专利名称：流量测定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测定气体的流量的流量测定装置，涉及例如用于面向睡眠时无呼 吸症候群的治疗器等医疗设备、监视工厂中的空气流量的工业设备、设备组装用途等的流 量测定装置。
背景技术：
通常，在流量测定装置中直接测定大流量的直管型流量测定装置中，为了使流速 降低至流量检测元件的可测定区域，需要增大配管的直径，装置的小型化有限。于是，通常 为了使大流量测定用的流量测定装置小型化，提案有旁通流路构造的流量测定装置。在旁 通流路构造的流量测定装置中，构成为如下的方式，即，使副流路从主流路分支，通过流量 检测元件测定向副流路流动的气体的流速，根据主流路与副流路的分流比和副流路中的流 速来求出总流量。但是，在这样的旁通流路构造的流量测定装置中，因副流路的存在而使主流路内 的垂直截面中的流速分布容易不均勻，当主流路内的流速分布不均勻时，向副流路的分流 比不稳定，因此，难以求出正确的总流量。(专利文献1)作为改善这种流速分布的不均勻性带来的测定精度降低的旁通流路构造的流量 测定装置，具有图1 (参照专利文献1参照)所示的结构。该流量测定装置11中，在主流路 13内设有节流孔(未图示)，跨过具有主流路13的主流管12的外周面而在主流管12之上 设有副流路14。副流路14具有如下的构造。在主流路13的内壁，在比节流孔更上游侧，在左右两 侧设有导入口 15，在比节流孔更下游侧，在左右两侧设有排出口 16。而且，利用第一副流路 19使从导入口 15向上方延伸的导入流路17 (导入纵槽)的上端部和从排出口 16向上方延 伸的排出流路18(排出纵槽)的上端部连接并连通。另外，将左右的导入流路17的上端间 用第二副流路20连接并连通，将左右的排出流路18的上端间用另一第二副流路21连接并 连通，进而将两第二副流路20、21的中央部彼此用水平的检测流路22连接并连通。在检测 流路22内设有用于测定气体的流速的流量检测元件(未图示)。然后，当气体通过该流量测定装置11的主流路13内时，气体的一部分从导入口 15 流入副流路14，通过图1中箭头所示的路径从排出口 16返回主流路13内，再次在主流路 13内流动。此时，流入到导入流路17内的气体向第一副流路19和第二副流路20分支而流 动，由此，一部分气体在第二副流路20流动。而且，从左右流入到第二副流路20的气体一 同在检测流路22流动，测定通过检测流路22的气体的流速，根据主流路13和检测流路22 的分流比和检测流路22中的流速来求出总流量。(专利文献2)同样地，在专利文献2公开的流量测定装置中，在主流路内配置节流孔，在节流孔 的上游侧和下游侧分别使构成副流路的四条导入流路和四条排出流路从主流路分支，将从各导入流路导入的气体向一条检测流路汇集，使流速分布的偏置平均化，在此基础上通过 流量检测元件测定气体的流速。专利文献1 日本特许第3870969号公报(图15)专利文献2 美国特许第5，279，155号说明书流量测定装置不仅用于如城市煤气用的煤气表那样地乾燥气体的流量测定用，也 还在结露水容易发生的环境下使用，或者与贮存液体的设备等一同使用。作为其一例，具有用于睡眠时无呼吸症候群的检查及治疗的面向睡眠时无呼吸症 候群的治疗器(Continuous Positive Airway Pressure) 0该治疗器通过泵或风扇电机等 动力源送出空气来确保患者的呼吸，为了监视根据患者的呼吸状态的变化而变动的气体流 量而使用流量测定装置。该治疗器中，在具备流量测定装置的流路中连接加湿器，将包含由 加湿器产生的水蒸气的气体通过软管送向患者佩戴的面罩。在这种设备中，必须测定大流量的气体，并且寻求小型化，进而由于使用功率小的 动力源，所以要求流路为低压力损失，因此，作为流量测定装置使用旁通流路构造的流量测
