专利名称：坐标检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在用于液晶显示器中的玻璃基板的表面缺陷检测时使用的，检测玻璃基板面上的缺陷部分等特定部位的坐标的坐标检测装置。
背景技术：
已知液晶显示器中使用的玻璃基板的基板检测装置。该基板检测装置，将照明光照射到玻璃基板表面上，观察该反射光的光学变化，并进行检测玻璃基板表面的伤痕和污物、灰尘的附着等的缺陷部分的宏观观察，和放大由该宏观观察检测出的缺陷部分以进行微观观察。
在该基板检测装置上，为了通过宏观观察检测出缺陷部分等的特定部位的坐标，采用了坐标检测装置。


图15是在特开2002-82067(在申请本发明时尚未公开)中记载的坐标检测装置的结构图。在保持构件1上设置夹持件2。在该夹持件2上，保持液晶显示器中使用的玻璃基板3。在该夹持件2的两侧上分别设置导轨4、5。在这些导轨4、5上分别可移动地设置各导向移动部6、7。
另外，在夹持件2的两侧的各个垂直面8上，设置各皮带轮9、10和11、12。在一组皮带轮9、10之间设置皮带13，同时，在另一组皮带轮11、12之间设置皮带14。马达15的旋转轴16连接到皮带轮9上。相互对置的各皮带轮10和12之间通过连接轴17连接起来。
各导向移动部6、7相对于各皮带13、14被固定。在这些导向移动部6、7上分别经由各支柱18、19设置刻度投影板20。
在夹持件2的X轴方向的边缘上设置导轨21。在该导轨21上可移动地设置导向移动部22。另外，在同一夹持件2的边缘上设置各皮带轮23、24。在这些皮带轮23、24之间设有皮带25。马达26的旋转轴被连接到皮带轮24上。
导向移动部22相对于皮带25被固定。在该导向移动部22上设有反光镜27。在夹持件2的角部上设置激光光源28。从该激光光源28发出的激光29被反光镜27反射，照射到刻度投影板20上。
采用这种结构，当旋转驱动马达15时，该旋转驱动经由皮带13传递给导向移动部6，与此同时，经由皮带13、连接轴17、皮带14也传递给另一个导向移动部7。因此，两个导向移动部6、7同时向Y轴方向移动，刻度投影板20被定位于玻璃基板3的缺陷部分的上方。
另一方面，从激光光源28发出的激光29被反光镜27反射，照射到刻度投影板20上。当旋转驱动马达26时，该旋转驱动经由皮带25传递给设有反光镜27的导向移动部22，因而，反光镜27向X轴方向移动。因此，由反光镜27反射的激光29沿刻度投影板20扫描。而且，激光29的照射位置被定位在玻璃基板3的缺陷部分上方。
结果，由刻度投影板20向Y轴方向的移动量、和激光29向刻度投影板20上的移动量检测出玻璃基板3的缺陷部分的坐标Q(X、Y)。
因此，在上述装置的结构中，有必要设置用于使激光光源28和反光镜27向X轴方向移动的驱动系统、即导轨21、导向移动部22、各皮带轮23、24、皮带25和马达26，其设置空间必不可少。进而，为了设置激光光源28和驱动系统，使成本增加。
另外，用于将激光29照射到刻度投影板20上的光学系统的调节，例如反光镜27的设置角度和其高度位置的调节、激光29的出射角度(光轴)的调节、以及激光29的光圈调节等是必要的。
本发明的目的是提供一种节省空间、并且不必进行光学系统的调节的坐标检测装置。

发明内容
根据本发明的主要观点，提供一种坐标检测装置，该装置具有规则地呈直线状配置有多个发光元件的发光体、和使该发光体上的特定发光元件发光的发光驱动装置。
根据本发明的主要观点，提供一种坐标检测装置，该装置具有规则地呈直线状配置有多个发光元件的发光体、使该发光体上的特定发光元件发光的发光驱动装置、和使发光体沿与发光元件的配置方向正交的方向移动的移动机构。
附图的简单说明图1是采用作为本发明一个实施形式的坐标检测装置的基板检测装置的立体图。
图2是基板检测装置的侧视图。
图3是作为本发明的一个实施形式的坐标检测装置的结构图。
图4是坐标显示板的结构图。
图5是用于说明将多个坐标显示板串联连接的情况下的位置识别作用的图示。
图6是表示坐标显示板的安装面的侧视图。
图7A是表示坐标显示板的另一个安装面的侧视图。
图7B是表示坐标显示板的另一个安装面的侧视图。
图8是表示发光体的控制驱动系统的结构图。
图9是表示发光体中的发光元件的发光范围的边界设定的图示。
图10是表示发光体的退避槽内的退避的图示。
图11是表示发光元件列的点灯作用的图示。
图12是表示发光元件列的两列配置的图示。
图13是表示发光元件列的点灯控制方法的另一个例子的图示。
图14是表示发光元件的发光颜色的变形例的图示。
图15是坐标检测装置的结构图。
实施发明的最佳形式以下，参照附图对本发明的一个实施形式进行说明。另外，与图15相同的部分采用相同的符号，并省略对其的详细说明。
