专利名称：具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体行业的晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备。
背景技术：
晶圆检测设备是半导体装备行业中重要的精密检测测量设备。在高精度自动重复测量时晶圆检测设备中的显微镜通常需要时时聚焦，其原因是载物台时常会发生的微小下沉，使被检测晶圆的表面缓慢地远离焦面直至脱离焦面而无法进行相关检测。为了克服被检测晶圆的表面离焦困扰、保证晶圆检测工作的连续完整进行、提高检测效率，必须解决载物台下沉的问题。
发明内容为了克服晶圆检测设备的载物台时常会发生微小下沉，影响晶圆检测工作的连续完整进行、检测效率不高的问题，本实用新型提供一种结构简单合理的具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备。实现上述目的的技术解决方案如下具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备包括机座、显微镜机构、载物台(运动平台)、载物台升降机构、大理石和气浮平台支架，载物台升降机构包括电机，电机与显微镜粗调螺母是通过显微镜粗调压紧环、电机固定套筒、电机锁紧螺钉、显微镜粗调压紧环顶丝连接起来，改进在于气浮平台支架的大理石上设有U形支架，U形支架两侧支杆的上部分别设有顶紧螺栓，电机上的电机固定套筒部分位于U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧。所述U形支架两侧支杆的上部分别设有两个顶紧螺栓。本实用新型的有益技术效果体现在下述几个方面1、本实用新型不用改变晶圆检测设备中显微镜的内部结构布局，其配件加工简单，制造成本低。2、改进部分结构安装调试方便。3、本实用新型能保证晶圆检测工作的连续顺利与完整。4、该晶圆检测设备在高精度自动重复测量时，不用时时聚焦，节约测量时间，有效提高检测效率。

图1为本实用新型结构示意图。图2为图1的局部放大图。
具体实施方式
以下结合附图，通过实施例对本实用新型作进一步地描述。[0015]实施例参见图1和图2，具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备包括机座、显微镜机构 1、载物台(运动平台)2、载物台升降机构、大理石3和气浮平台支架4，载物台升降机构包括电机8，电机8与显微镜粗调螺母7是通过显微镜粗调压紧环5、电机固定套筒6、电机锁紧螺钉9、显微镜粗调压紧环顶丝10连接起来。电机8下方的气浮平台支架4的大理石3台面上设有U形支架11，U形支架11的底部与大理石3台面的表面贴平，不得有悬空。U形支架11两侧支杆的上部分别设有U形支架顶紧螺栓12。电机上的电机固定套筒部分位于 U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧。顶紧螺栓12的旋入力要均勻，用力大小约为2. OKg左右。支撑机构的作用原理U形支架支撑机构以大理石表面为定位支撑面，将显微镜粗调螺母固定，从而使载物台不会因粗调螺母的松动而发生下沉不良。
权利要求1.具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备，包括机座、显微镜机构、载物台、载物台升降机构、大理石和气浮平台支架，载物台升降机构包括电机，电机与显微镜粗调螺母是通过显微镜粗调压紧环、电机固定套筒、电机锁紧螺钉、显微镜粗调压紧环顶丝连接起来，其特征在于气浮平台支架的大理石上设有U形支架，U形支架两侧支杆的上部分别设有顶紧螺栓，电机上的电机固定套筒部分位于U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧。
2.根据权利要求1所述的具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备，其特征在于所述U形支架两侧支杆的上部分别设有两个顶紧螺栓。
专利摘要本实用新型涉及具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备。该设备包括机座、显微镜机构、载物台(运动平台)、载物台升降机构、大理石和气浮平台支架，改进在于在载物台升降机构的电机下方的气浮平台支架的大理石台面上设有U形支架，U形支架两侧支杆的上部分别设有顶紧螺栓，电机上的电机固定套筒部分位于U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧，从而使显微镜粗调螺母固定不动。本实用新型不用改变晶圆检测设备中显微镜的内部结构布局，改进部分结构安装调试方便，制造成本低；能保证晶圆检测工作的连续顺利与完整；在高精度自动重复测量时，不用时时聚焦，节约测量时间，有效提高检测效率。
文档编号G01N21/84GK201974385SQ201120008248
公开日2011年9月14日 申请日期2011年1月13日 优先权日2011年1月13日
发明者刘文海, 赵华, 陈新宏 申请人:合肥芯硕半导体有限公司