定装置。但是，在这种用途中，在流量测定装置的内部结露的结露水会流入具备流量检测 元件的检测流路内，或者加湿器的水会流入检测路内。流量检测元件为了测定气体的流速而在检测流路内露出，因此，当流入检测流路 内的水附着于流量检测元件时，可能发生流量检测元件的测定精度降低，或者元件自身劣 化的情况。另外，即使水不附着于流量检测元件，当浸入检测流路内的水残留于此时，由于 检测流路的截面积发生变化，所以通过检测流路的气体的流速也会变大，另外，由于主流路 与检测流路的分流比发生变化，所以存在使流量测定装置的测定精度降低的问题。在现有的流量测定装置中，针对这种问题的对策不充分。在专利文献1所记载的 流量测定装置11中，如图1所示，由于水平配置的第二副流路20或21和检测流路22在水 平面内垂直相交，所以水一旦流入第二副流路20或21，更容易浸入检测流路22。另外，在 搬动组装有流量测定装置11的设备时等，当设备横向转动而流量测定装置11变为横向时， 如图2所示，第二副流路20或21朝向竖直方向，因此，如图2中箭头所示，水从上向下通过 第二副流路20或21，此时水浸入检测流路22的可能性变高。在专利文献2所记载的流量测定装置中，检测流路相对于导入流路或排出流路垂 直地形成，因此，水一旦流入导入流路或排出流路，则水更容易浸入检测流路。另外，与流量 测定装置11的情况相同(参照图2)，在水从上向下通过成为纵向的导入流路或排出流路 时，水浸入检测流路的可能性变高。另外，在专利文献2的流量测定装置中，由于导入流路 及排出流路相对于主流路的中心全方位地配置，所以因重力带来的水的排出性差，水一旦 浸入导入流路及排出流路、检测流路，则不容易排出。如上所述，旁通流路构造的流量测定装置在气体与液体及水蒸气接触的状态下使 用，或者在主流路与贮存液体的部位连通的状态下使用，当因不测的事态而使液体流入流 量测定装置的检测流路时，对流量测定装置的特性带来影响。因此，期望虽然气体可通过检 测流路，但液体难以浸入检测流路的构造的流量测定装置。

发明内容
本发明是鉴于这种技术课题而作出的，其目的在于提供一种采用了旁通流路构造 的大流量测定用的流量测定装置，液体难以附着于流量检测元件，且液体难以浸入设有流 量检测元件的检测流路，并且难以残留于其中的构造。为了实现这种目的，本发明的流量测定装置，其特征在于，包括主流管，其具有流 动有气体的主流路；节流孔，其在所述主流路内将气体的流动节流；副流路块，其设有副流 路，该副流路的一端在所述节流孔的上游侧与开设于所述主流路内的一对导入口连通，另 一端在所述节流孔的下游侧与开设于所述主流路内的一对排出口连通，所述副流路具备 一对导入流路，其上游侧的端部与所述各导入口连通；上游侧副流路，其两端分别与所述各 导入流路的下游侧的端部连接；一对排出流路，其下游侧的端部与所述各排出口连通；下 游侧副流路，其两端分别与所述各排出流路的上游侧的端部连接；检测流路，其上游侧的端 部与所述上游侧副流路连接，下游侧的端部与所述下游侧副流路连接，并且配置有流量检 测元件，所述检测流路的上游侧的端部位于比所述上游侧副流路的两端更靠主流路的上游 侧，所述检测流路的下游侧的端部位于比所述下游侧副流路的两端更靠主流路的下游侧。根据本发明的流量测定装置，由于检测流路的上游侧的端部位于比上游侧副流路 的两端更靠主流路的上游侧，且检测流路的下游侧的端部比下游侧副流路的两端更靠主流 路的下游侧，因此，即使组装有流量测定装置的设备等倾倒而使流量测定装置成为纵向或 横向，液体也不易浸入检测流路，检测流路难以被液体污染，或液体难以附着于流量检测元 件上。因此，即使在组装于使用液体的设备等的情况下，流量测定装置的特性也不易因浸入 流量测定装置的液体而降低。本发明的流量测定装置的一方面，所述检测流路的上游侧的端部在离开所述导入 流路的下游侧的端部的位置与所述上游侧副流路连接，所述检测流路的下游侧的端部在离 开所述排出流路的上游侧的端部的位置与所述下游侧副流路连接。根据该方面，由于在导 入流路及排出流路与检测流路之间设有上游侧副流路及下游侧副流路，所以能够防止浸入 到导入流路及排出流路的液体直接流入检测流路。本发明的流量测定装置的另一方面，所述上游侧副流路的底面以上游侧副流路从 与所述检测流路连接的部位朝向与所述各导入流路连接的两端逐渐降低的方式倾斜。