专利名称：调准夹具的一起浮动地接合电子部件的两个邻接区段的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于调准电子部件的调准夹具。并且，本发明涉及一种载体。除此以外，本发明还涉及一种使用该载体的方法。
背景技术：
集成电路通常制造在半导体晶片上。集成电路具有多种用途并且可见于通用电气 装置中。根据制造它们的目的，在将集成电路与诸如电阻器、电容和感应器之类的其它电子 部件装配在一起之前，对它们进行封装、标记和测试。例如，在给定的温度、压力、倾角和不 同的加速类型下对MEMS (微电子机械系统)部件进行测试。由此，电子部件的整个加工可 划分为纯制造过程和修整电子部件的接触区域(contactpatterns)后的过程。存在两类处 理电子部件的机器处理单一电子部件的所谓“重力式测试分选机(Gravity handler) ”以 及处理所谓支板(strip)的“支板测试分选机”。US 2003/0017629A1公开了一种用于在测试操作期间支承单一电子装置的设备， 其包括主体和支承构件，其中，所述支承构件由不导电的高电阻率的材料制成并包括多个 凹部，每个所述凹部均适于接收单独的单一装置。本文还公开了一种用于测试这种装置的 方法，其中这些装置在整个测试过程中被承载在包括一个或多个环境控制腔在内的支承构 件上。US 2006/0154386A1公开了一种被提供用于调准放置在载体上的多个半导体装置 的设备和方法。使用时将调准导件邻近各个装置安置，并设置成使得这些调准导件对应于 每个半导体装置的预期调准位置。为了调准，通过定位装置来保持半导体装置，该定位装置 包括多个保持件，每个保持件均被构造成产生力来保持半导体装置。还设置有致动器，其可 操成移动该定位装置和保持件，以将半导体装置压靠在调准导件上，从而利用所述调准导 件为半导体装置进行定向，直到将它们调准。US 7，156，680B2公开了一种插件和设有该插件的电子部件处理设备。为了 提供能够可拆卸地附连至插件本体的导芯和能够可拆卸地附连有导芯的插件本体，US 7，156, 680B2提供了一种能够以可拆卸的方式附连至插件本体的导芯，其包括支承部分， 该支承部分能够支承区域阵列型电子部件的外部端子面，以使该区域阵列型电子部件的外 部端子面裸露于插口的连接端子的方向；钩接收件，该钩接收件能够与设置于插件本体的 钩部以可松开的方式接合；和插件本体，该插件本体能够与导芯以可拆卸的方式附连，该插 件本体包括电子部件引导部分，该电子部件引导部分包括附连导芯的导芯附连插口 ；以 及电子部件入口，该电子部件入口与导芯附连插口相连，从而可将电子部件引导至附连于 导芯附连插口的导芯；和钩部，该钩部能够与设置于导芯的钩接收件以可松开的方式接合。US 5，596，229A公开了一种芯片载体结构，其用于容纳具有电子接触垫的芯片载 体，该芯片载体结构具有用于芯片载体的定位结构和配合成形成容纳所述芯片载体的相配 结构的有槽结构，该有槽结构的槽与芯片载体的间隔件对准，以便提供从相配的定位结构和有槽结构的外部到内部的通往间隔件的电气和机械接入。

发明内容
需要一种能够以有效的方式调准电子部件的系统。为了实现上述目的，提供了一种用于调准电子部件的调准夹具、一种包括多个调 准夹具的载体、以及一种使用载体的方法。根据本发明的示例性实施方式，提供了一种用于调准电子部件的调准夹具，其中， 该调准夹具包括接收器(其可表示用以接收和容纳某物的装置)，该接收器适于(具体来 说是用于)接收电子部件并具有第一邻接(具体来说是接触)区段(具体来说是节段)和 第二邻接区段。调准夹具进一步包括第一弹性(具体来说是可伸缩的、回弹性的或有弹力 的)单元(具体来说是用来执行一种特定功能的设备的零部件或零件)和第二弹性单元， 其中，第一邻接区段经由第一弹性单元可伸缩地安装，并且第二邻接区段经由第二弹性单 元可伸缩地安装。第一邻接区段和第二邻接区段可一起适于浮动地(具体来说是连接或构 建成以便进行平稳地操作和调节)接合电子部件(具体来说是与电子部件相接触)。根据本发明的另一示例性实施方式，提供一种用于调准多个电子部件的载体，其 中该载体包括多个具有上述特征的调准夹具。根据本发明的再一示例性实施方式，提供了一种使用具有上述特征的载体的方 法，其中，该方法包括-致动夹持机构以在所述接收器中露出大于待接收的所述电子部件(具体来说是 模制件)的开口；-将所述电子部件定位(具体来说是放置)在所述接收器中的所述开口中(具体 来说是在露出开口之后)；-致动所述夹持机构以缩小所述开口的尺寸，使得在所述载体的所述接收器内调 准所述电子部件(具体来说是在定位之后)。术语“调准夹具”可具体表示用于在加工或处理过程中支承实体结构的装置。“实 体结构”在本文中可具体表示在加工或处理的过程中在任一阶段对其进行操作的材料、材 料块或电子部件。术语“调准”可具体表示将某物进行排列或校直。例如，可将电子部件与固定的邻 接区段调准。术语“电子部件”可具体表示适于被安装在诸如印刷电路板之类的电子支承基片 上的任意部件。这种电子部件还可通过通常称之为“处理机”的处理机器进行处理。电子 部件的示例是电子芯片，即封装的印模(die)或裸露的未封装印模。术语“接收器”可具体表示用以接收和容纳某物的装置，或者更为具体地表示用于 电子部件的容器。术语“邻接区段”可具体表示接触节段，即接收器的直接邻接电子部件的部分。术语“浮动”可具体表示一种以在没有限定的外部控制的情况下允许一定漂移的 方式安装电子装置的方式。特别地，“以浮动的方式接合”可表示电子部件可与第一邻接区 段接触并与第二邻接区段接触，并可由第一邻接区段和第二邻接区段所保持。电子部件可 在没有任何摩擦力或带有可忽略的摩擦力的情况下改变它们相对于底座支承区段的位置。换言之，以可浮动的方式安装的电子装置可表示电子装置的安装状态，在该安装状态下，它 可被保持在两个邻接部分之间，但允许对电子装置的位置进行微小的自调节。术语“载体”可具体表示一种用于承载的容器或一种承载的装置。载体可以是条 状构件，其适于将多个电子部件承载在载体的接收器中。这种载体可结合处理机使用，从而 允许利用载体来处理电子装置，用于随后实施对电子部件的测试(例如功能测试)。术语“夹持”可具体表示将载体设计成使部件合拢用于保持或压紧电子部件。可 以被合拢到一起的部件可以是第一邻接区段和第二邻接区段。该夹持可以是弹性的。术语 “弹性的”可具体表示可施加具体为可伸缩的、回弹性的力或弹簧力，诸如胡克力。根据本发明的示例性实施方式，可提供一种调准夹具，该调准夹具通过两个邻接 区段以自作用的方式接合电子部件，这两个邻接区段均以可伸缩的方式安装，以使电子部 件能够浮动。第一邻接区段可经由第一弹性单元以可伸缩的方式安装，第二邻接区段可经 由第二弹性单元以可伸缩的方式安装。