专利名称：一种半导体测试系统以及一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法
技术领域：
本发明与一种半导体测试系统以及一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法相关。
背景技术：
近年来，随着半导体设备集成化的进一步发展，通过在一片大直径硅片上制造众多裸片以降低单价，同时在硅片测试工序中采用BIST(Built-in self-tes t)技术、 BOST(Built-out self-test)技术等来提高测试效率和降低成本。相应地，在用于硅片测试工序的探针卡中也需要安装特殊的电路及设备，特别是用于测试内存装置的探针卡需要安装数量众多的继电器(参考专利文献1)。目前有多种方法可用来对探针卡中的继电器驱动进行检查。如果继电器数量少则可用手动方法检查，亦即在检查对象继电器上施加电压以驱动继电器，以此状态在电路上直接接触到便携式测试表，对继电器切换电路动作(导通、不通)进行检查。另外，在使用设备的检查方法中，譬如在继电器控制通道施加电压，用测试端子自动接触到连接对象通道的探针尖端，以检查探针尖端与电路板垫之间电路的切换(导通、 不通)。如探针卡上安装了数量众多的继电器，由于探针卡由主电路板、和安装多个继电器的模块化副电路板所构成，因此过去对主电路板和副电路板分别进行检查。参考文献专利文献专利文献1 (日本)特开平6-151531号公报

发明内容
本发明要解决的课题上述以往对继电器的驱动检查存在以下若干问题。例如，如果手动进行检查则检查时间过长，根据探针卡上产品的安装密度有时还无法进行检查。另外，如果用设备进行检查，则只能驱动具有特定电路结构的继电器，并且由于将对应的探针尖端分别进行接触来检查，所以存在检查中导致探针尖端损伤等问题。而且当对于安装多个继电器的探针卡进行继电器驱动检查时只能进行个别检查， 基本上无法在主电路板中组合模块化副电路板的最终状态进行检查，所以无法保证探针卡在安装继电器的状态下保证继电器驱动。为了解决上述以往技术中的课题，本发明的目的在于提供无须接触探针尖端并用半导体测试系统的检查机便可对安装到探针卡后的多个继电器，自动地且连续地进行检查的一种半导体测试系统以及一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法。解决课题的技术方案本发明是一种包括探针卡及检查机的半导体测试系统，其特征在于，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、以及将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道；所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道及所述DC电源的第1电路；所述第1电路包括连接到所述第一测量通道的电压表、具有规定时间常数的第一电阻、连接到所述测量通道的第1切换开关；所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换。本发明的一种半导体测试系统还可以具有如下内容所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，在相对于所述第2测量通道的所述第2 继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻；所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2 电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。本发明的一种半导体测试系统还可以具有如下内容所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。本发明是一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法，其中，所述半导体测试系统包括探针卡和检查机，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道；所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道和所述DC电源以及电压表的第1电路；所述第1测量电路包括具有规定时间常数的第1电阻以及连接到所述测量通道的第1切换开关，所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换，其特征在于，将所述第1继电器设为断路状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述第1电阻开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，利用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器断路时的静电容量Coff，在放电结束后，利用所述控制用电路板将所述第 1继电器设为接通状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后，利用所述第1切换开关将所述第 1测量通道连接到所述第1电阻并开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，计算出继电器接通时的静电容量Con，计算出所述第1继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差， 以判定所述继电器运行是否良好。