图1和图2是采用本发明的坐标检测装置的基板检测装置的整体结构图，图1是透视图，图2是侧视图。在装置主体40上设置保持玻璃基板3的夹持件2。该夹持件2，如图2所示，其基端部由支撑轴41相对于装置主体40可自由旋转地被支撑。在支撑轴41的周围设置皮带轮42。
在装置主体40上配有马达43。该马达43的旋转轴44和皮带轮42之间设有环形的皮带45。该马达43的旋转驱动力从旋转轴44经由皮带45传递给皮带轮42。保持件2以支撑轴41为轴从水平状态向上倾斜至例如由双点划线所示的规定角度θ。
夹持件2形成框形，在其周边部上载置并保持大型的玻璃基板3。围绕该夹持件2的周边部的空余部成四边形形状。该空余部的面积形成得比玻璃基板3的面积略小。
在夹持件2上，沿周边部在X轴方向和Y轴方向上设置多个基板定位构件(基准销)46a和按压构件(按压销)46b。这些基准销46a和按压销46b从夹持件2的表面略微突出。基准销46a将玻璃基板3定位于夹持件2上的基准位置上。按压销46b面向基准销46a按压玻璃基板3。因而，玻璃基板3通过其两边与各基准销46a的侧部接触定位于夹持件2上。
另外，在夹持件2的边缘部上，沿整个外周设置图中未示出的多个孔(吸附垫)。利用多个吸附垫的吸引作用吸附玻璃基板3，保持其不会从夹持件2上脱落。
在装置主体1上，沿夹持件2的两侧边缘向着Y轴方向平行配置一对导轨47、48。在导轨47、48上，以跨越夹持件2的方式配置门型的观察组件支撑部49。该观察组件支撑部49就可沿导轨47、48向着Y轴方向移动到玻璃基板3的上方、即夹持件2的上方。
在该观察组件支撑部49上，观察组件50在X轴方向上沿图中未示出的导轨可移动地被支撑。进而，在观察组件支撑部49上，设置与观察组件50的物镜56的移动线对置的透射线照明光源51。
该投射线照明光源51在通过保持水平状态的夹持件2的下方的支撑部49的内板52上沿X轴方向被配置。该透射线照明光源51从玻璃基板3的下方进行线状的透射照明，可以与观察组件支撑部49一起沿Y轴方向移动。
观察组件50具有宏观观察用部分宏观照明光源53、和配有可以投影指定缺陷位置刻度用的照明的倍数极低(例如0.5～2倍左右)的物镜54的微观观察组件55。
微观观察组件55具有显微镜功能，具有物镜56、目镜57和图中未示出的反射照明光源。检查者可以通过物镜56用目镜观察玻璃基板3表面的像。另外，通过切换物镜54和微观用物镜56的光路，可以用目镜57观察由物镜54获得的玻璃基板3表面的宏观像。
TV照相机58对由物镜56获得的玻璃基板3表面的观察像摄影，送至控制部59。该控制部59在TV监视器60上显示由TV照相机58拍摄的观察像。在控制部59上连接有检查者用于进行动作指示和数据输入的输入部61。
在装置主体1的上方，设置照射夹持件2上的玻璃基板3的整个面的全面宏观照明光源(图中未示出)。
图3是安装在上述基板检查装置上的坐标检测装置的结构图。在夹持件2的上下侧中的各导向移动部6、7的各支柱18、19上设有发光体70。该发光体70，在与如图4所示的多个发光元件71的排列方向相同的方向上串连连接多个、例如四个发光体组件72(以下简称为坐标表示板)，所述发光体组件是将多个发光元件71、例如128个发光元件71成一列地等间隔安装构成的。设置在发光体组件72中的发光元件71的个数不限于128个，可以是任意数目，根据其个数制成各种尺寸的发光体组件72。
多个发光体组件71采用例如发光二极管(LED)。这些发光二极管的发光颜色优选为相对于宏观照明光的颜色(例如绿色、橙色)容易识别的红色，但是只要是可以与宏观照明区别开的颜色，采用其它颜色也可以。另外，发光二极管的发光颜色，作为多重颜色的例子采用红色和青色，这些发光颜色的发光二极管可以交替配置，可以按一定的间隔(例如10mm)配置其它的颜色。
在该坐标显示板72上安装用于将多个发光元件71中的至少一个发光元件71点亮的驱动电路73。该驱动电路73根据输入的点灯控制信号(脉冲信号)由后面所述的控制基板84点亮任意一个发光元件71，与脉冲信号的输入同时向X轴方向移动控制点灯位置。例如，驱动电路73，当输入1个脉冲的点灯控制信号时，从图4所示的多个发光元件71中的左端起点亮第1个发光元件71，当输入2个脉冲的点灯控制信号时，点亮从左端起第2个发光元件71，当输入3个脉冲的点灯控制信号时，点亮从左端起第3个发光元件71。
另外，驱动电路73，在将多个坐标显示板72串连连接的情况下，识别分配到该坐标显示板72中的发光元件71的位置信息，具有当输入符合该位置信息的脉冲数的点灯控制信号时允许相应配置位置的发光元件71点亮的功能。
具体地说，如图5所示，多个坐标显示板72串连连接。各坐标显示板72中的各发光元件71的个数例如为128个。在此，图5中的最左侧坐标显示板72为第1坐标显示板72，接着，按串连连接的顺序为第2、第3、第n个坐标显示板72。第1坐标显示板72，当输入1～128个脉冲的点灯控制信号时，确认为点亮配置在自身上的发光元件71，将对应于该脉冲数的配置位置的发光元件71点亮。
