如，考虑对分辨率R为10 [μ m]、重复周期Z为222 [μ m]的被检查物进行摄像 的情况。此时，拍摄图像中的重复周期P为22. 2[像素]。由于与其接近的整数为“22”或 “23”，因此只要以使P成为“22”那样的分辨率R = 222 + 22 = 10. 09... [ μ m/像素]、或者 使P成为“23”那样的分辨率R = 222 + 23 = 9. 652173…[μ m/像素]进行摄像即可。这 样，若能够使分辨率从最初的R = 10 [ μ m/像素]变化几个百分点，则可能能够进行使P成 为整数那样的摄像。由线路传感器(摄像机)得到的图像的分辨率对于传感器的排列方向X和传感器 的扫描移动方向Y，分别独立地决定。若将χ方向的分辨率设为Rx[ μ m/像素]，将传感器 的像素大小设为C[ym]，将光学系统的倍率设为M，则X方向的分辨率由(数学式2)来表
7J\ οRx = C+M (数学式 2) 为了控制分辨率Rx，只要控制像素大小C或倍率M即可。这里，关于通过控制M从 而选择使P成为整数那样的Rx的方法，由专利文献1等作了揭示。Y方向的分辨率由摄像机与被检查物之间的相对速度和摄像机的每1行的扫描时 间(以下记为H间隔时间)决定。若将Y方向的分辨率设为Ry [y m/行]，将相对速度设为 V[ μ m/秒]，将H间隔时间设为Ht [秒/行]，则表示作为数学式(3)。Ry = VXHt (数学式 3)这里，(数学式3)在Rx和Ry的值相差较大的情况下有时不成立。根据(数学式3)，在输入图像的过程中，若相对速度V变化则Ry变化。在难以将 相对速度V保持为一定的情况下，有时利用某种手段测定摄像机与被检查物的位置关系， 该位置每发生一定的变化，就进行1行的图像读取。由此，即使相对速度V有一些变化也能 够将Ry保持为一定。另外，对摄像机与被检查物的相对位置关系进行掌握的手段有多种， 例如常使用编码器或线性标尺或激光位移计等。以下的说明中，为方便起见将该手段称为线性编码器。在使用线性编码器的情况 下，若将用于进行1行的图像读取的线性编码器读出值的变化量(以下称为H间隔距离) 设为Hd [ μ m/行]，则可表现为(数学式4)。Ry = Hd (数学式 4)此时，考虑选择Ry以使P成为整数。根据(数学式4)，使Ry变化与使Hd变化相 同。然而，实际上Hd只能取离散的值。这是由于受限于线性编码器的分辨率。在线性编码 器的分辨率为l[ym]的情况下，Hd可取的值为{1，2，3，…}。在上述的例子中，需要设定 10. 09090909…[μ m/像素]以作为分辨率R，但该分辨率即使是使用例如0.01 [μ m]的线 性编码器也不能准确地实现。另外，利用线性编码器能够进行测量的分辨率和精度有限制， 显然较高的分辨率的线性编码器其测量耗费时间，且价格高。即，以目前的技术，要一直实 现使P成为整数那样的Ry实质上是不可能的。专利文献日本国专利特开2003-329609号公报在对具有重复图案的被检查物进行摄像检查时，需要利用图像处理从拍摄到的图 像中除去正常的重复图案，仅提取缺陷部分。此时，在形成于被检查物上的重复图案在拍摄 图像上未成为整数像素的周期的情况下，存在无法准确地除去重复图案的问题。为了使得重复图案在图像上成为整数像素地来进行摄像，只要利用使得被检查物的图案的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率来进行摄像即可。为此， 只要具有仅使分辨率变化的机构即可。然而，在现有的结构中，未能具备这种机构。

发明内容
