专利名称：间距测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造工艺，特别是间距测量装置。
背景技术：
在高温氧化反应中，所生成的氧化膜的厚度对于器件而言非常关键。在实际生产 过程中，所生成的氧化膜的厚度受到高温氧化炉外管、内管、晶舟和基座的影响，尤其是内 管的尺寸和安装位置。此外，晶舟和内管的相对位置发生改变，会对炉口压力产生影响，使 后者也随之产生变化，从而容易对生产过程形成隐患。因此，高温氧化生产过程中，能否对 晶舟和内管位置进行准确的调整和及时的校正，影响到产品合格率，甚至影响到生产安全。现有技术中，通常采用人工手动调整晶舟相对于内管的位置。由于晶舟与内管不 在同一个平面上，一般来说，在传统方法中，通过直尺沿晶舟一图测量晶舟与内管之间的距 离，因此常采用一些近似的测量方法对晶舟与内管之间的间距进行测量。例如，参考图1，采 用传统测量工具，在若干测量点，对晶舟基座上所放置的隔热片与晶舟立柱之间的间距进 行测量。然而，由于间距的数量级较小，例如一般在毫米级，并且数目不大，采用传统测量 工具进行的测量和估计的方式过程，通常既费时又不方便，也达不到较高的精确度，严重影 响了生产效率，进而有可能会影响到产品质量。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种间距测量装置，以便更加便利、准确地测量晶舟 和内管之间的距离，节约测试时间。为实现上述目的，本实用新型提供了一种间距测量装置，至少包括位于一端的测 量部和另一端的把持部，其中，所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一 种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。相较于现有技术，本实用新型间距测量装置各实施方式结构简单，应用方便，能够 有效地提高生产效率，并且通过调整各测量端子之间宽度间隔，能够改善测量的精准度，提 高产品成品率。

图1为现有技术对晶舟和内管之间间隔进行测量的结构示意图；图2为本实用新型间距测量装置一种实施方式的结构示意图；图3为本实用新型间距测量装置一种具体实施例的结构示意图；图4为应用图3所示本实用新型间距测量装置一种具体实施例进行测量的结构示 意图。
具体实施方式
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新 型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新 型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。其次，本实用新型利用示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于 说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在 此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空 间尺寸。
以下结合附图和具体实施例，对本实用新型实施方式做进一步详细说明。参考图2，本实用新型提供了一种间距测量装置100，至少包括位于一端的测量部 110和另一端的把持部120，其中，测量部110包含多个测量端子101，每个测量端子101分 别对应于一种宽度值，多个测量端子101沿自测量部110向把持部120的方向依次呈阶梯 状分布。在具体实施方式
中，所述测量端子的截面形状可配合晶舟与内管之间的间隔而设 计。所述测量端子的界面形状包括但不限制为矩形、圆形、椭圆形；其也可为不规则形例 如，矩形与圆形的组合，即，平行于宽度方向上的一组对边为部分圆形且垂直于宽度方向上 的一组对边为矩形直边。在实际应用过程中，依次尝试将对应于不同宽度的测量端子分别插入至晶舟与内 管之间，观察所述测量端子的宽度和晶舟与内管的间距之间的差距，通过设置各测量端子 宽度之间的间隔，能够快速地确定晶舟与内管之间的间距范围。当将各测量端子宽度之间 的间隔设置为晶舟与内管之间间距的精度要求时，使用所述间距测量装置，通过当前所适 用的测量端子对应的宽度，能够得到晶舟与内管之间的间距的值。具体来说，当当前测量端子能够插入晶舟与内管之间时，即当前测量端子的宽度 小于晶舟与内管的间距，此时，观察后一个相邻的测量端子是否仍旧能够插入其中，即后一 个相邻的测量端子的宽度是否仍旧小于晶舟与内管之间的间距。当当前测量端子能够插入 晶舟与内管之间，且后一个相邻的测量端子的宽度大于晶舟与内管之间的间距时，当前测 量端子即为当前适用的测量端子，其所对应的宽度与后一个相邻测量端子所对应的宽度即 为所述晶舟与内管之间的间距的范围。其中，将所述测量端子插入至晶舟与内管之间是指，所述测量端子一侧表面贴合 或外切于所述晶舟的贴近内管的外侧表面。在具体实施方式