在没有被接收的电子部件的情况下，在无应力的位 置中，接收器的尺寸可小于待接收的电子部件。第一邻接区段和/或第二邻接区段适于被 拉伸以提供与接收器的接收尺寸相配的开口。电子部件可被接收在接收器的接收尺寸中。 第一邻接区段和第二邻接区段可进行从接收器的接收尺寸到接收器的夹持尺寸的转变，其 中，在接收器的夹持尺寸中，第一邻接区段和第二邻接区段适于接合电子部件，但是仍然允 许电子部件在接收器中的位置具有一定自由度。从接收器的接收尺寸到接收器的夹持尺寸 的转变可以自作用的方式发生。第一邻接区段和第二邻接区段浮动地接合电子部件。电子 部件可通过减少第二弹性单元的张力而朝第一邻接区段滑动，并且可通过减少第二弹性单 元的张力朝第二邻接区段滑动。相对于滑动力而言，摩擦力是较小的。这种系统可允许获 得稳定性和灵活性。在一种实施方式中，可提供用于调准多个部件的载体，其中，该载体包括多个调准 夹具。这多个调准夹具可被设置成矩阵的形式(即成行和列设置)并且可固定安装在一起 以形成载体。该载体可具有与单个调准夹具相似的特性，但是可应用在多个电子部件上，即 可特别是以一体形成的方式同时承载多个电子部件。可通过载体的调准夹具在接收器中以 限定的方式调准电子部件。由此，该载体适于允许调准多个电子部件。根据本发明的示例性实施方式，可提供一种使用该载体的方法，其中，可将电子部 件放置在载体的暂时扩大的接收器中，并且随后可通过夹持机构将电子部件弹性地夹持在 尺寸缩小的接收器中并在其中调准该电子部件。接收器的扩大尺寸到夹持尺寸的转变可以 自作用的方式发生。在下文中，将描述调准夹具的其它示例性实施方式。但是，这些实施方式同样适用 于所述载体和所述方法。调准夹具可包括形成于第一邻接区段处的可致动结构，其中，该可致动结构可由 (处理装置等的)对应的致动结构致动，用于操纵接收器。可致动结构可以是例如凹部、突 起等，其可由通过致动结构控制的任意适当的施力机构(例如施加机械力、电力、磁力等) 致动。致动结构可以被对应地构造(例如成形和/或确定尺寸)成可致动结构，并且可以例 如是突起或任意其它施力元件，它们可利用任意适合的施力机构(例如施加机械力、电力、 磁力等)来致动该可致动结构，用于以预期的方式来控制该接收器(例如用于暂时扩大或 缩小接收器的开口)。
可致动结构(具体来说是可致动孔、可致动销或可致动臂)可适于被致动，进而致 动弹性单元。可致动结构可被设置在接收器的旁边(具体来说是设置在接收器的边界区域 的旁边)。可致动结构和第一邻接区段可形成刚性构件。可以从将要接收电子部件的一侧 (由通过处理机的控制器控制的致动元件)触及该可致动结构。在一种实施方式中，仅第一邻接区段和第二邻接区段一起适于浮动地和侧向地接 合电子部件。换言之，电子部件可通过两个以可滑动的方式安装的邻接区段被单独保持在 侧向侧面部分处。没有刚性固定装置限制接收在接收器中的电子部件在弹性单元于其中是 可压缩的/可扩展的平面中、即平行于电子装置主的平面的平面中的平面漂移的自由度。 特别地，在一种实施方式中，电子部件可在没有侧向邻接空间固定的刚性邻接区段的情况 下被保持住。所有(两个或更多个)的邻接区段都可以以可伸缩的方式进行装配。弹簧元 件可沿对角设置在接收器的两个相对的拐角区域上。弹簧元件还可沿接收器的平行的侧面 部分设置。在由弹簧元件施加的力的主平面中没有刚性邻接区段。这可避免被保持在接收 器中的电子部件破裂，这是因为接合在电子部件上的所有的力都可以可伸缩的方式接合。 相对的弹簧元件的弹簧刚度可适于调准夹在中间的电子部件。弹簧元件的弹簧刚度和相对 的弹簧元件可以是不同的，以将电子部件调准至弹簧刚度值较小的弹簧元件。调准夹具可包括形成于第一邻接部分和/或第二邻接部分处的可致动结构，其 中，该可致动结构可以是能够由(处理装置等的)对应的致动结构进行致动，用于操纵接收 器。可致动结构可以是例如凹部、突起等，其可由通过致动结构控制的任意适当的施力机构 (例如施加机械力、电力、磁力等)来致动。该致动结构可以被对应地构造(例如成形和/ 或确定尺寸)成可致动结构，并且可以例如是突起、销或任意其它的施力元件，它们可利用 任意适合的施力机构(例如施加机械力、电力、磁力等)来致动该可致动结构，用于以预期 的方式来控制该接收器(例如用于暂时扩大或缩小该接收器的开口)。可致动元件(具体来说是可致动孔、可致动销或可致动臂)可适于被致动，以进而 致动弹性单元。可致动元件可被设置在接收器的旁边(具体来说是设置在接收器的边界区 域的旁边)。可致动元件和第一邻接区段可形成刚性构件。可致动元件和第二邻接区段可 形成另一刚性构件。可以从将要接收电子部件的一侧(由通过处理机的控制器控制的致动 元件)触及可致动元件。可致动孔可位于第一邻接区段的L形区域中。销可垂直于弹性单 元的致动力的方向插入到可致动孔中。调准夹具的上述可致动结构还可以指代调整单元，其可适于由上述致动结构致动 以通过平移运动和旋转运动来调整第一邻接区段和第二邻接区段的方位。这种调整单元可 适于调整第一邻接区段和第二邻接区段的两个成角度的邻接(具体来说是接触)元件(具 体来说是刚性的且笔直的区段或点)的直线位置和角位置。邻接区段可包括一个刚性的且 笔直的邻接元件，并且邻接区段可包括两个成角度的刚性的且笔直的邻接元件。至少两个 成角度的邻接元件的直线位置和角位置可限定电子部件的直线位置和角位置。例如，矩形 的直线位置和角位置或在本例中电子部件的直线位置和角位置可由矩形或电子部件的两 个成角度的侧面的位置和方位来限定。电子部件的两个成角度的侧面可与至少两个成角度 的邻接元件邻接。调整单元可包括至少两个调整结构(具体来说是孔、销或臂)，其固定安 装于至少两个成角度的邻接元件。可由安装于两个成角度的邻接区段处的这些调整结构中 的两个形成的调整单元可限定被接合在第一邻接区段和第二邻接区段之间的电子部件的