并且本发明的一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法还可以具有如下内容 所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道；当相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻时，由于所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第 2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，其中，利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为接通状态后由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻后求得上拉电阻的电阻值， 因此根据求得的电阻值同样可以判定所述继电器运行是否良好。或者本发明的一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法还可以具有如下内容: 所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻；所述检查机设有第 2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2 电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中， 所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，其中， 利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为断路状态，介由所述第2 切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻求得上拉电阻的电阻值，在所述第2继电器处于断路状态下，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第 2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电，以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量自从开始所述放电及充电起规定时间后的电压，并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器断路时的静电容量Coff，计算出所述静电容量Coff后，由所述控制用电路板将所述第2继电器设为接通状态，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述 DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2 切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电，以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量所述放电及充电开始规定时间后的电压，并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器接通时的静电容量Con，计算出所述继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差，采用上述检查方法也能够判定所述继电器运行是否良好。
本发明的效果本发明的包括探针卡及检查机的一种半导体测试系统中，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、以及将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道；所述检查机包括DC 电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道及所述DC电源的第1电路，其中，所述第1电路包括连接到所述第一测量通道的电压表、具有规定时间常数的第一电阻、连接到所述测量通道的第1切换开关；所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换，由于本发明的半导体测试系统具有上述结构，所以在安装继电器的状态下能够进行探针卡的继电器驱动检查。所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道；当相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻时，由于本发明的半导体测试系统中，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述 DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第 1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，所以在安装继电器的状态下同样能够进行探针卡的继电器驱动检查。所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，当所述第2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻时，由于本发明的半导体测试系统中，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述 DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1 电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，所以同样能够在安装继电器的状态下进行探针卡的继电器驱动检查。