专利名称：探针装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于液晶显示面板那样的平板状被检查体的通电试验的探针装置。
背景技术：
一般而言，液晶显示面板那样的平板状被检查体利用采用探针单元那样的探针装 置的检查装置即试验装置进行检查即试验。作为那样的探针装置之一，有专利文献1和2 记载的装置。专利文献1记载的探针装置包括安装在试验装置的主体框上的板状的滑动基 座；安装在探针基座上的连结组件；能够调整高度位置地悬挂于连结组件上的支承组件； 探针组件(探针组装体)，其是通过将多个探针支承于探针保持架上而形成的，且其被组装 在支承组件上。在从探针保持架向上方突出的凸部插入到形成在支承组件上的凹部的状态下，探 针组件由一对螺纹构件安装在支承组件上。由此，探针组件能相对于支承组件装卸地被保 持在支承组件上。各探针包括板状的针中央区域；从针中央区域向前方一体延伸的前端区域；从 前端针尖区域向下方突出的前端针尖；从针中央区域向后方一体延伸的后端区域；从后端 区域向上方突出的后端针尖。这样的探针在针中央区域的厚度方向为左右方向的状态下， 配置在探针保持架上。探针组装体除了探针和探针保持架之外，还包括一对导杆，沿针中央区域的厚度 方向贯穿针中央区域并延伸，两端部被支承在探针保持架上；前端侧槽杆，其支承在探针保 持架上，具有为了收纳前端针尖而在左右方向上隔开间隔地形成的多个槽；后端侧槽杆，其 支承在探针保持架上，具有为了收纳后端针尖而在左右方向上隔开间隔地形成的多个槽。在专利文献1记载的探针装置中，探针被一对导杆支承在探针保持架上。在那样 的探针装置中，前端针尖和后端针尖被分别按压于被检查体的电极和阳极片那样的布线片 状体的连接部上，在过驱动(overdrive)作用于各探针时，探针相对于探针保持架的位移 量根据存在于各探针和导杆之间的间隙的大小而不同。由于设计上和加工上所容许的公差，无法避免在探针和导杆之间形成上述那样的 间隙。其结果，前端针尖和被检查体的电极之间的接触以及后端针尖和布线片状体的焊盘 (land)之间的电接触变得不稳定，无法进行准确的试验即检查。为了解决上述的课题，在专利文献2记载的探针装置中，将上述的导杆作为定位 销，并且分别在各探针的针中央部的前端部和后端部设有朝向前方开放的日文二字状的第 1和第2凹部，分别在设于前端侧槽杆和组件片的后端部上的承重杆上设有向后方突出并 嵌合在第1和第2凹部中的第1和第2凸部。在专利文献2记载的探针装置中，通过将导杆作为定位销、第1凹部与第1凸部嵌 合以及第2凹部与第2凸部嵌合，降低在过驱动作用于各探针时的探针相对于组件片的位
移量的差。
但是，在专利文献2记载的探针装置中，丝毫没有公开将探针组件组装到支承组 件(滑动组件)上的组装装置。此外，在专利文献1记载的组装装置中，为了获得更换探针、探针组件、连接片状 体、辅助组件等消耗品时的针尖位置的再现性，使用复杂的操作所需的止动件、多个凸部、 多个柱塞、多个柱塞销、多个压缩螺旋弹簧等多个构件，所以不仅组装装置的形状和构造变 得复杂，而且消耗品的更换作业变繁杂。专利文献1 日本特开2004-191064号公报专利文献2 日本特开2009-115585号公报

发明内容