因而，第一坐标显示板72的驱动电路73将1～128个脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号脉冲的点灯控制信号时，允许将相应配置位置的发光元件71点亮，当输入此外的脉冲数的点灯控制信号时，不允许将发光元件71点亮。
同样，第2坐标显示板72，当输入129～256脉冲的点灯控制信号时，确认为点亮配置在自身上的发光元件71，点亮对应于该脉冲数的配置位置上的发光元件71。
因而，第2坐标显示板72的驱动电路73，将129～256脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号脉冲的点灯控制信号时，允许将相应配置位置的发光元件71点亮，当输入此外的脉冲数的点灯控制信号时，不允许将发光元件71点亮。
以下，同样地，第n个坐标显示板72的驱动电路73将128×n脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号脉冲的点灯控制信号时，允许将相应配置位置的发光元件71点亮，当输入此外的脉冲数的点灯控制信号时，不允许将发光元件71点亮。
第1～第n个坐标显示板72的各驱动电路73对各发光元件71进行点灯控制并具有对发光元件71进行点灯检测的功能(点灯检测措施)。
点灯检测方法为，例如进行各发光元件71的通电检测，通过有、无通电自动地进行对各发光元件71的点灯检测。
另外，点灯检测方法也采用可以例如从发光体70的左端或右端的发光元件71起点亮偶数或奇数号的发光元件71，通过目视进行点灯检测。点灯检测的方法还可以采用例如从发光体70的左端或右端的发光元件71顺序点灯(点灯扫描)，进而，将全部发光元件71同时点亮，通过目视进行点灯检测等。
另外，各驱动电路73具有以下功能，即，若自动进行点灯检测的结果是存在未点亮的发光元件，则通过控制基板84将表示具有该发光元件71的坐标显示板72的ID号、和相应坐标显示板72中的发光元件71的位置(例如从左端起第几号)的错误信息e发送到上级个人计算机80中。
坐标显示板72的连接块数，根据玻璃基板3或夹持件2的尺寸可以进行变更。
坐标显示板72，如图6所示，其配置多个发光元件71的安装面72a以相对于玻璃基板3的表面成规定倾斜角度、例如大约45°的方式，设置三棱柱的盖部K。另外，发光元件71，如图7A或图7B所示，可以安装在以大致45°切割坐标显示板72的端面形成的倒角部分、或以规定角度弯曲坐标显示板72的端面的弯曲部上。该安装面相对于玻璃基板3的表面形成规定的倾斜角(例如大约45°)。
坐标显示板72，在宏观观察时的宏观照明下，以反射照明光并且不妨碍缺陷部分的提取的方式安装在防反射盖上。该防反射盖形成三棱柱形，提高了机械强度，不会由于自身重量而弯曲。
图8是表示发光体70的控制驱动系统的结构图。在上级个人计算机80上连接有驱动脉冲发生器81。在该驱动脉冲发生器81上经由操作部控制器82连接由操作柄等操作部83。该操作部83不限于操作柄，只要可以指示玻璃基板3表面上的发光元件71的点亮坐标(X、Y)就可以，例如可以是跟踪球、十字键等2维坐标指定开关。
另外，在操作部83中配有脚踏开关86，作为用于记录玻璃基板3表面上的发光体70的X轴方向的停止位置、和发光体70中例如一个发光元件71的Y轴方向的点灯位置的记录开关。作为记录开关，也可以在操作柄的操作杆的上端部设置按钮开关。
操作部控制器82具有以下功能输入当由检查者操作操作部83的2维坐标指定开关时产生的2维坐标信息指定的电信号，从该电信号中分离出对于操作部83的X轴方向和Y轴方向的操作方向，输出这些X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示。
驱动脉冲发生器81具有以下功能接收从操作控制器82输出的X轴方向驱动脉冲输出指示和Y轴方向驱动脉冲输出指示，利用X轴方向的驱动脉冲输出指示向马达驱动器85发送X轴方向驱动脉冲，利用Y轴方向的驱动脉冲输出指示向控制基板84发送Y轴方向的驱动脉冲。
马达驱动器85具有以下功能接收从驱动脉冲发生器81而来的X轴方向的驱动脉冲，以使对应于该脉冲数的距离的各导向移动部6、7沿X轴方向移动的方式旋转驱动马达15。
控制基板84具有以下功能接收从驱动脉冲发生器81而来的Y轴方向的驱动脉冲，以规定的分频比对该脉冲分频，将该分频信号作为点灯控制信号发送至坐标显示板72的驱动电路73。
上级个人计算机80，具有坐标检测装置87、边界设定装置88、原点可变装置89的各种功能。坐标检测装置87，当操作配置在操作部83中的脚踏开关86以输入该开关信号时，由这时的操作部控制器82的X方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示计算出点亮发光元件71的坐标(X、Y)。
