专利名称：一种阵列式微型光谱仪的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光谱分析技术领域，涉及一种光谱仪，特别涉及一种基 于法-珀腔阵列式微型光谱仪。
背景技术：
光谱仪器是应用光学原理和光谱技术，对物质的化学组成及含量进行检 测的重要分析仪器，具有分析精度高、测量范围大、速度快等优点，广泛应 用于现代科学实验、工农业生产、冶金、地质、石油化工、医药卫生、环境 保护、宇宙探索、国防等领域，已形成了几十亿美圆规模的产业。-
由于传统光谱仪器使用条件苛刻、体积庞大，因而大大地限制了其应用 范围。近年来随着生物医学、航空航天、环境监测、科技农业、军事分析以 及工业流程监控等领域的现代化发展，对光谱仪器提出了小型化、微型化、 集成化的要求，希望其携带方便、抗振动干扰能力强、性能稳定可靠、功耗 小、电压低、使用方便灵活、性能价格比高，且能快速、实时、直观地获取 光谱信号。因此，小型化、微型化光谱仪器的研究成了世界各国的研究热点 和趋势。
目前，小型化光谱仪的研究已取得了较好进展，并已得到较为广泛的应 用。但是，生物医学等领域迫切需要的微型光谱仪在国际上尚处于研究阶段。 从现有公开的基于法-珀腔的微型光谱仪报导中，美国东北大学、西班
牙的学者Carlos Calaza都研究过基于法-珀腔的微型光谱仪，但这些方案 中，为改变法-珀腔的折射率，是通过改变上下极板的距离而实现的，由于 存在运动部件，其制造难度和可靠性、重复性都还需要进行进一步的研究。 发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种高光通量、高灵敏、 体积很小、高可靠的阵列式微型光谱仪。本实用新型包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，每个电光材料 板的上表面镀有上层反射膜，下表面镀有下层反射膜，每个电光材料板以及 对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元，所有法-珀腔单元构成法 -珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜，每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上 层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与对应的电压源的负极连 接。透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大 径，透镜增透膜镀在透镜的上表面，光源设置在透镜的上方焦点处。上层反 射膜和下层反射膜的材料为铝或金。
本实用新型充分利用了基于法-珀腔原理微型光谱仪的优点，并且没有 活动部件，因此可靠性、重复性都会得到很大提高。本实用新型具有可多通 道并行检测光谱信号，分析速度快，加工难度低，可靠性高，各通道参数可 独立设计，灵活性强，检测灵敏度高，动态范围大等特点，在生化分析、医 疗诊断、工农业检测、环境监测以及航空航天等领域有广泛的应用前景。


图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1， 一种阵列式微型光谱仪包括阵列排列的多个不同厚度的电光材 料板l，每个电光材料板1的上表面镀有上层反射膜9，下表面镀有下层反
射膜2，每个电光材料板1以及对应的上层反射膜9和下层反射膜2构成法-
珀腔单元，所有法-珀腔单元构成法-拍腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反
射膜9的上表面镀有增透膜10，每个法-珀腔单元中下层反射膜2的下表面 与探测器3紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜9与对应的电压源4 的正极连接，下层反射膜2与对应的电压源4的负极连接。透镜5设置在法 -珀腔阵列的正上方，透镜5的直径大于法-珀腔阵列的最大径，透镜增透膜 6镀在透镜5的上表面，光源7设置在透镜5的上方焦点处。
光源7发出的被测光经过透镜5的准直，将入射光线变为平行光；入射的平行光经过法-珀腔的分光，将入射光变为光谱信号；改变电压源4的电 压，可以改变电光材料的折射率，也就改变了可以通过法-珀腔的波长；记 录下随电压变化的光谱信号；光谱分析软件可以对光谱信号进行融合和分 析，给出被测光的光谱图。在实际设计中，可根据需要和电光材料的折射率 变化范围来确定每个法-珀腔单元的自由光谱范围。多个法-珀腔单元的叠 加，即阵列结构，就可扩展可测量的光谱范围。
权利要求1、一种阵列式微型光谱仪，包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，其特征在于每个电光材料板的上表面镀有上层反射膜，下表面镀有下层反射膜，每个电光材料板以及对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元，所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列；每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜，每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与对应的电压源的负极连接；透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大径，透镜增透膜镀在透镜的上表面，光源设置在透镜的上方焦点处。
2、 如权利要求1所述的一种阵列式微型光谱仪，其特征在于所述 的上层反射膜和下层反射膜的材料为铝或金。
专利摘要本实用新型涉及一种阵列式微型光谱仪。传统光谱仪器使用条件苛刻、体积庞大，限制了其应用范围。本实用新型包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，每个电光材料板的上、下表面镀有上、下层反射膜，构成法-珀腔单元，阵列排列的法-珀腔单元构成法-珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜镀有增透膜，下层反射膜与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与负极连接。透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，光源设置在透镜的上方焦点处。本实用新型具有可多通道并行检测光谱信号，分析速度快、加工难度低、可靠性高、灵活性强、灵敏度高、动态范围大等特点。
文档编号G01J3/26GK201331382SQ20092011290
公开日2009年10月21日 申请日期2009年1月19日 优先权日2009年1月19日
发明者松 胡, 高秀敏 申请人:杭州电子科技大学