本发明的目的在于提供一种简化组装装置的形状和构造并且容易进行消耗品的 更换作业的探针装置。本发明的探针装置包括支承组件；结合组件，其配置在该支承组件的下侧；组装 装置，其将上述结合组件组装到上述支承组件的下侧；探针组装体，包括具有前端针尖和后 端针尖的多个探针和配置有该探针的探针保持架，且上述探针以在左右方向上隔开间隔地 沿前后方向延伸的状态配置在上述探针保持架上，并组装在上述结合组件的下侧。上述组装装置包括凹部，其形成在上述结合组件和上述支承组件中的任一方上； 连结构件，其嵌合在该凹部中；第1螺纹构件，其用于将该连结构件组装到上述结合组件或 上述支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿上述连结构件，与上述结合组件和上述 支承组件中的另一方螺纹配合。上述凹部和上述连结构件能具有圆形或多边形的横截面形状。上述组装装置还包括第2凹部，其形成在上述结合组件和上述支承组件中的上 述任一方上，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面内延伸，与形成在上述结合组件和 上述支承组件中的上述任一方上的上述凹部连通；销构件，其从上述连结构件在上述XY面 内延伸，被收纳在上述第2凹部中。上述组装装置还可以包括第3凹部，其形成在上述连结构件和上述支承组件中 的上述任一方，并且朝向上述连结构件和上述支承组件中的另一方侧开放；第2销构件，其 从上述连结构件和上述支承组件中的另一方沿上下方向延伸，被收纳在上述第3凹部中。上述结合组件能够在前端侧具有朝向下方且配置有上述探针组装体的台阶部，并 且具有供上述连结构件嵌合的上述凹部，还具有供上述第2螺纹构件螺纹配合的内螺纹 孔。上述凹部也可以形成在上述结合组件上，上述连结构件被上述第1螺纹构件安装 在上述支承组件上，上述第1螺纹构件从上方向下方贯穿上述连结构件，与上述结合组件 螺纹配合。本发明的探针装置还能够包括布线片状体，其被配置在上述结合组件的下侧，是 使后端部向上述结合组件的上侧折返而形成的，且在前端部的下表面具有多个连接部，并 且具有从该连接部向后方延伸的多个第1布线；连接组件，其被配置在上述结合组件的后 端部与上述支承组件之间，并安装在上述结合组件或上述支承组件上；连接片状体，其以从 该连接组件向后方延伸的状态前端部被安装在上述连接组件的下侧，并且其具有向前后方
4向延伸的多个第2布线，各第2布线的前端部与上述第1布线接触；弹性体，其被配置在上 述连接组件的下侧且与上述第1和第2布线的接触部相对应的部位。在本发明的探针装置中，将结合组件组装到支承组件的下侧的组装装置包括凹 部，其形成在结合组件和支承组件中的任一方；连结构件，其与该凹部嵌合；第1螺纹构件， 其用于将该连结构件组装到结合组件或支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿连 结构件，与结合组件和上述支承组件中的另一方螺纹配合。因此，能够在使结合组件从支承组件分离的状态下进行探针组装体和布线片状体 的更换。还能够在使结合组件从支承组件分离并且使探针组装体从结合组件分离的状态下 进行探针的更换。而且能够在使结合组件从支承组件分离并且使连接组件从支承组件分离 的状态下进行连接片状体的更换。作为上述结果，根据本发明，与现有技术相比，简化组装装置的形状和构造，使包 括探针在内的消耗品的更换作业变得容易。


图1是表示本发明的探针装置的一实施例的主视图。图2是图1所示的探针装置的右侧视图。图3是图1所示的探针装置的俯视图。图4是图3中的IV部分的放大图。图5是图1的V-V剖视图。图6是分解表示图1所示的探针装置的剖视图。图7是去除了探针组装体和结合组件之后的主视图。图8是表示将结合组件组装到支承组件上的组装装置的一实施例的分解立体图。图9是放大表示探针组装体的一部分的主视图。图10是图9所示的探针组装体的右侧视图。图11是图9的XI-XI剖视图。图12是表示探针的后端针尖及其附近的一实施例的放大剖视图。图13是表示探针、组件片处的凹部和凸部及它们的附近的一实施例的放大剖视 图。图14是弹性体及其附近的放大剖视图。图15是表示探针组装体的其他的实施例的剖视图。