本发明的半导体测试系统的继电器驱动检查方法中，所述半导体测试系统包括探针卡和检查机，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道，所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道和所述DC电源以及电压表的第1电路；所述第1测量电路包括具有规定时间常数的第1电阻以及连接到所述测量通道的第1切换开关，所述DC电源和所述第1 电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述 DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换，其中，将所述第1继电器设为断路状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述第1电阻开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，利用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器断路时的静电容量Coff，在放电结束后，利用所述控制用电路板将所述第1继电器设为接通状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和 GND之间施加电压对电容充电，充电后，利用所述第1切换开关将所述第1测量通道连接到所述第1电阻并开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，计算出继电器接通时的静电容量Con，计算出所述第1继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差，以判定所述继电器运行是否良好，因此，使用半导体测试系统的检查机可以对探针卡的继电器驱动进行检查，提高检查效率，并且在安装继电器后能够发现继电器的安装不良及继电器的不良品，提高产品的可靠性。并且，所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，当相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻时，由于本发明的半导体测试系统中，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关， 而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，其中，利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为接通状态后由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻后求得上拉电阻的电阻值，根据求得的电阻值也可以判定所述继电器运行是否良好，所以在安装继电器的状态下能够进行探针卡的继电器驱动检查。或者所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻时，由于本发明的半导体测试系统中，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述 DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1 电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2 电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为断路状态，介由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第 2电阻求得上拉电阻的电阻值，在所述第2继电器处于断路状态下，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电，以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量自从开始所述放电及充电起规定时间后的电压，并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器断路时的静电容量Coff，计算出所述静电容量Coff后，由所述控制用电路板将所述第2继电器设为接通状态，由所述第2 切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电，以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量所述放电及充电开始规定时间后的电压，并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器接通时的静电容量Con，计算出所述继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差，也能够判定所述继电器运行是否良好，所以同样能够在安装继电器的状态下进行探针卡的继电器驱动检查。


