专利名称：一种用于激光诱导击穿光谱的光学探头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光学探头，具体地说是一种用于激光诱导击穿光谱的光学探 头。
背景技术：
在现有的激光诱导击穿光谱研究中，通常采用侧向散射光路，侧向散射光路结构 简单，一般应用于实验室，而无论是光路布置和使用方便的角度，对于现场原位探测，后向 散射光路都更适合。目前的商业化的后向散射光路光学探头，均采用二向色镜实现激发光 与信号光的同轴，成本较高；另外，对于激光诱导击穿光谱，信号光范围为200 900nm，一 般商业化的1064nm 二向色镜波长透过范围为400 700nm，难以满足要求。
发明内容本实用新型针对激光诱导击穿光谱技术特点，提供一种全光谱范围、成本低廉、易 于实现的光学探头装置。本实用新型由光学探头壳体、壳体上的平面石英玻璃窗口、石英透镜窗口和光纤 接头、以及壳体内的孔径光阑、透镜和全反镜几部分组成，其特征是采用宽带介质膜高反 镜代替常规的二向色镜，实现发射和接收的同轴，成本低廉，相比于二项色镜镀膜技术，一 方面易于选材，更重要的是，可实现全光谱范围的探测。对于激光诱导击穿光谱，一般采 用1064nm波长脉冲激光器作为激发光源，其光谱探测范围为200 900nm，目前商业化的 1064nm 二向色镜波长透过范围为400 700nm，不能满足探测要求。宽带介质膜高反镜在 200 900nm范围内反射率> 99%，对1064nm透过率大于90%，通过宽带介质膜高反镜可 以方便的实现1064nm激发光的出射和200 900nm信号光的同轴收集。本实用新型利用 普通的宽带介质膜高反镜代替二向色镜，成本低，易于购置和实现。下面附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型光学探头装置结构示意图；图中1为壳体，2为石英平面玻璃窗口，3为孔径光阑，4为第一宽带介质膜高反 镜，5为石英透镜窗口，6为第二宽带介质膜高反镜，7为光纤耦合透镜，8为光纤接头。
具体实施方式
如图1所示，用于诱导击穿的1064nm激光先照射到壳体1上的平面石英玻璃窗口 2，通过自准直方法确保入射光垂直入射，入射激光经过孔径光阑3和第一宽带介质膜高反 镜4，然后由石英透镜窗口 5聚焦到样品，样品被击穿后产生的等离子体信号再经石英透镜 窗口 5收集、准直后，然后由第一宽带介质膜高反镜4反射至第二宽带介质膜高反镜6，然 后由第二宽带介质膜高反镜6反射的信号光经光纤耦合透镜7耦合进入光纤接头8处的光
3纤，再由光纤导入光谱仪进行分析。
权利要求一种用于激光诱导击穿光谱的光学探头，由光学探头壳体(1)、壳体上的平面石英玻璃窗口(2)、石英透镜窗口(5)和光纤接头(8)、以及壳体内的孔径光阑(3)、第一宽带介质膜高反镜(4)、第二宽带介质膜高反镜(6)和光纤耦合透镜(7)组成，其特征在于宽带介质膜高反镜发射和接收是同轴的。
2.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导击穿光谱的光学探头，其特征在于该光路 装置所用的第一宽带介质膜高反镜(4)和第二宽带介质膜高反镜(6)的光谱反射范围为 200 900nm。
专利摘要本实用新型为一种用于激光诱导击穿光谱的光学探头，该探头由壳体、壳体上的平面石英玻璃窗口、石英透镜窗口和光纤接头、以及壳体内的孔径光阑、宽带介质膜全反镜和光纤耦合透镜组成，其特征是采用200～900nm宽带介质膜高反镜，实现发射和接收的同轴。本实用新型利用普通的宽带介质膜高反镜代替二向色镜，光谱探测范围宽、效率高，可方便的应用于激光诱导击穿光谱现场探测中。
文档编号G01N21/01GK201583497SQ20092035019
公开日2010年9月15日 申请日期2009年12月29日 优先权日2009年12月29日
发明者张凯临, 张宾, 李颖, 郑荣儿, 郭金家 申请人:中国海洋大学