具体实施例方式在本发明中，在图1中，将上下方向称为上下方向或Z方向，将左右方向称为左右 方向或X方向，将纸背方向称为前后方向或Y方向。但是，这些方向根据像工作台那样收纳 于面板收纳部的被检查体的姿势而不同。因此，本发明的探针装置是以如下这样的状态安装在试验装置上来使用的在本 发明中所说的上下方向(Z方向)实际上有可能是上下方向的状态、上下颠倒的状态、倾斜 方向的状态等中的任一方向的状态。实施例
参照图1 图4，探针装置10以局部显示于图2、5、10、11和15中的液晶显示面 板作为被检查体12，用于被检查体12的点亮检查。被检查体12具有长方形的形状，此外， 在至少与长方形的相邻2个边相对应的缘部以规定的节距形成有多个电极14(参照图10、 11和15)。各电极14具有沿与配置有该电极14的缘部正交的方向(X方向或Y方向)延 伸的带状的形状。参照图1 图5，探针装置10包括探针组装体16 ；支承组件18，其用于支承探针 组装体16 ；连结组件20，其连结支承组件18 ；结合组件22，其被支承在支承组件18的下侧 (Z方向上的任一侧)；组装装置24，其用于将结合组件22组装到支承组件18的下侧；布线 片状体26，其被支承在结合组件22的下侧；连接组件28，其被安装在支承组件18的下侧。通过在安装于试验装置的主体框(未图示)上的平板状的探针基座30上组装有 连结组件20，探针装置10作为试验装置的一部分组装在试验装置上。参照图9 图11，在探针组装体16中，由导电性材料制作的多个探针32以在左右 方向上隔开间隔地向后方延伸的状态配置于在前后方向上隔开间隔地组装在组件片34的 下表面的一对槽杆36上，具有圆形的横截面形状的杆构件38贯穿探针32，两杆构件38的 端部通过一对覆盖件40组装到组件片34上。如图11所示，各探针32是板型的针，包括呈矩形的板状的针主体部32a ；从针主 体部32a的前端向前方一体延伸的前端区域32b ；从针主体部32a的后端向后方一体延伸 的后端区域32c ；从前端区域32b的前端向下方弯曲的前端针尖32d ；从后端区域32c的后 端向上方弯曲而成的后端针尖32e。前端针尖32d和后端针尖32e形成为三角形且尖锐。组件片34和各槽杆36均由具有电绝缘性的陶瓷、合成树脂等形成，具有左右方向 较长的棱柱状的形状。各槽杆36由电绝缘性的材料制作成棱柱状的形状，并以沿左右方向延伸的状态 安装在组件片34的前部下表面和后部下表面。如图9 图12所示，各槽杆36在下表面具 有沿着长度方向(左右方向)隔开规定的间隔地向前后方向延伸并向下方开放的多个槽 42。杆构件38在图示的例子中具有圆形的截面形状，并且由如陶瓷那样的硬质的电 绝缘性的材料形成。杆构件38贯穿探针32的针主体部32a。但是，杆构件38既可以是用 电绝缘性的材料覆盖导电性的材料而形成的构件，也可以具有矩形、六边形等多边形那样 的其他的横截面形状。各探针32以针主体部32a的厚度方向为左右方向，且在前端针尖32d和后端针尖 32e分别从组件片34向前方和后方突出的状态下并列地配置在槽杆36上，而且使前端区域 32b和后端区域32c与槽杆36的槽42嵌合。如图1和9所示，各覆盖件40由位于内侧的板状的覆盖构件40a和位于其外侧的 板状的覆盖构件40b形成。还如图1、2、9和10所示，各覆盖件40利用贯穿覆盖构件40a、40b而与组件片34 左右方向的端部螺纹配合的多个螺纹构件44能够拆卸地安装在组件片34左右方向的侧面。而且，各覆盖件40利用多个定位销46相对于组件片34定位。各定位销46以从组 件片34左右方向的端部向左右方向突出的状态安装在该端部，并且插入两覆盖构件40a、
