专利名称：充油型扩散硅压阻式压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对充油型扩散硅压阻式压力传感器的改进，该压力传感器可广泛应 用于工业、医疗、航空航天、石油化工和航海等领域。
背景技术：
扩散硅压力传感器是目前测量压力的一种重要传感器，随着充油型扩散硅压阻式压力传 感器在各行业的广泛应用，扩散硅压力传感器的各项技术指标的要求不断提高，但使用过程 中硅压阻的阻值随温度变化大及通过不锈钢膜片的外界杂波干扰等缺陷更突出显现出来，限 制了其测量精度的提高。
为了弥补现有技术中充油型扩散硅压阻式压力传感器容易受外界杂波干扰的缺陷，同时 也可弥补该传感器用恒压源供电时温度变化大的缺陷，本实用新型提出一种改进的充油型扩 散硅压阻式压力传感器，它可以提高扩散硅压力传感器的测量精度，使扩散硅压力传感器技 术得到进一步发展和应用。
本实用新型的充油型扩散硅压阻式压力传感器，在内硅杯的四周设置电路板，该电路板 上设有惠斯通桥臂电路，其改进之处在于，增加了由二个电容或三个电容组成的抗杂波干扰 电路。
在上述方案基础上，还增加了与扩散硅压力传感器的桥臂电阻温度特性相反的热敏电阻， 并内置于外壳内，使传感器在恒压源供电的情况下，流经电桥的电流随温度变化近似于恒流。 进一步地，所述热敏电阻设置在所述电路上，并串联在桥臂电阻与恒压源之间。 本实用新型改进的充油型扩散硅压力传感器弥补了现有扩散硅压力传感器容易受外界杂 波干扰的缺陷，同时也弥补了现有压力传感器用于恒压源供电时温度变化大的缺陷。进一步 提高了扩散硅压力传感器的测量精度，扩展了其使用范围。
发明内容


图1是现有充油型扩散硅压阻式压力传感器桥臂中电阻随温度变化示意图;
图2是现有恒压源供电方式示意图;
图3是现有恒流源供电方式示意图4是现有恒压源及恒流源供电的输出比较示意图;图5是本实用新型的恒压源供电方式示意图6是新增的抗杂波干扰电路的一个实施例示意图7是新增的抗杂波干扰电路的另一个实施例示意图8是本实用新型的俯视示意图9是图8中A-A剖视图。
图中标记1、不锈钢压紧环；2、不锈钢弹性膜片；3、陶瓷盖碗；4、不锈钢外壳；5、 玻璃封装铜引线；6、引线基座；7、电路板；8、通气孔；9、扩散硅压力传感器硅杯。
具体实施方式
现有扩散硅压阻式压力传感器，由于其中的惠斯通桥臂电阻值随温度变化而变化。桥臂 电阻随温度变化近似呈线性变化，如图1所示。同时，环境温度的变化还会相应的引起传感 器的零位输出电压、输出幅度和压力敏感度的变化。在经过常规的零点补偿及满量程温度补 偿后，扩散硅压力传感器只适用于恒流源供电方式，如图3所示，而不适用于恒压源供电， 如图2所示。图4所示为未经改进的恒压源及恒流源供电的输出比较。
参照图6、图7、图8和图9，选用适用电容组C1、 C2、 C3组成的抗杂波干扰电路，内 置于传感器的不锈钢体内进行滤波，其中，电容C1联接在正负输出端之间，电容C2联接在 负输出端与大地之间，电容C3联接在大地与正输出端之间，如图6所示；也可去掉电容C1， 保留电容C2、 C3组成的抗杂波干扰电路，如图7所示。 '
参照图5、图8和图9，为了使扩散硅压力传感器也能够适用于恒压源供电，改进方案选 用了与扩散硅压力传感器的桥臂电阻温度特性相反的热敏电阻R5，内置于不锈钢外壳4内， 最好内置于电路板7上，并串联在桥臂电阻与恒压源之间。从而使在恒压源供电的情况下， 流经电桥的电流随温度变化近似于恒流，从而适合于恒压源供电。
新增的热敏电阻R5，电容C1、 C2、 C3均置于电路板7上。
权利要求1、一种充油型扩散硅压阻式压力传感器，在内硅杯的四周设置电路板，该电路上设有惠斯通桥臂电路，其特征在于，增加了由二个电容或三个电容组成的抗杂波干扰电路。
2、 根据权利要求1所述的充油型扩散硅压阻式压力传感器，其特征在于，增加了与扩散 硅压力传感器的桥臂电阻温度特性相反的热敏电阻，并内置于外壳内，使传感器在恒压源供 电的情况下，流经电桥的电流随温度变化近似于恒流。
3、 根据权利要求1或2所述的充油型扩散硅压阻式压力传感器，其特征在于，所述热敏 电阻设置在所述电路板上，并串联在桥臂电阻与恒压源之间。
专利摘要本实用新型提出一种改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器，它在内硅杯的四周设置电路板，该电路板上设有惠斯通桥臂电路，其改进之处在于，增加了由二个电容或三个电容组成的抗杂波干扰电路。本实用新型改进的充油型扩散硅压力传感器弥补了现有扩散硅压力传感器容易受外界杂波干扰的缺陷，同时也弥补了现有压力传感器用于恒压源供电时温度变化大的缺陷。进一步提高了扩散硅压力传感器的测量精度，扩展了其使用范围。
文档编号G01L1/26GK201413213SQ20092010848
公开日2010年2月24日 申请日期2009年6月8日 优先权日2009年6月8日
发明者刚 季 申请人:刚 季