专利名称：用于测试半导体装置的电路和方法
技术领域：
本公开的各个实施例总的来说涉及半导体装置，具体地说涉及用于测试半导体装 置的电路和方法。
背景技术：
为了增加半导体装置的集成度，已经开发包括多个堆叠芯片的3维(3D)半导体装 置。堆叠芯片提供了使得3D半导体装置能被封装进单个封装内的结构。近来，已经开发穿 透硅通孔(TSV)型半导体装置，其中，硅通孔被形成为穿透多个堆叠芯片，从而所有的芯片 彼此电连接。3D半导体装置具有多个TSV，从而多个堆叠芯片通常可以接收各种信号。例如，在 存储装置的情形中，多个堆叠芯片通常可以通过TSV接收地址信号、测试信号、输入/输出 线信号以及命令信号。然而，在TSV中可能出现各种缺陷。例如，缺陷可以包括由于TSV中导电材料的不 完全填充而产生的空隙、由于芯片的翘曲或凸块材料(bumpmaterial)的迁移导致的凸块 接触失效，以及TSV本身的破裂。由于TSV电连接多个芯片，如果由于缺陷的出现TSV形成开路，则TSV不能正确地 起作用。因此，必须用能起作用的TSV来替换有缺陷的TSV。因此，由于TSV的正确连接对于可靠的产品制造是重要的，于是需要确定TSV是否 正确连接的方法。

发明内容
本发明的各个实施例包括用于测试半导体装置的电路和方法，该电路和方法可以 确定TSV是否连接。在本发明的一个方面，一种用于测试半导体装置的电路包括测试电压施加单元， 配置用于响应于测试模式信号，将测试电压施加到穿透硅通孔(TSV)的第一端；以及检测 单元，配置为连接到所述TSV的第二端并且检测从所述TSV的第二端输出的电流。在本发明的另一个方面，一种测试半导体装置的方法包括在测试操作期间施加 电流到TSV ；以及将流经所述TSV的电流量与参考值进行比较。在本发明的再一方面，一种用于测试半导体装置的电路包括测试电压施加单元， 配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到TSV的第一端；以及检测单元，配置为连 接到所述TSV的第二端，将从所述TSV的第二端输出的电压与参考电压进行比较，并产生检测信号。在本发明的再一方面，一种用于测试半导体装置的电路包括测试电压施加部件， 配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到多个TSV ；以及确定部件，配置为响应于 所述测试模式信号，顺序地连接到所述多个TSV中的一个TSV。在本发明的再一方面，一种用于测试半导体装置的电路包括测试电压施加部件， 配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到第一 TSV和第二 TSV ；以及确定部件，配置 为响应于所述测试模式信号，连接到所述第一 TSV和第二 TSV。


包括在本说明书中并构成本说明书的一部分的

与本发明相一致的各个 实施例，并且附图连同说明书用来解释本发明的原理，图IA和IB是示意性地说明根据本发 明的一个实施例的用于测试半导体装置的电路的配置的框图。图2是示意性地说明根据本发明的一个实施例的用于测试半导体装置的电路的 配置的框图。图3是说明图2中所示的半导体装置的确定部件的配置的框图。图4是示出图2中所示的测试电路的操作的时序图。
具体实施例方式结合附图，参考以下描述的实施例，本发明的优点和特点以及实现它们的方法将 会变得明显。然而，本发明不限于以下描述的示例性实施例，而可以以不同的方式来实施。 因此，提供示例性实施例以便本领域技术人员能透彻理解本发明的教导，并完全告知本发 明的范围，并且示例性实施例仅受所附权利要求的范围的限制。在整个说明书中，相同的元 件使用相同的附图标记。图IA和IB是示意性地说明根据本发明的一个实施例的用于测试半导体装置的电 路的配置的框图。参考图IA和图1B，测试电路包括测试电压施加单元10、穿透硅通孔(TSV) 以及检测电路20。测试电压施加单元10响应于测试模式信号TM，将测试电压Vtest施加 到TSV。测试模式信号TM包括被输入以测试半导体装置的信号。当输入测试模式信号TM 时，测试操作可以开始。因此，如果使能测试模式信号TM并且开始测试操作，则测试电压施 加单元10将测试电压Vtest施加到TSV。测试电压施加单元10可以包括例如金属氧化物半导体(MOS)晶体管。注意，测试 电压施加单元10可以包括图IA中的P型金属氧化物半导体(PM0Q晶体管Pl或者图IB 中的η型金属氧化物半导体(NMOQ晶体管W。在图IA中，PMOS晶体管Pl具有接收测试 模式信号TM的反相信号TMb的栅极、被施加测试电压Vtest的源极端以及连接到TSV的第 一端的漏极端。