640b。内侧的各覆盖构件40a具有收纳杆构件38的端部的孔48 (参照图9)。由此，杆构 件38与覆盖构件40a和40b —同利用螺纹构件44和定位销46安装在组件片34上并进行 定位。如图10、11和13所示，前侧的槽杆36和各探针32分别在后端部和前端部具有向 后方突出的凸部50和向前方开放的凹部52。凸部50和凹部52具有日文二字状的截面形 状，并且互相嵌合。此外，凸部50和凹部52分别包括位于下方(Z方向上的任一侧)的下缘部和上 缘部50a和52a ；位于上方(Z方向上的另一侧)的上缘部和下缘部50b和52b。凸部50的下缘部50a和凹部52的下缘部52b朝向下方，凸部50的上缘部50b和 凹部52的上缘部52a朝向上方。凹部52的上缘部52a越向后方侧去越低。由此，在凹部 52的内侧底部下侧形成有付加的凹部52c。探针组装体16还包括在左右方向上隔开间隔的多个定位销54 (参照图1)。各定 位销54安装在组件片34上，并从组件片34向上方延伸。而且，各定位销54嵌合在设于结 合组件22的定位孔(未图示)中，与该定位孔一同将探针组装体16相对于结合组件22定 位。也可以与上述相反地在结合组件22上设有定位销54，在组件片34上设有定位孔。各探针32以如下所述状态配置在槽杆36上凸部50和凹部52相互嵌合，且杆构 件38贯穿探针32，而且在前端区域32b和后端区域32c与槽42嵌合。此外，那样的槽杆36利用螺纹构件、粘接剂等像上述那样组装到组件片34上，并 且覆盖件40像上述那样组装到组件片34上，从而将各探针32组装在组件片34上来进行 保持。如图6和8所示，结合组件22具有配置了探针组装体16的向下台阶部56。向下 台阶部56在结合组件22的下部的前端部向左右方向延伸。如图1、5和6所示，探针组装体16利用从上方向下方贯穿结合组件22的通孔57 而与设于组件片34的内螺纹孔58螺纹配合的带头部的螺纹构件60，在定位销54插入上述 定位孔的状态下被保持在向下台阶部56上。在图中，相邻的探针32在左右方向上隔开较大间隔，但是实际上探针32的排列节 距较小。探针32的个数、厚度尺寸、排列节距以及槽杆36的槽的个数、配置节距、宽度尺寸 根据被检查体12的种类特别是电极的配置节距和宽度尺寸不同而不同。探针组装体16能够通过以下方式来组装，即以在上述状态下将两槽杆36安装到 组件片34的状态，将各探针32的两端部插入槽杆36的槽42，并且使凸部50和凹部52嵌 合，使杆构件38穿过探针32和覆盖构件40a，之后利用螺纹构件44和定位销46将各覆盖 件40安装到组件片34上。也可以在将两槽杆36安装到组件片34上后，将一方的覆盖件40安装到组件片34 上。能通过执行与上述相反的作业来进行探针组装体16的分解。能通过执行与上述 相反的作业并将原先的探针换成新的探针之后，执行与上述相同的作业来进行探针32的更换。
在将定位销54 (参照图1和6)插入结合组件22的上述定位孔中的状态下使螺纹 构件60从上方向下方通过结合组件22的通孔57而与组件片34的上述内螺纹孔螺纹配合， 从而能够将探针组装体16组装到结合组件22上。从结合组件22卸下探针组装体16能够通过执行与上述相反的作业来进行。在该实施例中，组件片34和槽杆36构成在上下方向上的一端侧(下方侧)沿左 右方向隔开间隔地并列配置有多个探针32的探针保持架。参照图1 7，支承组件18由板状的2个支承部18a和18b制作成L字状的横截 面形状。连结组件20由安装在探针基座30上的主体部20a和从主体部20a的上部向前方 延伸的延长部20b构成倒L字状的形状。在图示的例子中，支承组件18与结合组件22 —起形成支承体，螺纹构件60作为 将探针组装体16安装到结合组件22上的组装件而发挥作用。支承组件18利用沿左右方向隔开间隔并沿上下方向延伸的一对导轨62和在两导 轨62之间沿上下方向延伸的导向件64能够沿上下方向移动地与连结组件20的主体部20a 的前表面连结，并且利用螺栓66能调整上下方向的位置地与连结组件20的延长部20b连结。