根 据该方面，由于浸入上游侧副流路的液体因上游侧副流路的底面的倾斜而向导入流路侧排 出，所以难以浸入检测流路。本发明的流量测定装置的又一方面，所述下游侧副流路的底面以下游侧副流路从 与所述检测流路连接的部位朝向与所述各排出流路连接的两端逐渐降低的方式倾斜。根 据该方面，由于浸入下游侧副流路的液体因下游侧副流路的底面的倾斜而向排出流路侧排 出，所以难以浸入检测流路。本发明的流量测定装置的其他方面，具有将各所述导入流路的下游侧的端部和所 述排出流路的上游侧的端部连接的侧部副流路，各侧部副流路的底面的端部分别比所述上 游侧副流路的底面的端部或所述上游侧副流路的底面的端部低。根据该方面，由于从导入 流路或排出流路浸入的液体向比上游侧流路及下游侧流路低的侧部副流路流动，因此，难 以通过上游侧流路及下游侧流路向检测流路流动。本发明的流量测定装置的再其它方面，所述副流路为相对于穿过所述流量检测元
5件的中心且与所述主流路的轴向垂直的平面对称的构造。根据该方面，可以使副流路中的 气体的流动稳定。另外，用于解决本发明的所述课题的发明具有将以上说明的构成要素适当组合的 特征，本发明可将上述构成要素组合而进行多种变化。


图1是专利文献1记载的流量测定装置的立体图；图2是用于说明在装入有流量测定装置的设备横向转动时、流入第二副流路的水 浸入检测流路内的样子的图；图3是本发明实施方式1的流量测定装置的分解立体图；图4是将用于实施方式1的流量测定装置的基体部件局部剖切表示的立体图；图5是上述基体部件的俯视图；图6是图5的X-X线剖面图；图7是图5的Y-Y线剖面图；图8是表示流量检测元件之一例(流量传感器)的概略剖面图；图9是示意性表示主流路和副流路的立体图；图10是表示以第二副流路成为纵向而倾倒的副流路和其局部放大剖面的图；图11是表示检测流路61成为纵向而倾倒的副流路的图；图12是用于本发明实施方式2的流量测定装置的基体部件的俯视图；图13是本发明实施方式3的流量测定装置的剖面图。符号说明41,91 流量测定装置42 主流管43 主流路44 副流路块45,81 基体部件47 流量检测元件48 电路基板49 节流孔54:导入口55:排出口56 导入流路57 排出流路58 第一副流路59,60 第二副流路61 检测流路62 测定室
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。(第一实施方式)以下，参照图3 图7对本发明实施方式1的流量测定装置的构造进行说明。图 3是实施方式1的流量测定装置41的分解立体图。图4是将流量测定装置41的基体部件 局部剖切表示的立体图。图5是基体部件的俯视图，图6是图5的X-X线剖面图，图7是图 5的Y-Y线剖面图。如图3所示，实施方式1的流量测定装置41由将用于在主流管42的外周面形成 副流路的副流路块44 一体成形而成的合成树脂制的基体部件45、由橡胶等绝缘材料构成 的环状密封部件46、在下表面安装有流量检测元件47的电路基板48构成。在具有盒状外观的副流路块44的上表面的大致整体形成有凹部50。以将设于凹 部50内的副流路形成区域(形成有后述的第一副流路58、第二副流路59、60及检测流路 61的区域)包围的方式，在凹部50的底面环状地凹陷设置用于嵌入密封部件46的密封用 槽51，且在其外侧的四角突出有用于热铆接电路基板48的突起52。然后，在将密封部件46嵌入密封用槽51内后，使流量检测元件47朝向下而将电 路基板48收纳在凹部50内，在电路基板48的孔53插通突起52，将突起52热铆接于电路 基板48上，由此组装流量测定装置41。另外，电路基板48也可以使用热铆接以外的方法、例如螺丝固定在基体部件45 上。另外，副流路块44的上表面由未图示的罩覆盖。在这样组装有流量测定装置41的状态下，副流路形成区域的上表面由电路基板 48覆盖，流量检测元件47被定位于副流路形成区域的规定位置。