在图IB中，NMOS晶体管m具有接收测试模式信号TM的栅极、被施加测试 电压Vtest的漏极端以及连接到TSV的第一端的源极端。因此，如果测试模式信号TM被使 能至高电平，测试电压施加单元10可将测试电压Vtest施加至TSV的第一端。检测单元20连接到TSV的第二端。由于检测单元20连接到TSV的第二端，检测 单元20可以检测流经TSV的电流或从TSV的第二端输出的电压。提供给半导体装置的压 点可以用作检测单元20。此外，检测单元20可以包括差分放大器。在检测单元20包括压点的情形中，压点可以接收流经TSV的电流。通过测试设备或通过探针检测可以测量流经 TSV的电流量。因此，通过比较流经TSV的电流量和参考值，可以确定TSV是否正确连接。在检测单元20包括差分放大器的情形中，检测单元20可以放大从TSV的第二端 输出的电压与参考电压之间的差值，并且产生检测信号。由于测试电压Vtest被施加到TSV 的第一端，如果测试模式信号TM被使能，检测单元20可以比较从TSV的第二端输出的电压 与参考电压，并且产生检测信号。如果从TSV的第二端输出的电压的电平高于参考电压的 电平，因为已经使能检测信号，则可以通过检测信号做出关于TSV是否正确连接的确定。因 为检测信号具有关于TSV正确或不正确连接或TSV断开的信息，可以在半导体装置中将检 测信号用于各种目的，例如修复。可以根据测试电压Vtest的电平和期望的电平，可以改变参考值和参考电压。测 试电压Vtest可以包括例如外部电压。当测试电压Vtest包括外部电压时，考虑构成测试 电压施加单元10的MOS晶体管的阈值电压和TSV的电导率，可以适当地设置参考值和参考 电压。例如，可以设置参考值为当施加测试电压Vtest时能流动的电流的最大量的一半，可 以设置参考电压为测试电压Vtest的一半。下面是根据本发明的实施例的用于测试半导体装置的电路的示例性操作。如果测 试模式信号TM被使能且测试电压Vtest被施加至TSV的第一端，则电流流经TSV。检测单 元20被施加有从TSV的第二端输出的电流或电压。如果从TSV的第二端输出的电流量大于 参考值，则可以确定TSV为正确连接，而如果所述电流量小于参考值，则可以确定TSV为不 正确连接或者断开。类似地，如果从TSV的第二端输出的电压的电平高于参考电压的电平 从而检测信号被使能，则可以确定TSV为正确连接。相反地，如果从TSV的第二端输出的电 压的电平低于参考电压的电平从而检测信号被禁止，则可以确定TSV不正确连接或断开。因此，在根据本发明的实施例的用于测试半导体装置的电路中，可以用简单且便 利的方式测试半导体装置的TSV是否开路或是否短路。然而，因为半导体装置包括多个 TSV,单个地检查TSV的连接是困难且耗时的。因此，需要一种同时测试多个TSV是否开路 或是否短路的方法。图2是示意性地说明根据本发明的一个实施例的用于测试半导体装置的电路的 配置的框图。参考图2，测试电路包括测试电压施加部件100，标记为TSVl、TSV2，TSV3...的 多个TSV，和确定部件200。响应于测试模式信号TM，测试电压施加部件100将测试电压Vtest施加至多个 TSV中的各个TSV，即TSV1、TSV2、TSV3...。如果在对半导体装置的测试操作开始时使能测 试模式信号TM，则测试电压施加部件100将测试电压Vtest施加至多个TSV中的各个TSV， 即TSVl、TSV2、TSV3. ·.。在图2中，测试电压施加部件100可以包括分别连接到各个TSV 即TSV1、TSV2、TSV3. · · ·的第一端的PMOS晶体管。当然，测试电压施加部件100可以包括 如图1所示的NMOS晶体管。如图2所示，将理解的是，本领域的普通技术人员可以意识到，即使TSV的数量增 加，可以用相同的方式应用本发明的技术概念。在图2中，测试电压施加部件100包括第一 至第三PMOS晶体管P11、P12和P13。第一 PMOS晶体管Pll具有接收测试模式信号TM的反 相信号TMb的栅极、接收测试电压Vtest的源极端和连接到第一 TSV即TSVl的第一端的漏 极端。第二 PMOS晶体管P12具有接收测试模式信号TM的反相信号TMb的栅极、接收测试电压Vtest的源极端和连接到第二 TSV即TSV2的第一端的漏极端。第三PMOS晶体管P13 具有接收测试模式信号TM的反相信号TMb的栅极、接收测试电压Vtest的源极端和连接到 第三TSV即TSV3的第一端的漏极端。确定部件200可以顺序地连接到第一至第三TSV即TSVl、TSV2和TSV3的各个第 二端一预定的时间间隔。