专利名称：四探针测试仪的探针定位结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于硅片电阻和电阻率测量的四探针测试仪，尤其涉及四探针测试仪 的探针测试部件。
背景技术：
太阳能是一种洁净、无污染且可以循环利用的可再生能源，把太阳能转换为电能 的太阳能电池制造技术是有效利用太阳能的一项重要技术。目前，扩散是制造太阳能电池 光电转换核心部件P-N结的工艺环节，是太阳能电池制造的关键技术。而电阻的测量是保 证扩散质量的重要参数之一，它反映了材料中杂质补偿后剩余杂质的浓度。测量时，把四根 金属探针压在硅片表面上，外加电流通过外金属与半导体表面的接触点，流到半导体内，通 过测量内探针之间的电压，从而计算出电阻和电阻率。为了保证测量的准确性和重复性，要求四根探针之间不仅要有极高电绝缘性，保 证探针间绝缘度大于IO9欧姆，而且使探针的机械游移量尽可能小，探针还应有恒压的弹性 和良好的电接触。目前，人们通常采用将四根探针固化在探头中的强化固定办法来克服，但 在实际使用过程中，探针还会产生偏移，且探针之间的间距不能保证不变，不仅探针间绝缘 度难以满足要求，而且使用寿命不长，若强制使用又会直接影响检测精度。申请人曾采用人 造宝石板片来定位和隔开四根探针，即在一块人造宝石板片上按照四根探针的位置钻出四 个小孔，然后将四根探针插入四个小孔中，由此达到将四根探针隔开，并限定探针的偏移， 减少机械游移量的目的。这种方案虽然比改进前优越，但在测试过程中金属探针缺乏恒压 弹性，电接触性也难保证，同时，要在人造宝石片上面按预定要求钻出四个定位小孔加工非 常困难，不仅加工成本高，而且四个小孔之间的位置精度也很难达到要求。

发明内容
为了解决四探针测试仪存在的上述问题，本发明提供了一种四探针测试仪的探针 定位结构。采用该定位结构既能精确控制探针的机械游移，又能保证探针间的电绝缘性，同 时还能使金属探针具有恒压弹性和良好的电接触性。本发明所采用的技术方案为所述四探针测试仪的探针定位结构，包括绝缘探测头和四根探针，四根探针的上 端固化在绝缘探测头上，其特征是在每一根探针上都固定套装有弹性绝缘隔圈，弹性绝缘 隔圈的内径与探针的直径相匹配，相邻两根探针上所套装的弹性绝缘隔圈的壁厚之和等于 两根相邻探针之间中心距减去一根探针的直径；且四只弹性绝缘隔圈处于探针的同一高度 位置上。进一步，弹性绝缘隔圈距金属探针下端的距离为探针总长度的1/4 1/2。进一步，所述弹性绝缘隔圈由四氟弹性绝缘材料模压而成，其内芯设有缓和腔。采用四氟弹性绝缘材料制作探针隔圈不仅工艺简单，而且隔圈精度高，成本低廉， 在每根探针上都套装四氟弹性绝缘圈，既能将四根探针很稳定地隔开，增大探针的强度，又能精确控制探针的机械游移，保证探针间的电绝缘性，还能保证探针具有恒压弹性和良好 的电接触性。


图1为本发明的结构示意图。图2为弹性绝缘隔圈套装在探针上的结构示意图；图中1_绝缘探测头；2-探针；3-弹性绝缘隔圈；4-缓和腔。
具体实施例方式下面结合

本发明的实施方式所述四探针测试仪的探针定位结构，如图1、图2所示，它包括绝缘探测头1和四 根探针2，四根探针2的上端固化在绝缘探测头1上，在每一根探针2上都固定套装一个由 四氟弹性绝缘材料模压而成的弹性绝缘隔圈3，弹性绝缘隔圈3的内径与探针2的直径相 匹配，相邻两根探针2上所套装的弹性绝缘隔圈3的壁厚之和等于两根相邻探针2之间中 心距减去一根探针2的直径；且四只弹性绝缘隔圈3在探针2上处于同一高度位置，具体要 求是弹性绝缘隔圈3距金属探针2下端的距离为探针2总长度的1/4 1/2，在本例中为 1/3，在弹性绝缘隔圈3的内芯设有缓和腔4。
权利要求
一种四探针测试仪的探针定位结构，包括绝缘探测头(1)和四根探针(2)，四根探针(2)的上端固化在绝缘探测头(1)上，其特征是在每一根探针(2)上都固定套装弹性绝缘隔圈(3)，弹性绝缘隔圈(3)的内径与探针(2)的直径相匹配，相邻两根探针(2)上所套装的弹性绝缘隔圈(3)的壁厚之和等于两根相邻探针(2)之间中心距减去一根探针(2)的直径；且四只弹性绝缘隔圈(3)处于探针的同一高度位置上。
2.根据权利要求1所述四探针测试仪的探针定位结构，其特征是所述弹性绝缘隔圈(3)距金属探针⑵下端的距离为探针⑵总长度的1/4 1/2。
3.根据权利要求1所述四探针测试仪的探针定位结构，其特征是所述弹性绝缘隔圈 (3)由四氟弹性绝缘材料模压而成，其内芯设有缓和腔(4)。
全文摘要
一种四探针测试仪的探针定位结构，包括绝缘探测头和四根探针，在每一根探针上固定套装弹性绝缘隔圈，弹性绝缘隔圈的内径与探针的直径相匹配，相邻两根探针上所套装的弹性绝缘隔圈的壁厚之和等于两根相邻探针之间中心距减去一根探针的直径；且四只弹性绝缘隔圈处于探针的同一高度位置上，弹性绝缘隔圈距金属探针下端的距离为探针总长度的1/4～1/2；采用四氟弹性绝缘材料制作探针隔圈不仅工艺简单简单，而且隔圈精度高，成本低廉，在每根探针上都套装四氟弹性绝缘圈，既能将四根探针很稳定地隔开，增大探针的强度，又能精确控制探针的机械游移，保证探针间的电绝缘性，还能保证探针具有恒压弹性和良好的电接触性。
文档编号G01R1/06GK101968497SQ20101020946
公开日2011年2月9日 申请日期2010年6月18日 优先权日2010年6月18日
发明者宋佳 申请人:常州亿晶光电科技有限公司