边界设定装置88，在发光体70的整体或构成该发光体70的一个坐标显示板72中，设定限制多个发光元件71的发光范围的边界(发光元件71的点亮位置的起点和终点)。例如，如图9所示，由于发光体70的全长L比玻璃基板3的宽度l长，所以，在发光体70中，相对于发光体70的全长方向设定发光元件71的发光范围的边界Re。
因而，边界设定装置88相对于驱动脉冲发生器81仅向控制基板84发送边界Re范围内的Y轴方向驱动脉冲，使边界Re的范围以外的Y轴方向驱动脉冲输出停止。该边界Re是可以根据例如4倒角或6倒角等玻璃基板3的尺寸(宽度l)进行变化地设定的。
原点可变装置89具有将发光体70的坐标原点与玻璃基板3的Y坐标基准位置重合的功能。例如，若玻璃基板3的Y坐标基准位置为玻璃基板3的左端或右端，则发光体70的坐标原点设定在该发光体70的左端或右端。当发光体70中的发光元件71点亮时，坐标原点为Y坐标的0点，从该坐标原点计数脉冲数。该坐标原点不限于发光体70的左端或右端，可以是任意位置。
上级个人计算机80具有以下功能当通过马达15的旋转驱动使发光体70沿X轴方向移动时，由于发光体70的移动传感器30或31检测出发光体70，并且当输入该传感器输出信号时，相对于驱动脉冲发生器81停止X轴方向驱动脉冲的输出，停止发光体70的移动。
如图3所示，在夹持件2的边缘的保持构件1上，形成退避槽90。该退避槽90，以保持构件1为底面由夹持件2的边缘面和支撑构件91的边缘面形成。该退避槽90，当采用微观观察组件55进行玻璃基板3的微观观察时，如图10的示意图所示，发光体70退避到退避槽90内。
以下，对按照上述结构构成的装置的作用进行说明。
在进行宏观观察的情况下，由检测者旋转驱动马达43。该马达43的驱动经由旋转轴44和皮带45传递给皮带轮42的支撑轴41。夹持件2，以支撑轴41为中心倾斜规定的角度θ，θ优选为0～45°，然后静止。
接着，对夹持件2上的玻璃基板3的整个面或一部分进行宏观照明，由检查者进行宏观检查。在该宏观检查中，不仅可以将夹持件2倾斜规定的角度，也可以使马达43的旋转方向周期性地变化，以便夹持件2在规定范围的角度内摆动。
当通过宏观观察在玻璃基板3表面上检测出缺陷部分时，操作2维坐标指定开关，将发光体71的端部移动到该缺陷部分的上方，同时，发光元件71点亮、移动，并与缺陷位置重合。即，由检查者操作操作柄等的操作部83时，操作部83根据操作柄等的操作方向和其操作量在玻璃基板3的表面上沿X轴方向移动发光体70，同时，输出表示在发光体70上被点亮的发光元件71沿Y轴方向移动的2维坐标信息的电信号。
操作部控制器82，输入从操作部83而来的指定2维坐标信息的电信号，由该电信号分离出相对于操作部83的X轴方向和Y轴方向的操作方向，输出这些X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示。
驱动脉冲发生器81，接收从操作部控制器82输出的X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示，利用X轴方向的驱动脉冲输出指示将X轴方向驱动脉冲发送给马达驱动器85，利用Y轴方向的驱动脉冲输出指示将Y轴方向驱动脉冲发送给控制基板84。
马达驱动器85，接收从驱动脉冲发生器81发出的X轴方向驱动脉冲，使各导向移动部6、7沿X轴方向仅移动对应于该脉冲数的距离的方式旋转驱动马达15。
该马达15的旋转驱动，从旋转轴16经由皮带轮9传递给皮带13。该皮带13在各皮带轮8、9之间移动。通过该皮带13的移动，导向移动部6沿导轨4向X轴方向移动。
与此同时，马达15的旋转驱动从旋转轴16经由皮带轮9、皮带13、皮带轮10、进一步从连接轴17经由皮带轮12传递给皮带14。借此，皮带14在各皮带轮11、12之间移动，通过这样，导向移动部7沿导轨5与导向移动部6同时沿X轴方向移动。
借助这些导向移动部6、7的向X轴方向的移动，发光体70沿X轴方向移动到玻璃基板3的上方。而且，发光体70，通过由检查者对操作部83的操作调节，被移动配置到玻璃基板3表面的缺陷部分的上方。
另一方面，控制基板84接收从驱动脉冲发生器81而来的Y轴方向的驱动脉冲，以规定的分频比将该脉冲分频，将该分频信号作为点灯控制信号发送给设置在发光体70中最左侧的坐标显示板72的驱动电路73中。利用该发光体70，如图5所示，在多个坐标显示板72串列连接的情况下，当最左侧的坐标显示板72作为第1坐标显示板72，接着为第2、第3、第n坐标显示板72时，第1坐标显示板72的驱动电路73将1～128脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号的脉冲点灯控制信号时，可以点亮相应配置位置的发光元件71。