两导轨62和导向件64分别是线性轨道和线性导向件。两导轨62安装在支承组 件18的支承部18a的后端面。相对于此，导向件64配置在左右方向的两导轨62之间，并 且安装在连结组件20的主体部20a的前端面，由两导轨62引导从而能够沿上下方向移动。螺栓66从上方向下方贯穿连结组件20的延长部20b，而且与形成在支承组件18 上的螺纹孔68螺纹配合。如图1所示，支承组件18由沿左右方向隔开间隔地配置的一对 压缩螺旋弹簧70向下方施力。各压缩螺旋弹簧70以沿上下方向贯穿连结组件20的延长部20b的状态配置在支 承组件18和板状的弹簧按压件72之间，该弹簧按压件72利用多个螺纹构件71 (参照图3 和5)安装在连结组件20的延长部20b上，。由此，通过调整螺栓66旋入螺纹孔68中的旋 入量，能调整支承组件18以及探针组装体16的高度位置。弹簧按压件72具有从上方插入螺丝刀那样的工具的前端部来调整螺栓66的旋转 量的通孔72a。由此，不将弹簧按压件72从支承组件18取下就能够调整支承组件18以及 探针组装体16的高度位置，所以容易进行那样的高度位置调整。如图5所示，连结组件20利用从上方向下方贯穿连结组件20并与探针基座螺纹 配合的多个螺栓76能拆卸地安装在探针基座30上。各螺栓76从上方向下方贯穿连结组 件20的主体部20a，并与形成在探针基座30上的螺纹孔78螺纹配合。参照图1 8，组装装置24包括形成在结合组件22上的凹部80 (参照图6和8)； 嵌合在凹部80中的连结构件82 ；将连结构件82组装到支承组件18的下侧而使支承组件 18支承连结构件82的多个螺纹构件84 (参照图3和7)；沿上下方向贯穿连结构件82的通 孔85而与结合组件22的螺纹孔88螺纹配合的螺纹构件86。凹部80和连结构件82具有圆形的横截面形状。此外，如图3和7所示，螺纹构件 84从上方向下方贯穿支承组件18的支承部18b，与连结构件82的内螺纹孔83 (参照图7 和8)螺纹配合。而且，螺纹构件86的下端部与设于结合组件22上的内螺纹孔88螺纹配
I=I ο
在图示的例子中，如图6所示，内螺纹孔88是形成在不能位移地组装到结合组件 22的主体部22a的螺母22b中的，然而也可以如图8所示直接形成在主体部22a上。能够在定位销54(参照图1)插入结合组件22的上述的定位孔中的状态下，将螺 纹构件60从上方向下方通过结合组件22的通孔57而与组件片34的内螺纹孔58螺纹配 合，从而将探针组装体16组装到结合组件22上。组装装置24通过利用螺纹构件84将连结构件82安装到支承组件18上，并使螺 纹构件86沿上下方向贯穿连结构件82而与内螺纹孔88螺纹配合，从而将结合组件22组 装到支承组件18的支承部18b的下侧。组装装置24还通过凹部80和连结构件82嵌合，将结合组件22相对于支承组件 18保持在由左右方向和前后方向形成的XY面内的规定的位置。在图示的例子中，组装装置24还包括凹部90，其形成在结合组件22上，在XY面 内延伸，与凹部80连通；销构件92，其从连结构件82在XY面内延伸，且被收纳在凹部90 中；一对凹部94，其形成在支承组件18的支承部18b的下表面上，且朝向连结构件82侧开 放；一对销构件96，其向连结构件82的上方延伸，被收纳在凹部94中。凹部90和销构件92在XY面内的比螺纹构件86靠前方的位置向一方向(在图示 的例子中为X方向)延伸。相对于此，两凹部94和两销构件96分别在与凹部90和销构件 92延伸的方向交叉的方向、优选正交的方向(在图示的例子中为Y方向)上分离。组装装置24利用上述凹部90、94和销构件92、96将结合组件22相对于支承组件 18保持在左右方向和前后方向上的规定的位置，并且保持在沿上下方向延伸的θ轴线周 围的规定的角度位置。