另外，密封部件46被压紧 在密封用槽51与电路基板48之间，由于电路基板48没有热铆接用的孔53以外的孔，所以 密封部件46等防止气体从流路形成区域向外部泄漏。流量检测元件47只要能够测定气体的流速则其种类没有特别限制。作为流量检 测元件47，例如可以使用具有加热器和热电元件的流量传感器。在该流量检测元件47中， 如图8所示，通过蚀刻在基板71的上表面形成空腔72，在空腔72之上铺设绝缘性薄膜73， 由基板71保持绝缘性薄膜73的边缘。在绝缘性薄膜73的中央部通过多晶硅形成加热器 74，在加热器74的上游侧和下游侧分别设有热电元件75a、75b。热电元件75a、7 将Al的 线素和多晶硅的线素交替连结并之字状配置而成。热电元件75a、7^相对于加热器74对 称地配置，测量加热器74两侧的对称位置的温度。另外，符号76a、76b是加热器74及热电元件75a、75b的电极焊盘。在进行测定时，加热器74按规定温度发热，在加热器74的周围产生规定的温度分 布α (温度梯度)。由于热电元件75a、7^为对称的配置，所以在加热器74之上没有气体 流动的情况下，两热电元件75a、75b的检测温度相等，温度差为零。对此，当在加热器74之上产生气体的流动时，加热器74的热被向下游侧输送，温 度分布α向下游侧位移，因此，下游侧的热电元件7 的检测温度上升，上游侧的热电元件 75a的检测温度下降，根据两热电元件75a、75b的检测温度的温度差可计算气体的流速。这种流量检测元件47中，当流量检测元件47被液体润湿时，在加热器74周围的 温度分布α发生异常，或者电极焊盘76a、76b彼此发生短路，因此，需要使液体不浸入检测流路61内。主流管42具有用于使大流量的气体通过的主流路43。在主流路43内的中央部， 以隔开主流路43的方式设有节流孔49 (流速限制器)。节流孔49 一体形成于主流管42的 内周面，如图6所示，由内周的直径比主流路43的直径小的圆环部和设于圆环部的内侧的呈十 文字形状的栈部构成。而且，如图4所示，节流孔49的圆环部向主流路43的内周面突出，将通 过主流路43的气体的流动由节流孔49节流，利用栈部对通过主流路43的气体赋予阻力。如图7及图4所示，在节流孔49的上游侧，在主流路43的内面上部开设有两处导 入口 54，从导入口 M朝向凹部50内垂直贯通有导入流路56。同样，在节流孔49的下游 侧，在主流路43的内面上部也开设有两处排出口 55，从排出口 55朝向凹部50内垂直地贯 通有排出流路57。如图4所示，在一导入流路56的上端部与一排出流路57的上端部之间形成有与 主流路43的轴向平行延伸的水平的第一副流路58 (侧部副流路)，该导入流路56和排出流 路57通过第一副流路58连通流路。同样，另一导入流路56和另一排出流路57也通过水 平的第一副流路58连通。如图4及图5所示，在位于左右两侧的导入流路56的上端间形成有沿副流路块44 的宽度方向延伸的第二副流路59 (上游侧副流路)。因此，第二副流路59的底面的端处于 比第一副流路58的底面高的位置。第二副流路59在从垂直上方观察时为在中央弯曲的V 形，另外，第二副流路59的底面以随着从两端朝向中央而变高的方式倾斜(参照图7)。同样，在位于两侧的排出流路57的上端间形成有沿副流路块44的宽度方向延伸 的第二副流路60 (下游侧副流路)。因此，第二副流路60的底面的端处于比第一副流路58 的底面高的位置。第二副流路60从垂直上方观察时，为在中央弯曲的V形，另外，第二副流 路60的底面以随着从两端朝向中央变高的方式倾斜。在位于上游侧的第二副流路59的中央与位于下游侧的第二副流路60的中央之间 形成有直线状的检测流路61，第二副流路59、60彼此通过检测流路61连通。在检测流路 61的长度方向中央部形成有宽度宽的测定室62，安装于电路基板48的下表面的流量检测 元件47位于测定室62的顶面。另外，从通过检测流路61的第二副流路59的中央到第二 副流路60的中央的底面成为水平面。但是，在测定室62内，为了增大气体的流速而梯形地 提高检测流路61的底面。