与此同时，第2坐标显示板72的驱动电路73，将129～256脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号脉冲的点灯控制信号时，可以点亮相应配置位置的发光元件71，以下，同样地，第n个坐标显示板72的驱动电路73将128×n脉冲作为ID号加以识别，当输入该ID号的脉冲点灯控制信号时，可以点亮相应配置位置的发光元件71。
通过由检查者对操作部83进行操作，从控制基板84以例如1，2，3，…，n脉冲的方式顺序输出脉冲数增大的点灯控制信号。
第1坐标显示板72的驱动电路73，随着顺序输入1～128脉冲的点灯控制信号，例如如图11所示，首先，从配置在第1坐标显示板72中的最左侧的发光元件71-1开始点灯，其次，将发光元件71-1熄灭并点亮其右侧相邻的发光元件71-2，接着，熄灭发光元件71-2并点亮其右侧相邻的发光元件71-3。而且，当从控制基板84输出129脉冲的点灯控制信号时，第1坐标显示板72的驱动电路73判断为不在第1坐标显示板72的ID号中，不允许点亮发光元件71-1～71-128。
第二坐标显示板72的驱动电路73，随着顺序输入129～256脉冲的点灯控制信号，与第1坐标显示板72一样，首先，从最左侧的发光元件71-129开始，按照各发光元件71-130、71-131的顺序点亮。当从控制基板84输出例如150脉冲的点灯控制信号时，在第2坐标显示板72的发光元件71-1～71-150的位置处停止点灯。
另外，若检查者反方向操作操作部83，则各发光元件71的点亮位置从发光体70的右侧向左侧移动。
当操作操作部83且发光体70上的发光元件7的点灯位置到达玻璃基板3的表面上的缺陷部分的上方时，检查者通过停止对操作部83的操作，可以中止顺序点亮移动的发光元件从点灯开始位置到150号发光元件71-150的点灯移动。
这时，各坐标显示板72，如图6所示，由于各发光元件71的面相对于玻璃基板3的表面形成规定的倾斜角、例如大约45°，所以即使因夹持件2使得玻璃基板3倾斜规定的角度θ(＝100～60°)，也可以明确地确定发光元件71的点亮。
另外，当由检查者操作脚踏开关86时，上级个人计算机80从脚踏开关86输入开关信号，这时从操作部控制器82输入X轴方向的驱动脉冲输出指示和Y轴方向的驱动脉冲输出指示，由这些驱动脉冲输出指示计算出点亮发光元件71的缺陷部分上方的坐标Q(X、Y)，并进行记录(存储)。
坐标Q(X、Y)的计算，是对玻璃基板3表面上的各缺陷部分进行的。这些缺陷部分的各个坐标Q(X、Y)存储在上级个人计算机80中。
当宏观观察结束时，由检查者反向操作马达43，夹持件2返回到原来的水平状态。
接着，通过由检查者对操作部83进行的操作，使发光体70移动到退避槽90内。利用该操作，驱动脉冲发生器81根据X轴方向的驱动脉冲输出指示向马达驱动器85发出X轴方向的驱动脉冲，因而，发光体70如图10所示向退避槽90移动。
当发光体70到达退避槽90的规定距离的近前侧时，支撑发光体70的各支柱18、19与图中未示出的凸起部接触并停止，并且同时进行旋转，使发光体70退避到退避槽90内。
另外，通过在操作部83中指定微观检查模式，可以使夹持件2自动地恢复到水平状态，然后，可以使发光体70自动退避到退避槽90中。
在微观观察中，由上级个人计算机80读出通过宏观观察指定的各缺陷部分的坐标Q(X、Y)。观察组件支撑部49根据该坐标Q(X、Y)沿Y轴方向移动各导轨47、48，与此同时，观察组件50沿上述图中未示出的导轨向X轴方向移动。因此，微观观察组件55中物镜56的观察轴配置在坐标Q(X、Y)上。
这时，由于发光体70退避到退避槽90内，所以观察组件50不会碰撞发光体70。
检查者通过窥视微观观察组件55的目镜，可以利用显微镜微观观察经由物镜56获得的玻璃基板3上的缺陷部分。
另外，TV照相机58对由物镜56获得的玻璃基板3表面的缺陷部分进行摄影。该像显示在TV监视器60上。检查者利用该监视图像进行微观观察。
如上所述，在上述实施形式中，与多个发光元件71的排列方向相同的方向上串列连接多个、例如四个坐标显示板72构成发光体70，所述坐标显示板72是将多个发光元件71成一列地等间隔配置构成的，使所述发光体70在玻璃基板3的上方移动，从而，与现有技术相比，不必设置用于使激光光源28和反光镜27沿X轴方向移动的驱动系统、即导轨21、导向移动部22、各皮带轮23、24、皮带25以及马达26，可以节省用于设置这些激光光源28和其驱动系统的空间。进而，可以降低用于设置这些激光光源28和其驱动系所必需的成本。
另外，若在过去，为了将从激光光源28发出的激光29正确地照射到刻度投影板20上，有必要对光学系统进行调整，而本发明中对于光学系统的调整也是不必要的。