[图1]本发明的半导体测试系统的结构框图。[图2]本发明第1实施方式的半导体测试系统的模式图，表示继电器设为断路状态，并对电容充电的状态。[图3]表示继电器设为断路状态，并且处于放电状态的半导体测试系统的模式图。[图4]表示继电器设为接通状态，并且处于充电状态的半导体测试系统的模式图。[图5]表示继电器设为接通状态，并且处于放电状态的半导体测试系统的模式图。[图6]表示R C串联电路中放电时输出电压变化的图表。[图7]本发明第2实施方式的半导体测试系统的模式图，表示继电器设为断路状态，并且测量上拉电阻的电阻值的状态。[图8]本发明第3实施方式的半导体测试系统的模式图，表示继电器设为断路状态，并且测量上拉电阻的电阻值的状态。[图 9]本发明第3实施方式的半导体测试系统的模式图，表示继电器设为断路状态，并且电容器处于充电的状态。[图10]第3实施方式的半导体测试系统中周期性重复放电及充电时表示电压变化的图表，(a)为输出电压的图表，(b)为输入电压的图表。[图11]第3实施方式的半导体测试系统中表示平均电压的图表。
本发明的实施方式下面参考附图对本发明的半导体测试系统1进行详细说明。图1所示为第1实施方式的半导体测试系统1的结构框图，图2所示为半导体测试系统1的模式图。本发明第1实施方式的半导体测试系统1包括探针卡2和检查机3，所述探针卡2 包括设有第1探针4的电路板13，所述电路板13进一步设有连接所述第1探针4的第1继电器5、用于所述第1继电器5的第1继电器控制器6、以及连接到所述第1继电器5的第 1测量通道7。所述检查机3包括DC电源8、控制用电路板9、电压表10、具有规定时间常数的第 1量程电阻11以及第1切换开关12。所述DC电源8连接到所述控制电路板9以及所述第 1测量通道7，其中，与所述第1测量通道7的连接是介由所述第1切换开关12实现的。也可以将控制用电路板9、第1量程电阻11、第1切换开关12安装在探针卡2上。所述控制电路板9控制所述第1继电器控制器6的工作以切换所述第1继电器5 的接通和断路。设置所述第1切换开关12的目的在于，将所述第1测量通道7的连接、在所述DC电源8和所述第1量程电阻11之间进行切换。所述电压表10连接所述第1测量通道7，其测量当所述第1测量通道7介由所述第1切换开关12连接到所述第1量程电阻 11时的电压。所述半导体测试系统1通过采用如上所述的结构，在将继电器安装到探针卡2的状态下，可以自动且连续地进行继电器驱动检查。关于所述半导体测试系统1的继电器驱动检查方法详细说明如下在所述半导体测试系统1中，在断路所述第1继电器5、并且所述第1测量通道7 介由第1切换开关12连接到所述DC电源8的状态(图2所示状态)下，在所述第1测量通道7和GND之间施加3. 3V的电压对电容充电。所述电容等于导线电容即所谓寄生电容与作为零件安装的电容器的容量之和。电容被充电后，介由所述第1切换开关12将所述第1测量通道7从连接到所述DC 电源8切换为连接到所述第1量程电阻11、即在图3所示状态开始放电。控制电路板9在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表10测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器5断路时的静电容量Coff。在放电结束后，由所述控制用电路板9使所述第1继电器控制器6工作，将所述第1继电器5设为接通状态，而所述第1测量通道7介由所述第1切换开关12连接到所述DC 电源8的状态(图4所示状态)。然后在所述第1测量通道7重新施加电压对电容充电。电容重新充电后，介由所述第1切换开关12将所述第1测量通道7从所述DC电源8切换到所述第1量程电阻11，在图5所示状态下开始放电。在开始放电的同时用所述电压表10测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器5接通时的静电容量Con。由于所述第1继电器5的接通和断路使所述第1测量通道7的导体长度发生变化， 由于静电容量根据所述导体长度的变化而变化，因此所述第1继电器5接通时的静电容量 Con和所述第1继电器5断路时的静电容量Coff为不同容量。本发明中便利用该静电容量之差来判定继电器运行是否良好。于是，控制电路板9计算出如上得出的所述第1继电器5接通时的静电容量Con 和断路时的静电容量Coff之差(Δ0，将该静电容量差(AC)与事先求得的所述第1继电器正常工作时的静电容量差进行比较，来判定继电器运行是否良好。下面对静电容量的测量原理进行说明。图6所示为RC串联电路放电时的输出电压变化，设放电时输出电压为Vd(t)、初始电压为V0、时间为t、时间常数为τ，则此时的电压变化可用以下公式1表示。[公式l]Vd(t)= Vτ = C · R(C 静电容量，R 电阻)，当电阻R—定时， 当然时间常数τ亦为一定。另外，当t= τ时，公式1为0.368V 0，时间常数τ表示放电电压从初始电压下降36. 8 %时的时间。将公式1变换为时间常数τ的公式则得出如下公式2。[公式2]Vd(t) = VO · e"(t/0Ioge [Vd (t)] = Ioge[VO ·loge[Vd(t)] =logeVO + logee"(t/°]loge[Vd(t)] = IogeVO-(t/ τ ) (t/ τ ) = IogeVO-Ioge [V
d(t)] r=log νο-log [Vd⑴]另夕卜，将初始电压vo鄉3. 3V酣測口Ρ 3。