第二副流路59、60弯曲成V形，但对于其弯曲方法，第二副流路59、60的中央以分 别远离测定室62的方式弯曲。因此，检测流路61的长度比第一副流路58长。另外，第二副流路59、60及检测流路61形成上表面开口的槽状，但也可以形成通 过由电路基板48堵塞上表面开口而闭塞的流路。测定室62及流量检测元件47位于节流孔49的中心的垂直上方。由导入口 54、导 入流路56、第一副流路58、第二副流路59、检测流路61、测定室62、第二副流路60、排出流 路57及排出口 55构成的副流路为相对于包含主流路43的轴心的垂直面左右对称的构造， 另外，为也关于通过流量检测元件47的中心(或节流孔49的中心)且与主流路43的轴心 垂直的平面对称的构造，在副流路内使气体顺畅地流动。主流管42和节流孔49和副流路块44形成一体的基体部件45具有上述的构造， 特别是导入流路56及排出流路57为垂直的贯通孔，第一副流路58、第二副流路59、60、检测流路61及测定室62均由凹槽形成，因此，通过一次注射成形可一体成形。具体而言，由 成形主流管42的外周上表面和副流路块44的上模型、成形主流管42的外周下表面的下模 型、成形主流路43及节流孔49的单侧半部的第一辅助模型、成形主流路43及节流孔49的 剩余部分的第二辅助模型构成成形模型，上模型和下模型在上下开模，第一及第二辅助模 型只要在水平方向脱开即可。因此，如果与通过多个零件的组合形成副流路块的结构相比， 可以使零件成本和制造成本低廉，可以消除将零件彼此组装时的偏差。(副流路的气体的流动)图9是示意性表示由导入流路56、第一副流路58、第二副流路59、检测流路61、第 二副流路60及排出流路57构成的副流路的图(实际上也可以制作图9那种形状的流量测 定装置41)。使用该示意图说明流量测定装置41中的气体的流动。由于在主流路43内设有节流孔49，所以在主流路43内流动的气体通过节流孔49 而受到阻力。因此，在节流孔49的上游侧，气体的压力比下游侧的高，一部分气体容易从导 入口 54向导入流路56内流入。在主流路43内通过的气体的一部分从导入口 M流入导入流路56时，在导入流路 56的上端部，气体被分到第一副流路58和第二副流路59流动。进入第一副流路58的气 体通过第一副流路58流入排出流路57，从排出口 55再次返回主流路43，在主流路43内流动。导入口 M设于左右两侧，因此，从两端向第二副流路59流入气体，且在第二副流 路59的中央部合流的气体通过检测流路61内。设于检测流路61的中央部的测定室62的 宽度比检测流路61宽，且高度比检测流路61低，因此，通过测定室62的气体以薄且宽的状 态通过流量检测元件47的表面，检测流速。而且，根据由主流路43与检测流路61的分流 比和流量检测元件47检测到的流速等计算通过主流路43的气体的流量。从检测流路61的端排出到第二副流路60的中央的气体被左右分开而通过第二副 流路60内，且通过排出流路57而再次返回主流路43，流过主流路43内。因此，在该流量测定装置41中，通过将主流路43与检测流路61的分流比设定为 适当的值，即使主流路43的直径减小且流速增大，在测定室62也可以将流速降低至适合流 量检测元件47进行测定的流速范围(输出的线性范围)。因此，能够将可测定大流量的流 量测定装置41小型化。另外，由于在主流路43内设有节流孔49，所以可以使垂直于主流路 43的轴向的截面的气体的流速分布均勻，可以减小主流路43与检测流路61的分流比的偏 差，使测定精度提高。另外，第一副流路58具有通过将气体旁通而减小流过检测流路61的气体的流量 的作用、和通过调整第一副流路58的截面面积而使测定室62的流速最佳化的作用。而且， 第一副流路58由于通过在副流路块44的上表面设置凹槽而形成，所以其截面面积的调整 在模型构造上变得容易。(液体的排除)另一方面，该流量测定装置41根据以下的理由而成为难以使液体浸入检测流路 61内的构造，检测流路61及流量检测元件47不易被液体污染。例如，液体从导入口 M向导入流路56浸入，使液体附着在导入流路56的壁面。