专利名称：探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种探针卡。
背景技术：
探针卡是一种测试接口，用于连接测试机台和待测芯片。参见图1，现有技术中的一种圆形探针卡，其包括圆形电路板110、探针120和环状 探针座130，所述圆形电路板110的中央设有圆孔，所述环状探针座130设置在该圆孔内， 所述探针120通过绝缘树脂140固定于所述探针座130上，该探针120与待测芯片300的 焊盘(pad)电连接；所述圆形电路板110上设有探针引脚111和测试机台引脚112 (图1中 探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚111的数量与所述测试机 台引脚112的数量相等，一个所述探针引脚111电连接一个所述测试机台引脚112 ；所述探 针120通过环氧针150与所述探针引脚111连接；测试时，通过弹簧针连接所述测试机台引 脚112与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述弹簧针、测试机台引脚112、探针引脚 111、环氧针150和探针120，最后输入待测芯片。待测芯片类型不同，探针定义就不同，探针与探针引脚之间的连接方式也不同，因 此，测试不同类型的待测芯片需要不同的探针卡。圆形探针卡的优点是探针卡与测试机台的连接距离短，从而测试结果精准，但是 圆形探针卡的价格高，不同的待测芯片又需要不同的探针卡，因此，测试成本较高。参见图2，现有技术的一种矩形探针卡，其包括矩形电路板210、探针220和环状探 针座230，所述矩形电路板210的中央设有圆孔，所述环状探针座230设置在该圆孔内，所 述探针220通过绝缘树脂MO固定于所述探针座230上，该探针220与待测芯片300的焊 盘(pad)电连接；所述矩形电路板210上设有探针引脚211和测试机台引脚212(图2中 探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚211的数量与所述测试机 台引脚212的数量相等，一个所述探针引脚211电连接一个所述测试机台引脚212 ；所述探 针220通过环氧针250与所述探针引脚211连接；测试时，通过排线连接所述测试机台引脚 212与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述排线、测试机台引脚212、探针引脚211、 环氧针250和探针220，最后输入待测芯片。同样地，待测芯片类型不同，探针与探针引脚之间的连接方式不同，即测试不同类 型的待测芯片需要不同的探针卡。相对于圆形探针卡，矩形探针卡的面积小，可容纳的引脚数少，因此，价格比较低， 但是，矩形探针卡与测试机台的连接距离长，测量精准度低。

发明内容
本发明的目的在于提供一种探针卡，测量精准度高、测试成本低。为了达到上述的目的，本发明提供一种探针卡，作为测试机台与待测芯片的测试 接口，包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设 有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电 路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根 探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引 脚。上述探针卡，其中，所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引脚活动连接。上述探针卡，其中，所述母电路板与和子电路板通过弹簧针活动连接后测试机台 的连接距离短，所述子电路板单独使用与测试机台的连接距离长。上述探针卡，其中，所述子电路板通过固定件安装在所述母电路板的下方。上述探针卡，其中，所述固定件包括螺母和螺钉，所述螺母设置在所述母电路板的 底端，所述子电路板上设有安装孔，所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在所述螺母内，将所述子 电路板安装在所述母电路板的下方。上述探针卡，其中，所述探针引脚均勻或者对称地排布在所述子电路板的孔的圆 周外，所述母板引脚均勻或者对称地排布在所述探针引脚形成的圆周外。上述探针卡，其中，所述母电路板的中央设有一圆孔，所述子板引脚均勻或者对称 地排布在所述圆孔的圆周外，所述测试机台引脚均勻或者对称地排布在所述母电路板的边缘。本发明的探针卡使用子电路板连接探针，母电路板连接测试机台，子电路板与母 电路板活动连接，测试不同类型的芯片时，更换子电路板即可，测量精准度高且测试成本 低。


本发明的探针卡由以下的实施例及附图给出。图1是现有技术中圆形探针卡的结构示意图。图2是现有技术中矩形探针卡的结构示意图。图3是本发明的探针卡的侧视图。图4是本发明中母电路板的俯视图。图5是本发明中安装探针后子电路板的俯视图。图6是本发明中固定件的结构示意图。
具体实施例方式以下将结合图3 图6对本发明的探针卡作进一步的详细描述。本发明的探针卡包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所 述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母 板引脚；
