专利名称：一种超声扫描显微镜用夹具及其用于产品扫描的方法
技术领域：
本发明涉及失效分析领域，特别是涉及一种使用辅助夹具及使用该夹具进行超声扫描显微镜产品扫描的方法。
背景技术：
即超声扫描显微镜，是业内很重要的一种无损检测方法。超声波有直线传播，在不同物质界面处产生反射以及穿透信号，与遇到空气全反射的特性，可以对样品进行无损害检验。超声波在电子元器件封装内部传递时，遇到空洞，剥离，脱层等异常点或区域，会产生全反射现象，该反射讯号会与超声波正常接收质界面的反射讯号明显不同。超声扫描显微镜机台正是利用这侦测原理，对半导体元器件的封装质量，进行测试与评估，是目前半导体及元器件封装产业界必要的无损检验手法。该测试涉猎的范围有元器件封装质量检测， 元件封装湿气敏感度等级测试认证，其他Pre-condition测试样品元器件前后封装异常转变检测，异常元件筛选等。超声波只能在水里传播，通常进行产品扫描时将需要扫描的产品放入待测区，然后要加入去离子水，产品置于水中进行测量。但是有些样品不能接触水，因此需要一种新的方法来进行产品的超声扫描显微镜的检测。

发明内容
为解决现有技术中产品进行超声扫描显微镜扫描时需要将产品放入水中，而有些产品又不能接触水的问题，本发明提供以下技术方案
一种超声扫描显微镜用夹具，该夹具包括具有长方体结构的本体，所述本体的上部和底部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽之间为隔离层。作为本发明的一种优选方案，所述本体的材质为环氧树脂。作为本发明的另一种优选方案，所述隔离层的厚度小于2mm。超声扫描显微镜用夹具用于产品扫描的方法，包括以下步骤
A、将需要扫描的产品粘贴于所述第二凹槽的底部，即粘贴于所述隔离层的下表面；
B、将夹具放置于超声扫描显微镜的待测区，所述第二凹槽朝下，所述第一凹槽朝上；
C、向所述第一凹槽中加入去离子水，即可进行扫描检测。本发明有如下优点
1、本发明夹具结构简单，制作方便，成本低；
2、本发明夹具使用步骤少，操作简单，检测效率高；
3、本发明方法通过使用夹具，有效解决了产品需要放入水中才能进行超声扫描显微镜扫描的问题，实现产品不接触水的超声扫描显微镜扫描。


图1本发明夹具结构示意图。图中标号为
1 一本体21—第一凹槽22—第二凹槽
3—隔尚层。
具体实施例方式下面对该工艺实施例作详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。如图1本发明夹具结构示意图所示，一种超声扫描显微镜用夹具，该夹具包括具有长方体结构的本体1，本体ι的上部和底部分别开设有第一凹槽21和第二凹槽22，第一凹槽21和第二凹槽22之间为隔离层3。其中，本体1的材质为环氧树脂。隔离层3的厚度小于2mm，本实施例中的夹具厚度为1mm。超声扫描显微镜用夹具用于产品扫描的方法，包括以下步骤
A、将需要扫描的产品粘贴于第二凹槽22的底部，即粘贴于隔离层3的下表面；
B、将夹具放置于超声扫描显微镜的待测区，第二凹槽22朝下，第一凹槽21朝上；
C、向第一凹槽21中加入去离子水，即可进行扫描检测。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
之一，但本发明的保护范围并不局限于此， 任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
权利要求
1.一种超声扫描显微镜用夹具，其特征在于该夹具包括具有长方体结构的本体(1)， 所述本体(1)的上部和底部分别开设有第一凹槽(21)和第二凹槽(22)，所述第一凹槽(21) 和所述第二凹槽(22)之间为隔离层(3)。
2.根据权利要求1所述的一种超声扫描显微镜用夹具，其特征在于所述本体(1)的材质为环氧树脂。
3.根据权利要求1所述的一种超声扫描显微镜用夹具，其特征在于所述隔离层(3)的厚度小于2mm。
4.权利要求1所述夹具用于产品扫描的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤A、将需要扫描的产品粘贴于所述第二凹槽(22)的底部，即粘贴于所述隔离层(3)的下表面；B、将夹具放置于超声扫描显微镜的待测区，所述第二凹槽(22)朝下，所述第一凹槽 (21)朝上；C、向所述第一凹槽(21)中加入去离子水，即可进行扫描检测。
全文摘要
本发明提供了一种超声扫描显微镜用夹具，包括具有长方体结构的本体，所述本体的上部和底部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽之间为隔离层。超声扫描显微镜用夹具用于产品扫描的方法，包括以下步骤A、将需要扫描的产品粘贴于所述第二凹槽的底部，即粘贴于所述隔离层的下表面；B、将夹具放置于超声扫描显微镜的待测区，所述第二凹槽朝下，所述第一凹槽朝上；C、向所述第一凹槽中加入去离子水，即可进行扫描检测。本发明夹具结构简单，制作方便，成本低；本发明夹具使用步骤少，操作简单，检测效率高；本发明方法通有效解决了产品需要放入水中进行超声扫描显微镜扫描的问题，实现产品不接触水的超声扫描显微镜扫描。
文档编号G01N29/06GK102364337SQ20111023054
公开日2012年2月29日 申请日期2011年8月11日 优先权日2011年8月11日
发明者杜泽明 申请人:上海华碧检测技术有限公司