r=ii94_JgJvd(t)]从而通过测量任意时间t的放电电压Vd(t)求得时间常数τ，且如果电阻R为已知，便可由C= τ/R得出静电容量C。但实际上，由于受噪声的影响仅测量1次无法得出理想的时间与放电电压的关系。所以，对时间和放电电压进行若干采样，用最小二乘法求得公式3的放电公式从而计算出C。另外，对于电阻R，由于测量对象探针卡的理论图案静电容量C在信号线为10(pF)量级，因此假设时间常数τ为10(ms)，则电阻R为1(GQ)。相对于此，由于探针卡的电路板图案电阻非常小所以基本上可以忽略。因此，设置若干个阻值(数量级)不同的电阻R，从中选择适当的电阻R，便可以测量阻值(数量级)不同的静电容量C。此时所设置的若干个电阻R便是上述第1量程电阻 11。本发明通过利用根据如上所述的测量原理求得的静电容量进行继电器驱动检查， 对于安装在探针卡上的多个继电器无须接触探针尖端便可在安装继电器的状态进行继电器驱动检查，可以发现继电器的安装不良及其不良品。为了实现上述自动检查，将上述全部操作以程序的形式保存到所述检查机3中，并且同时或依次检查所安装的多个继电器，于是坎须使用新的设备便可用半导体测试系统的检查机，自动且连续地进行检查。于是，检查效率飞跃性提高取得更为卓越的效果。有一种探针卡其测量通道具有配置上拉电阻的电路，以下针对进行此种探针卡的继电器驱动检查进行说明。首先，对于采用具有配置在继电器和探针之间的上拉电阻的电路的探针卡的半导体测试系统1’进行说明。图1所示为第2实施方式半导体测试系统1’ 的结构框图，图7所示为第2实施方式的半导体测试系统1’的模式图。本实施方式半导体测试系统1’包括探针卡2’和检查机3’，所述探针卡2’包括设有第1探针4以及第2探针14的电路板13’，所述电路板13’设有连接所述第1探针4的第1继电器5、用于所述第1继电器5的第1继电器控制器6、连接所述第1继电器5的第 1测量通道7，并且还设有连接所述第2探针14的第2继电器15、用于所述第2继电器15 的第2继电器控制器16、设在所述第2继电器15和所述第2探针14之间的上拉电阻18、 连接所述第2继电器15的第2测量通道17。所述检查机3’设有DC电源8’、控制用电路板9’、电压表10’、第1电路19以及第2电路20。所述第1电路19包括具有规定时间常数的第1量程电阻11和第1切换开关12 ；所述第2电路20包括具有规定时间常数的第2量程电阻21和第2切换开关22。所述第2量程电阻21采用了能够介由电阻切换开关沈来切换不同阻值的多个量程电阻的结构，以便能够根据测量对象进行选择。所述DC电源8，的结构包括3. 3V的DC电源和5V的DC电源，其连接到所述控制电路板9、所述第1测量通道7以及所述第2测量通道17。3. 3V的DC电源介由所述第1切换开关12连接所述第1测量通道7，而5V的DC电源介由第2切换开关22连接第2测量通道17。所述DC电源8，还用作所述上拉电阻18的电源以及所述第1、2继电器5、15的电源；5V的DC电源用作所述上拉电阻18的电源。所述第1电路19连接所述第1测量通道7 ；所述第2电路20连接所述第2测量通道17。为此必须在连接所述检查机3’和连接所述探针卡2’之间进行切换，所以所述检查机3’设有切换控制盘M，采用了在连接所述第1电路19和所述第1测量通道7、以及在连接所述第2电路20和所述第2测量通道17之间进行切换的结构。另外，由于所述电压表10’用来测量所述第1电路19以及所述第2电路20的电压，因此设有电路切换开关25，将所述电压表10’在连接所述第1电路19或者连接所述第 2电路20之间进行切换。所述控制电路板9’控制所述第1继电器控制器6以及所述第2继电器控制器16 的工作，以对于所述第1继电器5以及所述第2继电器15的接通/断路进行切换。另外， 所述控制电路板9’对于所述切换开关M、所述第1、2切换开关12、22进行控制，并且与所述切换控制盘M联动。设置所述第1切换开关12的目的在于，将所述第1测量通道7的连接、在所述DC 电源8，的3. 3V的DC电源和所述第1量程电阻11之间进行切换；设置所述第2切换开关 22的目的在于，将所述第2测量通道17的连接、在所述DC电源8’的5V的DC电源和所述第2量程电阻21之间进行切换。所述电压表10连接所述第1测量通道7，其测量当所述第1测量通道7介由所述第1切换开关12连接到所述第1量程电阻11时的电压。并且所述电压表10连接所述第2测量通道17，其测量当所述第2测量通道17介由所述第2切换开关22连接所述第2量程电阻21时的电压。所述半导体测试系统1’通过采用上述结构，所以在探针卡2’包括采用上拉电阻 18的第2测量通道17时，同样能够在探针卡2’中安装继电器的状态下自动且连续地进行继电器驱动检查。以下对于所述半导体测试系统1’的继电器驱动检查方法进行详细说明。探针卡2’的第1测量通道7的继电器驱动检查方法与第1实施方式相同，亦即计算出第1继电器5接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差(Δ C)，将该静电容量差(AC)与事先求得的所述第1继电器正常工作时的静电容量差进行比较，以判定继电器运行是否良好。为此，介由所述切换控制盘M连接所述第1测量通道7和所述第1电路19 ；介由所述电路切换开关25将所述电压表10’连接到所述第1电路19。然后，用与第1实施方式同样的方法计算出第1继电器5接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差 (AC)以判定继电器运行是否良好。下面对探针卡2’的第2测量通道17的继电器驱动检查方法进行说明。首先，介由所述切换控制盘M连接所述第2测量通道17和所述第2电路20，介由所述电路切换开关25将所述电压表10’连接到所述第2电路20。在此状态下测量上拉电阻18的电阻值。测量时，由于检查机3’的开关电阻r 1 将导致误差，因此事先测量开关电阻rl，在测量上拉电阻18的电阻值时将其抵消。为了测量上拉电阻18的电阻值，如图7所示，介由所述控制电路板9’将第2继电器15设为接通状态，介由所述第2切换开关22将所述第2测量通道17连接到所述电压表 10’。另外，介由电阻切换开关沈将量程电阻21连接到适当阻值的量程电阻。由于所述电阻切换开关26的开关电阻r2也会导致上拉电阻18电阻值测量误差，因此需要事先测量以便抵消。在上述状态下，介由所述电压表10’测量由所述上拉电阻18和所述量程电阻21分压后的电压Vout。将与所述上拉电阻18连接的DC电源的电压设为V0、将上拉电阻18的电阻值设为R1、将量程电阻21的电阻值设为R2，则可用如下公式介由所述电压表10’所测量的电压Vout取得上拉电阻18的电阻值Rl。