专利名称:一种便于磨抛透射电镜试样的装置的制作方法
技术领域:
本实用新型属于金属材料磨抛试样设备领域,提供了一种磨抛透射电镜试样的装置,从而解决了透射电镜前期制备的困难。
背景技术:
用于透射电子显微镜观察的样品,由于电子的穿透能力弱,要求其厚度极薄,一般为5-200nm之间。大块状或板状的金属材料试样,一般需要经过(I)机械减薄;(2)化学减薄;(3)电解抛光减薄三个エ艺才可获得合适厚度的透射电镜试样。通常,经机械减薄后的金属材料需按透射电镜试样的尺寸要求切成直径Φ3πιπι的圆片,之后对直径Φ3πιπι的圆片采用后两个エ艺再减薄,以得到便于电子穿透的更多薄区。在上述三个エ艺中,机械减薄是成功制备试样的关键。若机械减薄后的试样厚度在100 200 μ m之间,此厚度适合剪切成直径Φ3πιπι的圆片,但后续两个エ艺施行困难,难以获得适于透射电镜观察的大量薄区。若机械减薄后的试样较薄,在切成直径Φ 3mm的圆片过程中材料易碎裂。本实用新型提供一种便于机械减薄透射电镜试样的装置,采用此装置可直接将直径Φ3_的圆片厚度减至
15μ m左右。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种制备透射电子显微镜试样的装置,解决机械减薄透射电镜试样过程中的厚度问题。透射电镜磨抛装置剖面图如图I所示。本实用新型提供了一种制备透射电子显微镜试样的装置,由带有中心通孔的柱体和螺栓构成;螺栓放置在柱体中心通孔内且与柱体紧密扣合;螺栓的上半部分为标准螺栓,下半部分为与标准螺栓同轴且一体的延长杆,此延长杆是直径为3mm的圆柱杆。所需进行磨抛的试样卡紧在柱体中心通孔的底部。通过旋转螺栓,控制延长杆位置,从而可便捷地将直径Φ3_的圆片试样机械减薄到所需厚度。本实用新型所述的制备透射电子显微镜试样的装置工作过程如下首先将螺栓从顶部拧起,从而带动螺栓底部的延长杆向上提升。其次将机械减薄后剪切得到的直径Φ3_的圆片镶嵌在柱体底部的中心孔处,使薄圆片表面与柱体底部处于同一水平面上。再次,通过旋转螺栓使延长杆向下运动,当延长杆触及薄圆片时,根据最终所需的磨抛厚度,将薄圆片一点点顶出,进行机械研磨,直到减薄至所需尺寸。本实用新型具备以下优点1、实用性强,针对切成Φ3πιπι的各种圆片都可进行磨抛操作。2、直观便捷地控制磨抛过程中对圆片厚度的把握。3、提高效率,对剪切成Φ 3mm的圆片进行再磨抛,可提高制备透射电镜试样的效率和成功率。
图I是本实用新型的装置示意图。
具体实施方式
结合附图对本实用新型所述的制备透射电子显微镜试样装置的结构加以说明。由中心通孔的柱体I、螺栓2构成。柱体中心孔结构为偏上部分为与螺栓扣合的螺纹孔;偏下部分为Φ3πιπι的光孔,此处与螺栓下半部的延长杆紧密扣合。·
权利要求1.一种便于磨抛透射电镜试样的装置,其特征在干由带有中心通孔的柱体和螺栓构成;螺栓放置在柱体中心通孔内且与柱体紧密扣合;螺栓的上半部分为标准螺栓,下半部分为与标准螺栓同轴且一体的延长杆,此延长杆是直 径为3mm的圆柱杆。
专利摘要一种便于磨抛透射电镜试样的装置属于金属材料磨抛试样设备领域。其特征在于由带有中心通孔的柱体、螺栓构成;螺栓放置在中心通孔内且与柱体紧密扣合;螺栓的上半部分为标准螺栓,下半部分为与标准螺栓同轴且一体的延长杆,此延长杆是直径为3mm的圆柱杆。通过旋转螺栓使延长杆向下运动,当延长杆触及圆片时,根据所需最终的磨抛厚度,将薄圆片一点点顶出,进行机械研磨,直到减薄至所需尺寸。本装置具备以下优点1、实用性强,针对切成φ3mm的各种圆片都可进行磨抛操作。2、直观便捷地控制磨抛过程中对圆片厚度的把握。3、提高效率,对剪切成φ3mm的圆片进行再磨抛,可提高制备透射电镜试样的效率和成功率。
文档编号G01N1/32GK202420943SQ201120552189
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者张姗, 范爱玲, 马捷, 魏建忠, 黄浪 申请人:北京工业大学