专利名称：二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种大功率激光器气体流量配比校准装置，具体说是一种 二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置。
技术背景激光器的的气体控制部分是控制工作气体的流量大小的重要部件，而气体 流量的大小又决定着激光器的性能，故对于激光器来说， 一个性能良好的气体 控制装置非常重要。二氧化碳大功率激光器的工作气体He、 N2、 C02的正常工 作比例为4.75: 3.00: 7.50，日本UESHIMA公司生产的原装气体流量计为高精 度型，可精确控制气体流量，满足气体工作流量的准确调节，但是该产品价格 昂贵，安装该流量计的激光器大大增加了生产成本。为了降低生产成本，用单 向节流阀代替日本产的原装气体流量计，这种单向节流阀的价格仅有日本产原 装气体流量计的1/30，这样就极大降低了激光器的成本。但是按照正常工作比 例调节单向节流阀后，单向节流阀的流量刻度与实际的流量相差比较大，从而造成激光器的功率、放电管压降达不到要求，激光器性能不稳定，故障发生较 多。发明内容发明目的本实用新型的目的在于解决现有技术中存在的问题，提供一种 气体流量配比校准装置，使激光器的气体流量能准确达到设计要求，从而既能 降低二氧化碳大功率激光器的生产成本，又能使二氧化碳大功率激光器性能稳 定，减少故障发生率。技术方案本实用新型的目的是这样实现的 一种二氧化碳大功率激光器 气体流量配比校准装置，它包括气体流量计、面板、安装架，所述气体流量计 固定安装在面板上，面板固定安装在安装架上。所述的气体流量计有三个，分别为He气体流量计、N2气体流量计、C02 气体流量计，气体流量计包括气体输入端、气体输出端、调节阀、表柱，其中 调节阀与表柱相连，气体输出端设置在表柱背面的上部，气体输入端设置在表 柱背面的下部。所述的He气体流量计、N2气体流量计、C02气体流量计顺次平行安装在面 板上，并分别用螺栓固定在面板上。
安装架包括侧板和后固定板，侧板与后固定板用螺栓固定连接。 二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置中的He、 N2、 C02三个气体流 量计均采用日本UESHIMA公司生产的原装气体流量计，He气体流量计的型号 为BROOKS TUBE SIZE R-2-15-D; N2气体流量计的型号为BROOKS TUBE SIZE R-2-15-D; C02气体流量计的型号为BROOKS TUBE SIZE R-2-15-AAA; 把二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置中的He、 N2、 C02三个气体流 量计下部的气体输入端连接到激光器气体单元的压力开关输出端，把三个气体 流量计上部的气体输出端连接到激光器气体单元的单向节流阀的输入端；把二 氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置的三个气体流量计调节阔调到最 大，使激光器正常运转；先调节与He气体流量计连接的单向节流阀，使二氧化 碳大功率激光器气体流量配比校准装置的He气体流量计的升降球指示刻度为 90mm;再调节与C02气体流量计相连接的单向节流阀，使二氧化碳大功率激光 器气体流量配比校准装置的C02气体流量计的升降球指示到刻度为55mm;最后 把激光器的工作气压调至80mbar，电流调至40mA，调节与N2气体流量计连接 的单向节流阔，使放电管上的两端电压在15.7KV 16KV之间，这时单向节流阀 的指示刻度即是满足二氧化碳大功率激光器工作需要的气体流量的准确值，将 单向节流阀固定在该刻度不动，即完成对二氧化碳大功率激光器的校准。有益效果使用本实用新型来校准二氧化碳大功率激光器，可以避免采购 的配件质量差异问题引起的激光器性能的不稳定，从而既能大大降低二氧化碳 大功率激光器的生产成本，又能保证二氧化碳大功率激光器的性能符合要求， 有效的降低了故障率。

图示为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做更进一步的解释。 如图所示,本实用新型包括三个气体流量计，分别为He气体流量计l， N2气体流 量计2， C02气体流量计3，面板4，后固定板5，侧板6，侧板6为两个，两个 侧板分别与后固定板5用螺栓固定安装，面板4固定安装在两个侧板上，He气 体流量计l、 N2气体流量计2、 C02气体流量计3分别用螺栓顺次固定安装在面 板4上，所述三个气体流量计的结构相同，流量计包括气体输入端7、气体输出 端8、调节阀9、表柱10，其中调节阀9与表柱10相连，气体输出端8设置在
表柱10背面的上部，气体输入端7设置在表柱10背面的下部。所述的三 个气体流量计的气体输出端8、气体输入端7上接有气管，安装使用时，将气体 流量计下部的气体输入端7上连接的气管与激光器气体单元的压力开关输出端 连接，将气体流量计上部的气体输出端8上连接的气管与激光器气体单元的单 向节流阀的输入端连接。本实用新型提供了一种大功率二氧化碳激光器气体流量的配比校准装置 的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本实用 新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不 脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰 也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部份均可用现有 技术加以实现。
权利要求1、一种二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置，其特征在于它包括气体流量计、面板(4)、安装架，所述的气体流量计固定安装在面板(4)上，面板(4)固定安装在安装架上。
2、 根据权利要求1所述的二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置， 其特征在于所述的气体流量计有三个，分别为He气体流量计(l)、 N2气体流 量计(2)、 C02气体流量计(3)。
3、 根据权利要求1或2所述的二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装 置，其特征在于所述的气体流量计包括气体输入端(7)、气体输出端(8)、 调节阀(9)、表柱(10)，其中调节阀(9)与表柱(10)相连，气体输出端(8) 设置在表柱(10)背面的上部，气体输入端(7)设置在表柱(10)背面的下部。
4、 根据权利要求1或2所述的二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装 置，其特征在于He气体流量计(1)、 N2气体流量计(2)、 C02气体流量计(3) 顺次平行安装在面板(4)上。
5、 根据权利要求1或2所述的二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装 置，其特征在于He气体流量计(1)、 N2气体流量计(2)、 C02气体流量计(3) 分别用螺栓固定在面板(4)上。
6、 根据权利要求1或2所述的二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装 置，其特征在于安装架包括侧板(6)和后固定板(5)，侧板(6)与后固定 板(5)用螺栓固定连接。
专利摘要本实用新型公开了一种二氧化碳大功率激光器气体流量配比校准装置，它包括气体流量计、面板、安装架，所述的气体流量计固定安装在面板上，面板固定安装在安装架上，所述的气体流量计有三个，分别为He气体流量计、N₂气体流量计、CO₂气体流量计，所述的气体流量计包括气体输入端、气体输出端、调节阀、表柱，其中调节阀与表柱相连，气体输出端设置在表柱背面的上部，气体输入端设置在表柱背面的下部。使用本实用新型来校准二氧化碳大功率激光器工作气体的配比，可以避免采购的配件质量差异问题引起的激光器性能不稳定，从而既能大大降低激光器的生产成本，又能保证激光器的性能符合工作要求，有效的降低了故障率。
文档编号G01F25/00GK201215861SQ200820038130
公开日2009年4月1日 申请日期2008年7月9日 优先权日2008年7月9日
发明者包和兵, 周海京, 陈智华, 俊 马 申请人:南京通快激光设备有限公司