当确定部件200连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3中 的每一个时，确定部件200检测从第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3的第二端输出的电 流或电压。预定的时间间隔可以是周期的或任意的。在图2中，确定部件200接收测试模 式信号TM、时钟信号CLK和复位信号RST，并检测通过第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3 输出的电流或电压。在本实施例中，由于确定部件200使用时钟信号CLK，预定的时间间隔 可以对应于例如时钟信号CLK的一个周期。确定部件200可以顺序地连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3中的一个。 换言之，确定部件200连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3中每一个的时间间隔彼 此不重叠。在开始测试操作之前，如果复位信号RST被使能，则初始化确定部件200。如果 测试模式信号TM被使能，则确定部件200可以连接到第一 TSV即TSV1，该连接为时钟信号 CLK的一个周期。随后，确定部件200可以连接到第二 TSV即TSV2，该连接为时钟信号CLK 的一个周期，此后，确定部件200可以连接到第三TSV即TSV3，该连接为时钟信号CLK的一 个周期。因此，确定部件200与第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3中个每一个之间的连 接彼此不重叠。图3是说明图2所示的确定部件200的配置的框图。参考图3，确定部件200包括 选择信号发生单元210、选择单元220和检测单元230。确定部件200还包括脉冲发生单元 对0，其配置用于接收测试模式信号TM并产生测试脉冲TM_pulSe。脉冲发生单元240包括 常规的脉冲发生器，当测试模式信号TM被使能时可以产生测试脉冲TM_pulSe。选择信号发生单元210接收测试脉冲TM_pulSe、时钟信号CLK和复位信号RST。选 择信号发生单元210响应于复位信号RST被初始化，以及响应于测试脉冲TM_pulSe和时钟 信号CLK产生第一至第三选择信号Si、S2和S3。当测试脉冲TM_pulSe被输入时，选择信 号发生单元210产生被顺序使能的选择信号Si、S2和S3。选择单元220响应于选择信号Si、S2和S3，将第一至第三TSV即TSVl、TSV2和 TSV3连接到检测单元230。更具体地，选择单元220响应于被顺序使能的选择信号Si、S2 和S3，顺序地将第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3连接到检测单元230。检测单元230通过选择单元220被顺序地连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和 TSV3。当检测单元230连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3时，检测单元230检测 通过第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3输出的电流或电压。在图3中，选择信号发生单元210包括第一至第三触发器FF1、FF2和FF3。第一 至第三触发器FF1、FF2和FF3串联连接，并分别产生选择信号S1、S2和S3。当产生测试脉 冲TM_pulSe时，第一触发器FFl产生与时钟信号CLK同步的第一选择信号Si。第二触发 器FF2接收第一选择信号Sl并产生与时钟信号CLK同步的第二选择信号S2。第三触发器 FF3接收第二选择信号S2并产生与时钟信号CLK同步的第三选择信号S3。由于第二和第 三触发器FF2和FF3分别接收第一和第二触发器FFl和FF2的输出，第一至第三选择信号 Si、S2、S3的使能时间间隔彼此不重叠，并且可以顺序地被限定。