本发明解决上述现有技术的问题，其目的在于提供一种在进行摄像时仅使分辨率 变化的摄像检查方法的结构及方法。为了达成上述目的，本申请发明所涉及的第1方面的摄像检查方法的特征为，在 根据来自编码器的信号对被检查物上的等间隔的图案的图像进行摄像并检查时，进行扫描 并摄像，该扫描中，所述进行摄像的间隔中的至少一个间隔成为与根据所述被检查物的图 案间的间隔而决定的来自所述编码器的信号的输出间隔不相等的间隔。另外，第2方面的发明在第1方面的摄像检查方法中，其特征为，将来自所 述编码器的信号的输出间隔设为Hk，将成为Hk的模式的数量设为Nk时，在由Rs = Σ (NkXHk)+ Σ (Nk)得到的分辨率Rs成为所要的分辨率的条件下进行摄像。另外，第3方面的发明在第1方面的摄像检查方法中，其特征为，在所述等间隔的 图案的间隔与根据所述被检查物的图案间的间隔而决定的来自所述编码器的信号的输出 间隔之差的累积超过阈值的情况下，进行所述不相等的间隔的扫描。另外，第4方面的发明在第1方面的摄像检查方法中，其特征为，对应于所述被检 查物中的图案的位置使摄像的间隔变化。另外，第5方面的发明在第1方面的摄像检查方法中，其特征为，所述不相等的间 隔比根据所述被检查物的图案间的间隔而决定的来自所述编码器的信号的输出间隔大。另外，第6方面的发明在第1方面的摄像检查方法中，其特征为，使用进行时间延 迟积分(TDI =Time Delayed Integration)动作的元件作为进行摄像的元件。根据本发明，起到如下效果即，即使是在被检查物的重复周期不是拍摄图像的分 辨率的整数倍的情况下，由于能够调节图像的分辨率使得被检查物的重复周期与拍摄图像 的分辨率成为整数比地拍摄被检查物，因此也能利用图像处理准确地除去形成在被检查物 上的正常的重复图案部，从而检测出缺陷图案。


图1是表示本发明的实施方式1中的摄像检查装置的立体图。图2是表示本实施方式1中的摄像处理的流程图。图3是表示本实施方式1中的生成读取图像的定时的结构的图。图4是表示本实施方式1中的以等间距拍摄被检查物得到的拍摄图像的图。图5是表示本实施方式1中的以不相等的间距拍摄被检查物得到的拍摄图像的图。图6是表示本实施方式1中的以另一不相等的间距拍摄被检查物得到的拍摄图像 的图。图7是表示本实施方式1中的摄像机以预先设定的摄像间距进行的摄像处理的流 程图。图8是表示本发明的实施方式2中的摄像处理的流程图。图9是表示本实施方式2中的生成读取图像的定时的结构的图。
图10是表示本发明的实施方式3中的被检查物的图案的图。
图11是表示本实施方式3中的被检查物的另一图案的图。
图12是表示本实施方式3中的较薄的被检查物的变形部分的图。
图13是表示本实施方式3中的生成读取图像的定时的结构的图。
图14是表示利用现有的图像处理对图案形状的缺陷进行检查的装置的立体图。
图15是表示比较相邻的图案重复部、从结果中提取的缺陷的图。
图16是表示被检查物和拍摄图像的重复周期一致的情况下的比较处理的例子。
图17是表示被检查物和拍摄图像的重复周期不一致的情况下的比较处理的例子的图。
标号说明
1、11、101、201 被检查物
2,102摄像机
3测定头
50、50a、50b 拍摄图像
51,52、53、54、55 重复部
60、60a、60b 比较结果
61,62>63,64相邻重复部的比较结果
57,66>67缺陷
10Γ被检查物的一部分
IOla图案A
IOlb图案B
IOlc图案C
IOld图案D
104摄像机扫描轴
105线性编码器
105a线性编码器固定件
105b线性编码器可动件
106分频器
107设定单元(分频器)
108编码器计数器
109设定单元(摄像间距)
110行数计数器
111乘法器
112比较器
113保存单元
202变形部分
具体实施例方式
下面，参照附图详细说明本发明中的实施方式。此外，以下的说明中，对于相同的