中，多个所述测量端子可具有一侧共同的表面，即基准面，便于在 应用过程中，仅需对基准面进行一次校准，即可方便地对对应于不同宽度的测量端子进行 多次移动，而无须每次移动之前重新进行校准。此时，所述测量端子分别具有不同的宽度值 即表现为其另一侧的表面与所述基准面之间的不同间距。多个所述测量端子具体对应的宽度值以及每个测量端子宽度之间的差值可由生 产工程师根据实际需求确定，例如，可根据晶舟和内管之间间隔的上、下限值分别确定测量 端子的最小、最大宽度值，可根据晶舟和内管之间间隔的允许误差确定测量端子宽度之间 的差值。参考图3，在应用本实用新型间距测量装置200的一种具体实施例的过程中，间距测量装置200包括测量部210和把持部220，其中，测量部210包括5级测量端子，自测量部 210向把持部220的方向，分别为测量端子201-205。各测量端子的宽度值之间以1毫米递 增，测量端子201-205依次对应于宽度值5毫米、6毫米、7毫米、8毫米和9毫米。参考图4，应用间距测量装置200对晶舟300和内管400的间距进行测量，其中，内 管400的直径为315毫米。由于测量端子201-205具有共同的基准面，基于所述基准面进 行校准之后，当沿所述基准面平行移动间距测量装置200，分别对测试端子201-205进行尝 试的过程中，无须重复进行校准，节省了测试时间，提高了生产效率。首先，将所述基准面贴合于晶舟300靠近内管400的外侧表面，以进行校准。接着， 观察测量端子201-205的宽度与晶舟300和内管400的间距之间的差距。具体地，可依次 对各测量端子进行尝试；例如，将测量端子201插入至晶舟300和内管400之间；当测量端 子201能够插入至晶舟300和内管200之间时，尝试将测量端子202插入；依次分别尝试将 测量端子202-205进行插入。当测量端子203能够插入至晶舟300和内管400之间，而测 量端子204不能插入时，则晶舟300和内管400之间的间隔范围在7毫米至8毫米。此外， 根据晶舟300和内管400之间的间隔，更接近于测量端子203的宽度还是更接近于测量端 子204的宽度，可获得对于晶舟300和内管400之间的间隔较为准确的近似值。在具体实施方式
中，把持部220可采用多种形状，如柱形或方形；或在把持部220 配备阻尼装置以增大摩擦力，利于对其进行把持。把持部220的具体配备不对本实用新型 发明思路造成影响。相较于现有技术的间距测量装置，本实用新型间距测量装置各实施方式结构简 单，应用方便，能够有效地提高生产效率，并且通过调整各测量端子之间宽度间隔，能够改 善测量的精准度，提高产品成品率。虽然本实用新型已通过较佳实施例说明如上，但这些较佳实施例并非用以限定本 实用新型。本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，应有能力对该较佳实 施例做出各种改正和补充，因此，本实用新型的保护范围以权利要求书的范围为准。
权利要求1.一种间距测量装置，至少包括位于一端的测量部和另一端的把持部，其特征在于， 所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。
2.如权利要求1所述的间距测量装置，其特征在于，多个所述测量端子具有一侧共同 的基准面。
3.如权利要求1所述的间距测量装置，其特征在于，根据晶舟和内管之间间隔的上、下 限值分别确定所述测量端子的最小、最大宽度值，以及根据晶舟和内管之间间隔的允许误 差确定所述测量端子宽度之间的差值。
4.如权利要求3所述的间距测量装置，其特征在于，每个所述测量端子的宽度之间相差1毫米。
专利摘要一种间距测量装置，至少包括位于一端的测量部和另一端的把持部，其中，所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。本实用新型间距测量装置各实施方式结构简单，应用方便，能够有效地提高生产效率，并且通过调整各测量端子之间宽度间隔，能够改善测量的精准度，提高产品成品率。
文档编号G01B5/14GK201844805SQ20102050523
公开日2011年5月25日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者周成志, 李光旺, 李向辉, 王杨, 秦国强 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司