从而，采用本发明的装置，可以简单地获得发光体70，其调整也很简单，进而，可以减少马达的个数，在可以节省空间的同时，可以降低成本。
玻璃基板3面上的缺陷部分的坐标Q(X、Y)的确定，可以通过在操作操作柄等操作部83并使发光体70沿X轴方向移动的同时，使发光元件71的发光位置沿Y轴方向移动，按下记录开关(脚踏开关86)这样的简单操作来进行。
发光体70由于是将多个坐标显示板72串连连接起来的，所以可以根据例如4倒角或6倒角等玻璃基板3的尺寸改变坐标显示板72的连接数。在这种情况下，可以采用1个坐标显示板72构成发光体70，或者也可以采用多个坐标显示板72构成发光体70，在各坐标显示板72中，识别对应于脉冲数的ID号，从而，在识别了ID号的一个发光体70中，仅点亮1个发光元件71，不会同时点亮各坐标显示板72，不必担心误识别。
坐标显示板72，由于各发光元件71的面相对于玻璃基板3的表面形成规定的倾斜角、例如45°，所以，即使由于夹持件2的倾斜使得玻璃基板3以规定的角度θ(＝30～45°)倾斜并摆动，也可以确认发光元件71的点亮，可以使点灯位置与玻璃基板3的面上的缺陷部分一致。
由于发光体70被设置在夹持件2上下端的方向上，所以在微观观察时不会由于发光体70挡住宏观照明而造成阴影，并且即使夹持件2倾斜，各发光元件71也总是朝向检查者侧，可以明确地确认发光元件71的点亮位置。
而且，由于发光元件71的发光颜色采用可以在玻璃基板3面上与宏观照明相区别的、例如红色或青色等，所以可以明显地识别出发光元件71的点灯位置。
而且，坐标显示板72的发光元件71的发光控制，由于是电子点灯控制，所示不会产生在缺陷部分检测时的机械迟滞等。
另外，由于在发光体中设定了用于限制发光元件71的发光范围的边界Re，所以可以对应于玻璃基板3的尺寸可变地设定边界Re，可以在该边界Re的发光范围内往复移动发光元件71的发光位置，不必进行对无用的发光位置的扫描，可以提高操作性能。
在相对于发光体70的X轴方向的移动范围内也可以利用各传感器30、31进行限制，不必使发光体70进行沿X方向的无用的移动。
另外，在微观观察时，由于发光体70退避到退避槽90内，所以发光体70不会碰撞观察组件50。
由于第1～第n坐标显示板72的各驱动电路73对各发光元件71进行点灯控制从而进行发光元件71的点灯检测，所以在第1～第n坐标显示板72中，可以检测出不良的发光元件71。自动进行点灯检测的结果，由于作为错误信息e被报知上级个人计算机80，所以可以利用具有不良发光元件71的坐标显示板72的ID号和该坐标显示板72中的发光元件71的位置对第1～第n坐标显示板72进行点灯管理等。
由于从驱动脉冲发生器81送出的对于马达驱动器85的X轴方向驱动脉冲和对于控制基板84的Y轴方向驱动脉冲是相同的脉冲信号，所以，也用于控制基板84上的Y轴方向驱动脉冲也可以进行马达驱动。因而，通过把过去的Y轴方向进行的马达驱动仅仅更换为控制基板84和坐标显示板72的简单操作，就可以使用坐标显示板72代替Y轴方向的显示。
另外，本发明不限于上述实施形式，在实施时，可以在不脱离其主旨的范围内进行各种改变。
例如，在上述实施形式中，将多个发光元件71配置成一列，但是，如图12所示，将多个发光元件71配置成两列、并且将各列发光元件71的配置位置是将发光元件71的一半相互错开地配置。利用该发光元件71的配置位置提高发光元件71对玻璃基板3面上的缺陷部分坐标的二分之一的分辨能力。
发光元件71的点灯控制方法，也通过对一个发光元件71的点灯、如图13所示将相互相邻的两个发光元件71的点灯进行组合，可以以发光元件71的二分之一分辨能力确定玻璃基板3面上的缺陷部分的坐标。
发光元件71的发光颜色，也可以如图14所示，将红色和蓝色的发光二极管交替配置，容易地区分出发光元件17的发光位置。另外，也可以在多个配置的发光元件71中例如将规定个数、例如每10个设置为红色发光元件71。借此，可以通过视觉识别出发光元件71的发光位置。
另外，不限于采用多个发光元件71，也可以将液晶表示器形成为杆状来使用，发光元件71的配置可以沿X轴方向配置，也可以沿Y轴方向配置。
工业上的可利用性本发明可以在对例如液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器(FPD)中使用的玻璃基板等半导体玻璃基板进行的表面缺陷检查时使用。
权利要求书(按照条约第19条的修改)1、(修改后)一种坐标检测装置，其特征在于，具有保持被检测物体的夹持件；接近被保持在前述夹持件上的前述被检测物体表面，并呈直线状配置多个发光元件的发光体；把前述多个发光元件沿配置方向进行点亮驱动的点亮驱动电路；把前述发光体沿与前述多个发光元件的直线状配置方向正交的方向上移动的驱动部；对前述点亮驱动电路指定点亮位置信息，并且对前述驱动部指定移动位置信息的坐标指定操作部；根据从前述坐标指定操作部发出的前述点亮位置信息和前述移动位置信息，输出分别控制前述点亮驱动电路和前述驱动部的各驱动信号的控制部；对应前述被检测物体表面的缺陷部，从前述发光元件的点亮停止位置信息和前述发光体的移动停止位置信息求出前述缺陷部的2维坐标的坐标检测部。