6结构标注相同的标号，并适当地省略说明。(实施方式1)图1是表示本发明的实施方式1中的使用了线路传感器(摄像机)的检查装置的 例子的图。图1中，使用摄像机102拍摄被检查物101。摄像机102利用摄像机扫描轴104 进行移动扫描。摄像机扫描轴104的位置可利用线性编码器固定件105a及线性编码器可 动件105b来掌握。在线性编码器固定件105a上刻有等间隔的方格，通过使用线性编码器 可动件105b对其进行读取，从而每移动一定距离就从线性编码器可动件105b输出信号。这里，为了说明本实施方式1的特征，说明作为比较对象的现有的方法。目前为止，利用如图2所示的流程图进行摄像。S卩，步骤Sl中，基于线性编码器的 分辨率和摄像分辨率，决定摄像间距，使用该摄像间距，在步骤S2中对整个被检查物进行 摄像。此时，线路传感器(摄像机102)读取图像的定时例如由图3那样的结构来生成。 将来自线性编码器105的信号输入到分频器106。分频器106包括设定分频周期的设定单 元107。将分频器106的输出信号输入到摄像机102。然而，该结构中，摄像机102的读取 周期局限于线性编码器105的分辨率的整数倍。下面，说明相对于这种现有方法的本实施方式1的特征。此外，以下将线性编码器 105的分辨率称为H间隔。首先，设想作为H间隔可设定的最小单位为“1”那样的情况。在设V为常数、H间 隔为等间隔的情况下可取的分辨率Ry的值为(数学式5)。Ry = {V，2V，3V，…}(数学式 5)这里，若设摄像机102中的摄像的间隔为不相等的间隔而并非等间隔，则能够使Y 方向的每一像素的分辨率、即每一像素的摄像范围的大小变化。在使摄像时的H间隔例如 以{1，2，1，2，···}那样、“1”和“2”交替重复那样的模式拍摄成不相等的间隔的情况下，所 得到的图像成为混有Ry = IV的部分和Ry = 2V的部分。这里，该图像的分辨率大致上可 看作Ry= (l+2)+2XV= 1.5V那样的图像。同样地，若使H间隔例如以{1,2,2,1,2,2, ...}那样、成为“ 1 ”和“2”和“2”
的组合那样的模式拍摄成不相等的间隔，则所得到的图像的分辨率Ry大致上为Ry = (1+2+2) +3XV = 2. 5V。这样，通过将H间隔设为不相等的间隔来进行摄像，从而能在不受 作为H间隔可设定的最小单位的制约的情况下决定Ry。图4 图6中示出该效果的具体例。图4表示以等间距拍摄被检查物的情况。方 格的涂色分别表示被检查物的颜色，其中涂色部为被检查物的黑色部分，白色部为被检查 物的白色部分。这里，关注被检查物的一部分101’。在其长度为8 [ μ m]、其颜色每隔1 [ μ m]成为 {白，白，黑，黑，白，白，黑，白}的情况下，将H间隔设为1[μπ ]以等间隔进行摄像时，所得 到的拍摄图像150的长度成为8个像素。如图4所示，由于是以8个像素拍摄8 [ μ m]，因此 拍摄到的图像的分辨率为l[ym/像素]。所得到的拍摄图像为{白，白，黑，黑，白，白，黑，白}。这里，例如若使H间隔成为{1,1,2,1,1,1,1}那样进行摄像，则所得到的图像的长 度成为7个像素。图5中示出该情况。由于是以7个像素拍摄被检查物的一部分101’的
78[μπι]，因此大致上的图像分辨率为8/7[μπι/像素]。所得到的拍摄图像151为{白，白，
漂？白？白？漂？白} ο另外，即使使H间隔成为{1，1，1，2，1，1，1}那样进行摄像，同样地，所得到的图像 的长度也为7个像素。图6中示出该情况。大致上的图像分辨率与图5的例子相同。拍摄 被检查物的一部分101’所得到的拍摄图像152为{白，白，黑，灰，白，黑，白}。这样，通过 以不相等的间隔进行摄像，从而能使大致上的图像分辨率变化而不受到H间隔的最小分辨 率的制约。对使该摄像采用不相等的间隔的情况下、决定摄像的H间隔的模式的一个方法进 行叙述。使被检查物的重复图案在图像上成为整数周期那样进行摄像所需的条件如(数学 式6)所示。R = T + N (数学式 6)这里，R表示摄像的分辨率[μ m/像素]，T表示被检查物的重复周期[μ m]，N表 示1以上的整数。一般来讲，由于根据所要检测的最小的缺陷大小等预先决定大致的分辨率R的 值，因此选择满足(数学式6)的分辨率R中、与预先决定的值最接近的分辨率。