7直线位置和角位置。调整单元可适于被致动用于扩大接收器的尺寸。由于接收器和接收在接收器中的 电子部件的直线位置和角位置可由至少两个与调整单元相互作用的成角度的邻接元件来 限定，因此调整单元可适于被从电子部件的主平面中的电子部件的成角度的侧面部分上移 除。调整单元与可致动机构可以是完全相同的。因此，调整单元允许扩大接收器的尺寸。可 制动结构和调整单元可位于接收器的旁边(具体来说是位于接收器的边界区域的旁边)。 当电子部件位于接收器中或被放置在接收器中时，可从接收电子部件的一侧触及调整单元 和可致动结构。调整单元的结构可适于使电子部件旋转和重新定位，并且调整单元可适于 扩大接收器的尺寸。第一邻接区段可适于在电子部件上施加第一力，并且第二邻接区段可适于在电子 部件上施加第二力，其中，第一力和第二力可至少部分彼此相对(具体来说是彼此相对地、 即以逆平行的方式施加)。可在调准夹具的接收器中调准电子部件。第一邻接区段和第二 邻接区段邻接在电子部件的侧面部分上。根据所施加的力，在施加在电子部件上的力至少 不是指向一个方向的情况下，可安置并调准电子部件。当由第一邻接区段和第二邻接区段 施加在电子部件上的两个力至少部分相对时，通过包括摩擦力在内，电子部件可静止。可调整第一邻接区段和第二邻接区段，以将第一力施加在接收器的主平面中(即 力矢量可位于主平面内)，并且以平行于该接收器的主平面的方式施加第二力。接收器的 主平面可通过平行于调准夹具的主平面来限定。在将由第一邻接区段和第二邻接区段施加 的力施加在一个平面中的情况下，可以适当的方式调准电子部件。第一邻接区段和第二邻 接区段可邻接在电子部件的侧面部分上。通过将第一力和第二力都施加在接收器的主平面 中，电子部件上的合力不会表现为倾向于使电子部件翻出接收器外的转矩。通过平行于接 收器的主平面的力，可在接收器中稳固地调准电子部件。接收器可进一步包括底座支承区段，其形成为平行于接收器的主平面的支承表面 (具体来说是用以通过充当基座而将某物支承在适当的位置中)。由底座支承区段施加的 支承力可作用在电子部件的主平面上，具体来说可以是逆平行于重力的。电子部件可设置 在接收器中，以使接收器的主平面与电子部件的主平面是平行的。作用在电子部件上的底 座支承区段可平行于接收器的主平面，以通过底座支承区段在接收器的主平面中的支承来 调准电子部件。将电子部件支承在接收器的主平面中的优点可以是，电子部件上的载荷可 以被分散在电子部件的主平面的不同部分上，并且第一邻接区段的第一力和第二邻接区段 的第二力可以平行于底座支承区段施加。由此，第一力的定向与第二力的定向可防止底座 支承区段上的电子部件破裂。底座支承区段可适于施加垂直于第一力和第二力的支承力。由底座支承区段施加 的支承力可适于以与其主平面成直角的方式调准电子部件。支承力垂直于由第一邻接区段 和第二邻接区段所施加的力的技术优点可以是没有可使电子部件倾斜出调准夹具的主平 面的转矩施加在电子部件上。由此，电子部件可相对于其主平面保持在调准位置中。但是， 由于第一邻接区段和第二邻接区段的弹性安装架，转矩可作用在处于主平面内的电子部件 上，从而允许可旋转的浮动。因此，电子部件可产生平移浮动和可旋转的浮动。以可伸缩的方式安装的第一邻接区段和以可伸缩的方式安装的第二邻接区段可 适于进行平行于接收器的主平面的移动。由以可伸缩的方式安装的邻接区段所施加的力以平行于接收器的主平面的方式施加。用以调准电子部件的力可由弹性单元提供，该弹性单 元可通过其自身在接收器的主平面中的自作用移动而在接收器的主平面中移动该可伸缩 地安装的邻接区段和电子部件。由此，可将弹性单元的力在一平面中施加在电子部件上，在 该平面中，电子部件是显著结实或稳定的。特别地，调准夹具可包括设置在第一弹性单元的下方和第二弹性单元的下方的底 座支承板，其中，第一弹性单元和第二弹性单元适于以平行于至少部分由底座支承板支承 的接收器的主平面的方式进行移动。调准夹具可包括底座支承板，弹性单元设置在该底座支承板的上方，其中，弹性单 元可适于进行平行于至少部分由底座支承板支承的接收器的主平面的移动。在一种实施方 式中，底座支承板和弹性单元可平行于接收器的主平面并平行于整个调准夹具的主平面设 置。弹性单元可设置在该底座支承板上，并且弹性单元可沿该底座支承板移动。至少在一个 方向上(其可以是朝底座支承板定向的方向)，可将弹性单元紧固住以免产生不希望的变 形。底座支承板可以是平坦的或者可以具有一个或多个适于引导弹性单元的移动的凹部。调准夹具可包括底座支承板和接收板，弹性单元可被设置在该底座支承板和该接 收板之间。弹性单元可适于进行平行于接收器的主平面并至少部分由底座支承板和接收板 引导(具体来说是为某物的移动导向)的移动。该接收板可特别地具有凹部(或接收开 口)，电子部件可通过插入穿过该凹部而经由该凹部接收在接收器中。在一种实施方式中， 底座支承板、接收板和弹性单元可平行于接收器的主平面并平行于整个调准夹具的主平面 设置。弹性单元可在底座支承板与接收板之间移动，该弹性单元可设置在该底座支承板与 该接收板之间。弹性单元均可以被紧固住以免于在两个方向上的变形。弹性单元可被紧固 住的两个方向可以是朝底座支承板定向的方向和朝接收板定向的方向。底座支承板和接收 板可以是平坦的或可以具有适于引导弹性单元的移动的凹部。特别地，调准夹具可包括底座支承板和接收板，第一弹性单元和第二弹性单元设 置在底座支承板和接收板之间，并且第一弹性单元和第二弹性单元适于以平行于至少部分 由底座支承板和接收板引导的接收器的主平面的方式进行移动。调准夹具可进一步包括适于调整厚度的至少一个距离调整板，例如使调准夹具适 于与可能使用的处理装置协作。出于距离调整的目的，调准夹具可包括甚至超过三个板。弹性单元均可包括弹簧元件(具体来说是橡胶构件、任意种类的弹性材料构件、 由钢簧板形成的弹簧、由弹簧钢丝形成的弹簧或诸如板簧、盘簧、片簧之类的任意种类的弹 簧)。弹簧元件可由板一体形成。第一弹性单元的弹簧元件和第二弹性单元的弹簧元件可 由共同的板一体形成。弹簧元件可表现出克服变形的弹性回复力，即胡克性质。弹性单元中的任一个均可包括第一弹簧元件和第二弹簧元件，其中，以可伸缩的 方式安装的对应邻接区段与第一弹簧元件相连并与第二弹簧元件相连。在一种实施方式 中，第一弹簧元件和第二弹簧元件相对于彼此成角度地设置。根据弹簧元件的形式、材料和 尺寸，将两个弹簧元件结合于弹性单元会是有利的。多于两个的弹簧元件可形成弹性单元。 通过将两个或更多个弹簧元件结合于弹性单元，可以调整由弹性单元施加的力的方向和绝 对值。在一种实施方式中，第一弹簧元件和第二弹簧元件相对于彼此成角度地设置。至少一个弹性单元可以是单独的弹性构件，其适于安装在至少一个弹性单元接收 区段处。该至少一个弹性单元接收区段可由其中一块板形成，并可适于接收单独的弹性构件。为了提高调准夹具的适应性，至少一个弹性单元可以是单独的弹性构件。一个弹性单元 板或任意其它适合的板可适于接收不同类型的弹性构件，为此，可需要较少的板以使调准 夹具适合不同尺寸的电子部件。能够仅改变接收器的相应尺寸、弹性单元接收区段的位置 或仅改变待被插入的弹性构件的尺寸，用于调整调准夹具以适合于不同的电子部件类型。 通过使改变调准夹具更为方便，能够以可拆卸的方式安装单独的弹性构件。弹性单元接收区段可适于将第一弹性单元和第二弹性单元中的作为单独的弹性 构件的至少一个固定于至少一个弹性单元的悬架(具体来说是紧固件或固定件)处，以将 至少一个弹性单元固定住以免于旋转。否则会存在弹性构件无法沿限定的方向施力的危 险。如果弹性单元是不能旋转的，则力的方向和大小不变。由于半导体制造中的微型化导 致半导体装置的尺寸较小，因此，需要非常精确地调准半导体装置。这样，由于可限定力的 方向和大小，因此，防止接收在其悬架中的弹性构件旋转是有利的。至少一个弹性单元(其为分离的弹性构件)可以外形锁定的方式固定安装。