[公式 4] Rl = (V0/Vout-1) X (R2+r2)-rl将如上取得的上拉电阻18的电阻值Rl与探针卡2’的规格进行比较，以判断上拉电阻18的电阻值是否良好。由于介由所述第2继电器15来测量所述上拉电阻18的电阻值R1，所以如果所述上拉电阻18的电阻值Rl的测量结果良好，则判断所述继电器15的继电器运行也OK。在所述探针卡2’的电路板13’中，当上拉电阻18配置在相对于所述第2测量通道17的所述第2继电器15更靠近所述第2探针14侧时，同样能够在安装继电器的状态下进行探针卡的继电器驱动检查。下面对于采用包括上拉电阻配置在相对于所述第2继电器15更靠近检查机3’侧的电路的探针卡的半导体测试系统1”进行说明。图1所示为第3实施方式半导体测试系统1”的结构框图，图8所示为第3实施方式的半导体测试系统1”的模式图。本实施方式的半导体测试系统1”包括探针卡2”和检查机3’，所述探针卡2”包括设有第1探针4以及第2探针14的电路板13’，所述电路板13’设有连接所述第1探针4 的第1继电器5、用于所述第1继电器5的第1继电器控制器6、连接所述第1继电器5的第1测量通道7，并且设有连接所述第2探针14的第2继电器15、用于所述第2继电器15 的第2继电器控制器16、相对于所述第2继电器15设在更靠近所述检查机3’侧的上拉电阻18、连接到所述第2继电器15的第2测量通道17。所述检查机3’的结构与第2实施方式中的检查机3’相同，亦即设有DC电源8’、 控制用电路板9’、电压表10’、第1电路19以及第2电路20’。所述第1电路19包括具有规定时间常数的第1量程电阻11和第1切换开关12 ；所述第2电路20包括具有规定时间常数的第2量程电阻21和第2切换开关22。所述第2量程电阻21采用了能够介由电阻切换开关沈来切换不同阻值的多个量程电阻的结构，以便能够根据测量对象进行选择。所述DC电源8，的结构包括3. 3V的DC电源和5V的DC电源，连接到所述控制电路板9、所述第1测量通道7以及所述第2测量通道17。3. 3V的DC电源介由所述第1切换开关12连接所述第1测量通道7，而5V的DC电源介由第2切换开关22连接第2测量通道 17。所述DC电源8，还用作所述上拉电阻18的电源以及所述第1、2继电器5、15的电源； 5V的DC电源用作所述上拉电阻18的电源。所述第1电路19连接所述第1测量通道7，所述第2电路20连接所述第2测量通道17。为此必须在连接所述检查机3’和连接所述探针卡2’之间进行切换，所以所述检查机3’设有切换控制盘M，采用了在连接所述第1电路19和所述第1测量通道7、以及在连接所述第2电路20和所述第2测量通道17之间进行切换的结构。另外，由于用所述电压表10’测量所述第1电路19以及所述第2电路20的电压， 因此设有电路切换开关25，将所述电压表10’在连接所述第1电路19或者连接所述第2电路20之间进行切换。所述控制电路板9’控制所述第1继电器控制器6以及所述第2继电器控制器16 的工作，对于所述第1继电器5以及所述第2继电器15的接通/断路进行切换。另外，所述控制电路板9’对于所述切换开关M、所述第1、2切换开关12、22进行控制，并且与所述切换控制盘M联动。设置所述第1切换开关12的目的在于，将所述第1测量通道7的连接、在所述DC 电源8，的3. 3V的DC电源和所述第1量程电阻11之间进行切换，设置所述第2切换开关 22的目的在于，将所述第2测量通道17的连接、在所述DC电源8’的5V的DC电源和所述第2量程电阻21之间进行切换。所述电压表10连接所述第1测量通道7，其测量当所述第1测量通道7介由所述第1切换开关12连接到所述第1量程电阻11时的电压。并且所述电压表10连接所述第 2测量通道17，其测量当所述第2测量通道17介由所述第2切换开关22连接所述第2量程电阻21时的电压。所述半导体测试系统1”通过采用上述结构，所以在探针卡2’包括采用上拉电阻 18的第2测量通道17时，同样能在探针卡2’中安装继电器的状态下自动且连续地进行继电器驱动检查。以下对于所述半导体测试系统1”的继电器驱动检查方法进行详细说明。探针卡2”的第1测量通道7的继电器驱动检查方法与第1实施方式相同，亦即计算出第1继电器5接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差(Δ C)，将该静电容量差(AC)与事先求得的所述第1继电器正常工作时的静电容量差进行比较，以判定继电器运行是否良好。为此，与所述第2实施方式同样，介由所述切换控制盘M连接所述第1测量通道7 和所述第1电路19 ；介由所述切换开关25将所述电压表10’连接到所述第1电路19。然后，用与第1实施方式同样的方法计算出第1继电器5接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差(AC)以判定继电器运行是否良好。下面对探针卡2”的第2测量通道17的继电器驱动检查方法进行说明。首先如图 8所示，介由所述切换控制盘M连接所述第2测量通道17和所述第2电路20 ；介由所述切换开关25将所述电压表10’连接到所述第2电路20。在此状态下测量上拉电阻18的电阻值。上拉电阻18的电阻值的测量方法与第2 实施方式相同。测量时，由于检查机3’的开关电阻rl以及切换量程电阻21的电阻切换开关26的开关电阻r2将导致误差，因此事先测量开关电阻rl和r2，在测量上拉电阻18的电阻值时将其抵消。为了测量上拉电阻18的电阻值，如图8所示，介由所述控制电路板9’将第2继电器15设为断路状态，介由所述第2切换开关22将所述第2测量通道17连接到所述电压表 10’。另外，介由电阻切换开关沈将量程电阻21连接到适当阻值的量程电阻。在上述状态下，介由所述电压表10’测量由所述上拉电阻18和所述量程电阻21 分压后的电压Vout。