选择单元220包括第一至第三传输门PGl、PG2和PG3。第一至第三传输门PG1、PG2 和PG3分别连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3的第二端，并且选择性地传输第一 至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3的第二端的输出。第一传输门PGl响应于第一选择信号 Sl和通过第一反相器IVl反相得到的第一选择信号Sl的反相信号，将第一 TSV即TSVl的 第二端连接到检测单元230。第二传输门PG2响应于第二选择信号S2和通过第二反相器 IV2反相得到的第二选择信号S2的反相信号，将第二 TSV即TSV2的第二端连接到检测单元 230。第三传输门PG3响应于第三选择信号S3和通过第三反相器IV3反相得到的第三选择 信号S3的反相信号，将第三TSV即TSV3的第二端与检测单元230相连接。检测单元230可以包括如图1所示的压点或差分放大器。可以用与上述图1的检 测单元20相同的方式来构造检测单元230。如果如上面所述配置确定部件200，并且如果使能测试模式信号TM，则确定部件 200可以顺序地连接到第一至第三TSV即TSVl、TSV2和TSV3，检测通过第一至第三TSV即 TSVU TSV2和TSV3输出的电流或电压，并立即确定第一至第三TSV是否开路或是否短路。图4是示出图2所示的测试电路的操作的时序图。下面参考图2-4描述根据本发 明的实施例的用于测试半导体装置的电路的操作。首先，如果复位信号RST被使能，则确定部件200被初始化。此后，测试模式信号 TM被使能以开始对半导体装置的测试操作。如果测试模式信号TM被使能，则测试电压施加 部件100将测试电压Vtest施加到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3。如果测试模式信号TM被使能，则脉冲发生单元240产生测试脉冲TM_pulSe。选择 信号发生单元210的第一触发器FFl在时钟信号CLK的下降沿锁存测试脉冲TM_pulSe，并 输出锁存的信号，直至时钟信号CLK的下一个下降沿。因此，第一触发器FFl产生第一选择 信号Si，第一选择信号Sl被使能，该使能持续时钟信号CLK的一个周期。类似地，第二触发 器FF2接收第一选择信号Si,并产生第二选择信号S2，第二选择信号S2被使能持续时钟信 号CLK的一个周期，第三触发器FF3接收第二选择信号S2，并产生第三选择信号S2，第三选 择信号S2被使能持续时钟信号CLK的一个周期。选择单元220的第一传输门PGl响应于第一选择信号Si，将第一 TSV即TSVl连接 到检测单元230。类似地，选择单元220的第二传输门PG2响应于第二选择信号S2，将第二 TSV即TSV2连接到检测单元230，选择单元220的第三传输门PG3响应于第三选择信号S3， 将第三TSV即TSV3连接到检测单元230。如图4所示，第一至第三传输门PGl、PG2和PG3 的输出是通过第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3输出的电流。在电流的波形中存在峰 值电流。由于在传输门PG1、PG2和PG3导通之前，填充有导电材料的TSV有类似于电容器 的作用，在传输门PG1、PG2和PG3导通的时刻产生峰值。当连接到第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3中的每一个时，检测单元230检测 已经流经第一至第三TSV即TSVl、TSV2和TSV3的电流。图4示出了检测时间间隔。优选 地，检测时刻设置为第一选择信号Sl被使能后经过一预定的时间后的时刻。如上所述，如 果第一至第三TSV即TSV1、TSV2和TSV3连接到检测单元230，产生峰值电流。因此，在峰值 电流消失之后检测流经TSV的电流量以确定TSV是否正确连接将是可取的。图4示出检测 单元230检测到的电流量。因为检测单元230检测到的流经第一至第三TSV即TSV1、TSV2 和TSV3的电流即电流量大于参考值，可以确定第一至第三TSV即TSVl、TSV2和TSV3全部是正确连接的。如果检测到的电流量小于参考值，则可以确定具有小于参考值的检测电流 量的相应TSV为不正确连接。随后可以用修复TSV替换没有正确连接的TSV。从上述描述明显可知的是，在本发明中，可以同时测试形成于半导体装置中的多 个TSV是否正确连接。根据本发明的一个方面的测试电路可以精确且便利的方式检测TSV 的连接或断开。另外，在本发明中，可以缩短测试时间并提高半导体装置的可靠性。虽然上面已经描述了某些实施例，但是对于本领域技术人员将理解的是，描述的 实施例仅仅是示例描述。因此，不应基于描述的实施例限制在此描述的用于测试半导体装 置的电路和方法。而是，当结合上面的描述和附图时，应当仅仅根据所附的权利要求来限制 在此描述的电路和方法。
权利要求
1.一种用于测试半导体装置的电路，包括测试电压施加单元，配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到穿透硅通孔TSV 的第一端；以及检测单元，配置为连接到所述TSV的第二端，并且检测从所述TSV的第二端输出的电流。