至少 一个弹性单元接收区段可适于将弹性单元固定在弹性单元的悬架中，其中，利用正向锁定 固定安装该弹性单元。通过以外形锁定的方式固定安装该弹性单元可防止单独的弹性构件 滑动。可防止该弹性单元脱出调准夹具。通过以外形锁定的方式安装该弹性单元，可限定 由弹性单元施加的力的方向和大小，并可使其保持稳定。第一邻接区段、第二邻接区段和底部支承区段可界定可将电子部件接收于其中的 电子部件接收容积。弹性单元的至少一部分可在电子部件接收容积的底侧的下方延伸。通 过将弹性单元设置在电子部件接收容积的下方，可将调准夹具所需的空间保持得较小。对 于比一般的电子部件大的电子部件而言，节省调准夹具的主平面中的空间是有益的。由于 针对大尺寸的电子部件的弹性单元的偏移会较大，因此得出结论，与将弹性单元仅设置在 电子部件接收容积的旁边的布置相比，通过将弹性单元(或者至少一个弹性单元的一部 分)设置在电子部件接收容积的下方可节省非常大的(例如达到八倍的)空间。特别地，第一弹性单元和第二弹性单元中的至少一个包括弹簧元件。特别地，第一弹性单元和第二弹性单元中的至少一个包括第一弹簧元件和第二弹 簧元件，其中，以可伸缩的方式安装的第一邻接区段和以可伸缩的方式安装的第二邻接区 段中的对应的一个与第一弹簧元件相连并与第二弹簧元件相连。特别地，第一弹性单元和第二弹性单元中的至少一个是单独的弹性构件，其适于 安装于调准夹具的至少一个弹性单元接收区段处。特别地，至少一个弹性单元接收区段适于将第一弹性单元和第二弹性单元中的作 为单独的弹性构件的至少一个固定于对应的弹性单元的悬架处，从而固定住该弹性单元以 免其旋转。特别地，第一弹性单元和第二弹性单元中的至少一个以外形锁定的方式固定安装 于至少一个弹性单元接收区段处。特别地，第一邻接区段、第二邻接区段和底座支承区段界定了待于其中接收电子 部件的电子部件接收容积；其中，第一弹性单元和第二弹性单元中的至少一个的至少一部 分在电子部件接收容积的底侧的下方延伸。以可伸缩的方式安装的第一邻接区段和以可伸缩的方式安装的第二邻接区段中 的至少一个从第一弹性单元和第二弹性单元中其所安装的相应的一个向上延伸，并且该邻接区段在电子部件接收容积的旁边延伸。以可伸缩的方式安装的邻接区段中的一个可从其所安装的弹性单元沿向上的方 向延伸，并且该邻接区段可在电子部件接收容积的旁边延伸。相应的邻接区段可在电子部 件接收容积的旁边并在电子部件接收容积的同一高度中延伸，以适于邻接在待接收的电子 部件上。这种以可伸缩的方式安装的邻接区段可从在电子部件接收区段的下方延伸的指定 的弹性单元向上并在电子部件接收区段的旁边(即，外侧)延伸至电子部件接收区段，并且 以可伸缩的方式安装的邻接区段可适于邻接在接收在接收器中的电子部件上。第一邻接区 段和第二邻接区段可适于将电子部件夹持在它们之间的空间中。特别地，调准夹具可包括可致动结构，其适于被致动以通过平移运动和旋转运动 调整第一邻接区段和第二邻接区段的方位。特别地，该可致动结构适于被致动用于扩大接收器的尺寸。由第一邻接区段、第二邻接区段、弹性单元、底座支承区段和可致动的结构(调整 单元)所构成的组中的至少一个可以至少部分由板一体形成。通过采用诸如蚀刻技术或激 光技术之类的设计技术由板制造至少一个功能元件是很方便的。这些技术可最佳地适于将 它们施加在诸如金属板之类的薄板上。通过蚀刻或激光切割，可获得用于被制造的结构的 尚精度。由第一邻接区段、第二邻接区段、弹性单元、底座支承区段和可致动的结构(调整 单元)所构成的组中的至少两个可以至少部分由一个板一体形成。由一个板一体形成功能 元件中的至少一个功能元件的优点同样适用于由一个板形成两个乃至更多个功能元件。利 用一个板制造尽可能多的功能元件是更为方便的。具体来说，安装在弹性单元上的邻接区 段和弹性单元可以由一个板来形成。由此，第一邻接区段、第二邻接区段、和弹性单元可由 一个板一体形成。当适当调整板的形状时，甚至还可由同一个板来形成底座支承区段。在下文中，将描述载体的另一示例性实施方式。但是，这些实施方式同样适用于所 述调准夹具并适用于所述方法。用于调准多个电子部件的载体可设置有多个调准夹具。在实施方式中，多个调准 夹具可基于共用基板(其可由一个或多个板构成)而被一体形成。每个接收器可被指定有第一弹性单元和第二弹性单元。可存在被指定给一个接收 器的一个或多个弹性单元。通过将弹性单元指定给一个接收器，存在以独立于另一电子部 件的方式调准一个电子部件的方法。这会是有利的，因为接收和调准一个第一电子部件并 不影响接收和调准另一第二电子部件。可将至少一个弹性单元指定给接收器中的多个接收器。弹性单元可包括不止一个 弹性区段，并可被设置成将两个邻接区段安装在一个弹性区段的相对侧上。甚至是三个、四 个、五个或者更多个接收器可共用一个弹性单元。而且，为一个弹性单元提供不止一个弹性 区段可以节省成本且节约空间。为弹性单元板设置分别与存在的接收器或电子部件一样多 的弹性单元和弹性区段是适当的。载体可以设有包括弹性单元在内的第一板并设有第二板，其中，该第一板可以可 滑动的方式设置在第二板的上方，并且第一板可适于允许多个调准夹具相对于第二板共同 滑动。根据本发明的示例性实施方式，载体可包括多个接收器，每个接收器均接收多个电子 部件中指定的一个电子部件。多个接收器的尺寸可由第一板的第一邻接区段和第二板的第二邻接区段界定。第一板的第一邻接区段和第二板的第二邻接区段可位于接收器的相对侧 上。第一板和第二板可以是能够沿第一板的主平面和第二板的主平面相对于彼此移动的， 并且当第一板与第二板的相对位置相对于彼此发生改变时，接收器的尺寸可以发生变化。 第一板和第二板可位于彼此平行的位置处。可沿对角方向改变第一板的位置和第二板的位 置，即可使第一板的拐角区域和第二板的拐角区域接近和与之相反地将其拉开。第一板的 移动和第二板的移动或者第一邻接区段与第二邻接区段的接近或拉开可发生在第一板的 主平面和第二板的主平面中。当第一板的拐角区域与第二板的拐角区域靠近时，可将多个 电子部件夹持在多个接收器中的多个第一邻接区段与多个第二邻接区段之间。在第一板的 拐角区域和第二板的拐角区域接近和被拉开时，接收器的拐角区域可接近和被拉开。特别地，载体可包括包括第一弹性单元在内的第一板和包括第二弹性单元在内 的第二板，其中，第一板相对于第二板以可滑动的方式设置，并且第一板适于允许多个第一 邻接区段相对于多个第二邻接区段相互重新定位。第一板可以是弹性单元板，其包括多个第一弹性单元，其中，每个接收器均被指定 有多个第一弹性单元中的至少一个弹性单元。这种情况同样适用于第二弹性板和第二弹性 单元。第一邻接区段均可分别形成在第一弹性单元上。第二邻接区段均可分别形成在第二 弹性单元上。第一弹性单元和第二弹性单元的目的可以是可允许用于多个电子部件的不同 尺寸的补偿公差。