此 时，通过气体的流动吹起液体，可使其进入导入流路56的深部。但是，即使液体达到导入流路56的上端部，如图4或图9所示，由于第二副流路59的底面的端比第一副流路58的底 面高，所以达到导入流路56的上端部的液体也难以浸入第二副流路59侧，能够容易地浸入 第一副流路58侧。而且，浸入第一副流路58的液体通过第一副流路58及排出口 55被向 主流路43内排出。因此，在该流量测定装置41中，通过将第一副流路58的底面设于比第 二副流路59、60的底面低的位置，浸入到导入流路56的液体难以达到检测流路61。另外，在流量测定装置41为正常的姿势时，假如液体进入第二副流路59或60，如 图7所示，第二副流路59及60的底面由于均从其中央朝向两端向下倾斜，所以浸入到第二 副流路59或60内的液体也会通过第二副流路59或60的底面的倾斜而从第二副流路59或 60向导入口 M或排出口 55排出。因此，在该流量测定装置41中，通过使第二副流路59、60 的底面从中央朝向两端向斜下倾斜，从而即使液体浸入第二副流路59、60，也难以向检测流 路61流入。另外，在现有例的流量测定装置11中，由于第二副流路20、21为直线状，所以在组 装有流量测定装置11的设备横向转动的情况下，当液体流入纵向的第二副流路20、21时， 液体可能绕入检测流路22而浸入(参照图2)。对此，在本实施方式的流量测定装置41中，与检测流路61连接的第二副流路59、 60的中央部以向检测流路61的相反侧飞出的方式弯曲。因此，在搬动设备时等设备横向 转动的情况下，副流路以图10所示的姿势成为横向。在该状态下，当液体因自重而流入纵 向的第二副流路59、60时，如图10中箭头所示，在检测流路61的上方，液体朝向检测流路 61的端在第二副流路59、60内倾斜流下，在检测流路61的端之前，液体向离开检测流路61 的端的方向流动，迂回过检测流路61的端并在第二副流路59、60内从检测流路61的上方 向下方移动，因此，液体难以向检测流路61内浸入。而且，通过使第二副流路59、60的底面 倾斜，第二副流路59、60以在两端的流路截面面积大，在中央的流路截面面积最小的方式 缩小，因此，朝向第二副流路59、60的中央流动的液体随着朝向中央而加速，更加难以进入 检测流路61内。而且，流入第二副流路59、60的液体从导入口 M或排出口 55被排出。因 此，在该流量测定装置41中，通过将第二副流路59、60弯曲成V形，即使在流量测定装置41 横向转动的情况下，液体也难以流入检测流路61。另外，在组装有流量测定装置41的设备倾倒，如图11所示检测流路61成为纵向 的情况下，成为上的第二副流路(在此为第二副流路59)从正面看形成倒V形，因此，进入 此的液体如图11中箭头所示，沿第二副流路59向两侧排出，进而从第一副流路58流向下 方。因此，即使液体进入第二副流路59，液体浸入检测流路61内的可能性也少。此时，流入第一副流路58的液体贮留于成为下的第二副流路(在此为第二副流路 60)的中央，但在将设备配置成正常的姿势时，贮留于第二副流路60的中央的液体因第二 副流路60的底面的倾斜而流向两端，从排出流路57向主流路43排出。因此，在该流量测 定装置41中，通过将第二副流路59、60弯曲成V形，并且第二副流路59、60的底面倾斜，由 此，在流量测定装置41横向转动的情况下，液体难以流入检测流路61。因此，该流量测定装置41中，检测流路61及流量检测元件47难以与液体接触而 被污染。特别是，即使在用于具备贮存液体的容器等的设备的情况下，在搬动设备时即使残 留于容器内的液体流出，液体也难以流入检测流路61。而且，如果以正确的姿势设置设备， 则可以使流入副流路内的液体迅速地向主流路43排出。因此，在该流量测定装置41中，即使在使用液体的环境下，也能够抑制流量测定装置41的特性劣化。另外，为了提高浸入的液体的排出性，优选对副流路的表面(特别是第一副流路 58、第二副流路59、60、检测流路61、测定室62的表面)实施表面处理，以使表面粗糙度的 最大高度为25 μ m以下。