所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板弓I脚活动电连接一个所述子板弓I脚。本发明的探针卡使用子电路板连接探针，母电路板连接测试机台，子电路板与母 电路板活动连接，测试不同类型的芯片时，更换子电路板即可，测量精准度高且测试成本 低。现以具体实施例详细说明本发明的探针卡参见图3 图5，本实施例的探针卡包括母电路板410、子电路板420、多根探针 430和探针座440 ；所述子电路板420通过固定件450安装在所述母电路板410的下方；本实施例中，所述母电路板410采用现有技术中圆形探针卡的圆形电路板，该圆 形电路板面积较大、弓丨脚数量多，与测试机台的连接距离短；所述母电路板410可采用任何与测试机台连接距离短的电路板；本实施例中，所述子电路板420采用现有技术中矩形探针卡的矩形电路板，该矩 形电路板价格低，与测试机台的连接距离长；所述子电路板420可采用任何与测试机台连接距离长、价格低的电路板；所述子电路板420设有一圆孔，所述探针座440设置在该圆孔内；所述多根探针430通过绝缘材料460固定在所述探针座440上；本实施例中，所述探针座440为环形探针座，所述探针座440由绝缘材料制成，例 如树脂，所述绝缘材料460例如采用树脂；所述子电路板420上设有探针引脚421和母板引脚422，所述探针引脚421用于连 接所述探针430，所述母板引脚422用于连接所述母电路板410 ；所述探针引脚421的数量等于所述母板引脚422的数量，一个所述探针引脚421 电连接一个所述母板引脚422;本实施例中，所述探针引脚421均勻或对称地排布在所述子电路板420的圆孔的 圆周外，所述母板引脚422均勻或对称地排布在所述探针引脚421形成的圆周外；所述探针430通过环氧针470与所述探针引脚421连接，该探针430与待测芯片 (图中未示)的焊盘电连接，待测芯片类型不同，探针定义就不同，探针与探针引脚之间的 连接方式也不同；所述母电路板410上设有子板引脚411和测试台引脚412，所述子板引脚411用于 连接所述子电路板420，所述测试台引脚412用于连接测试机台；所述子板引脚411的数量等于所述测试台引脚412的数量，一个所述子板引脚411 电连接一个所述测试台引脚412 ；所述母电路板410的中央设有一圆孔413，所述子板引脚411均勻或对称地排布在 所述圆孔413的圆周外，所述测试台引脚412均勻或对称地排布在所述母电路板410的边 缘；一个所述母板引脚422活动电连接一个所述子板引脚411，所述子板引脚411的数 量大于等于所述母板引脚422的数量；如图3所示，本实施例中，所述母板引脚422通过弹簧针480与所述子板引脚411 连接；
所述弹簧针480的两端各设有弹簧，该弹簧针480依靠压紧两端的弹簧来连接两 个引脚，即所述弹簧针480采用的是活动连接方式，它可以非常方便地安装和拆卸；所述母板引脚422还可通过其他方式与所述子板引脚411活动连接；参见图6，本实施例中，所述固定件450包括螺母451和螺钉452，所述螺母451设 置在所述母电路板410的底端，该螺母的内壁上设有内螺纹，所述螺钉的外壁上设有匹配 的外螺纹453，所述子电路板420上设有安装孔423，安装时，所述子电路板420的安装孔 423对准所述螺母451，所述螺钉452穿过所述安装孔423拧紧在所述螺母451内，实现所 述子电路板420与所述母电路板410的固定连接。使用本实施例的探针卡时，所述母电路板410的测试台引脚412通过弹簧针与测 试机台连接，所述探针430与待测芯片的焊盘连接，测试机台输出的测试信号经所述测试 机台引脚412、子板引脚411、弹簧针480、母板引脚422、探针引脚421、环氧针470，最后输 入待测芯片。针对不同类型的待测芯片，需要不同的子电路板与其连接，使用本实施例的探针 卡测试不同类型的待测芯片时，只要将原来的子电路板拆卸下来，换上具有新的探针定义、 新的连接方式的子电路板即可，因此，使用本实施例的探针卡测试成本低；另外，本实施例 的探针卡采用母电路板与测试机台连接，连接距离短，因此，测量结果精准度高。
权利要求
1.一种探针卡，作为测试机台与待测芯片的测试接口，其特征在于，包括母电路板、子 电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内； 所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板 引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接； 一个所述母板弓I脚活动电连接一个所述子板弓I脚。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引 脚活动连接。
3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述母电路板与测试机台的连接距离短， 所述子电路板与测试机台的连接距离长。
4.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述子电路板通过固定件安装在所述母 电路板的下方。
5.如权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述固定件包括螺母和螺钉，所述螺母设 置在所述母电路板的底端，所述子电路板上设有安装孔，所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在 所述螺母内，将所述子电路板安装在所述母电路板的下方。
6.如权利要求1、2或3所述的探针卡，其特征在于，所述探针引脚均勻或者对称地排布 在所述子电路板的孔的圆周外，所述母板引脚均勻或者对称地排布在所述探针引脚形成的 圆周外。
7.如权利要求1、2或3所述的探针卡，其特征在于，所述母电路板的中央设有一圆孔， 所述子板引脚均勻或者对称地排布在所述圆孔的圆周外，所述测试机台引脚均勻或者对称 地排布在所述母电路板的边缘。
全文摘要
本发明的探针卡作为测试机台与待测芯片的测试接口，其包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。本发明的探针卡与测试系统测量路径短，测量精准度高，且测试成本低。
文档编号G01R1/073GK102081111SQ201010575210
公开日2011年6月1日 申请日期2010年12月6日 优先权日2010年12月6日
发明者凌俭波, 刘远华, 叶守银, 叶建明, 季海英, 张志勇, 张 杰, 方华, 汪瑞祺, 王锦, 祁建华 申请人:上海华岭集成电路技术股份有限公司