否则，由于电子部件的尺寸不同，电子部件可能从接收器脱落或者可能导 致未调准。第一弹性单元和第二弹性单元可具体为弹性件或橡胶部件以允许对第一邻接区 段和第二邻接区段的弹性性能进行调整。第一弹性单元和第二弹性单元还可以是任意弹性 的单元，诸如任意种类的弹簧。在一种实施方式中，第一板和第二板可以被设置成相互平 行。第一板可设置在第二板上并可沿第二板移动。至少在可以是朝向第二板的方向的一个 方向上，可将第一板紧固住以使其不产生所不希望的变形。第二板可以是平坦的或者可以 具有适于引导第一板的移动的凹部。第一弹性单元和第二弹性单元中的每个的位置或变形状态可决定相应的指定接 收器的边界中的一个。第一弹性单元和第二弹性单元的位置可决定接收器的尺寸，并且第 一弹性单元和第二弹性单元的变形状态也可决定接收器的尺寸。第一弹性单元的位置可随 着第一板与第二板相对于彼此的位置而共同发生改变。每个第一邻接区段的位置可相对于 每个第二邻接区段而发生改变。第一板与第二板相对于彼此的位置的变化可导致每个接 收器的尺寸以相同的方式共同变化，即接收器的尺寸可共同增大或接收器的尺寸可共同减 小。但是，每个接收器可分别随着第一弹性单元和第二弹性单元的变形状态的改变而单独 地改变其尺寸。由于第一弹性单元和第二弹性单元的变形状态，因此，当第一弹性元件和/ 或第二弹性单元进入到预加应力的位置中时，和接收器的尺寸可增大，并当释放张力时，弹 性单元的变形状态和接收器的尺寸可减小。第一板和第二板可通过至少一个板连接弹性单元彼此弹性地联接。当接收器的尺 寸共同增加时，至少一个板连接弹性单元会处于张紧状态，并且当第一板和第二板改变它 们的位置使得接收器的尺寸减小时，可至少部分减小或释放板连接弹性单元的张力。当至 少一个板连接弹性单元的张力以自作用的方式得以释放时，可共同减小接收器的尺寸。第二板可包括适于邻接第一板的第一板邻接区段。第一板可包括适于邻接第二板 的第二板邻接区段。第二板邻接区段和第一板邻接区段可在第一板邻接区段与第二板邻接区段彼此邻接时限定出接收器的夹持尺寸，其中，接收器的夹持尺寸可适于将电子部件夹 持在相应的接收器中。接收器的夹持尺寸可由第一板与第二板相对于彼此的位置来提供， 其中，每个接收器均可适于夹持相应的电子部件。术语“夹持”可具体表示载体可被设计成 使部件合拢用于保持或压紧电子部件。可以被合拢到一起的部件为第一邻接区段和第二邻 接区段。板连接弹性元件和多个弹性单元可适于提供用于从接收器的扩大尺寸朝接收器 的缩小的夹持尺寸进行自作用转变的合力，其中，在该接收器的扩大尺寸下，电子部件可以 是能够被接收在接收器中的，在该接收器的缩小的夹持尺寸下，可夹持住电子部件。当电子 部件进入到夹持位置中时，合力可通过从由至少一个板连接弹性单元施加的力中减去由第 一弹性单元和第二弹性单元中的多个施加的力来限定。至少一个板连接弹性单元的力可大 于由第一弹性单元和第二弹性单元中的多个施加的力。合力可以是正的，并且可提供从接 收器的扩大尺寸朝接收器的夹持尺寸的自作用转变，在接收器的夹持尺寸下，第一板的第 二板邻接区段和第二板的第一板邻接区段可彼此邻接。特别地，载体可包括第一板、第二板和第三板；其中，第一板包括第一弹性单元； 第二板包括第二弹性单元；第一板浮动地设置在第二板与第三板之间，并且第一板适于允 许多个第一邻接区段相对于多个第二邻接区段相互重新定位。载体可进一步包括形成于第一板处和第二板处的处理结构。该处理结构可适于操 作第一板和第二板以克服板连接弹性元件的力而使以可滑动方式设置的第一板和第二板 朝接收器的扩大尺寸相对地移动。载体的处理结构可适于克服通过从由至少一个板连接弹 性单元的力中减去第一弹性单元和第二弹性单元中的多个的力所提供的合力而使第一板 和第二板相对移动。处理结构可适于克服该合力而将接收器扩大至扩大尺寸，在该扩大尺 寸下，可将电子部件的本体接收在接收器中。载体可包括第一板、第二板和第三板。第一板可包括第一弹性单元，并且可以浮动 的方式设置在包括第二弹性单元在内的第二板与第三板之间。多个接收器的尺寸可由第一 板的第一邻接区段和第二板的第二邻接区段所界定。第一板可适于允许多个调准夹具相互 浮动。该第二板与该第三板可彼此固定安装。第一板可适于允许多个接收器的相互浮动 (具体来说是被连接或构造成以便进行平稳地操作和调整)。处理结构可适于使第一板在 克服合力的情况下朝接收器的扩大尺寸移动。板连接弹性单元可适于使第一板朝接收器的 夹持尺寸移动。第一板、第二板和第三板可彼此平行设置。第一板可沿第二板和第三板移 动，在第二板与第三板之间设置有第一板。第一板可被紧固住，以使其不在可以是朝向第二 板的方向和朝向第三板的方向的各个方向上发生所不希望的变形。第二板和第三板可以是 平坦的或者可具有适于引导第一板的移动的凹部。第二板可以是底座支承板，并且可包括底座支承区段，其可适于支承电子部件的 主表面。接收器的底座支承区段可由第二板形成。指定给相应的接收器的底座支承板可延 伸至由一个板一体形成的或由多个底座支承板构成的第二板。第二板的方位可平行于每个 接收器，并且可平行于每个底座支承区段。由每个底座支承区段施加的支承力可垂直作用 在电子部件的主平面上，并且可以相互平行。第三板可以是底座支承板并且包括底座支承区段，该底座支承区段适于支承电子 部件的主表面。
在下文中，将描述所述方法的另一示例性实施方式。但是，这些实施方式同样适用 于所述调准夹具并适用于所述载体。该方法可进一步包括将电子部件放置在后加工机器中，并随后在电子部件保持处 在位于载体的接收器中的调准位置下时，使电子部件接受后加工机器的操作。后加工方法 可具体指代对电子部件进行评估或测试的方法。由此，后加工机器可具体指代用于对电子 部件进行评估或测试的机器。在后加工期间，电子部件会经受不同物理条件的作用，以获取 有关电子部件的质量的信息。后加工可具体指代通过使电子部件经受所关注的多种电气和 /或机械条件的作用而对电子部件进行质量测试或质量评估。该方法可进一步包括通过夹持机构仅在电子部件的侧面部分上弹性夹持电子部 件。可将电子部件放置在载体的扩大的接收器中，并随即可通过夹持机构将电子部件弹性 夹持在夹持尺寸的接收器中并在其中得到调准。接收器的扩大尺寸至接收器的夹持尺寸的 转变可发生在接收器的主平面中。接收器的主平面可与载体的主平面、电子部件的主平面、 以及调准夹具的主平面相匹配。可将载体放置在后加工机器中。当电子部件被夹持在接收 器中并在其中被调准时，电子部件可接受后加工机器的操作。该方法可进一步包括为载体设置识别特征或识别符，用于确切地(具体来说精 确、唯一或明确地)识别该载体。后加工机器可形成装配线。可将载体从一个后加工机器输 送至另一个后加工机器。在后加工期间，在工厂中对每个载体进行的唯一的识别使得能够 在工厂中追踪(具体来说是跟踪)每个载体的路线，并且使得能够追踪每个电子部件。