(第二实施方式)图12是本发明实施方式2的流量测定装置中使用的基体部件81的俯视图。在该 实施方式中，省去实施方式1中的左右的第一副流路58，导入口讨和排出口 55不直接连 接。根据这种构造，由于气体不流向第一副流路，所以能够增大在检测流路61流动的流量。 另外，在该实施方式中，测定室62的底面不升高，检测流路61的底面从端到端平坦地形成。(第三实施方式)图13是本发明实施方式3的流量测定装置91的剖面图。在该流量测定装置91 中，副流路的左右对称面、和主流路43的左右对称面错开。根据这种构造，由于两个导入口 M设置在主流路43的非对称的位置，所以将从导入口 M采样的测定用的气体的流速平均 化的作用高。
权利要求
1.一种流量测定装置，其特征在于，包括主流管，其具有流动有气体的主流路；节流 孔，其在所述主流路内将气体的流动节流；副流路块，其设有副流路，该副流路的一端在所 述节流孔的上游侧与开设于所述主流路内的一对导入口连通，另一端在所述节流孔的下游 侧与开设于所述主流路内的一对排出口连通，所述副流路具备一对导入流路，其上游侧的端部与所述各导入口连通；上游侧副流路，其两端分别与所述各导入流路的下游侧的端部连接；一对排出流路，其下游侧的端部与所述各排出口连通；下游侧副流路，其两端分别与所述各排出流路的上游侧的端部连接；检测流路，其上游侧的端部与所述上游侧副流路连接，下游侧的端部与所述下游侧副 流路连接，并且配置有流量检测元件，所述检测流路的上游侧的端部位于比所述上游侧副流路的两端更靠主流路的上游侧， 所述检测流路的下游侧的端部位于比所述下游侧副流路的两端更靠主流路的下游侧。
2.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，所述检测流路的上游侧的端部在 离开所述导入流路的下游侧的端部的位置与所述上游侧副流路连接，所述检测流路的下游 侧的端部在离开所述排出流路的上游侧的端部的位置与所述下游侧副流路连接。
3.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，所述上游侧副流路的底面以上游 侧副流路从与所述检测流路连接的部位朝向与所述各导入流路连接的两端逐渐降低的方 式倾斜。
4.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，所述下游侧副流路的底面以下游 侧副流路从与所述检测流路连接的部位朝向与所述各排出流路连接的两端逐渐降低的方 式倾斜。
5.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，具有将各所述导入流路的下游侧 的端部和所述排出流路的上游侧的端部连接的侧部副流路，各侧部副流路的底面的端部分 别比所述上游侧副流路的底面的端部或所述上游侧副流路的底面的端部低。
6.如权利要求1 3中任一项所述的流量测定装置，其特征在于，所述副流路为相对于 穿过所述流量检测元件的中心且与所述主流路的轴向垂直的平面对称的构造。
全文摘要
一种流量测定装置，在具有主流路(43)的主流管(42)的外侧形成副流路。在主流路(43)内具备将气体的流动节流的节流孔(49)。副流路由与节流孔(49)的上游侧连通的一对导入流路(56)、两端与导入流路(56)的下游侧的端部连接的第二副流路(59)、与节流孔(49)的下游侧连通的一对排出流路(57)、两端与排出流路(57)的上游侧的端部连接的第二副流路(60)、两端与第二副流路(59)的中央和第二副流路60的中央连接且配置有流量检测元件(47)的检测流路(61)构成。检测流路(61)上游侧的端部位于比第二副流路(59)的两端更靠主流路(43)的上游侧，检测流路(61)的下游侧的端部位于比第二副流路(60)的两端更靠主流路(43)的下游侧。
文档编号G01F1/00GK102138061SQ200980133370
公开日2011年7月27日 申请日期2009年8月3日 优先权日2008年9月1日
发明者上田直亚, 野添悟史 申请人:欧姆龙株式会社