专利名称：具抽取式均光片的测试头的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种具抽取式均光片的测试头，尤指一种适用于测试如感光半导 体元件的半导体测试设备。
背景技术：
目前半导体测试技术中，关于测试如感光半导体元件时，于测试中需另外增加光 源照射半导体元件，并同时侦测半导体元件的反应信号，来判断半导体元件是否正常运作。请先参阅图1，图1是公知具光源的半导体测试设备的示意图。图中显示有一半导 体测试设备10，其主要用以检测感光半导体元件，如CCD、CMOS、或其它需辅助光源进行检 测的半导体元件。其中，图中显示的半导体测试设备10上方具有一测试头11，而测试头11 上方再有一光源机12，其主要用以提供光源。再请一并参阅图2、及图3，图2是公知具光源的半导体测试设备的测试头的立体 图，图3是公知具光源的半导体测试设备的测试头的剖视图。一般公知具光源的半导体测 试设备中，光源机12发出的光源会先经过一透镜管13后，再由测试头11的另一端射出。其 中，透镜管13内主要组设有透镜组(图中未示)，其用以聚光，加强光源的照射明亮度。因 此，于测试头11内通常会设置有一均光片14，其主要用以均勻光线，使测试结果更加准确。然而，当设备运行于一段时间后，需要重新校正光源初始值又称出光度、或亮度。 此时，则需要将均光片14移除方可进行检测校正。然而，公知设备中均光片14是直接锁 附固定于测试头11内，而移除均光片14时需先拆下测试头11内所有测试电路板(Pin Electronics Card, PE Card)(图中未示)、以及拆卸透镜管13、及光源机12，其过程相当繁 复，费工费时。而且，检测校正完后，又需逐一组装方可再进行测试。

实用新型内容为了解决现有技术的问题，本实用新型的目的是提供一种具抽取式均光片的测试 头。本实用新型为一种具抽取式均光片的测试头，包括一壳体、一抽取盖座、一抽取 板、一均光片、一透镜管、以及一光源模块。其中，壳体包括有一前盖板，而前盖板开设有一 光照射孔。抽取盖座组设于前盖板的内表面上，且抽取盖座包括有一顶板、及一侧板。其中， 顶板开设有一穿孔，且穿孔对应于壳体的光照射孔，而侧板开设有一抽取槽。抽取板包括有 一固定框，且抽取板可插设于抽取盖座的抽取槽。均光片组设于抽取板的固定框上。另外， 透镜管组设于抽取盖座的顶板并对应于穿孔。至于，光源模块包括有一发光部，且发光部对 应于透镜管。其中，本实用新型的抽取板的固定框可开设有一开孔，其对应于前盖板的光照射 孔、及抽取盖座的顶板的穿孔，主要用以供光线直接通过开孔、光照射孔、及穿孔并穿透均 光片。此外，本实用新型的抽取盖座可还包括有一第一耦合件，而抽取板还包括有一第二耦合件，且第一耦合件可选择式耦合固定于第二耦合件。其中，第一耦合件可包括有一扣 合块，而第二耦合件包括有一扣合卡榫、及一卡榫基座。然而，卡榫基座可固设于抽取板上， 且扣合卡榫可枢设于卡榫基座。再者，本实用新型可还包括有一盖座底板，其组设于前盖板的内表面上。其中，抽 取盖座设置于盖座底板上，且抽取盖座与盖座底板形成有一容置空间，容置空间连通抽取 槽，主要用以容设抽取板。而且，盖座底板可开设有一透光孔，其对应于前盖板的光照射孔、 及抽取盖座的顶板的穿孔。另外，本实用新型的壳体可还包括有一后盖板，后盖板开设有一通孔，而透镜管穿 经通孔并组设于抽取盖座的顶板上。而且，本实用新型可还包括有一光源固定架，其组设于 后盖板的外表面上，而光源模块固设于光源固定架上。本实用新型的有益效果，本实用新型能快速抽取均光片，以利快速进行校正、或维 修，大幅缩短停机时间，降低成本、及增加产能利用率。本实用新型由第一耦合件的扣合块 与第二耦合件的扣合卡榫及一卡榫基座，可快速耦合卡固，避免于测试中或翻转过程中造 成抽取板脱落。本实用新型透过抽取盖座设置于盖座底板上，可更加确保抽取板于抽取过 程中更加顺畅，且增加均光片的保护效果。