由 此，可通过识别特征在装配线中追踪每个载体和每个电子部件。该方法可进一步包括为载体设置用于基准检测的基准标记。视觉系统与基准标记 或标志一起可在后加工机器中提供对于载体的位置和方位的检测。在需要对载体进行精确 调准例如用于标记或接触电子部件的操作过程中，这会是有利的。该方法可以包括利用第二邻接区段调准电子部件，其中，可通过安装有第一邻接 区段和第二邻接区段的弹性(具体来说是可伸缩的、回弹性的或有弹力的)单元(具体来 说是用以执行一个具体功能的设备零部件或零件)以自作用的方式施加第一力。邻接区段 中的每一个均可至少安装于弹性单元中的指定的一个弹性单元。第一弹性单元可均朝第二 邻接区段施加第一力。第二弹性单元可均朝第一邻接区段施加第二力。每一个第二邻接区 段均被指定给第一邻接区段中的一个。可通过第二邻接区段调准电子部件。该方法可进一步包括将两个分力施加在第一邻接区段和第二邻接区段中的至少 一个上，以使该邻接区段将两个成角度的分力施加在电子部件上。后加工可包括在通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件的同时进行激光打标。当电子部件被夹持在接收器中并在其中被调准时，电子部件可接 受激光打标工序。电子部件可具有与接触侧是否邻接底座支承区段或者记号侧是否邻接底 座支承区段无关的易于触及的记号侧。在接触侧与底座支承区段邻接的情况下，记号侧暴 露于接收侧，并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底座支承区段 邻接的情况下，接收器的底座支承区段可在它们的中央具有出入孔，该出入孔仅延伸到远 至电子部件的边缘区域仍旧与底座支承区段邻接。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时的老化测试。在老化测试中，电子部件、特别是半导体装置可受热预定的时间间隔(例
14如经受高达200°C的温度持续不足一小时到长达数小时)。在老化测试期间，电子部件可通 过电流馈电另外接受功率测试，和/或电子部件可接受电子测试，用于测试电子部件的电 子质量。通过由诸如金属、热固性塑料或树脂之类的耐温材料制成载体，该载体可适于耐受尚温。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时的烘烤过程。该烘烤过程可以是一种使电子部件在不存在任何电气测试或电力负载的 情况下受热预定的时间间隔(例如经受高达200°C的温度不足一小时到长达数小时)的过 程。利用耐温材料形成载体可使得该载体能够耐受烘烤过程，其中，电子部件在高温下持续 约一个小时。烘烤过程可用于降低电子部件上的电力负载，以进一步继续进行最终测试。后加工可包括当通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时在处理机上进行的最终测试。具有多种实施方式的最终测试可以是在组装电子部件前 执行的测试。对诸如半导体装置之类的电子部件进行的最终测试可以是电子功能测试，并 且可包括多种物理测试条件，例如多种温度、压力、加速度和倾角的任意组合。由于载体由 耐受机械应力和温度应力的一种或多种材料制成，因此，载体可适于在这些变化条件下调 准电子部件，并且可适于允许接触电子部件的触点。在一种实施方式中，后加工并不包括或者可没有在通过载体保持和调准电子部件 并通过操作该载体来移动电子部件时在处理机上进行的最终测试。在激光打标、老化或烘 烤测试后，可即刻在电子部件上进行选择性打标。后加工可包括在通过载体保持和调准电子部件并通过操作该载体来移动电子部 件时进行的选择性打标。参照对于激光打标进行的说明，其对于诸如激光打标之类的选择 性打标同样适用电子部件可具有与接触侧是否邻接底座支承区段或者记号侧是否邻接底 座支承区段无关的易于触及的记号侧，在接触侧与底座支承区段邻接的情况下，记号侧暴 露于接收侧，并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底座支承区段 邻接的情况下，接收器的底座支承区段可在它们的中央具有开口，该开口延伸到远至电子 部件的边缘区域与底座支承区段邻接。在选择性打标后，放置在载体中的电子部件可选择 性地标记出“ + (positive) ”、选择性地标记出“-(negative) ”或可全部标记“ + ”或者“_”。 也可以是(不同于“ + ”或“_”的)其它类别。选择性打标还可包括指出电子部件的质量特 征的标记，例如表示用以操作半导体装置的最大频率的标记。可在无需将电子部件从载体上移除的情况下执行由激光打标、老化测试、烘烤、最 终测试和选择性打标构成的组中的至少两种。换言之，可在电子部件在载体中保持调准的 同时，执行这些或其它工序中的多个工序。该载体可适于耐受多种物理条件，并可在整个或 部分后加工中自始至终精确调准电子部件。由此，可在整个后加工或部分后加工期间，将电 子部件保持在载体中并在其中将其调准。在后加工之后，可在通过载体保持和调准电子部件的同时，通过将载体从后加工 机器上移除而将电子部件从后加工机器中移除。本发明的上述方面和其它方面通过在下文中将要进行描述的实施方式的示例而 变得显而易见，并且参照实施方式的这些示例对本发明的上述方面和其它方面进行说明。下面将参照实施方式的示例更为详细地描述本发明，但是本发明并不限于这些实 施方式的示例。


图1示出了根据本发明的示例性实施方式的弹簧板的细节图，并且图2示出了具 有根据本发明的示例性实施方式的这种弹簧板的载体的概览图。图3示出了图2的已装配的载体的分解图。图4至图7示意性地示出了根据本发明的示例性实施方式的不同的调准夹具。图8示出了本发明的实施方式的带有可相互滑动的第一邻接区段的载体的细节 图，并且图9示出了根据图8的实施方式的带有彼此相关地扩大的接收器尺寸的载体的细 节图。