将与所述上拉电阻18连接的DC电源的电压设为V0、将上拉电阻18 的电阻值设为R1、将量程电阻21的电阻值设为R2，则可用上述公式4介由所述电压表10’ 所测量的电压Vout取得上拉电阻18的电阻值Rl。将如上取得的上拉电阻18的电阻值Rl与探针卡2’的规格进行比较，以判断上拉电阻18的电阻值是否良好。如果所述上拉电阻18的电阻值Rl没有问题则进入下一个阶段。在本实施方式中，基本方法与没有上拉电阻时相同，亦即通过计算出第2继电器 15接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff和的差(Δ C)，将该静电容量差(AC) 与事先求得的、所述第2继电器正常工作时的静电容量差进行比较，以判定继电器运行是否良好。在断路所述第2继电器5、所述第2测量通道17介由第2切换开关22连接到所述 DC电源8’的状态(图9所示状态)下，在所述第2测量通道17和GND之间施加5V电压对电容充电。所述电容等于导线电容即所谓寄生电容与作为零件安装的电容器的容量之和。电容被充电后，介由所述第2切换开关22将所述第2测量通道17从连接到所述 DC电源8，切换为连接所述第2量程电阻21，则以由所述上拉电阻18的电阻值Rl和所述量程电阻21的电阻值R2的合成电阻R与静电容量C所决定的时间常数τ ( = C * R)进行放电，直到V = V2为止。如果以一定周期切换所述第2切换开关22，则用所述电压表10’测量的输出电压 Vout将按照图10 (a)所示周期性变化。用时间t对所述输出电压Vout进行积分得到面积 Si，该面积Sl的大小依赖于所述第2继电器15断路时的静电容量Coff。如果在测量所述电压时采用串联大负荷的电压表进行测量，则电压变化将产生平均化(成为直流)，如图11所示测得大致一定的电压。于是测得与Si同样地其大小依赖于静电容量C的平均电压Vt (断路所述第2继电器15时的平均电压Vt 1，接通所述第2继电器15时的平均电压Vt2)。要求得的电压[=+ .^1(1-^^+^1}其中，τ =
c . R R_ R,irl+R2+r2) _Rl.(R2+rl+r2)卜 V0-R1 _ V0-R1
R1 + {rx + R2+r2) R1 +R2 +rx +r2 1 .R1 +rx +R2 +r2 R1 +R2 +rx +r2
V = v^ + 氏 +r2) = vAR, ^rl 要测量的电压.v JrjR^r2) = VT.{R2+r2) = KV 2 Ri+r,+R2+r2 R^R,+^+^m /]+R2+r2 R2+/]+r2 1
R7 + r7 苴中足=_I_所述平均电压Vt为用公式5中所示平均电压公式并且忽略开关ON电阻的公式求得，其与加上开关ON电阻的实际电路的测量电压Vm之间存在公式5所示的关系。因此，利用牛顿法数值计算，介由所测量的所述第2继电器15断路时的平均电压Vml、所述第2继电器15接通时的平均电压Vm2，计算出所述第2继电器15断路时的静电容量Coff、所述第2 继电器15接通时的静电容量Con。计算出如上取得的、所述计算出第2继电器15接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差(AC)，将该静电容量差(AC)与事先求得的所述第2继电器正常工作时的静电容量差进行比较，以判定继电器运行是否良好。这样，在所述探针卡2’的电路板13’中，当上拉电阻18配置在相对于所述第2测量通道17的所述第2继电器15更靠近检查机3’侧时，同样能够在安装继电器的状态下进行探针卡的继电器驱动检查。符号说明1，1，，1”半导体测试系统2、2，，2”探针卡3，3，检查机4第1探针5第1继电器6 第1继电器控制器7第1测量通道8，8’ DC电源9控制用电路板10，10’电压表11第1量程电阻12第1切换开关13，13’电路板14第2探针15第2继电器16第2继电器控制器 17第2测量通道18上拉电阻19第1电路20第2电路21第2量程电阻22第2切换开关 24切换控制盘25电路切换开关沈电阻切换开关
权利要求
1.一种半导体测试系统，所述半导体测试系统包括探针卡及检查机，其特征在于，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道，所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1 测量通道和所述DC电源以及电压表的第1电路，所述第1测量电路包括具有规定时间常数的第1电阻以及连接到所述测量通道的第1 切换开关，所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换。
2.如权利要求1记载的半导体测试系统，其特征在于，所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，在相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表， 所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。
3.如权利要求1记载的半导体测试系统，其特征在于，所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第 2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表， 所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。