2、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于前述坐标指定操作部具有2维坐标指定开关，该2维坐标指定开关把对于前述点亮驱动电路的前述点亮位置信息，以及对于前述驱动部的前述移动位置信息作为2维坐标信息输出；前述控制部把从前述2维坐标指定开关输入的前述2维坐标信息分成X方向的前述驱动信号和Y方向的前述驱动信号，并分别输出到前述点灯驱动电路和前述驱动部。
3、(修改后)如权利要求1或2所述的坐标检测装置，其特征在于
从前述控制部分别输出到前述点灯控制电路和前述驱动部上的前述各驱动信号是相同的脉冲信号。
4、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于前述坐标检测部具有把前述发光体的坐标原点与被保持在前述夹持件上的前述被检测物体的坐标基准位置相重合的坐标原点可变装置。
5、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于具有记录从前述坐标检测部求得的前述缺陷部的2维坐标的记录开关。
6、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于前述发光体由具有多个规定尺寸的发光体组件，该发光体组件是由呈直线状配置的多个前述发光元件形成，并且把这些发光体组件连接构成。
7、(修正后)如权利要求6所述的坐标检测装置，其特征在于前述多个发光体组件安装有分别控制配置在各发光体组件上的前述多个发光元件的点亮的多个驱动控制电路；前述多个驱动控制电路，具有分别对前述发光体组件中的前述多个发光元件的点亮驱动进行许可的功能。
8、(修正后)如权利要求7所述的坐标检测装置，其特征在于前述多个驱动控制电路，具有以下功能将分别分配给前述各发光体组件中的前述多个发光元件的位置信息作为ID号加以识别。
9、(修改后)如权利要求8所述的坐标检测装置，其特征在于前述多个驱动控制电路，具有以下功能分别自动检测前述各发光元件的点亮，发送与具有没点亮的前述发光元件的前述发光体组件相对应的前述ID号和没点亮的前述发光元件的位置的错误信息情报。
10、(修改后)权利要求1或6所述的坐标检测装置，其特征在于前述发光体是将前述多个发光元件成两列配置，在一边列上配置的前述多个发光元件之间分别配置另一边列的前述各发光元件；与前述多个发光元件一列配置的情况相比较坐标检测的分辨能力变为2分之1。
11、(修改后)如权利要求1或6所述的坐标检测装置，其特征在于前述发光体是前述多个发光元件成一列配置，将相互临近的2个前述发光元件在配置方向交互点亮，与1个前述发光元件点亮的情况相比坐标检出的分辨能力变为2分之1。
12、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于前述发光体为在一列配置的前述多个发光元件中，让每规定间隔配置的前述发光元件的发光颜色不同。
13、(修改后)如权利要求1所述的坐标检测装置，其特征在于前述夹持件具有从水平状态以规定的倾斜角度旋转的旋转驱动部；把对前述被检测物体进行目视观察的宏观照明光从上方照射以检查前述被检测物体的缺陷部的宏观检查装置；
前述发光体在前述夹持件上设有夹持前述被检测物体，平行铺设可在其上移动的一对导轨。
14、(修正后)如权利要求13所述的坐标检测装置，其特征在于在前述夹持件上设有接近前述被检测物体面并且成三棱柱状的保持构件；前述发光体，该发光体的端部设计为沿前述保持构件的纵向；前述保持构件的纵向与前述宏观照明光的照设方向一致。
15、(删除)16、(删除)17、(删除)18、(删除)19、(删除)
权利要求
1.一种坐标检测装置，其特征在于，具有规则地呈直线状配置多个发光元件而形成的发光体，和使前述发光体上的特定的前述发光元件发光的发光驱动装置。
2.一种坐标检测装置，其特征在于，具有规则地呈直线状配置多个发光元件而形成的发光体，和使前述发光体上的特定的前述发光元件发光的发光驱动装置，和使前述发光体沿着相对于前述发光元件的配置方向正交的方向移动的移动机构。
3.一种坐标检测装置，其特征在于，具有规则地呈直线状配置多个发光元件而形成的发光体，使前述发光体沿着相对于前述发光元件的配置方向正交的方向移动的移动机构，对前述发光元件的发光位置信息作出指令的指令发生装置，根据从前述指令发生装置发出的指令、发出控制信号的发光控制装置，该控制信号指示前述发光体上特定的前述发光元件的发光位置，和接收从前述发光控制装置发出的前述控制信号、利用前述控制信号对应于所指示的发光位置对前述发光元件进行发光驱动的驱动装置。