具体实施例方式图中所示是示意性的。在不同的图中，相似的或相同的元件设有相同的附图标记。图1示出了适于将电子部件1 (见图2)接合在接收器20中的弹簧板110的细节 图。接收器20由彼此沿对角相对的第一邻接区段337和第二邻接区段357形成。第一邻 接区段337包括第一邻接元件336 (或表面)和第二邻接元件338 (或表面)，第一邻接元 件336和第二邻接元件338彼此成角度，其在所示实施方式中围成约90°的角度。第二邻 接区段357具有与第一邻接区段337相似的形状。第二邻接区段357包括第一邻接元件 356(或表面)和第二邻接元件358(或表面)，其在所示实施方式中围成约90°的角度。第 一邻接区段337由一体形成的第二邻接构件365形成。第二邻接构件365包括由第一调整 孔366和第二调整孔369形成的可致动结构或调整单元。第二邻接构件365基本上呈L形 并且是镜像对称的。第一邻接构件356和第二邻接元件358均示出为两个延伸至邻接表面 的叉形支架，以使电子部件1可与第一邻接元件356和第二邻接元件358中的每个的两个 点邻接。多迂曲的第二弹簧元件342将第二邻接构件365与弹簧板110的框架区段相联。与第二邻接构件365相对定位的第一邻接构件355具有相似的形状。第二邻接 构件365与第一邻接构件355之间的主要区别在于，第一邻接构件355仅包括一个调整孔 359，其位于形成第一邻接区段337的第一邻接元件336和第二邻接元件338之间的对称轴 线上。多迂曲的第一弹簧元件341将第一邻接构件355与弹簧板110的框架区段相联。可通过在沿对角线远离第一邻接区段337的方向上致动第二邻接构件365的第一 调整孔366和第二调整孔369来扩大接收器20的尺寸。还可通过沿对角线远离第二邻接 区段357致动第一邻接构件355的调整孔359来扩大接收器20的尺寸。可使用诸如销或 钩之类的任意适合的致动结构致动可致动的调整孔366、369和359。通过释放第一弹簧元 件341的力和/或第二弹簧元件342的力，可将电子部件接合在第一邻接区段337与第二 邻接区段357之间。可致动的调整孔366、369和359可适于微调第一邻接区段337和第二 邻接区段357中的一个。因此，可微调电子部件用于进一步的操作。第二邻接构件365的 第一调整孔366和第二调整孔369以及第一邻接构件359的调整孔359可用于支承电子部 件的夹持，并可用于微调电子部件。图2示出了根据本发明的实施方式的已装配的载体100。具有第一侧面部分5和第二侧面部分6的电子部件1是可见的并由调准夹具10 定位。第二邻接构件365的第一调整孔366和第二调整孔369可通过接收板130触及。同样，第一邻接构件355的调整孔359可通过接收板130的出入孔触及。图3示出了图2中示出为已装配的载体100的分解图。载体100由接收板130、弹 簧板110以及底座支承板120形成。可通过接收板130的接收开口 135接收电子部件1。 可将电子部件1接收在调准夹具10的接收器20(图1中示出)中。接收板130的调整出 入孔459和底座支承板120的调整出入孔559根据相应的调准夹具10被安置成与第一邻 接构件355(图1中示出)的调整孔359对准，并且由于调整出入孔559的直径较宽，因此 允许调整孔359移动。这种情况同样适用于接收板130的第一调整出入孔466和第二调整 出入孔469，并且适用于底座支承板120的第一调整出入孔566和第二调整出入孔569，调 整出入孔中的每个均具有比相应的调整孔更宽的直径，并与图1中所示的弹簧板110的相 应的第一调整孔366和第二调整孔369对准。图4示出了根据类似于图1中所示实施方式的实施方式的调准夹具(图2中所示) 的示意图。经由第一弹性单元411以可伸缩的方式(flexibly)安装的成角度的第一邻接 区段431于电子部件405的第一侧面部分401和第二侧面部分402处接合电子部件405的 一个拐角区域。第一调整孔421和第二调整孔422可适于允许对第一邻接区段431的直线 位置和角位置进行定位，并由此对电子部件405的直线位置和角位置进行定位。在平面图 中，第一调整孔421和第二调整孔422位于电子部件405的接收区域的外侧，并且因此即使 在第一邻接区段431与电子部件405邻接的情况下仍然是可触及的。在相对的拐角区域上 可发现同样的构造成角度的第二邻接区段432与电子部件405的第三侧面部分403和第 四侧面部分404邻接。第二邻接区段432经由第二弹性单元412以可伸缩的方式安装。第 三调整孔423和第四调整孔似4可适于允许对第二邻接区段432的直线位置和角位置进行 定位，并由此对电子部件405的直线位置和角位置进行定位。第一弹性单元411和第二弹 性单元412中的每个均沿对角线朝电子部件405的相应的拐角区域设置。因此，第一邻接 区段431和第二邻接区段432 —起以浮动的方式接合电子部件405。第一邻接区段531是经由第一弹性单元511以可伸缩的方式安装的笔直的邻接元 件，并且包括用于调整第一邻接区段531的位置的第一调整孔521。第一邻接区段531与电 子部件505的第一侧面部分501邻接。与第一邻接区段531成角度地并处于电子部件505 的同一拐角区域处，第二邻接区段532与电子部件505的第二侧面部分502邻接。第二调 整孔522固定联接于第二邻接区段532。第一邻接区段531和第二邻接区段532可允许通 过经由调整孔521调整第一邻接区段531的位置并通过经由第二调整孔522调整第二邻接 区段532的位置来定位电子部件的直线位置和角位置。第一弹性单元511和第二弹性单元 512可彼此成角度地设置，以使第一弹性单元511垂直于第一邻接区段531和电子部件505 的第一侧面部分501设置。同样，第二邻接单元512可垂直于第二邻接区段532并垂直于电 子部件505的第二侧面部分502设置。成角度的第三邻接区段533与电子部件505的第三 侧面部分503和第四侧面部分504邻接。第三邻接区段533经由第三弹性单元513以可伸 缩的方式安装。第三弹性单元513沿对角线朝电子部件505的由电子部件505的第三侧面 部分503和第四侧面部分504形成的相应的拐角区域设置。由此，第一邻接区段531和第 二邻接区段532 —起以浮动的方式接合电子部件505。第三调整孔523和第四调整孔5M 固定安装于第三邻接区段533处。电子部件可通过调整第一调整孔521、第二调整孔522、 第三调整孔523和第四调整孔5M中的至少两个成角度设置的调整孔而线性地并成角度地
17进行调整。“成角度设置的调整孔”可由此表示邻接在电子部件505的成角度的侧面部分 501、502、503、504 上的调整孔 521、522、523、524 的相应的调整区段 531、532、533。图6示出了调准夹具670的示意图。第一弹性单元611经由第一邻接区段631在 电子部件605的第一侧面部分601上施加垂直力。第一邻接区段631的位置以及相应的第 一侧面部分601的位置可由与第一邻接区段631固定联接的调整孔621进行调整。这种 情况同样适用于电子部件的其余的第二侧面部分602、第三侧面部分603和第四侧面部分 604，这些侧面部分分别由第二弹性单元612、第三弹性单元613、第二邻接区段632、第三邻 接区段633、第四邻接区段634、以及第四弹性单元614、第二调整孔622、第三调整孔623和 第四调整孔拟4接合并能够由它们进行调节，并且在致动方向上相差90°。第三弹性单元 613可以是单独的弹性构件，其具有固定附连于弹性单元接收区段690的悬架680。互锁件 691可将悬架680固定于弹性单元接收区段690处。