2.根据权利要求1所述的电路，其中，当所述测试模式信号被使能时，所述测试电压施 加单元将测试电压施加到所述TSV的第一端。
3.—种测试半导体装置的方法，包括在测试操作期间施加电流到穿透硅通孔TSV;以及 将流经所述TSV的电流量与参考值进行比较。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述参考值基本上等于或者小于预定的电流量。
5.一种用于测试半导体装置的电路，包括测试电压施加单元，配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到TSV的第一端；以及检测单元，配置为连接到所述TSV的第二端，将从所述TSV的第二端输出的电压与参考 电压进行比较，并产生检测信号。
6.根据权利要求5所述的电路，其中，当所述测试模式信号被使能时，所述测试电压施 加单元将测试电压施加到所述TSV。
7.一种用于测试半导体装置的电路，包括测试电压施加部件，配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到多个穿透硅通孔 TSV ；以及确定部件，配置为响应于所述测试模式信号，顺序地连接到所述多个TSV中的一个TSV。
8.根据权利要求7所述的电路，其中，当所述测试模式信号被使能时，所述测试电压施 加部件将测试电压施加到所述多个TSV。
9.根据权利要求7所述的电路，其中，所述确定部件包括选择信号发生单元，配置用于当所述测试模式信号被使能时，产生与时钟信号同步的 多个选择信号；选择单元，配置用于接收所述多个选择信号；以及 检测单元，并且其中，所述选择单元响应于所述多个选择信号，将所述多个TSV连接到所述检测单元。
10.根据权利要求9所述的电路，其中，所述选择信号发生单元产生所述多个选择信 号，使得所述多个选择信号的使能时间间隔彼此不重叠。
11.根据权利要求9所述的电路，其中，所述选择信号发生单元包括多个触发器；并且 其中，第一触发器接收所述测试模式信号和所述时钟信号，以及所述多个触发器的其余触发器中的每一个触发器接收所述时钟信号和与其紧邻的前一个触发器的输出。
12.根据权利要求9所述的电路，其中，所述选择单元包括多个传输门，该多个传输门 响应于所述多个选择信号，将所述多个TSV与所述检测单元连接。
13.根据权利要求9所述的电路，其中，在使能对应的选择信号预定的时间之后，所述检测单元检测从所述多个TSV中的每一个TSV输出的电流。
14.一种用于测试半导体装置的电路，包括测试电压施加部件，配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到第一穿透硅通孔 TSV和第二穿透硅通孔TSV ；以及确定部件，配置为响应于所述测试模式信号，连接到第一 TSV和第二 TSV。
15.根据权利要求14所述的电路，其中，当所述测试模式信号被使能时，所述测试电压 施加部件将测试电压施加到第一 TSV和第二 TSV。
16.根据权利要求14所述的电路，其中，所述确定部件连接到第一TSV和第二 TSV中的 每一个的时间间隔彼此不重叠。
17.根据权利要求14所述的电路，其中，所述确定部件包括选择信号发生单元，配置用于当所述测试模式信号被使能时，产生与时钟信号同步的 第一选择信号和第二选择信号； 第一选择单元； 第二选择单元；以及 检测单元，并且其中，当第一选择信号被使能时，第一选择单元将第一 TSV连接到所述检测单元，以及 当第二选择信号被使能时，第二选择单元将第二 TSV连接到所述检测单元。
18.根据权利要求17所述的电路，其中，所述第一选择信号和第二选择信号的时间间 隔彼此不重叠。
19.根据权利要求17所述的电路，其中，所述选择信号发生单元包括第一触发器，配置用于接收所述测试模式信号和所述时钟信号，并产生第一选择信号；以及第二触发器，配置用于接收所述时钟信号和第一选择信号，并产生第二选择信号。
20.根据权利要求17所述的电路，其中，在使能第一选择信号预定的时间之后，所述检 测单元检测从第一 TSV输出的电流，以及在使能第二选择信号预定的时间之后，所述检测 单元检测从第二 TSV输出的电流。
全文摘要
一种用于测试半导体装置的电路，包括配置用于响应于测试模式信号、将测试电压施加到穿透硅通孔(TSV)的第一端的测试电压施加单元，以及配置为连接到所述TSV的第二端并检测从所述TSV的第二端输出的电流的检测单元。
文档编号G01R19/165GK102053207SQ20101000110
公开日2011年5月11日 申请日期2010年1月12日 优先权日2009年10月29日
发明者丘泳埈, 崔珉硕, 李锺天, 边相镇 申请人:海力士半导体有限公司