图1是公知具光源的半导体测试设备的示意图。图2是公知具光源的半导体测试设备的测试头的立体图。图3是公知具光源的半导体测试设备的测试头的剖视图。图4A是本实用新型一较佳实施例的剖视图。图4B是本实用新型一较佳实施例剖视图的局部放大图。图5是本实用新型一较佳实施例的局部分解图。主要元件符号说明10半导体测试设备12光源机14均光片20光照射孔211内表面221外表面3抽取盖座311 穿孔321抽取槽331扣合块341透光孔41固定框42第二耦合件422卡榫基座6透镜管
4 U测试头 13透镜管 2壳体 21前盖板 22后盖板 23通孔 31顶板 32侧板 33第一耦合件 34盖座底板 4抽取板 411开孔 421扣合卡榫 5均光片 7光源模块[0035]70光源固定架 71发光部S容置空间
具体实施方式
请一并参阅图4A、图4B、及图5，图4A是本实用新型具抽取式均光片的测试头一较 佳实施例的剖视图，图4B是本实用新型具抽取式均光片的测试头一较佳实施例剖视图的 局部放大图，图5是本实用新型具抽取式均光片的测试头一较佳实施例的局部分解图。图 中显示有一具抽取式均光片的测试头，其主要用以测试如感光半导体元件，因测试感光半 导体元件时需另外增加光源来照射半导体元件，以同时侦测半导体元件的反应信号。故，光 源亮度必须足够、且均勻，所以会另外增设均光片。如图中所示有壳体2，其包括有一前盖板21、一后盖板22。其中，前盖板21开设有 一光照射孔20，后盖板22开设有一通孔23。而且，又有一抽取盖座3，其组设于前盖板21 的内表面211上。然而，抽取盖座3包括有一顶板31、及一侧板32。其中，顶板31开设有 一穿孔311，而穿孔311对应于壳体2的光照射孔20，而侧板32开设有一抽取槽321。然 而，抽取板4可插入或抽出抽取盖座3的抽取槽321。再者，抽取板4包括有一固定框41。在本实施例中，抽取板4的固定框41开设有 一开孔411，其对应于前盖板21的光照射孔20、及抽取盖座3的顶板31的穿孔311，用以供 光线穿透均光片5并直接通过开孔411、光照射孔20、及穿孔311。此外，均光片5则组设于 抽取板4的固定框41上，并透过开孔411，可供光线穿透。此外，图中亦显示有一盖座底板34，其组设于前盖板21的内表面211上。在本实 施例中，抽取盖座3设置于盖座底板34上。其中，抽取盖座3设置于盖座底板34上，而且 抽取盖座3与盖座底板34内部形成有一容置空间S，而容置空间S连通抽取槽321，主要用 以容设抽取板4。再且，盖座底板34开设有一透光孔341，其对应于前盖板21的光照射孔 20、及抽取盖座3的顶板31的穿孔311。据此，本实施例透过抽取盖座3设置于盖座底板 34上，可更加确保抽取板4于抽取过程中更加顺畅，同时又可增加均光片5的保护效果。 其中，本实施例的抽取盖座3还包括有一第一耦合件33，而抽取板4还包括有一第 二耦合件42。而且，第一耦合件33可选择式耦合固定、或脱开分离于第二耦合件42。详言 之，在本实施例中，第一耦合件33包括有一扣合块331，第二耦合件42包括有一扣合卡榫 421、及一卡榫基座422。其中，卡榫基座422固设于抽取板4上，且扣合卡榫421枢设卡榫 基座422上。据此，由第一耦合件33的扣合块331与第二耦合件42的扣合卡榫421、及一 卡榫基座422，可提供快速耦合卡固，并避免于测试中或翻转过程中，造成抽取板4脱落。再且，图中另显示有一透镜管6、一光源固定架70、及一光源模块7。其中，透镜管 6的一端组设于抽取盖座3的顶板31并对应于穿孔311，透镜管6的另一端则穿经后盖板 22的通孔23。此外，光源固定架70组设于后盖板22的外表面221上。而光源模块7固设 于该光源固定架70上。并且，光源模块7包括有一发光部71，其对应于透镜管6。