例如，当预 先决定的大致的分辨率R的值为10 [μ m/像素]时，在拍摄T= 157 [μ m]的被检查物的情 况下，由(数学式6)得到N= 16时的分辨率R的值即R = 9. 8125 [μ m/像素]。N表示拍 摄到的图像上的被检查物的重复周期。只要预先求出最好地实现这种分辨率R那样的H间 隔的模式，并按照该模式进行摄像即可。下面示出该方法。假设将H间隔的分辨率设为D从而可离散地选择H间隔，若将该H间隔设为Hk，将 成为Hk的模式的数量设为Nk，则所得到的大致上的分辨率Rs由(数学式7)来表现。Rs = Σ (NkXHk) + Σ (Nk)(数学式 7)对于使得(数学式7)的Rs接近所要的R那样的Nk、Hk的组合，例如可利用穷举 法来寻找。利用(数学式7)来得到可看作与所要的R接近的、Rs的模式有多个。假设在从 Σ (Nk)取较小的值开始依次利用穷举法进行搜索的情况下，只是以R和Rs接近即可的条 件的话一般解不出(数学式7)。这是由于Σ (Nk)的值越大越容易使R和Rs—致。因此， 需要在R和Rs接近到某种程度时停止计算。由于R和Rs —般允许有10%左右的误差，因 此只要以此为基准停止计算即可。作为比利用穷举法来求解更实用的方法，考虑对(数学式7)增加某种制约。例 如，考虑使用H间隔的分辨率D，增加制约使得仅使用成为(数学式8)、(数学式9)那样的 2 种 R(Rl 及 Rh)。Rl = floor (R+D) X D (数学式 8)Rh = ceiling(R+D) XD (数学式 9)此外，(数学式8)的floor (X)及(数学式9)的Ceiling(X)分别表示关于X的 地板函数、天花板函数。若将(数学式8)及(数学式9)应用于上述的例子中，则成为(数学式10)、(数 学式11)，可见作为H间隔只要利用“9”和“10”这2种的组合来生成模式即可。Rl = floor (9. 8125 + 1) Xl = 9 (数学式 10)
8
Rh = ceiling(9. 8125+1) Xl = 10 (数学式 11)将以H间隔“9”拍摄的像素的数量设为N9，将以H间隔“10”拍摄的像素的数量设 为Nltl，代入(数学式7)，则成为(数学式12)。Rs = (N9X9+N10X10) + (N9+N10)(数学式 12)(数学式12)中有时也会存在多个解。在这种情况下，只要对(数学式7)中的 Σ (Nk)、即(数学式12)中的(N9+N1Q)的值设定制约即可。例如，只要制约成使得模式的 周期(N9+N1CI)为拍摄到的图像上的被检查物的重复周期的约数即可。在上述的例子中其为 “16”。由于“16”的约数为“1，2，4，8，16”，因此模式的周期为其中的某一个，选择使R最接 近9. 8125的那个周期。N9+N10 = {1,2,4,8,16}(数学式 13)若对(数学式12)及(数学式13)进行求解，以分别求出使得R最接近所希望的 值即9. 8125的那样的N9及Nltl，则可得到N9 = 3，N10 = 13。此时，Rs正好成为与R相等的 9. 8125。但是，一般来讲Rs和R并不一定如本例那样正好一致。这样，能够预先计算出进行摄像的模式。此外，成为N9 = 3，N10 = 13的摄像模式 的数量B如下述的(数学式14)所表示的那样有560种，但不管使用哪一种摄像模式皆可。B = 16 ！ +(3! X 13 ！ ) = 560 (数学式 14)摄像模式例如也可为{9,9,9,10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10}，也可 为{10，10，10，10，10，9，10，10，9，10，10，10，10，10，10,9}。这样，通过预先设定进行摄像的H间隔的模式，并按照该模式进行摄像，从而能实 现最合适的接近R的分辨率。将其在图7中作为流程图示出。