也可以在支承组件18上设有凹部80，将连结构件82螺纹固定在结合组件22上。 还可以将凹部90、94和销构件92、96设于与上述相反的构件上。能够在使销构件96位于相对应的凹部94的状态下，利用螺纹构件84将连结构件 82安装到支承组件18的下侧，接着使连结构件82与凹部80嵌合，使销构件92位于相对应 的凹部90的状态下，使螺纹构件86与结合组件22的内螺纹孔88螺纹配合，从而将结合组 件22组装到支承组件18上。从支承组件18卸下结合组件22能够通过执行与上述相反的作业进行。如图2、5和6所示，布线片状体26为复合电路片状体，包括由挠性印刷布线电路 (FPC)形成的前部区域26a;由与前部区域26a的后端部相连的阳极片(TAB)形成的中间区 域26b ；由与中间区域26b的后端部相连的挠性印刷布线电路(FPC)形成的后部区域26c。如图2、5、6、8、11和12所示，利用固定板100将布线片状体26设置于结合组件22 的下侧，并将驱动被检查体12的集成电路102配置在中间区域26b。布线片状体26的前部区域26a在前端部下表面具有在左右方向上隔开间隔的多 个连接焊盘(land) 104(参照图11、12)，并且具有从连接焊盘104向后方在左右方向上隔开 间隔地并列延伸的多条布线106 (参照图11、12和14)。也可以替代将设于各布线106的连接焊盘104作为后端针尖32e和布线片状体26 的布线106的连接部，而以各布线106的一部分作为那样的连接部。布线片状体26的中间区域26b具有在左右方向上隔开间隔的多条前侧布线和在 左右方向上隔开间隔的多条后侧布线。前侧布线在其前端部与布线106的后端部连接，并且在后端部与集成电路102的输出端子连接。相对于此，后侧布线在前端部与集成电路102 的输入端子连接。布线片状体26的后部区域26c具有在左右方向上隔开间隔的多条布线，而且这些 布线在其前端部与中间区域26b的后侧布线连接。布线片状体26在后部区域26c的后端 部向结合组件22的上侧折返，使布线106的后端部朝向上方(参照图8和图14)。参照图2、5和6，连接组件28在支承组件18的下侧沿左右方向延伸，且位于结合 组件22的后端部和支承组件18之间。连接组件28利用在左右方向上隔开间隔的多个螺 纹构件110和在前后方向上隔开间隔的多个定位销112能够分离地安装在支承组件18的 下侧。各螺纹构件110从下方向上方贯穿连接组件28而与支承组件18螺纹配合。各定 位销112以沿上下方向延伸的状态固定在连接组件28和支承组件18中的任一方上，与设 于连接组件28和支承组件18中的另一方中的定位孔嵌合。参照图2、5、6和14，探针装置10还包括连接片状体114，其以从连接组件28向 后方延伸的状态前端部安装在连接组件28的下侧；弹性体116，其安装在连接组件的下侧。连接片状体114具有在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的多条布线 118(参照图14)。各布线118的至少前端部在连接片状体114的下表面露出，与折返到布 线片状体26的上方的布线106接触。连接片状体114的布线118在探针装置10组装在试验装置上的状态下与试验装 置的电路连接。因此，各探针32经由布线片状体26的布线106、集成电路102和连接片状 体114的布线118与试验装置的电路连接。弹性体116位于连接组件28的下侧，且被配置在与布线片状体26的布线和连接 片状体114的布线118的接触部相对应的部位。因此，弹性体116、布线片状体26的布线 106和连接片状体114的布线118在结合组件22和连接组件28组装在支承组件18上的状 态下被压缩变形(参照图14)。