4.一种坐标检测装置，其特征在于，具有规则地呈直线状配置多个发光元件而形成的发光体，使前述发光体沿着相对于前述发光元件的配置方向正交的方向移动的移动机构，对使前述移动机构移动的移动信息和前述发光元件的发光位置信息作出指令的坐标指定操作装置，根据前述坐标指定操作装置发出的指令中的前述移动信息、发出驱动前述移动机构的控制信号的移动控制装置，接收从前述移动控制装置发出的前述控制信号、驱动前述移动机构的发光体移动驱动装置，根据前述坐标指定操作装置的指令中的前述位置信息、发出控制信号的发光控制装置，该控制信号指示前述发光体上的特定的前述发光元件的发光位置，接收从前述发光控制装置发出的前述控制信号、使对应于由前述控制信号指示的发光位置的前述发光元件发光的发光驱动装置。
5.如权利要求4所述的坐标检测装置，其特征在于，从前述移动控制装置发出的前述控制信号和从前述发光控制装置发出的前述控制信号是相同的脉冲信号。
6.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光体具有呈直线状规则配置的多个前述发光元件，并且由可相互连接的发光体组件构成。
7.如权利要求6所述的坐标检测装置，其特征在于，连接前述发光体组件并呈直线状配置。
8.如权利要求6所述的坐标检测装置，其特征在于，具有以下功能前述发光体组件识别配置在相应的发光体组件中的前述发光元件的位置信息，当将相应的发光位置的控制信号输入到该位置信息中时，可以进行前述发光元件的发光驱动。
9.如权利要求6所述的坐标检测装置，其特征在于，具有以下功能前述发光体组件设定ID号，当识别出相应的ID号时，可以对配置在相应发光体组件内的前述发光元件进行发光驱动。
10.权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光体具有将多个发光元件之间相互靠近地配置成一列的第一发光元件列，和在对应于前述第一发光元件列的前述各发光元件之间的位置上分别配置多个发光元件、且在这些发光元件之间相互靠近地配置成一列形成的第二发光元件列，并且，前述第一发光元件列和第二发光元件列呈两列并列地被配置。
11.如权利要求4所述的坐标检测装置，其特征在于，具有接收前述坐标指定操作装置发出的前述移动信息和前述发光位置信息，计算出在前述发光体中发光的前述发光元件的坐标的坐标检测装置。
12.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，具有边界设定装置，该边界设定装置设定限制前述发光体中成直线状配置的多个前述发光元件的发光范围的边界。
13.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，具有当前述发光体中多个前述发光元件中被指定坐标的前述发光元件发光时、可变地设定原点位置的原点可变装置。
14.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光体的配置多个前述发光元件的安装面相对于坐标检测对象面形成规定的倾斜角度。
15.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光元件为发光二极管。
16.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光元件具有识别性好的发光颜色。
17.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光元件具有红色或蓝色的发光颜色。
18.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，前述发光体将具有红色和蓝色各发光颜色的各个发光元件配置在任意位置上。
19.如权利要求1至4中任何一项所述的坐标检测装置，其特征在于，具有对前述发光体中多个前述发光元件进行点灯控制从而进行前述发光元件的点灯检测的点灯检测装置。
全文摘要
本发明提供一种坐标检测装置。其中，在与多个发光元件(71)的排列方向相同的方向上串连连接多个、例如四个坐标显示板(72)，所述坐标显示板是将多个发光元件(71)成一列地等间隔安装构成的，使该发光体(70)移动到玻璃基板(3)的上方，从而可以对例如液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器(FPD)中使用的玻璃基板等半导体玻璃基板进行表面缺陷检查。
文档编号G01B11/00GK1464969SQ02802275
公开日2003年12月31日 申请日期2002年6月28日 优先权日2001年6月29日
发明者加藤洋 申请人:奥林巴斯光学工业株式会社