图7示出了类似于根据图4的实施方式的调准夹具770的示意图，其中从平面图 看出，第一弹性单元711和第二弹性单元712设置在电子部件接收区域之间的空间中。成 角度的第一邻接区段731可以可伸缩的方式安装于第一弹性单元711处，并且第一邻接区 段731可包括固定联接于第一邻接区段731处的第一调整孔721。相对于第一邻接区段731 位于电子部件705的相对的拐角区域处的成角度的第二邻接区段732以可伸缩的方式安装 于第二弹性单元712处。成角度的第二邻接区段732包括固定联接于第二邻接区段732处 的第二调整孔722和第三调整孔723。电子部件705可通过第一调整孔、第二调整孔和第三 调整孔中的至少两个线性地和成角度地进行调整。图8和图9示出了载体100的细节的俯视图，其中，载体100包括以可滑动的方 式安装的弹簧板110，该弹簧板110经由板连接弹性单元IM弹性联接于弹性单元板框架 111。弹性单元板框架111固定安装于另外的接收板170处。由此，通过弯曲该板连接弹性 单元154，弹簧板110可相对于包括以可伸缩的方式安装的第二邻接区段357在内的另外的 弹簧板170滑动。经由弹性单元42以可伸缩的方式安装的第二邻接区段357部分形成接 收器20的边界。经由第一弹性单元41安装于弹簧板110处的第一邻接区段337同样部分 形成接收器20的边界。第一邻接区段337可相对于第二邻接区段357滑动。由第一邻接 区段337和第二邻接区段357形成的接收器20的接收器开口 48可通过使弹簧板110相对 于另外的弹簧板170滑动而扩大。由于另外的弹簧板170和弹性单元板框架111可固定于 固定孔208处，因此通过利用致动力210接合弹性单元可致动孔258而相对于另外的弹簧 板170和弹性单元板框架111滑动，可对弹簧板110进行重新定位。可施加反向力200以 克服致动力210的力而固定住载体100。在若干固定点156处，另外的弹簧板170与弹性单 元板框架111可彼此固定联接。仍旧参照图8，另外的弹簧板170的第一板邻接区段134与弹簧板110的第二板邻 接区段914彼此邻接。间隔件257可适于调节接收器开口 48的尺寸。当第一板邻接区段 134与第二板邻接区段914彼此邻接时，可获得由第一邻接区段31与第二邻接区段357所 形成的接收器的夹持尺寸。接收器开口 48的尺寸可小于待接收的电子部件1(对比图3) 的尺寸，从而可通过第一邻接区段337和第二邻接区段357夹紧电子部件1。弹簧板110与 弹性单元板框架111之间的间距259的尺寸可为间隔件257的尺寸。参照图9，示出了接收器开口 48的接收尺寸。使弹簧板110与弹性单元板框架111之间的间距259扩大。因此，同样可使接收器开口 48的尺寸扩大至一尺寸，在该尺寸下，可 将电子部件1 (对比图幻接收在接收器20中，即接收在第一邻接区段337与第二邻接区段 357之间的空间中。 应该注意的是，术语“包括”并不排除其它元件或步骤，并且“一”或“一个”并不排 除多个。同样，可将结合不同的实施方式描述的元件进行组合。还应该注意的是，权利要求 中的附图标记不应被理解为限制权利要求的范围。本发明的实施并不被限定于图中所示和 上文中所述的优选实施方式。相反，甚至是在根本不同的实施方式的情况下，利用根据本发 明所示出的解决方案和原理的多种变型也都是可能的。
权利要求
1.适于调准电子部件O)的调准夹具(10)，所述调准夹具(10)包括接收器(20)，所述接收器00)适于接收所述电子部件( 并具有第一邻接区段(337) 和第二邻接区段(357)；第一弹性单元(341,41)； 第二弹性单元(342、42)；其中，所述第一邻接区段(337)经由所述第一弹性单元(341、41)以可伸缩的方式安 装，并且所述第二邻接区段(357)经由所述第二弹性单元(342、4幻以可伸缩的方式安装； 其中，所述第一邻接区段(337)和所述第二邻接区段(357) —起适于以浮动的方式接合所述 电子部件⑵。
2.根据权利要求1所述的调准夹具(10)，其中，所述第一邻接区段(337)适于在所述电子部件( 上施加第一力，并且所述第二邻接 区段(357)适于在所述电子部件( 上施加第二力，其中 所述第一力和所述第二力至少部分地彼此相对。
3.根据权利要求2所述的调准夹具(10)，其中，所述第一邻接区段(337)和所述第二邻接区段(357)被调整成使得以平行于所述接收 器00)的主平面的方式施加所述第一力并且以平行于所述接收器00)的主平面的方式施 加所述第二力。
4.根据权利要求1至3所述的调准夹具(10)，其中，所述接收器00)进一步包括底座支承区段，所述底座支承区段形成平行于所述接收 器00)主平面的支承表面。
5.根据权利要求2和4所述的调准夹具(10)，其中，所述底座支承区段适于以垂直于所述第一力并且垂直于所述第二力的方式施加支承力。
6.一种用于调准多个电子部件(2)的载体(100)，其中，所述载体(100)包括多个根据权利要求1至5所述的调准夹具(10)。
7.根据权利要求6所述的载体(100)，其中，所述接收器00)中的每个接收器均具有至少一个指定的第一弹性单元(341、41)和至 少一个指定的第二弹性单元(342、42)。
8.根据权利要求6或7所述的载体(100)，其中，至少一个第一弹性单元(341、41)和至少一个第二弹性单元(342、4幻被指定给所述接 收器00)中的多个接收器。
9.一种使用根据权利要求6至8所述的载体(100)的方法，其中， 所述方法包括-致动夹持机构以在接收器00)中露出大于待接收的电子部件O)的开口 ； -将所述电子部件( 定位在所述接收器00)中的所述开口中； -致动所述夹持机构以缩小所述开口的尺寸，从而在所述载体(100)的所述接收器 (20)内调准所述电子部件O)。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述方法包括-将所述电子部件( 放置在后加工机器中；-在所述电子部件( 于所述载体(100)的所述接收器00)中保持处在调准位置中的 同时，使所述电子部件( 接受所述后加工机器的后加工操作。
全文摘要
根据本发明的示例性实施方式，提供了一种用于调准电子部件的调准夹具，其中，该调准夹具包括适于接收电子部件并具有第一邻接区段和第二邻接区段的接收器，该调准夹具进一步包括第一弹性单元和第二弹性单元，其中，第一邻接区段经由第一弹性单元以可伸缩的方式安装，并且第二邻接区段经由第二弹性单元以可伸缩的方式安装，其中，第一邻接区段和第二邻接区段一起适于以浮动的方式接合电子部件。
文档编号G01R1/04GK102095903SQ201010257638
公开日2011年6月15日 申请日期2010年8月17日 优先权日2009年8月18日
发明者托马斯·霍夫曼, 赫尔穆特·沙伊本祖贝尔 申请人:综合测试电子系统有限公司