由此，布线片状体26的布线106和连接片状体114的布线 118被较强地按压从而可靠地接触。在螺纹构件86穿过连结构件82的状态下将连结构件82安装到支承组件18上， 将探针组装体16安装到结合组件22上，将连接组件28安装到支承组件18上后，将螺纹构 件86旋入结合组件22的内螺纹孔88中，从而将结合组件22安装到支承组件18上。能够通过解除螺纹构件86与内螺纹孔88的螺纹配合来从支承组件18卸下结合 组件22。因此，能够在使结合组件22从支承组件18分离的状态下进行探针组装体16和布 线片状体26的更换。此外，能够在使结合组件22从支承组件18分离、使探针组装体16从 结合组件22分离的状态下进行探针32的更换。而且，能够在使结合组件22从支承组件18 分离、使连接组件28从支承组件18分离的状态下进行连接片状体114的更换。作为上述结果，采用探针装置10，与现有技术相比，简化组装装置24的形状和构 造，并且使包括探针32在内的消耗品的更换作业变得容易。在像上述那样将结合组件22组装到支承组件18上时，如图12所示，各探针32的 后端针尖32e被按压于布线片状体26的连接焊盘104上。后端针尖32e向连接焊盘104 的押压如以下那样地作用于各探针32。
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为了使前端针尖32d向上方位移，各探针32在图11中受到顺时针方向的旋转力， 如图13所示，凹部52的下缘部52a被按压于槽杆36的凸部50的下缘部50a，并且凹部52 的上缘部52b被按压于槽杆36的凸部50的上缘部50b。由此，对于探针32而言，即使在互相嵌合的凸部50和凹部52上存在由在设计上 和加工上的公差而引起的间隙，也能够将前端针尖32d保持在相同的高度位置。其结果，探 针相对于探针保持架的位移量的差显著地减小，能够进行准确的试验。探针32的前端针尖向上方位移时，凹部52的付加凹部52c作为凸部50的后端下 部的退避空间而发挥作用。此外探针32被按压在槽杆36上，防止向左右方向进行位移。在对被检查体进行试验的试验装置中，使用了将具有上述那样的形状构造的多个 探针装置10配置到探针基座30上的多个探针单元。参照图15，探针组装体120还包括位于前后的槽杆36、36之间、在探针122的上方 沿左右方向延伸的止挡构件124。止挡构件124由在探针122的上侧沿左右方向延伸的板 状的主体部124a和在探针122与后侧的槽杆36之间沿左右方向延伸并向下方突出的板状 的突部124b制作成倒L字状的截面形状。各探针122包括前侧凸部122a，其从前端侧的凹部52的内侧底部突出到前端， 与前侧的槽杆36的凸部50抵接；上侧突部122b，其与止挡构件124的主体部124a的下表 面和突部124b的前表面抵接。各探针122在后端针尖32e被按压于连接片状体26的连接焊盘104的状态下、前 端针尖32d被按压于被检查体12的电极14时，凸部122a被较强地按压于前侧的槽杆36 的突出部50。由此，可靠地防止探针122相对于探针保持架向左右方向、前后方向和上下方 向进行位移。图15所示的探针组装体120不具有沿左右方向延伸并贯穿探针122的杆构件38。 但是，也可以具有那样的杆构件38。在上述实施例中，凸部50和凹部52也可以与上述相反分别设于探针和探针保持 架中的任一侧。在该情况下，在图15的实施例中，凸部122a能设在前侧的槽杆36上。此外，也可以代替板型的探针，使用由金属细线制作的针型的探针、将各布线的一 部分用作探针的探针元件等其他的探针。本发明不仅能够应用于液晶显示面板用的探针装置，还能够应用于形成有薄膜晶 体管的玻璃基板那样的其他显示用基板用的探针装置、集成电路那样的其他平板状被检查 体用的探针装置。本发明不限定于上述实施例，只要不脱离权利要求书记载的要旨就能进行各种变更。