图7中，首先，在步骤S5中，使用上述的(数学式6)来决定分辨率的目标值。接 着，在步骤S6中，使用(数学式12)及(数学式13)来决定摄像间距的模式。按照这样决 定的模式，在步骤S7中对整个被检查物进行摄像。此外，为了方便说明，作为摄像元件以线路传感器为例，但线路传感器的行方向的 元件数与这里所举出的动作无关。因此，可以认为不仅是线路传感器，对于只有一个元件的 传感器也是相同的。(实施方式2)使用图8、图9说明本实施方式2中的被检查物的摄像。本实施方式2中，利用拍 摄图像的坐标和读取间距之间的乘积来计算出摄像机下一个读取的位置，从而能够每次一 边计算H间隔一边进行摄像，而不是预先设定进行摄像的H间隔的模式。图8中示出此时的流程图。图8中，与上述的图7的步骤S5相同，在步骤Sll中计算并决定作为目标的分辨 率。这里，为了说明，将已进行摄像的行数设为N。该N在步骤S12中预先初始化为“1”。 步骤S13中，计算第N行的摄像位置。第N行的摄像位置等于由步骤Sll决定的作为目标 的分辨率与N之积。步骤S14中，等到被检查物和摄像机正好到达该摄像位置后进行摄像。 在步骤S15中判断是否已拍摄完整个被检查物。若还没有完成拍摄(S15的否)，则如步骤 S16所示使行数N增加“ 1 ”后返回至步骤S13。在图9中示出能够对此加以实现的结构例。想要进行摄像的间距由设定单元109 设定。不仅可设定整数而且可设定实数。实施方式1的例子中，设定的值为R = 9. 8125。每移动一定距离就从线性编码器105向编码器计数器108发送脉冲。与实施方式1的例子 相同，设脉冲的间距为1[μπι]间距。即，以l[ym]的分辨率来得到当前位置。比较器112 检测出来自线性编码器105的输入值超过来自乘法器111的输入值时，输出1个脉冲。该 脉冲被输入至读取行数计数器110及摄像机102。最开始，设线性编码器105的输出为零，并从此单调增加。在读取行第1行中，乘 法器111的输出为1X9. 8125 = 9. 8125。线性编码器105的值逐渐增加，第一次超过该值 是在线性编码器105的值变成“10”时。此时从比较器112输出脉冲，摄像机102接受该脉 冲并进行摄像。同时该脉冲被提供给读取行数计数器110，读取行数计数器110的值从“1” 进至“2”。由于乘法器111的输入成为“2”，因此输出成为2X9. 8125 = 19. 625。接下来，线性编码器105的值超过该值是在变成“20”时。如本例所示，在R的值 不是线性编码器105的分辨率的倍数的情况下，其结果是读取间隔成为不相等的间距。此 外，构成方法并不限于这里所示的例子。例如在乘法器111中，也可采用如下结构即，以适 当的位数舍入乘法结果，即进行舍去、四舍五入、进位处理，比较器112仅检测与该结果是 否一致。另外，也可使用加法器使得在进行读取的定时将读取间距相加并保存，而不使用乘 法器111。(实施方式3)使用图10 图13说明本实施方式3中的被检查物的摄像。根据被检查物的图案， 有时重复间距会因其位置不同而不同。例如，如图10所示，存在下述那样的被检查物即， 在一个被检查物101上制成有重复间距不同的多个部分、例如图案AlOla及图案BlOlb。或 者，如图11所示，在形成于被检查物101上的具有某一重复间距的图案ClOlc的周边，构成 有具有另一重复间距的图案DIOld。而且，如图12所示，在较薄的被检查物201等情况下，有时会因制造工序中在被检 查物201上产生伸缩等变形部分202等而使重复间距局部不同。在这种情况下也可通过使 用本实施方式3从而动态改变读取间距来进行应对。不管是预先决定H间距的模式的方法， 还是每次一边计算H间距一边进行摄像的方法，都能对其进行实施。图13中示出每次一边计算H间隔一边进行摄像的情况下的结构例。