专利名称：可复用探针卡的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体集成电路制造装置，特别是涉及一种集成电路可复用探针卡。
背景技术：
在集成电路测试中，探针卡是自动测试仪与待测器件的接口。在使用过程中，每个产品焊盘位置固定，所以探针卡针的位置也是固定的，一个产品对应一张针卡。在产品数量比较多且更新换代比较快的情况，针卡会堆积，用完了也无法重复利用，导致浪费。如图I 所示，为公知的探针卡结构示意图，其探针3是通过树脂4固定在陶瓷环5上，而陶瓷环5通过增强板I固定在印刷电路板2上，其采用螺栓6进行固定，即探针相对于芯片焊盘的位置是固定的。可是不同产品有不同的焊盘位置以及大小，这样一个产品只能对应一张针卡。在产品数量比较多且更新换代比较快的情况，针卡会堆积，用完了也无法重复利用，导致浪费。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可复用探针卡，能实现重复利用。为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种可复用探针卡，包括调节装置、固定探针装置、固定针座装置和探针，所述调节装置通过固定针座装置固定在印刷电路板上方，所述固定探针装置活动连接在所述调节装置上，探针可插拔的安装在固定探针装置上。进一步的，所述调节装置有一底座，底座上有一通孔，用于安装所述固定针座装置，在所述底座上方固定连接有调节装置主体，在调节装置主体上设置有X旋钮、Y旋钮、Z旋钮，分别用于调节连接器在X轴、Y轴及Z轴上进行微动。进一步的，所述固定探针装置活动连接在所述调节装置主体。进一步的，所述固定探针装置有一可插拔孔。进一步的，所述固定针座装置为一个或多个。进一步的，所述印刷电路板设置有多个通孔，用于安装所述固定针座装置。进一步的，所述通孔之间的距离为5mm-50mm。进一步的,所述探针为铼鹤针。进一步的，所述探针针尖大小为I微米-30微米。本实用新型可复用探针卡可以重复利用可以根据不同产品的焊盘位置，调整探针的位置，并做相应微调以及固定，实现多产品复用的功能。
以下结合附图
和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明图I是公知的探针卡结构示意图；图2是本实用新型可复用探针卡结构示意图；[0017]图3是本实用新型可复用探针卡调节装置示意图；图4是本实用新型可复用探针卡使用状态平面示意图。主要附图标记说明增强板I印刷电路板2探针3树脂4陶瓷环5螺栓6调节装置21 固定探针装置22固定针座装置23印刷电路板24·探针25底座211通孔212连接器213X 旋钮 214Y 旋钮 215Z旋钮216调节装置主体217通孔41待测器件A
具体实施方式
为使贵审查员对本实用新型的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，以下配合附图详述如后。如图2所示，为本实用新型可复用探针卡结构示意图，包括调节装置21、固定探针装置22、固定针座装置23及探针25 ;所述调节装置21通过固定针座装置23固定在印刷电路板24上方，所述固定针座装置23可以为绝缘螺栓或者绝缘螺丝，所述的固定针座装置23为可拆卸的，可以根据需要将可复用探针卡固定在不同的位置；所述固定探针装置22活动连接在所述调节装置21上，固定探针装置22上装置有探针可插拔孔(图上未标出)，探针25插在固定探针装置22里面，探针可以为铼钨针，针尖大小可以为I微米-30微米之间。其中固定探针装置22采用外圈绝缘内圈导电的材料，从而使探针25插进去之后，实现导电。如图2、图3所示，调节装置21包括底座211，底座211上有一通孔212，用于安装固定针座装置23，在底座211上方固定连接有调节装置主体217，在调节装置主体217上设置有X旋钮214、Y旋钮215、Z旋钮216，用于分别调节连接器213在X轴、Y轴及Z轴上进行微动。固定探针装置22活动连接在调节装置主体217上并与连接器213可滑动接触，当X旋钮214、Y旋钮215、Z旋钮216控制连接器213进行微动时，同时驱动固定探针装置22运动，从而带动探针25运动。其中底座211采用为绝缘材料制成。如图4所示，为本实用新型可复用探针卡的使用状态示意图，如图所示，对一个待测器件A可以同时使用多个可复用探针卡进行测试，每个可复用探针卡可以有一个或者多个固定针座结构23 ;在印刷电路板24上设置有多个固定针座结构23的通孔41，每个通孔41之间的距离可以为5mm-50mm。从而实现灵活移动和位置多选；针对不同产品，实现调节装置与待测器件之间的粗调，在通过调节装置21对探针25进行微调，从而实现探针卡可复用的目的。以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种可复用探针卡，其特征在于，包括调节装置、固定探针装置、固定针座装置和探针，所述调节装置通过所述固定针座装置固定在印刷电路板上方，所述固定探针装置活动连接在所述调节装置上，所述探针可插拔的安装在所述固定探针装置上。
2.如权利要求I所述可复用探针卡，其特征在于所述调节装置有一底座，底座上有一通孔，用于安装所述固定针座装置，在所述底座上方固定连接有调节装置主体，在调节装置主体上设置有X旋钮、Y旋钮、Z旋钮，分别用于调节连接器在X轴、Y轴及Z轴上进行微动。
3.如权利要求2所述的可复用探针卡，其特征在于，所述固定探针装置活动连接在所述调节装置主体上。
4.如权利要求I所述的可复用探针卡，其特征在于，所述固定探针装置有一可插拔孔。
5.如权利要求I所述的可复用探针卡，其特征在于，所述固定针座装置为一个或多个。
6.如权利要求I所述的可复用探针卡，其特征在于，所述印刷电路板设置有多个通孔，用于安装所述固定针座装置。
7.如权利要求6所述的可复用探针卡，其特征在于，所述通孔之间的距离为5mm-50mm。
8.如权利要求I所述的可复用探针卡，其特征在于，所述探针为铼钨针。
9.如权利要求I所述的可复用探针卡，其特征在于，所述探针针尖大小为I微米-30微米。
专利摘要本实用新型公开了一种可复用探针卡，包括调节装置、固定探针装置、固定针座装置和探针，所述调节装置通过固定针座装置固定在印刷电路板上方，所述固定探针装置活动连接在所述调节装置上，探针可插拔的安装在固定探针装置上。本实用新型可复用探针卡可以重复利用可以根据不同产品的焊盘位置，调整探针的位置，并做相应微调以及固定，实现装置复用的功能。
文档编号G01R1/067GK202794251SQ20122048133
公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月19日 优先权日2012年9月19日
发明者马香柏 申请人:上海华虹Nec电子有限公司