权利要求
一种探针装置，其特征在于，包括支承组件；结合组件，其被配置在该支承组件的下侧；组装装置，其用于将该结合组件组装到上述支承组件的下侧；探针组装体，其包括具有前端针尖和后端针尖的多个探针和配置有该探针的探针保持架，且上述探针以在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的状态配置在上述探针保持架上，并组装在上述结合组件的下侧，上述组装装置包括凹部，其形成于上述结合组件和上述支承组件中的任一方；连结构件，其嵌合在该凹部中；第1螺纹构件，其用于将该连结构件组装到上述结合组件或上述支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿上述连结构件而与上述结合组件和上述支承组件中的另一方螺纹配合。
2.根据权利要求1所述的探针装置，上述凹部和上述连结构件具有圆形或多边形的横截面形状。
3.根据权利要求1所述的探针装置，上述组装装置还包括第2凹部，其形成于上述结合组件和上述支承组件中的上述任 一方，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面内延伸，其与形成在上述结合组件和上述 支承组件中的上述任一方的上述凹部连通；销构件，其从上述连结构件在上述XY面内延 伸，被收纳在上述第2凹部中。
4.根据权利要求1所述的探针装置，上述组装装置还包括第3凹部，其形成于上述连结构件和上述支承组件中的上述任 一方，并且朝向上述连结构件和上述支承组件中的另一方侧开放；第2销构件，其从上述连 结构件和上述支承组件中的另一方沿上下方向延伸，被收纳在上述第3凹部中。
5.根据权利要求1所述的探针装置，上述结合组件在前端侧具有朝向下方且配置有上述探针组装体的台阶部，并且具有供 上述连结构件嵌合的上述凹部，还具有供上述第2螺纹构件螺纹配合的内螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的探针装置，上述凹部形成在上述结合组件上，上述连结构件由上述第1螺纹构件安装在上述支承 组件上，上述第1螺纹构件从上方向下方贯穿上述连结构件而与上述结合组件螺纹配合。
7.根据权利要求1所述的探针装置，该探针装置还包括布线片状体，其被配置在上述结合组件的下侧，是使后端部向上述结合组件的上侧折 返而形成的，且在前端部的下表面具有多个连接部，并且具有从该连接部向后方延伸的多 个第1布线；连接组件，其被配置在上述结合组件的后端部与上述支承组件之间，并被安装在上述 结合组件或上述支承组件上；连接片状体，其以从该连接组件向后方延伸的状态前端部安装在上述连接组件的下 侧，并且具有向前后方向延伸的多个第2布线，各第2布线的前端部与上述第1布线接触；弹性体，其被配置在上述连接组件的下侧且与上述第1和第2布线的接触部相对应的 部位。
全文摘要
本发明提供一种探针装置，能够尽可能地减小探针相对于探针保持架的位移量的差，进行准确的试验。在探针装置中，将结合组件组装到支承组件的下侧的组装装置包括凹部，其形成在结合组件和支承组件中的任一方；连结构件，其与该凹部嵌合；第1螺纹构件，其用于将该连结构件组装到结合组件或支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿连结构件而与结合组件和上述支承组件中的另一方螺纹配合。
文档编号G01R31/00GK101968501SQ20101023907
公开日2011年2月9日 申请日期2010年7月23日 优先权日2009年7月27日
发明者久我智昭 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司