据此，当发光部71发出光线后会穿经透镜管6、抽取盖座3的顶板31的穿孔311、 均光片5、抽取板4的固定框41的开孔411、盖座底板34的透光孔341、以及前盖板21的光 照射孔20，而透出均勻的光源，供测试时使用。因此，本实用新型由上述元件、及技术特征的 设计，能快速抽取均光片4，以利快速进行校正、或维修，大幅缩短停机时间，降低成本、及增加产能利用率。 上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以 申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求一种具抽取式均光片的测试头，其特征在于，包括一壳体，包括有一前盖板，该前盖板开设有一光照射孔；一抽取盖座，组设于该前盖板的内表面上，该抽取盖座包括有一顶板、及一侧板，该顶板开设有一穿孔，该穿孔对应于该壳体的该光照射孔，该侧板开设有一抽取槽；一抽取板，包括有一固定框，该抽取板插设于该抽取盖座的该抽取槽；一均光片，组设于该抽取板的该固定框上；一透镜管，组设于该抽取盖座的该顶板并对应于该穿孔；以及一光源模块，包括有一发光部，该发光部对应于该透镜管。
2.如权利要求1所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该抽取板的该固定框 开设有一开孔，其对应于该前盖板的该光照射孔、及该抽取盖座的该顶板的该穿孔。
3.如权利要求1所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该抽取盖座还包括有 一第一耦合件，该抽取板还包括有一第二耦合件，该第一耦合件选择式耦合固定于该第二 耦合件。
4.如权利要求3所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该第一耦合件包括有 一扣合块，该第二耦合件包括有一扣合卡榫。
5.如权利要求4所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该第二耦合件还包括 有一卡榫基座，其固设于该抽取板上，该扣合卡榫枢设于该卡榫基座。
6.如权利要求1所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，还包括有一盖座底板， 组设于该前盖板的内表面上，该抽取盖座组设于该盖座底板上。
7.如权利要求6所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该盖座底板开设有一 透光孔，其对应于该前盖板的该光照射孔、及该抽取盖座的该顶板的该穿孔。
8.如权利要求1所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，该壳体还包括有一后 盖板，该后盖板开设有一通孔，该透镜管穿经该通孔并组设于该抽取盖座的该顶板上。
9.如权利要求8所述的具抽取式均光片的测试头，其特征在于，还包括有一光源固定 架，组设于该后盖板的外表面上，该光源模块固设于该光源固定架上。
专利摘要本实用新型有关于一种具抽取式均光片的测试头，包括有一壳体、一抽取盖座、一抽取板、一均光片、一透镜管、以及一光源模块。其中，壳体开设有光照射孔，抽取盖座组设于壳体的前盖板的内表面上，且抽取盖座的顶板开设有穿孔，其对应于壳体的光照射孔。抽取盖座的侧板开设有抽取槽。而抽取板包括有固定框，用以组设均光片，且抽取板可插设于抽取盖座的抽取槽。另外，透镜管组设于抽取盖座的顶板并对应于穿孔；光源模块的发光部再对应于透镜管。因此，本实用新型能快速抽取均光片，以利快速进行校正、或维修，大幅缩短停机时间。
文档编号G01M11/02GK201724809SQ201020267540
公开日2011年1月26日 申请日期2010年7月19日 优先权日2010年7月19日
发明者吴国荣, 黄省腾 申请人:京元电子股份有限公司