4.一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法，所述半导体测试系统包括探针卡和检查机，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道，所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1 测量通道和所述DC电源以及电压表的第1电路，所述第1测量电路包括具有规定时间常数的第1电阻以及连接到所述测量通道的第1切换开关，所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换，其特征在于，将所述第1继电器设为断路状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述 DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述第1电阻开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，利用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器断路时的静电容量 Coff,在放电结束后，利用所述控制用电路板将所述第1继电器设为接通状态，介由所述第1 切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后，利用所述第1切换开关将所述第1测量通道连接到所述第1电阻并开始放电， 在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，计算出继电器接通时的静电容量Con，计算出所述第1继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差，以判定所述继电器运行是否良好。
5.一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法，所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，在相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表， 所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，其特征在于，所述半导体测试系统的继电器驱动检查方法为如权利要求4所述方法，其中， 利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为接通状态后由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻后求得上拉电阻的电阻值，根据求得的电阻值也可以判定所述继电器运行是否良好。
6.一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法，所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第 2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接，其特征在于，所述半导体测试系统的继电器驱动检查方法为如权利要求4所述的方法，其中， 利用所述切换控制盘连接所述检查机的第2电路与所述探针卡的第2测量通道，由所述电路切换设备将所述第2电路连接到电压表，将所述第2继电器设为断路状态，介由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻求得上拉电阻的电阻值，在所述第2继电器处于断路状态下，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电， 以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量自从开始所述放电及充电起规定时间后的电压，并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器断路时的静电容量Coff，计算出所述静电容量Coff后，由所述控制用电路板将所述第2继电器设为接通状态， 由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND 之间施加电压对电容器进行充电，充电后，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述第2电阻并开始放电规定时间，用所述电压表测量规定时间内放电电压的变化，由所述第2切换开关将所述第2测量通道连接到所述DC电源，在所述第2测量通道和GND之间施加电压对电容器再次充电， 以仅在所述放电时将所述第2电路连接到所述电压表的状态，周期性反复进行所述放电以及所述充电，用串联较大负荷的电压表测量所述放电及充电开始规定时间后的电压， 并根据由此获得的平均电压计算出所述第2继电器接通时的静电容量Con，计算出所述继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差，以判定所述继电器运行是否良好。
全文摘要
对于安装在探针卡上的多个继电器，无须接触探针尖端便可自动地且连续地进行检查。探针卡包括电路板、探针、连接到所述探针的继电器、继电器控制器、将所述继电器和所述探针连接到检查机的测量通道。所述检查机包括DC电源、控制所述继电器控制器的控制用电路板、所述测量通道、连接到所述DC电源以及电压表的测量电路。所述测量电路包括具有规定时间常数的电阻、连接到所述测量通道的开关と、该开关将所述测量通道切换连接到所述DC电源或所述电阻。
文档编号G01R31/28GK102197312SQ20098014212
公开日2011年9月21日 申请日期2009年10月16日 优先权日2008年10月24日
发明者北村弘喜, 松野新吾, 江村宪二 申请人:日本电子材料株式会社