将与被检查 物的位置对应的间距预先从摄像间距的设定单元109存储到对被检查物的位置与读取间 距的关系进行保存的保存单元113中，并对应于读取行数计数器110的值进行读出，通过发 送到乘法器111从而使读取间距动态改变。除此以外的动作与实施方式2的图9所示的情 况相同。利用编码器计数器108对来自线性编码器105的输出脉冲进行计数，利用比较器 112将该输出与乘法器111的输出进行比较，利用输出的脉冲来决定摄像机102的摄像定 时。另外，例如当预先决定的大致的R的值为10 [μ m/像素]时，在对T= 157 [ μ m] 的被检查物进行摄像的情况下，与 ο [μ m/像素]最接近的R为根据(数学式6)得到的N =16时的R的值即R = 9. 8125 [ μ m/像素]。然而，若R变小，则摄像机的速度有时会无法 应对。因此，需要使R成为由摄像机的性能等决定的、比预先设定的值大的值。这里，若假 设附加R比10 [ μ m/像素]要大的条件，则所得到的解根据(数学式6)，成为N = 15时的 R的值即R = 10. 4666…[μ m/像素]。这样，通过在决定N时对R的值设定下限，从而能降 低对于摄像机所要求的性能。
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另外，通过使用TDI传感器以作为线路传感器，从而能减小对于每一检查部位的
灵敏度偏差。通过使用TDI传感器，从而分辨率发生变化的工作上的位置对应于TDI传感器的 级数而分散。在使分辨率变化的模式的长度比TDI传感器的级数充分短的情况下，其效果 显著。由此，在使用并非TDI传感器的传感器的情况下，因使分辨率变化的模式的排列、和 对于被检查物的扫描的开始点的变化，即使对相同被检查物进行摄像，所得到的图像也会 发生变化，但在使用TDI传感器的情况下，起到可相对地抑制该图像的变化的效果。工业上的实用性本发明所涉及的摄像检查方法中，即使被检查物的重复周期不是拍摄图像的分辨 率的整数倍，也能调节成整数比来进行摄像，因此能够除去被检查物上的正常的重复图案， 准确地检测出缺陷的图案，其作为对设于液晶显示装置、等离子体显示装置、有机EL显示 装置、太阳能电池等基板上、且一部分或全部具有重复图案的图案形状进行检查的方法是 有用的。
权利要求
一种摄像检查方法，其特征在于，在根据来自编码器的信号对被检查物上的等间隔的图案的图像进行摄像并检查时，进行扫描并摄像，该扫描中，所述进行摄像的间隔中的至少一个间隔成为与根据所述被检查物的图案间的间隔而决定的来自所述编码器的信号的输出间隔不相等的间隔。
2.如权利要求1所述的摄像检查方法，其特征在于，将来自所述编码器的信号的输出间隔设为Hk、将成为Hk的模式的数量设为Nk时，在由 Rs =Σ (NkXHk)+ Σ (Nk)得到的分辨率Rs成为所要的分辨率的条件下进行摄像。
3.如权利要求1所述的摄像检查方法，其特征在于，在所述等间隔的图案的间隔与根据所述被检查物的图案间的间隔而决定的来自所述 编码器的信号的输出间隔之差的累积超过阈值的情况下，进行所述不相等的间隔的扫描。
4.如权利要求1所述的摄像检查方法，其特征在于， 对应于所述被检查物中的图案的位置使摄像的间隔变化。
5.如权利要求1所述的摄像检查方法，其特征在于，所述不相等的间隔比根据所述被检查物的图案间的间隔而决定的来自所述编码器的 信号的输出间隔大。
6.如权利要求1所述的摄像检查方法，其特征在于，使用进行时间延迟积分(TDI =Time Delayed Integration)动作的元件作为进行摄像 的元件。
全文摘要
本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。
文档编号G01N21/956GK101923060SQ201010200538
公开日2010年12月22日 申请日期2010年6月2日 优先权日2009年6月4日
发明者巢之内聪裕, 福田雅典, 胁谷康一 申请人:松下电器产业株式会社